FR2718235A1 - Ondemètre optique employant une machine de mesure de longueurs. - Google Patents
Ondemètre optique employant une machine de mesure de longueurs. Download PDFInfo
- Publication number
- FR2718235A1 FR2718235A1 FR9503556A FR9503556A FR2718235A1 FR 2718235 A1 FR2718235 A1 FR 2718235A1 FR 9503556 A FR9503556 A FR 9503556A FR 9503556 A FR9503556 A FR 9503556A FR 2718235 A1 FR2718235 A1 FR 2718235A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- light
- counting
- mirror
- signal
- pulses
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 25
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 3
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
- G01J9/0246—Measuring optical wavelength
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02029—Combination with non-interferometric systems, i.e. for measuring the object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/0209—Low-coherence interferometers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Chacun des faisceaux émis par une source lumineuse (1) à mesurer et une source de lumière blanche (2) est divisé (3) en deux faisceaux, réfléchis respectivement par un miroir fixe (4) et un miroir mobile (5) pour se rejoindre et produire une lumière interférente, la lumière blanche ayant un rendement d'interférence maximal lorsque le chemin optique atteignant le miroir mobile (5) est égal à celui atteignant le miroir fixe (4). Une machine de mesure de longueurs (6) émet un signal impulsionnel correspondant à la longueur de déplacement du miroir mobile (5). Lorsque la lumière interférente blanche (2) dépasse une valeur fixée, on compte les impulsions, et un calculateur (14) calcule la longueur d'onde de la lumière à mesurer d'après le nombre d'impulsions pour un déplacement déterminé (11).
Description
Ondemètre optique employant une machine de mesure de longueurs.
Base de l'invention 1. Domaine de l'invention La présente invention porte sur un ondemètre optique employant une machine
de mesure de longueurs.
2. Description de la technique afférente
La figure 3 est un schéma d'un ondemètre optique d'une technique antérieure.
Sur cette figure 3, le repère 1 désigne une source lumineuse à mesurer, le repère 3 un diviseur de faisceau, le repère 4 un miroir fixe, le repère 5 un miroir mobile, le repère 6 une machine de mesure de longueurs, le repère 9 un récepteur de lumière, le repère 10 un convertisseur, le repère 14 un calculateur, le repère 15 un afficheur, le repère 16 une partie de commande de miroir mobile, le repère 17 un mécanisme de déplacement rectiligne, le repère 21 une partie de détection de position, le repère 22 une partie de comptage de
distance et le repère 23 une partie de comptage de lumière interférente.
La machine de mesure de longueurs 6 représentée sur la figure 3 comprend une échelle 61 et un capteur 62. La partie de commande de miroir mobile 16 comprend une partie moteur 16A, des poulies 16B et 16C, une courroie 16D et des interrupteurs de fin de course 16E et 16F. La courroie 16D est par exemple
en caoutchouc.
Un faisceau 1A de longueur d'onde inconnue émis par la source lumineuse 1 à mesurer est divisé par le diviseur de faisceau 3 en deux faisceaux, un faisceau transmis 1 B et un faisceau réfléchi 1 C. Le faisceau réfléchi 1 C est à nouveau réfléchi par le miroir fixe 4, par exemple un réflecteur en coin de cube, et traverse le diviseur de faisceau 3 pour tomber sur le récepteur de lumière 9. Le faisceau transmis 1 B est réfléchi par le miroir mobile 5, par exemple le réflecteur en coin de cube, et de nouveau par le diviseur de faisceau 3 pour
tomber sur le récepteur de lumière 9.
Le faisceau transmis 1 B et le faisceau réfléchi 1C qui tombent sur le récepteur de lumière 9 interfèrent entre eux pour former une lumière composite 1 D dans le récepteur de lumière 9, qui envoie au convertisseur 10 un signal électrique 9A correspondant à l'intensité de la lumière interférente. Le convertisseur 10 convertit le signal électrique 9A venant du récepteur de lumière 9 en impulsions et envoie celles-ci à la partie de comptage de lumière interférente 23. Le miroir mobile 5 est fixé à la courroie 16D tendue entre les poulies 16B et 16C de la partie de commande de miroir mobile 16. Lorsqu'un moteur tourne dans la partie moteur 16A, la poulie 16C, qui est fixée à ce moteur, tourne pour déplacer le miroir mobile 5 fixé à la courroie 16D sur le mécanisme de déplacement rectiligne 17 dans la direction d'un axe optique. Pendant que le miroir mobile 5 se déplace dans la direction de cet axe optique, le signal électrique 9A émis par le récepteur de lumière 9 devient un signal électrique qui correspond à la variation se répétant périodiquement de l'intensité lumineuse due à l'interférence. La longueur d'onde du signal électrique 9A est
la même que celle du faisceau 1 A a mesurer.
La machine de mesure de longueurs 6 envoie un signal impulsionnel 6A à la partie de détection de position 21 et à la partie de comptage de distance 22 chaque fois que le miroir mobile 5 se déplace du pouvoir séparateur en distance du capteur 62. Le capteur 62 envoie un signal d'origine 6B à la partie de détection de position 21 lorsque le miroir mobile 5 franchit le milieu de
I'échelle 61.
La partie de détection de position 21 compte le nombre d'impulsions du signal impulsionnel 6A déclenché par le signal d'origine 6B émises par le capteur 62 de la machine de mesure de longueurs 6 et, lorsque le miroir mobile 5 se déplace d'une distance arbitraire, c'est-a-dire lorsque le nombre d'impulsions du signal impulsionnel 6A atteint une valeur arbitraire, la partie de détection de
position 21 émet un signal de position 21A pour l'arrêt.
Lorsque la partie de comptage de lumière interférente 23 reçoit le signal de position 21A de la partie de détection de position 21, elle commence à compter le nombre d'impulsions d'un signal produit par le convertisseur 10 et s'arrête de compter lorsqu'elle reçoit de nouveau le signal de position 21A de la partie de détection de position 21 pour envoyer un résultat de comptage K au calculateur 14. Lorsque la partie de comptage de distance 22 reçoit le signal de position 21A de la partie de détection de position 21, elle commence à compter des impulsions du signal impulsionnel 6A émis par le capteur 62 de la machine de mesure de longueurs 6 et, lorsqu'elle reçoit de nouveau le signal de position 21A de la partie de détection de position 21, elle s'arrête de compter pour
to envoyer un résultat de comptage N au calculateur 14.
Le calculateur 14 fait un calcul en substituant le résultat de comptage N que lui a envoyé la partie de comptage de distance 22 dans l'équation: L = N x (définition de la machine de mesure de longueurs), dans laquelle L est la distance de déplacement du miroir mobile 5, et en outre substituant la distance de déplacement L et le nombre d'impulsions K que lui a envoyé la partie de comptage de lumière interférente 23 dans l'équation x = 2LIK pour obtenir X, c'est-à-dire le longueur d'onde de la lumière à mesurer, afin de l'envoyer à l'afficheur 15, qui affiche les données de longueur d'onde de la lumière
mesuree.
Lorsque le miroir mobile 5 atteint l'un ou l'autre des interrupteurs de fin de course 16E et 16F, la partie moteur 16A inverse le sens de rotation du moteur qu'elle contient. Une série de données peuvent être obtenues par déplacement répété du miroir mobile, et la longueur d'onde peut être mesurée de façon plus
précise par détermination de la moyenne des données.
La figure 4 montre la constitution du miroir mobile 5 et de la machine de mesure de longueurs 6 de l'ondemètre optique de la figure 3. Sur cette figure 4, le miroir mobile 5 peut se déplacer horizontalement sur le mécanisme de déplacement linéaire 17. La distance de déplacement du miroir mobile 5 est mesurée par l'échelle 61 et détectée par le capteur 62. L'échelle 61 est
pourvue d'une origine dans sa partie centrale.
Pour améliorer la précision de mesure de l'ondemètre optique ayant la constitution représentée sur la figure 3, il faut améliorer la précision de mesure
de la machine de mesure de longueurs 6 et allonger la longueur de mesure.
Pour cela, la machine de mesure de longueurs 6 de la figure 4 comporte une échelle 61 ayant une origine, et une lumière de longueur d'onde connue, telle que laser stabilisé en fréquence, tombe sur l'ondemètre optique pour un étalonnage de distance entre l'origine de l'échelle 61 de la machine de mesure
de longueurs 6 et une limite arbitraire de déplacement du miroir mobile 5.
Cependant, sur la figure 4 par exemple, l'étalonnage de distance de l'échelle 61 peut être fait seulement soit dans l'intervalle entre A et le milieu de celle-ci, io soit dans l'intervalle entre B et ce milieu, bien que l'échelle 61 permette une mesure effective dans un intervalle entre A et B de part et d'autre de son origine. Par suite, le domaine effectif d'étalonnage est réduit à la moitié de
l'échelle, ce qui réduit la précision de l'ondemètre.
Bien qu'il soit possible de rendre grande la distance de mesure en déplaçant à l'avance le miroir mobile 5 de l'origine de l'échelle 61 à A puis en faisant une mesure entre A et B après avoir fait l'étalonnage entre A et l'origine de l'échelle 61 et entre B et cette origine, le miroir mobile 5 est déplacé par le moteur de la partie moteur 16A au moyen de la courroie 16D de la partie de commande de miroir mobile 16 comme représenté sur la figure 3, de sorte que, lorsque le miroir mobile 5 se déplace du milieu de l'échelle 61 à A et s'arrête la, le miroir mobile 5 ne s'arrête pas toujours au même endroit en raison de l'inertie du moteur de la partie moteur 16A ou de l'élasticité de la courroie 16D et, par conséquent, I'étalonnage n'est pas valable pour une mesure correcte de
longueur d'onde.
Résumé de l'invention Un but de la présente invention est de fournir un ondemètre optique de haute précision en permettant à la lumière émise par une source de lumière blanche de tomber sur un interféromètre, la lumière ayant un rendement d'interférence maximal lorsque le miroir mobile est situé à un endroit o le chemin optique qui l'atteint est de même longueur que celui qui atteint le miroir fixe, et ensuite exécutant un étalonnage commençant à une position de référence du miroir mobile o le rendement d'interférence est maximal aussi loin que le miroir mobile peut être déplacé, de façon à étendre la longueur effective de l'échelle
pour l'étalonnage.
Pour atteindre ce but, la présente invention fournit un ondemètre optique comprenant un diviseur de faisceau 3 qui divise en deux faisceaux un faisceau émis par une source lumineuse 1 à mesurer, un miroir fixe 4 destiné à renvoyer au diviseur de faisceau 3 un des faisceaux formés par celui-ci, un miroir mobile qui renvoie au diviseur de faisceau 3 I'autre faisceau formé par celui-ci, une machine de mesure de longueurs 6 qui est pourvue d'une échelle 61 et d'un capteur 62 et émet un signal impulsionnel 6A chaque fois que le miroir mobile est déplacé du pouvoir séparateur en distance du capteur 62, un récepteur de lumière 9 qui convertit en un signal électrique la lumière interférente produite lorsque les faisceaux partiels se rejoignent, un convertisseur 10 qui convertit en impulsions un signal analogique produit par le récepteur de lumière 9, une partie de détection de position 11 qui compte le nombre d'impulsions du signal impulsionnel 6A et arrête de compter pour émettre un signal de détection de position 11A lorsqu'il détecte le déplacement du miroir mobile 5 pour une distance arbitraire, une partie de comptage de lumière interférente 13 destinée à compter le nombre d'impulsions émises par le convertisseur 10, une partie de comptage de distance 12 destinée à compter le nombre d'impulsions émises par le capteur 62 de la machine de mesure de longueurs 6, un calculateur 14 qui calcule la longueur d'onde de la lumière à mesurer d'après le nombre d'impulsions de la lumière interférente compté par la partie de comptage de lumière interférente 13 et celui compté par la partie de comptage de distance 12, et un afficheur 15 destiné à afficher la valeur de la longueur d'onde calculée fournie par le calculateur 14, cet ondemètre optique comprenant en outre une source de lumière blanche 2 destinée à émettre une lumière ayant un rendement d'interférence maximal lorsque le miroir mobile est située à un endroit o le chemin optique qui l'atteint est de même longueur que celui qui atteint le miroir fixe, un récepteur de lumière 7 qui convertit en un signal électrique la lumière interférente émise par la source de lumière blanche 2, et un convertisseur 8 qui envoie un signal d'origine 8A à la partie de détection de position 11, à la partie de comptage de distance 12 et à la partie de comptage de lumière interférente 13 lorsque le signal
d'interférence émis par le récepteur de lumière 7 dépasse une valeur fixée.
Description des dessins
La figure 1 est un schéma fonctionnel d'un ondemètre optique selon la
présente invention.
La figure 2 est un graphique de forme d'onde de lumière interférente émise par
une source de lumière blanche de la figure 1.
La figure 3 est un schéma fonctionnel d'un ondemètre optique d'une technique
antérieure.
La figure 4 est un dessin expliquant l'étalonnage de distance d'une machine de
mesure de longueurs.
Description de la réalisation préférée
La figure 1 montre la constitution de l'ondemètre optique de la présente invention. Sur cette figure 1, le repère 2 désigne une source de lumière blanche, le repère 7 un récepteur de lumière, le repère 8 un convertisseur, le repère 1il une partie de détection de position, le repère 12 une partie de comptage de distance, le repère 13 une partie comptage de lumière
interférente, et les autres éléments sont les mêmes que ceux de la figure 3.
C'est-à-dire que l'ondemètre optique de la figure 1 est obtenu par adjonction à celui de la figure 3 de la source de lumière blanche 2, du récepteur de lumière 7 et du convertisseur 8 et remplacement de la partie de détection de position 21, de la partie de comptage de distance 22 et de la partie de comptage de lumière interférente 23 de l'appareil de la figure 3 par la partie de détection de position 11, la partie de comptage de distance 12 et la partie de comptage de
lumière interférente 13.
Sur la figure 1, un faisceau 1A de longueur d'onde inconnue émis par la source lumineuse 1 à mesurer est divisé par un diviseur de faisceau 3 en un faisceau transmis 1 B et un faisceau réfléchi 1 C. Le faisceau réfléchi 1 C est réfléchi par le miroir fixe 4 et traverse le diviseur de faisceau 3 pour tomber sur le récepteur de lumière 9, tandis que le faisceau transmis 1 B est réfléchi par le miroir mobile 5 et de nouveau par le diviseur de faisceau 3 pour tomber sur le récepteur de lumière 9. Lorsque le faisceau réfléchi 1 C et le faisceau transmis 1 B tombent sur le récepteur de lumière 9, ils interfèrent entre eux, de sorte que le récepteur de lumière 9 sur lequel tombe la lumière composite 1 D envoie au convertisseur 10 un signal électrique 9A correspondant à l'intensité de la lumière interférente. Le miroir mobile 5 est déplacé par la partie de commande de miroir mobile 16
comme sur la figure 3 et le récepteur de lumière 9 émet le signal électrique 9A.
Le convertisseur 10 convertit le signal électrique 9A qu'il reçoit du récepteur de io lumière 9 en impulsions qu'il envoie à la partie de comptage de lumière
interférente 13.
Le faisceau de lumière blanche 2A émis par la source 2 est divisé en deux faisceaux, un faisceau réfléchi 2C et un faisceau transmis 2B. Le faisceau réfléchi 2C est réfléchi par le miroir fixe 4 et traverse le diviseur de faisceau 3 pour tomber sur le récepteur de lumière 7, tandis que le faisceau transmis 2B est réfléchi par le miroir mobile 5 et de nouveau par le diviseur de faisceau 3
pour tomber sur le récepteur de lumière 7.
Le récepteur de lumière 7 convertit la lumière composite 2D formée par superposition du faisceau réfléchi 2C et du faisceau transmis 2B en un signal électrique 7A qu'il envoie au convertisseur 8. Le convertisseur 8 convertit le signal électrique 7A en un signal pulsatoire d'origine 8A lorsque son niveau est
le plus haut.
Le signal électrique 7A va être décrit à l'aide de la figure 2, qui est un graphique de forme d'onde de signal interférent de la lumière blanche sur lequel l'axe des ordonnées indique le courant tandis que l'axe des abscisses indique la distance de déplacement de la platine mobile. Le signal électrique 7A devient un signal électrique qui correspond à la variation périodique de l'intensité de la lumière due à l'interférence. La lumière blanche a une distance de cohérence suffisamment faible pour produire une interférence dans le cas o la différence de longueur entre le chemin optique du faisceau réfléchi 2C et celui du faisceau transmis 2B est faible, et le rendement d'interférence est maximal dans le cas o ils sont égaux. Par conséquent, il est possible de détecter la position du miroir mobile o les chemins optiques sont de même longueur en fixant la valeur de seuil du convertisseur 8 à une valeur à laquelle
le rendement d'interférence est maximal.
La machine de mesure de longeurs 6 constituée de l'échelle 61 et du capteur 62 envoie le signal impulsionnel 6A à la partie de détection de position 11 et à la partie de comptage de distance 12 chaque fois que le miroir mobile 5 est déplacé du pouvoir séparateur en distance du capteur 62. La partie de détection de position 11 est déclenchée par le signal d'origine 8A pour compter le nombre d'impulsions du signal impulsionnel 6A et s'arrête de compter pour o0 envoyer un signal de position 31 au mécanisme de déplacement rectiligne 17 et à une partie de comptage de distance 18 lorsque le miroir mobile 5 est déplacé d'une distance arbitraire, c'est-à-dire lorsque le nombre d'impulsions
du signal impulsionnel 6A atteint une valeur arbitraire.
La partie de comptage de lumière interférente 13 commence à compter le nombre d'impulsions d'une signal émis par le convertisseur 10 lorsqu'elle reçoit le signal d'origine 8A du convertisseur 8 et s'arrête de compter lorsqu'elle reçoit le signal de détection de position 11A de la partie de détection de position 11 pour envoyer le résultat de comptage K au calculateur 14. La partie de comptage de distance 12 commence à compter le signal impulsionnel 6A émis par le capteur 62 de la machine de mesure de longueurs 6 lorsqu'elle reçoit le signal d'origine 8A du convertisseur 8 et s'arrête de compter lorsqu'elle reçoit le signal de détection de position 11A de la partie de détection
de position 11 pour envoyer le résultat de comptage N au calculateur 14.
Le calculateur 14 fait un calcul en substituant le résultat de comptage N venant de la partie de comptage de distance 12 dans l'équation L = N x (définition de la machine de mesure de longueurs), dans laquelle L est la distance de déplacement du miroir mobile 5, et fait en outre un calcul en substituant la distance de déplacement L et le nombre d'impulsions de la lumière interférente venant de la partie de comptage de lumière interférente 13 dans l'équation X = 2LUK, dans laquelle x est la longueur d'onde de la lumière à mesurer, pour envoyer les données de longueur d'onde de la lumière à mesurer à un afficheur
, qui affiche ces données que lui envoie la partie de calcul 14.
Dans la présente invention, la lumière blanche, dont le rendement d'interférence est maximal lorsque le miroir mobile est situé à un endroit o le chemin optique qui l'atteint est de même longueur que celui qui atteint le miroir fixe, tombe sur un interféromètre, et un étalonnage de distance est effectué relativement à la position du miroir mobile o le rendement d'interférence est maximal de façon qu'il soit possible de fixer une origine sur une échelle d'une machine de mesure de longueurs n'ayant pas d'origine pour fournir un long domaine de déplacement du miroir mobile pour une mesure précise d'une
longueur d'onde de lumière.
Claims (1)
- REVENDICATIONOndemètre optique employant une machine de mesure de longueurs, caractérisé par le fait qu'il comprend: un diviseur de faisceau (3) qui divise en deux faisceaux un faisceau émis par une source lumineuse (1) à mesurer, un miroir fixe (4) destiné à renvoyer au diviseur de faisceau (3) un des faisceaux formés par celui-ci, un miroir mobile (5) qui renvoie au diviseur de faisceau (3) I'autre faisceau formé par celui-ci, une machine de mesure de longueurs (6) qui est pourvue d'une échelle (61) et d'un capteur (62) et émet un signal impulsionnel (6A) chaque fois que le miroir mobile (5) est déplacé du pouvoir séparateur en distance du capteur (62), un premier récepteur de lumière (9) qui convertit en un signal électrique la lumière interférente produite lorsque les faisceaux partiels se rejoignent, un premier convertisseur (10) qui convertit en impulsions un signal analogique produit par le récepteur de lumière (9), une partie de détection de position (11) qui compte un certain nombre d'impulsions du signal impulsionnel (6A) et s'arrête de compter pour émettre un signal de détection de position (11A) lorsqu'elle détecte un déplacement d'une distance arbitraire du miroir mobile (5), une partie de comptage de lumière interférente (13) destinée à compter un certain nombre d'impulsions émises par le convertisseur (10), une partie de comptage de distance (12) destinée à compter un certain nombre d'impulsions émises par le capteur (62) de la machine de mesure de longueurs (6), un calculateur (14) qui calcule la longueur d'onde de la lumière à mesurer d'après le nombre d'impulsions de la lumière interférente compté par la partie de comptage de lumière interférente (13) et celui compté par la partie de comptage de distance (12), et un afficheur (15) destiné à afficher la valeur de la longueur d'onde calculée émise par le calculateur (14), cet ondemètre optique comprenant en outre: une source de lumière blanche (2) destinée à émettre une lumière ayant un rendement d'interférence maximal lorsque le miroir mobile est situé à un endroit o le chemin optique qui l'atteint est de même longueur que celui qui atteint le miroir fixe, un deuxième récepteur de lumière (7) qui convertit en un signal électrique la lumière interférente émise par la source de lumière blanche (2), et un deuxième convertisseur (8) qui envoie un signal d'origine (8A) a la partie de détection de position (11), à la partie de comptage de distance (12) et à la partie de comptage de lumière interférente (13) lorsque le signal d'interférenceémis par le deuxième récepteur de lumière (7) dépasse une valeur fixée.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6085636A JPH07270245A (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 測長器を用いた光波長計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2718235A1 true FR2718235A1 (fr) | 1995-10-06 |
| FR2718235B1 FR2718235B1 (fr) | 1997-09-19 |
Family
ID=13864324
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR9503556A Expired - Fee Related FR2718235B1 (fr) | 1994-03-31 | 1995-03-27 | Ondemètre optique employant une machine de mesure de longueurs. |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5523838A (fr) |
| JP (1) | JPH07270245A (fr) |
| DE (1) | DE19509598C2 (fr) |
| FR (1) | FR2718235B1 (fr) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19504444B4 (de) * | 1995-02-10 | 2004-05-13 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Interferometeranordnung mit verstellbarer optischer Weglängendifferenz |
| GB9912687D0 (en) * | 1999-06-02 | 1999-08-04 | Secr Defence | High speed optical analogue to digital converter and digital optical wavemeter |
| US6462823B1 (en) * | 2001-04-13 | 2002-10-08 | Agilent Technologies, Inc. | Wavelength meter adapted for averaging multiple measurements |
| JP5544679B2 (ja) * | 2007-08-20 | 2014-07-09 | 富士通株式会社 | 段差表面形状の計測方法および計測装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3936193A (en) * | 1974-02-13 | 1976-02-03 | Eocom Corporation | Multiplex interferometer |
| US4310245A (en) * | 1980-03-19 | 1982-01-12 | Pritchard James L | Interferometer system |
| US4537508A (en) * | 1983-03-01 | 1985-08-27 | Laser Precision Corporation | Interferometer spectrometer having improved scanning reference point |
| EP0478801A1 (fr) * | 1990-04-18 | 1992-04-08 | Advantest Corporation | Interferometre michelson |
| DE4422641A1 (de) * | 1993-06-30 | 1995-01-19 | Ando Electric | Optisches Wellenmeßgerät |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4444501A (en) * | 1982-02-12 | 1984-04-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Stabilization mechanism for optical interferometer |
| US4413908A (en) * | 1982-03-05 | 1983-11-08 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Scanning interferometer control systems |
| US5110211A (en) * | 1990-01-04 | 1992-05-05 | Shoji Niki | Optical interference signal extractor with device for reduced noise from optical light power variation |
| JP2604052B2 (ja) * | 1990-03-29 | 1997-04-23 | アンリツ株式会社 | 光波長測定装置 |
| JPH0719964A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-20 | Ando Electric Co Ltd | 光波長計 |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6085636A patent/JPH07270245A/ja active Pending
-
1995
- 1995-03-09 US US08/401,165 patent/US5523838A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-03-16 DE DE19509598A patent/DE19509598C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-03-27 FR FR9503556A patent/FR2718235B1/fr not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3936193A (en) * | 1974-02-13 | 1976-02-03 | Eocom Corporation | Multiplex interferometer |
| US4310245A (en) * | 1980-03-19 | 1982-01-12 | Pritchard James L | Interferometer system |
| US4537508A (en) * | 1983-03-01 | 1985-08-27 | Laser Precision Corporation | Interferometer spectrometer having improved scanning reference point |
| EP0478801A1 (fr) * | 1990-04-18 | 1992-04-08 | Advantest Corporation | Interferometre michelson |
| DE4422641A1 (de) * | 1993-06-30 | 1995-01-19 | Ando Electric | Optisches Wellenmeßgerät |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2718235B1 (fr) | 1997-09-19 |
| DE19509598A1 (de) | 1995-10-05 |
| DE19509598C2 (de) | 1997-10-16 |
| US5523838A (en) | 1996-06-04 |
| JPH07270245A (ja) | 1995-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0790484B1 (fr) | Mécanisme de correction d'erreur de position horizontale pour niveau électronique | |
| CN102460209B (zh) | 距离测量装置 | |
| JP5901004B2 (ja) | 距離又は距離変化を測定するためのセンサ及び方法 | |
| US5619317A (en) | Light-wave distance meter based on light pulses | |
| JP5659293B2 (ja) | 位相シフト干渉計 | |
| KR20040019387A (ko) | 3차원 거리측정 이미지를 기록하기 위한 방법 및 장치 | |
| KR970707424A (ko) | 교정가능한 광학거리감지시스템 및 방법(Calibratable Optical Disatance Sensing System and Method) | |
| FR2473702A1 (fr) | Appareil de mesure electro-optique | |
| JPWO2018160886A5 (fr) | ||
| FR2579766A1 (fr) | Procede et appareil de mesure de distance avec un faisceau laser | |
| JP2828162B2 (ja) | 絶対測定用の干渉測定方法およびこの方法に適したレーザー干渉計装置 | |
| US9897691B2 (en) | Device and method for measuring distance values and distance images | |
| EP2191281B1 (fr) | Capteur de vitesse de gaz | |
| EP3227721A1 (fr) | Dispositif de mesure de distance et procédé de détermination d'une distance | |
| FR2718235A1 (fr) | Ondemètre optique employant une machine de mesure de longueurs. | |
| JPH05232232A (ja) | 位相測定装置及び距離測定装置 | |
| FR2716716A1 (fr) | Ondemètre optique. | |
| JP2001033209A (ja) | 距離計 | |
| EP0669525A2 (fr) | Système interférométrique de détection et de localisation de défauts réflecteurs de structures guidant la lumière | |
| CN110196107B (zh) | 一种太赫兹线宽测量装置及方法 | |
| CN114114290A (zh) | 数据校正装置、测量系统和校正方法 | |
| SE460382B (sv) | Foerfarande foer att faststaella en upptraedande diskrepans mellan tvaa optiska vaegstraeckor samt anordning anpassad foer utfoerande av foerfarandet | |
| JP2000028719A (ja) | 測距装置 | |
| EA013559B1 (ru) | Способ измерения линейного перемещения объекта и устройство для его осуществления | |
| JP2003329432A (ja) | 非接触寸法測定機の校正方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ST | Notification of lapse |