FR2624778A1 - Embout pour pipette a vide - Google Patents
Embout pour pipette a vide Download PDFInfo
- Publication number
- FR2624778A1 FR2624778A1 FR8718455A FR8718455A FR2624778A1 FR 2624778 A1 FR2624778 A1 FR 2624778A1 FR 8718455 A FR8718455 A FR 8718455A FR 8718455 A FR8718455 A FR 8718455A FR 2624778 A1 FR2624778 A1 FR 2624778A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- flattened
- gripping
- tip
- ether
- avoid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
- B25B11/007—Vacuum work holders portable, e.g. handheld
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
- B25B11/005—Vacuum work holders
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53191—Means to apply vacuum directly to position or hold work part
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Devices For Use In Laboratory Experiments (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
L'embout est remarquable en ce que la partie aplatie 1b présente en bout une zone de préhension par aspiration 1b2 qui est très légèrement surélevée pour réduire la surface portante de la plaquette et éviter son contact avec le reste de ladite partie aplatie.
Description
- 1
Embout pour pipette à vide.
L'invention se rattache au secteur technique de la micro-électronique. Il est connu d'équiper les pipettes à vide, d'un embout conformé pour assurer la préhension par succion de
:-certains composants du type plaquettes de silicium.
Un des problèmes importants qu' a voulu résoudre l'invention est de diminuer au maximum toute contamination des plaquettes. Dans ce but, la partie aplatie de l'embout présente à son extrémité libre, une zône de préhension par aspiration qui est très légèrement surelevée pour réduire la surface portante de la plaquette et éviter son contact avec le reste de
ladite partie aplatie.
D'une manière avantageuse, un bossage est formé périphériquement et concentriquement, d'une manière axiale définissant la zône de préhension et dans laquelle débouche, d'une manière connue, un canal interne de communication avec la
partie arrière de raccordement.
Une autre caractéristique réside en ce que la zone de préhension présente des nervures pour éviter à la plaquette
saisie de se déformer.
Un autre problème qui est résolu selon l'invention est de faciliter la préhension manuelle de l'embout en combinaison avec le corps de la pipette auquel il est assujetti. A cet effet, entre la partie de raccordement arrière et la partie aplatie, est située une partie de préhension profilée et dimensionnée selon des critères
d'ergonomie.
L'invention résoud encore le problème de diminution
des éventuelles possibilités de rayures lors des manipulations.
A cet effet, l'embout est réalisé par injection de
Poly-Ether-Ether-Ketone chargé en fibres de carbone.
D'autres caractéristiques ressortiront de la suite
de la description.
L'invention est exposée ci-après plus en détail à l'aide des dessins annexés dans leosquels: La figure 1 est une vue en plan de l'embout. La figure 2 est une vue en coupe longitudinale
considérée selon la ligne 2-2 de la figure 1.
La figure 3 est une vue en perspective de l'embout.
Afin de rendre plus concret l'objet de l'invention, loon le décrit maintenant d'une manière non limitative en se
référant aux exemples de réalisation des figures des dessins.
D'une manière connue, l'embout désigné dans son ensemble par (1), comprend une partie arrière de raccordement (la) et une partie avant (lb) apte à assurer la préhension d'une plaquette. La partie arrière <la) est généralement constituée par un tube creux destiné à être raccordé en bout du corps de la pipette. Ce tube (la) est en communication au moyen d'un canal interne (lbl) avec la partie avant (lb) qui est aplatie. Le canal (lbl) débouche dans une lumière oblongue axiale (lb2), constituant ainsi une zône de préhension par aspiration. Selon l'invention, la zône de préhension (lb2) est très légèrement en surélévation du plan défini par la partie aplatie (lb) pour réduire en conséquence la surface portante de 251a plaquette (P). Il apparaît que la plaquette (P) n'est pas en contact avec la totalité de la partie aplatie, mais seulement en contact au niveau de la zône de préhension (tracé traits
mixtes, figure 2).
Dans l'exemple illustré, un bossage (lb3) est formé Sopériphériquement et concentriquement à la lumière axiale (lb2)
définissant la zône de préhension pas aspiration.
Suivant une autre caractéristique, pour éviter à la plaquette saisie de se déformer, des nervures (lb4) sont formées dans la zône de préhension, notamment au niveau de la 351umière oblongue (lb2). L'extrémité avant de la zône de 3- préhension est raccordée à la face de dessous de la partie
aplatie (lb) par un large rayon de courbure (lb5).
D'une manière avantageuse, l'embout (1) est réalisé par injection d'un Poly-Ether-Ether-Ketone chargé en fibres de carbone. Cela permet une diminution du risque de rayures lors de la manipulation, et permet au produit de travailler jusqu'à
une température pouvant atteindre 310'C.
On prévoit également pour faciliter et améliorer la préhension menuelle de l'embout en combinaison avec le corps de lola pipette (non représenté), de former au niveau du raccordement de la partie arrière (la) et de la partie avant aplatie (lb), une partie de préhension (lc) profilée et
dimensionnée selon des critères d'ergonomie.
Les avantages ressortent bien de la description.
Claims (6)
- -1- Embout pour pipettes à vide, comprenant une partie de raccordement (1c) avec la pipette en communication avec une partie aplatie (lb) conformée pour saisir certains composants du type plaquettes de silicium, caractérisé en ce que la partie aplatie (lb) présente en bout une zône de préhension par aspiration (lb2) qui est très légèrement surélevée pour réduire la surface portante de la plaquette et éviter son contact avecle reste de ladite partie aplatie.
- -2- Embout selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un bossage (lb3) est formé périphériquement et concentriquement, à une lumière axiale (lb2) définissant la zone de préhension et dans laquelle débouche, d'une manière connue, un canal internede communication avec la partie arrière de raccordement.
- -3- Embout selon la revendication 1, caractérisé en ce que la zône de préhension présente des nervures pour éviter à laplaquette saisie de se déformer.
- -4- Embout selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'extrémité avant de la zône de préhension est raccordée à la face de dessous de la partie aplatie, par un large rayon decourbure.
- -5- Embout selon la revendication 1, caractérisé en ce que, entre la partie du raccordement arrière et la partie aplatie, est située une partie de préhension profilée et dimensionnéeselon des critères d'ergonomie.
- -6- Embout selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il est réalisé par projection de Poly-Ether-Ether-Ketone chargé defibres de carbone.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8718455A FR2624778B1 (fr) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | Embout pour pipette a vide |
JP63323223A JPH01266859A (ja) | 1987-12-22 | 1988-12-21 | 真空ピペット用端部 |
KR1019880017278A KR960001172B1 (ko) | 1987-12-22 | 1988-12-22 | 진공 피펫(pipette)용 팁 |
DE3843370A DE3843370C2 (de) | 1987-12-22 | 1988-12-22 | Mundstück für Saugheber |
US07/515,790 US4981315A (en) | 1987-12-22 | 1990-04-24 | Tip for a vacuum pipette |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR8718455A FR2624778B1 (fr) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | Embout pour pipette a vide |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2624778A1 true FR2624778A1 (fr) | 1989-06-23 |
FR2624778B1 FR2624778B1 (fr) | 1994-09-23 |
Family
ID=9358504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR8718455A Expired - Fee Related FR2624778B1 (fr) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | Embout pour pipette a vide |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4981315A (fr) |
JP (1) | JPH01266859A (fr) |
KR (1) | KR960001172B1 (fr) |
DE (1) | DE3843370C2 (fr) |
FR (1) | FR2624778B1 (fr) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5280979A (en) * | 1991-06-20 | 1994-01-25 | Recif, S.A. | Tip for a vacuum pipette with improved electrostatic discharge properties |
DE4342901A1 (de) * | 1993-12-16 | 1995-06-22 | Itt Ind Gmbh Deutsche | Saugpinzettenkopf |
KR0135802B1 (ko) * | 1994-07-11 | 1998-04-29 | 김광호 | 웨이퍼 운반장치 및 운반장치 제조방법 |
US5580112A (en) * | 1995-05-10 | 1996-12-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Vacuum pencil having a short tip with an abutment means |
US6074609A (en) * | 1996-04-24 | 2000-06-13 | Glaxo Wellcome Inc. | Systems for arraying beads |
US6151973A (en) * | 1999-01-29 | 2000-11-28 | Glaxo Wellcome Inc. | Bead picking apparatus and method |
US6183026B1 (en) * | 1999-04-07 | 2001-02-06 | Gasonics International Corporation | End effector |
KR20020049041A (ko) * | 1999-11-09 | 2002-06-24 | 칼 하인쯔 호르닝어 | 흡인에 의하여 전기 부품을 흡착하기 위한 진공 피펫 |
WO2001050503A1 (fr) * | 1999-12-30 | 2001-07-12 | Speedfam-Ipec Corporation | Organe effecteur passif perfectionne pour plaquettes |
US6471917B1 (en) | 2000-04-11 | 2002-10-29 | Affymax, Inc. | System and method for single or multiple bead distribution with an adjustable capillary |
US20030234548A1 (en) * | 2002-06-24 | 2003-12-25 | Ravinder Aggarwal | Wafer handler |
US20070297885A1 (en) * | 2006-06-27 | 2007-12-27 | Jean Michel Processe | Product designed to be used with handling system |
CN103337471A (zh) * | 2013-06-15 | 2013-10-02 | 成都聚合科技有限公司 | 一种太阳能光伏硅电池片真空吸笔 |
CN103346113A (zh) * | 2013-06-15 | 2013-10-09 | 成都聚合科技有限公司 | 一种聚光光伏电池片真空吸笔 |
CN104190486B (zh) * | 2014-09-25 | 2015-09-09 | 浙江硕华医用塑料有限公司 | 一次性扁平移液吸头 |
CN104392951A (zh) * | 2014-10-09 | 2015-03-04 | 昆山诃德新能源科技有限公司 | 一种聚光太阳能电池片不挂尘真空吸笔 |
CN105304544B (zh) * | 2015-11-18 | 2018-01-23 | 颀中科技(苏州)有限公司 | 真空吸笔 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2631502A1 (de) * | 1976-07-13 | 1978-01-19 | Siemens Ag | Greifwerkzeug fuer eine saugpinzette |
FR2591138A1 (fr) * | 1985-12-10 | 1987-06-12 | Recif Sa | Procede de fabrication d'embouts pour pipettes a vide notamment et les embouts obtenus par la mise en oeuvre du procede. |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US954927A (en) * | 1909-03-10 | 1910-04-12 | Charles L Burdick | Sheet or card lifter. |
US1302028A (en) * | 1914-07-13 | 1919-04-29 | Westinghouse Electric & Mfg Co | Sheet-handling implement. |
NL14414C (fr) * | 1922-11-14 | |||
US3071402A (en) * | 1959-09-28 | 1963-01-01 | Air Vac Engineering Company In | Vacuum-operated probe tools |
US3335727A (en) * | 1965-03-02 | 1967-08-15 | Victor T Spoto | Valve controlled coronary profusion suction tube |
JPS493460B1 (fr) * | 1970-09-22 | 1974-01-26 | ||
US3843183A (en) * | 1972-08-16 | 1974-10-22 | C Hutson | Vacuum pick-up instrument |
JPS5258589A (en) * | 1975-11-10 | 1977-05-14 | Hitachi Ltd | Vacuum pincette |
JPS5258480A (en) * | 1975-11-10 | 1977-05-13 | Hitachi Ltd | Wafer pick-up device |
JPS5288090A (en) * | 1976-01-19 | 1977-07-22 | Hitachi Ltd | Vacuum pincette |
US4050729A (en) * | 1976-04-20 | 1977-09-27 | Hutson Clifford L | Apparatus for handling delicate articles such as silicon wafers |
DE2628488A1 (de) * | 1976-06-25 | 1978-01-05 | Siemens Ag | Werkzeug-sortiment fuer eine vakuumgreifpinzette |
JPS5339874A (en) * | 1976-09-24 | 1978-04-12 | Hitachi Ltd | Vacuum pincette |
JPS5433678A (en) * | 1977-08-22 | 1979-03-12 | Hitachi Ltd | Vacuum pincette |
US4212300A (en) * | 1978-02-06 | 1980-07-15 | Meals Roy A | Rubber band powered piston valve aspirator |
EP0041948A1 (fr) * | 1979-12-10 | 1981-12-23 | Indicon, Inc. | Embout remplacable pour pipette |
NL8006195A (nl) * | 1980-11-13 | 1982-06-01 | Philips Nv | Transporthouder voor het overbrengen van tenminste een elektrisch of elektronisch onderdeel naar een gedrukt bedradingspaneel. |
JPS6020898A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-02-02 | トヨタ自動車株式会社 | ブレ−ド切断装置 |
US4496180A (en) * | 1983-07-20 | 1985-01-29 | Cincinnati Milacron Industries, Inc. | Vacuum handling apparatus |
US4687242A (en) * | 1985-05-17 | 1987-08-18 | Dick Van Rooy | Apparatus for handling semiconductor wafers during fabrication of integrated circuits |
US4620738A (en) * | 1985-08-19 | 1986-11-04 | Varian Associates, Inc. | Vacuum pick for semiconductor wafers |
US4910864A (en) * | 1986-05-16 | 1990-03-27 | Western Digital Corporation | Pick-up head for component handling machine |
JPS6339770A (ja) * | 1986-08-01 | 1988-02-20 | 高橋 清 | 全弗素樹脂製真空ピンセツト |
JPS6387831U (fr) * | 1986-11-26 | 1988-06-08 | ||
US4773687A (en) * | 1987-05-22 | 1988-09-27 | American Telephone And Telegraph Company, At&T Technologies, Inc. | Wafer handler |
US4875279A (en) * | 1987-08-21 | 1989-10-24 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Die attach pickup tools |
US4887351A (en) * | 1988-09-09 | 1989-12-19 | Universal Instruments Corporation | Pick and place nozzle with concentric grooves |
-
1987
- 1987-12-22 FR FR8718455A patent/FR2624778B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1988
- 1988-12-21 JP JP63323223A patent/JPH01266859A/ja active Pending
- 1988-12-22 KR KR1019880017278A patent/KR960001172B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1988-12-22 DE DE3843370A patent/DE3843370C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-04-24 US US07/515,790 patent/US4981315A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2631502A1 (de) * | 1976-07-13 | 1978-01-19 | Siemens Ag | Greifwerkzeug fuer eine saugpinzette |
FR2591138A1 (fr) * | 1985-12-10 | 1987-06-12 | Recif Sa | Procede de fabrication d'embouts pour pipettes a vide notamment et les embouts obtenus par la mise en oeuvre du procede. |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
I.B.M. TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN vol. 20, no. 3, août 1977, New York page 1015 ROSENFELD: "SILICON WAFER PICK-UP TOOL FABRICATED OF POLYCARBONATE MATERIAL" * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2624778B1 (fr) | 1994-09-23 |
JPH01266859A (ja) | 1989-10-24 |
KR960001172B1 (ko) | 1996-01-19 |
US4981315A (en) | 1991-01-01 |
KR890011021A (ko) | 1989-08-12 |
DE3843370C2 (de) | 1993-10-21 |
DE3843370A1 (de) | 1989-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2624778A1 (fr) | Embout pour pipette a vide | |
EP1621905B1 (fr) | Connecteur pour fibre optique | |
CA2458243C (fr) | Ensemble medical comprenant un catheter, une aiguille et son etui | |
FR2863538A1 (fr) | Scie sauteuse avec agencement de raccord d'aspiration | |
EP1087168A1 (fr) | Dispositif de connexion d'une extrémité de conduite à un organe | |
US5307995A (en) | Lawn and garden sprayer with hose compression connector | |
US20060087115A1 (en) | Connector | |
SK18095A3 (en) | Jointing socket for sucking pipe | |
EP0547942A1 (fr) | Dispositif de raccord rapide pour la liaison étanche entre eux de deux tubes ou tuyaux rigides ou semi-rigides | |
FR2782926A1 (fr) | Introducteur pour un ensemble comportant un tube medical | |
US10512218B2 (en) | Mower having collection system with quick connect vacuum hose adapter | |
EP0396455B1 (fr) | Dispositif d'assemblage par encliquetage pour échangeurs de chaleur de véhicules automobiles | |
JP2000501849A (ja) | 封鎖部品 | |
EP0857073B1 (fr) | Seringue d'aspiration et dispositif d'aspiration comprenant une telle seringue | |
FR2622175A1 (fr) | Fermeture a vis pour un reservoir de carburant | |
FR3080016A1 (fr) | Suceur d'aspirateur equipe d'un canal d'aspiration principal et d'un canal d'aspiration secondaire | |
FR2704760A1 (fr) | Embout nasal pour appareil à moucher les personnes. | |
FR2782773A1 (fr) | Connecteur rapide monobloc a encombrement reduit | |
FR2619888A1 (fr) | Tube souple en particulier tube souple d'eau de refroidissement pour vehicule | |
EP0327442A1 (fr) | Dispositif d'assemblage pour un ensemble échangeur de chaleur/raccord tubulaire | |
FR2759128A1 (fr) | Dispositif pour l'accrochage d'un embout de cable a un levier de commande | |
KR100195525B1 (ko) | 다용도 클램프구조 | |
FR2661108A1 (fr) | Baton de ski. | |
JP4795769B2 (ja) | 樋継手 | |
JPS6327657Y2 (fr) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |