FR2665185A1 - Revetement anti-usure sur un substrat a base titane. - Google Patents

Revetement anti-usure sur un substrat a base titane. Download PDF

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Abstract

Un procédé de déposition d'un revêtement anti-usure en Ag ou choisi dans le groupe des matériaux formé par Cr, Ni, Co, pris séparément ou en mélange entre eux avec ou sans particules céramiques telles que SiC, Cr2 C3 , Al2 O3 , Cr2 O3 , sur un substrat à base titane est décrit. Selon l'invention, il comporte les étapes suivantes: a) rugosification du substrat par sablage, b) dépôt d'une sous-couche d'accrochage de nickel par pulvérisation cathodique, c) étape intermédiaire de nettoyage d) activation par immersion de la pièce dans un bain cyanuré, e) dépôt de la couche finale anti-usure en Ag ou choisie dans le groupe formé par Cr, Ni, Co pris seuls ou en mélange entre eux avec ou sans particules céramiques telles que SiC, Cr2 C3 , Al2 O3 , Cr2 O3 .

Description

DESCRIPTION
Le domaine de la présente invention est celui des procédés de déposition de revêtements anti-usure sur des pièces en
titane ou en alliage de titane et les revêtements ainsi obtenus.
Il est très difficile d'obtenir des dépôts très adhérents
sur le titane et ses alliages en raison de la grande15 passivité de ceuxci.
On a déjà proposé de faire subir un traitement préliminaire aux pièces à revêtir avant de procéder au dépôt anti-usure proprement dit, afin d'améliorer20 l'adhérence de celui-ci On a déjà ainsi proposé de réaliser les traitements préliminaires suivants: Attaque anodique dans des mélanges glycol acide fluorhydrique, acide acétique;25 Prédépot de zinc à partir de mélanges glycol fluorures métalliques ou de mélanges aqueux à base d'acide fluoroborique, fluorhydrique et de sels métalliques; Décapages de longue durée dans les acides chlorhydrique ou sulfurique chlorhydrique concentrés suivis de dépôts de
fer, nickel ou cobalt en bains très acides.
Dans toutes ces méthodes, il est nécessaire ou recommandé de combiner le traitement préliminaire avec un traitement thermique entre 4000 C et 8000 C en atmosphère non contaminante vis a% vis du titane afin d'améliorer la tenue du revêtement métallique Toutefois cette tenue n'est jamais excellente En particulier, le revêtement obtenu ne résiste pas à l'usinage ou à la rectification. On a aussi proposé dans le document FR-A-l 322 970 de réaliser un-traitement préliminaire par voie chimique en milieu oxydant consistant à soumettre la pièce à l'action d'un bain d'anhydride chromique, de phosphate alcalin et d'acide fluorhydrique pendant 5 à 30 mn à une température comprise entre 350 C et 1000 C Mais cette gamme présente le double inconvénient d'être génératrice d'hydures dans le revêtement et d'assurer une pénétration indésirable15 d'hydrogène dans le substrat lors des opérations
électrolytiques ultérieures.
L'invention a donc pour but de s'affranchir des inconvénients précités, en supprimant la génération d'hydrures par la suppression des traitements chimiques
préalables du substrat et en freinant la pénétration d'hydrogène dans le substrat lors du processus électrolytique de dépôt de la couche anti-usure.
L'invention a également pour but de permettre un dépôt anti-usure sur des pièces en titane tout en diminuant la chute de fatigue par rapport aux procédés antérieurs et permettant de ce fait d'utiliser des substrats en titane30 revêtus pour des pièces soumises à une fatigue cyclique, là o les pièces obtenues par les procédés antérieurs ne
le permettent pas.
L'invention a donc pour objet de réaliser une gamme de dépôt dans laquelle on associe les techniques de dépôt de nickel par pulvérisation cathodique magnétron afin d'assurer une sous-couche particulièrement adhérente au substrat à% un dépôt électrolytique permettant la déposition d'une couche finale anti-usure. L'invention a plus particulièrement pour objet de définir des paramètres de déposition de nickel par pulvérisation cathodique, compatibles avec les dépôts électrolytiques
ultérieurs.
L'invention a donc pour objet un procédé de déposition d'un revêtement anti-usure en Ag ou choisi dans le groupe des matériaux formé par Cr, Ni, Co, pris séparément ou en mélange entre eux, avec ou sans particules céramiques telles que Si C Cr 2 C 3, A 1203, Cr 2 03 sur un substrat à base titane caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes a) rugosification du substrat par sablage, b) dépôt d'une sous-couche d'accrochage de nickel par pulvérisation cathodique; c) étape intermédiaire de nettoyage; d) activation électrolytique par immersion de la pièce dans un bain cyanure; e) dépôt d'une couche de nickel électrolytique; d) dépôt de la couche finale anti-usure en Ag ou choisie dans le groupe formé par Cr, Ni, Co, pris seuls ou en mélange entre eux avec ou sans particules céramiques
telles que Si C, Cr 203, A 1203, Cr 203.
Selon une particularité de l'invention l'étape (b) pourra être réalisée en deux sous-étapes successives, (bl) et (b 2), effectuées sous atmosphère de gaz inerte, les deux sous-étapes étant: bl) décapage ionique du substrat dans une enceinte à vide a% une pression comprise entre 1 10-1 et 50 Pa b 2) nickelage par pulvérisation cathodique sous atmosphère inerte obtenue par introduction d'argon dans l'enceinte, à une pression comprise entre 2 10-1 et Pa. Avantageusement l'étape (b 2) sera réalisée par pulvérisation cathodique à cathode magnètron, et de façon
préférentielle à% une pression comprise entre 0,4 et 0,8 Pa.
D'autres caractéristiques du procédé seront précisées par
la suite.
L'invention a également pour objet les pièces ainsi obtenues sur un substrat à base de titane et comportant depuis le substrat jusqu'à la surface: Une couche de Ni déposée par pulvérisation cathodique
magnètron et d'épaisseur comprise entre 3 et 7 microns.
Une couche de Ni électrolytique obtenue par prénickelage en bain acide suivie d'un nickelage en bain sulfamate, ladite couche ayant une épaisseur comprise entre 18 et 20 microns.25 Une couche finale anti- usure en Ag ou d'un matériau choisi soit dans le groupe formé par Cr, Ni, Co, pris seuls ou en mélange entre eux avec ou sans particules céramiques telles que Si C Cr 2 C 3, A 1203, Cr 203
ladite couche ayant une épaisseur supérieure à 8030 microns.
D'autres caractéristiques du procédé selon l'invention vont être décrites dans le complément qui va suivre accompagné de 2 planches représentant des courbes d'essais de fatigue en flexion rotative sur des éprouvettes toriques en TA 6 V, selon divers états de finition indiqués
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en légende pour des pièces réalisées selon l'état de la technique défini par le brevet FR-A-1 322 970 ou selon l'invention. Les courbes donnent les contraintes admissibles en
flexion rotative selon le nombre de cycles effectués.
Pour décrire plus en détail l'invention, on explicitera la gamme de déposition à partir d'exemple de dépôts effectués sur des éprouvettes d'alliage de titane TA 6 V a% l'état coulé Les éprouvettes utilisées ont été les suivantes:15 des barreaux de diamètre 30 mm et de hauteur 80 mm des plaques de 100 X 20 X 2 mm des alésages de diamètre 30 mm et de hauteur 12 mm perces
dans des barreaux.
On a tout d'abord procédé à une opération de
rugosification du substrat, par sablage à sec au corindon de 50 microns ou par sablage humide au quartz de 40 microns, opération que des essais avaient démontré25 souhaitable pour obtenir ensuite une adhérence satisfai- sante du nickel déposé dans les opérations suivantes.
Les pièces sont ensuite placées en enceinte sous vide dans
la gamme du vide secondaire élevé, i e à une pression30 comprise entre 3 10-4 et 3 10-1 Pa.
On fait alors subir au substrat un décapage ionique qui nettoie le substrat par enlèvement de matière Pour ce faire, les pièces sont placées en atmosphère de gaz inerte35 par exemple de l'argon injecté dans l'enceinte sous une pression comprise entre 1 10-1 et 50 Pa tandis qu'on applique une tension négative sur le substrat afin d'attirer les ions sur le substrat lors de la décharge luminescente réalisée dans l'enceinte L'opération peut
être réalisée dans une gamme de densités de puissance comprise entre 0, 05 et 0,4 W/cm 2.
Les essais ont montré que la gamme préférée était de 0,1 à 0,15 W/cm 2 pendant une durée comprise entre 15 et 20
minutes.
Après cette opération de décapage ionique du substrat, on procède au dépôt d'une couche d'accrochage de nickel Pour les raisons indiquées plus haut le choix du procédé de
dépôt s'est porté sur un dépôt par pulvérisation cathodique.
On rappelle que cette technique est un procédé de dépôt sous vide fonctionnant à froid, en plasma luminescent,20 dans un gaz maintenu à pression réduite de 0,1 à 10 Pa. Le matériau à déposer, ici du nickel, appelé cible et placé en cathode, est introduit dans l'enceinte à vide sous forme d'une plaque de quelques millimètres d'épais- seur Le substrat est disposé en anode.25 A la pression résiduelle de l'enceinte, le champ électrique créé entre les 2 électrodes provoque l'ionisation du gaz résiduel qui crée un nuage luminescent entre les électrodes.30 Le substrat se recouvre alors d'une couche du même
matériau que la cible, due à la condensation d'atomes en provenance de la cible sous l'impact d'ions positifs35 contenus dans le gaz luminescent et attirés par la cible du fait de sa polarisation négative.
Plus précisément dans l'invention on a choisi d'effectuer le dépôt de nickel d'accrochage par pulvérisation cathodique avec cathode magnétron afin d'accroître la qualité d'adhésion du nickel et d'augmenter la vitesse du dépôt pour obtenir une gamme d'une durée compatible avec les impératifs de la production industrielle. Avec une cathode magnétron on combine au champ électrique un champ magnétique intense perpendiculaire au précédent, c'est à dire parallèle à la cible Cette superposition des deux champs a pour effet d'enrouler les trajectoires électroniques autour des lignes de champ magnétique, augmentant considérablement les chances d'ioniser une molécule de gaz au voisinage de la cathode L'efficacité d'ionisation des électrons secondaires émis par la cathode est augmentée du fait de l'allongement de leurs trajectoires Cette augmentation de densité ionique à proximité de la cible entraîne une augmentation importante du bombardement ionique de cette dernière d'ou un
accroissement de la quantité d'atomes éjectés pour une même tension appliquée.
Selon l'invention le substrat à revêtir placé en position d'anode, a été polarisé à une tension comprise entre -20 et -500 V. Les meilleurs résultats ont été obtenus entre-100 et-150 V. La cible était en nickel pur et elle a été bombardée avec une densité de puissance comprise entre 70 et 700 W/dm 2, le choix de la densité de puissance de bombardement de la cible étant effectué en fonction de la température admissible par le substrat 'à recouvrir. La pulvérisation a été réalisée sous atmosphère inerte dans une gamme de-pression comprise entre 0,2 et 5 Pa, les
meilleurs résultats étant obtenus entre 0,4 et 0,8 Pa.
Pour obtenir un dépôt de nickel de 5 à 7 microns, des
durées comprises entre 45 et 60 minutes ont été suffisantes, ce qui présente un avantage notable par rapport aux techniques antérieures qui nécessitaient15 plusieurs heures.
La pièce subit ensuite un dégraissage alcalin au trempé
pendant 3 à 7 minutes (typiquement 5) dans un bain aqueux contenant 30 à 45 g/l de Turco 4215 NCLT ou 40 à 60 g/l de20 Ardrox PST 39 (marques déposées).
La pièce subit alors un rinçage à l'eau froide avec
vérification de la continuité du film d'eau.
On effectue ensuite une activation électrolytique de la pièce par trempage de celle-ci pendant une minute sous une
densité de courant (d d c) de 1,5 à 3 A/dm 2 dans un bain aqueux comportant de 60 à 80 g/l de KCN et de 10 à 50 g/l de K 2 C 03.
La pièce subit alors un nouveau rinçage à l'eau froide puis on effectue des opérations de nickelage électrolytique. Celles-ci sont réalisées en deux étapes successives -el) prénickelage en bain acide (p H 1,1) dans les conditions opératoires suivantes: température: 50 + 5 C d d c: 6 + 1 A / dm 2 pendant 3 mn puis 4 + 1 A/dm 2 pendant l Omn dans un bain contenant: Ni C 12, 6 H 20: 280 à 350 g/1 Ni métal: 69 à 86 g/1 H 3 803: 28 à 35 g/1
L'épaisseur moyenne déposée est de 15 microns.
La pièce est ensuite rincée à l'eau froide.
e 2) nickelage en bain sulfamate dans les conditions opératoires suivantes: température: 50 + 50 C d d c: 2 A/dm 2 pendant 5 mn
puis 4 A/dm 2 pendant 5 mn.
dans un bain contenant Ni sulfamate: 75 à 90 g/l Ni C 12, 6 H 20: 18 g/1 ion chlorure Cl: 3,75 à 5,60 g/1 H 3 B 03 30 à 40 g/1 L'épaisseur de nickel déposé est comprise entre 3 et 5 microns.
La pièce est ensuite rincée à l'eau froide.
La pièce peut ensuite recevoir son revêtement anti-usure
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tel que des revêtements en Cr, en Ni-Co, Ni Co Si C ou Ag-
Ni. Un premier exemple peut être donné avec un revêtement de chrome électrolytique obtenu sous les conditions
opératoires suivantes.
température: 54 + 10 C d d c: 25 A/dm 2 pendant 10 mn puis : 20 A/dm 2 pendant 12 heures dans un bain contenant: Cr 03: 225 à 275 g/l H 2 SO 4: 2 a 3 g/l Cr +++: 2,5 à 8 g/l
avec Cr 03 / H 2 504 compris entre 90 et 120.
L'épaisseur moyenne obtenue est comprise entre 120 et 150 microns. Un autre exemple de revêtement anti-usure est le Ni-Co à 29 % Co. Le rapport massique Ni/Co utilisé est de 20 et la somme
Ni + Co en solution est de 87,5 g/l.
Le nickel et le cobalt sont introduits dans le bain sous la forme de sulfamate de nickel Ni (NH 2 503)2, 4 H 20 et de sulfamate de cobalt Co(NH 2503)2, 4 H 20 dans les conditions opératoires suivantes: température 50 + 2 C p H 3,9 + 0,1 d d c 2 A/dm 2 pendant 10 mn puis
4 A/dm 2 pendant 3 h 25 mn.
les pièces sont placées sur un montage tournant et le
bain agité à l'air comprimé.10 L'épaisseur moyenne obtenue est de 120 à 140 microns.
Après obtention de l'un des revêtements anti usure précités, la pièce est rincée à l'eau froide puis séchée à15 l'air comprimé, puis subit un dégazage à 2000 + 50 C pendant 3 h. Afin de déterminer la tenue en fatigue des pièces à base titane revêtues des dépôts anti-usure selon l'invention,20 des essais de fatigue en flexion rotative sur des
éprouvettes toriques ont été réalisés.
Des éprouvettes revêtues selon l'invention ont été pour
cela comparées à des éprouvettes revêtues selon l'état de25 la technique antérieure représenté par l'enseignement du document FR-A-1322970.
Les tableaux joints en annexe illustrent les opérations
qui ont été effectuées Ces tableaux font partie30 intégrante de la présente description.
Le tableau 1 montre les gammes de traitement appliquées à 56 éprouvettes dont certaines laissées à diverses étapes du procédé de revêtement avant de leur faire subir des essais de fatigue de flexion rotative. Le tableau 2 illustre les conditions opératoires précises d'électrolyse effectuée lors des opérations indiquées dans
le tableau 1.
Les courbes des planches 1 et 2 illustrent ces résultats en montrant lors des essais de fatigue en flexion rotative la variation des contraintes en fonction du nombre de cycles selon l'état de finition des pièces et selon qu'elles ont été obtenues par l'invention ou selon l'état
de la technique.
Les courbes montrent que les pièces revêtues selon l'invention ont une chute de fatigue en flexion rotative beaucoup plus faible que celles réalisées selon l'état de
la technique illustré par le brevet FRA 1 322 970.
Les contraintes maximales admissibles au bout de 108 cycles, peuvent a partir de ce tableau être résumées ainsi, selon que les revêtements (nickelage seul, Ni Co, Cr) on été réalisés au moyen de l'invention ou selon l'6 tat de la technique l I Substrat I l I I l v (M Pa) ITA 6 V I Prénickelagel Ni Col Cr 1 l(réf) I I I I l I l ETAT DE LA I 500 l TECHNIQUE 1 l 200 l
1 1 1
I 170 l 250 l
1 1 1
l I I I I l INVENTION I 500 I 380 1 380 1 440 Le tableau 3 montre les résultats d'essais de fatigue vibratoire réalisés, en fonction de la nature du
traitement réalisé sur chaque échantillon, du nombre de cycles et des contraintes maximales appliquées.
l
GAMMES DE TRAITEMENT APPLIQUEES SUR
EPROUVETTES DE FATIGUE DE FLEXION ROTATIVE
Tabteau 1
REPERES DES EPROUVETTES GAMMES DE TRAITEMENT
42-33-26-38-35-29-40 Etat rectifié poli + Nickel PVD ( 1) 64-65-66-67-68-69-70 Sablage sec + Nickel PVD ( 1) -51-52-53-54-55- 56 Sablage sec + Ni PVD + pré-nickelage p H 1,1 + ( 1) nickelage sulfamate -37-32-36-34-30-33 Sablage sec + Ni PVD + pré-nickelage pi H 1,1 + nickelage sulfamate + nickel- cobalt ( 1) -31-41-36-37-38-39 Idem ci-dessus + chrome ( 1) 9-10-11-12-13- 14-16 Sablage sec + activation + pré-nickelage pl I 1,1 nickelage sulfamate ( 2) 57-58-59- 60-61-62-63 Même gamme de préparation + chrome ( 2) 17-19-20-21-22-23-24 Idem ci-dessus + nickel cobalt ( 2) ( 1) Gamme Selon l'invention (nickel PVD + dépôts électrolytiques) ( 2) Gamme selon l'état de latechnique (préparation chimique + dépôts galvaniques) -N CM 4 ul o, ul sosa Ao Va Jd? z = 1 I queuanol O Peguo N (*) SZ 4 I80 t z Lz sottú 8 oziz t ( 1 Ileqoa op % 6 Z) ll VU 03-'13-10 I N ol toz 5 úT z o T toz 5 Sú z tiz otoz o 09 g oz 800 oo S ootz5 E
HNWOUIID
ol o SSZooli Sz o O 080 t ozzz ot S 80 t z Zz t S 80 to zz a&LVJ 4 Vdlfl-1 a 3 13 IN S 'oz 9 El z S t'oz Sú z oî 65 t 90 ú S' o O 8 o O zzz 1 Ile Ild a DV I 131 D 1 N-g Hd V V 9 t IC 9198 ot S 8 u 1 l Vm Vm Zwp/v 'u TU vm v Zwp/v oaanp ZI I I opp *Panp ZI II:P*P uotluar Il op r p zi il ap *p anb Tuqoal S N I v a uoiqua^ur I uolas Uf NNVD e I op14 e 4 U O o 1 ls14 VD z nv? 7 qv 1 a AI'$ON NOI Xal J 3 ar afl Bl IS Vd aa 311 t 1 I An Oi O da ad 591 fs Saafi 13 hdd V (*) a SÀI O q M 3 a a 1 i SU 10 LV Uad O SNOI&IUNOD ui ui I.- sojja Ario ida E = Z 1
RESULTATS D'ESSAIS DE FATIGUE VIBRATOIRE
Tabfeau 3 Contrainte Chute de Contrainte Chute de maximale limite de maximale limite de NATURE DU TRAITEMENT fatigue fatigue cycles 108 cycles ( 1) TA 6 V état de référence 600 M Pa / 520 M Pa / ( 2) Etat rectifié poli+nickel PVD ( 1) 570 M Pa 5 % 420 M Pa 19 % ( 3) Etat sablage sec + nickel PVD ( 1) 550 M Pa 9 % 420 M Pa 19 %
( 4) Sablage sec + nickel PVD + pré-
nickelage + nickel sulfamate ( 1) 550 9 % 400 M Pa 23 % ( 5) Idem gamme ( 4) + nickel-cobalt 0,1 mm + 3 h 200 C ( 1) 480 M Pa 20 % 380 M Pa 27 % ( 6) Idem gamme ( 4) t chrome 0,1 mm 520 M Pa 13 440 Ml'a 15 % 3 h 200 C
( 7) Sablage sec t activation + pré-
nickelage + nickel sulfamate ( 2) 400 M Pa 33 % 200 M Pa 61 % ( 8) Idem gamme ( 7) + nickel-cobalt 0,1 mm 3 h 200 C ( 2) 300 M Pa 50 % 170 M Pa 67 %
( 9) Idem gamme ( 7) t chrome 0,1 mm t-
3 h 200 C ( 2) 280 M Pa 53 % 250 M Pa 52 % ( 1) Gamme selon l'invention (nickel PVD + dépôts électrolytiques) ( 2) Gamme selon l'état de la technique (préparation chimique + dépôts électrolytiques) Si on examine comparativement les résultats de ces essais sur des pièces à même niveau de revêtement, selon que le revêtement est obtenu selon l'invention et selon l'état de la technique, on peut voir les points suivants: La chute de limite de fatigue après 108 cycles de pièces ayant subi seulement les nickelages (donc avant revêtement final) est de 61 % si la pièce est obtenue selon l'état de la technique antérieure, mais seulement de 23 % si la
pièce est obtenue par nickel PVD puis électrolyse comme préconisé par l'invention.
A l'état revêtu, pour des revêtements de chrome de 0,1 mm d'épaisseur, la chute de limite de fatigue est de 52 %
pour les pièces selon l'état de la technique et seulement de 15 % pour les pièces selon l'invention.
Pour les revêtements nickel-cobalt de 0,lmm, la différence est encore plus importante car la chute de limite de
fatigue de 67 % pour l'état de la technique, tombe 'à 27 % pour les pièces selon l'invention.
Les résultats indiqués ci-dessus montrent que l'invention permet de limiter notablement l'abaissement de la limite de fatigue des pièces revêtues de dépots protecteurs par rapport au substrat non revêtu, tant en fatigue vibratoire qu'en fatigue par flexion rotative.30 En réalisant ainsi un procédé industriellement exploitable (en raison de ses durées comparativement limitées par rapport a l'état de l'art) pour la réalisation de dépôts anti-usure fiables et durables sur des substrats en35 alliage de titane, l'invention permet de réaliser en titane revêtu, des pièces qui auparavant n'auraient pas pu
être utilisées en environnement contraignant.
On peut donc utiliser des substrats titane, beaucoup plus légers que les matériaux habituellement utilisés pour des pièces soumises à des contraintes durables de fatigue,
tant en flexion de rotation qu'en fatigue vibratoire.

Claims (7)

REVENDICATIONS
1 Procédé de déposition d'un revêtement anti-usure en Ag ou choisi dans le groupe des matériaux formé par Cr, Ni, Co, pris séparément ou en mélange entre eux avec ou sans particules céramiques telles que Si C, Cr 2 C 3, A 1203, Cr 203, sur un substrat à% base titane caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: a) rugosification du substrat par sablage, b) dépôt d'une sous-couche d'accrochage de nickel par pulvérisation cathodique, c) étape intermédiaire de nettoyage d) activation par immersion de la pièce dans un bain cyanure, e) dépôt de la couche finale anti-usure en Ag ou choisie dans le groupe formé par Cr, Ni, Co, pris seuls ou en mélange entre eux avec ou sans particules céramiques
telles que Si C, Cr 2 C 3, A 1203, Cr 203.
2 Procédé de déposition selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape (b) est constituée de deux sous-étapes successives b 1 et b 2 effectuées sous atmosphère de gaz inerte, lesdites sous-étapes étant
bl) décapage ionique du substrat dans une enceinte à vide à une pression comprise entre 1 10-1 et 50 Pa.
b 2) nickelage par pulvérisation cathodique sous atmosphère inerte obtenue par introduction d'argon dans
l'enceinte, à une pression comprise entre 2 10-1 et 5 Pa.
3 Procédé de déposition selon la revendication 2 caractérisé en ce que la sous-étape b 2 est effectuée à
une pression comprise entre 0,4 et 0,8 Pa.
4 Procédé de déposition selon l'une des revendications 2 ou 3 caractérisé en ce que l'étape (b 2) est effectuée
par pulvérisation cathodique à cathode magnétron.
1 g 92665185
Procédé de déposition selon l'une des revendications 2
ou 3 caractérisé en ce que le substrat à revêtir placé en position d'anode est polarisé à une tension comprise entre -20 et -500 V. 6 Procédé de déposition selon la revendication 5, caractérisé en ce que le substrat est polarisé à une tension comprise entre -100 et -150 V. 7 Procédé de déposition selon la revendication 6 caractérisé en ce que la cible est en nickel pur et en ce qu'elle est bombardée avec une densité de puissance15 comprise entre 70 et 700 W/dm 2, le choix de la densité de puissance de bombardement de la cible étant effectué en
fonction de la température admissible par le substrat à recouvrir.
8 Procédé de déposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 caractérisé en ce que l'étape c) de
nettoyage est réalisée par trempage de la pièce dans un bain alcalin pendant 3 à 7 mn, suivi d'un rinçage à l'eau froide.25
9 Procédé de déposition selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 caractérisé en ce que l'étape (e) est
constituée de deux sous-étapes successives: -el) prénickelage en bain acide à 50 'C + 50 C sous une d.d c de 6 + 1 A/dm 2 pendant 3 minutes puis sous une
d.d c de 4 + l A/dm 2 pendant 10 minutes.
-e 2) nickelage en bain sulfamate sous une d d c comprise
entre 2 et 4 A/dm 2 pendant 5 minutes.
Procédé de déposition selon la revendication 9 caractérisée en ce qu'il comporte des rinçages à l'eau froide entre chacune des étapes d, el, e 2, et f. 11 Pièce dont le substrat est à base de titane, caractérisée en ce que elle comporte depuis le substrat jusqu'à la surface10 une couche de Ni déposée par pulvérisation cathodique
magnétron et d'épaisseur comprise entre 3 et 7 microns.
une couche de Ni électrolytique obtenue par prénickelage en bain acide suivi d'un nickelage en bain sulfamate ladite couche ayant une épaisseur comprise entre 18 et 20 microns. une couche finale anti-usure en Ag ou en un matériau
choisi dans le groupe formé par Cr, Ni, Co, pris seuls ou en mélange entre eux, avec ou sans particules cérami-
ques telles que Si C, Cr 2 C 3, A 1203, Cr 203, ladite couche ayant une épaisseur supérieure à, 80 microns.
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