FR2567970A1

FR2567970A1 - Pompe a vide integralement seche et etanche a mouvement rectiligne de compression alternative

Info

Publication number: FR2567970A1
Application number: FR8411652A
Authority: FR
Inventors: Daniel Pottier; Remi Leclaire; Paul Vulliez
Original assignee: Normande dEtude et dExploitation SA NORMETEX
Current assignee: Normande dEtude et dExploitation SA NORMETEX
Priority date: 1984-07-23
Filing date: 1984-07-23
Publication date: 1986-01-24
Also published as: ATE35025T1; FR2567970B1; JPH0315038B2; DE3563242D1; EP0173601A1; ZA855368B; CA1317576C; JPS6193283A; EP0173601B1; US4718836A

Abstract

LA POMPE A VIDE INTEGRALEMENT SECHE ET ETANCHE A COMPRESSION RECTILIGNE ALTERNATIVE COMPORTE, SELON L'INVENTION, AU MOINS UNE CHAMBRE DE POMPAGE 1 DEFINIE PAR DEUX PIECES RIGIDES 5 ET 6 AXIALEMENT EN REGARD, ANIMEES L'UNE VIS-A-VIS DE L'AUTRE D'UN MOUVEMENT AXIAL RECTILIGNE ALTERNATIF ET RELIEES EN LEUR PERIPHERIE PAR UN ELEMENT ANNULAIRE 2-3, FLEXIBLE AXIALEMENT, DE RAIDEUR RADIALE APPROPRIEE OUVERTE RADIALEMENT VERS L'EXTERIEUR; CES PIECES RIGIDES PRESENTENT EN LEUR PERIPHERIE, EN REGARD AXIALEMENT DE L'ELEMENT ANNULAIRE, DES ZONES ANNULAIRES EVIDEES 9A ET 10A PROFILEES DE MANIERE A CE QUE, EN CONFIGURATION RAPPROCHEE, LES PIECES RIGIDES SOIENT EN CONTACT INTIME, D'UNE PART L'UNE AVEC L'AUTRE PAR LEURS PARTIES CENTRALES 9 ET 10 ET, D'AUTRE PART, AVEC L'ELEMENT ANNULAIRE 2-3 PAR LES ZONES EVIDEES 9A ET 10A QUI EN EPOUSENT LA SURFACE. APPLICATION NOTAMMENT AU POMPAGE DE GAZ CORROSIFS OU RADIOACTIFS.

Description

La présente invention concerne une pompe à vide intégrale-

ment sèche et étanche.

On connait déjà des pompes intégralement sèches du type à spirales et à étanchéité par soufflets métalliques. De telles pompes sont notamment décrites dans les brevets français FR-2.141.402 et FR-2.153.129 de Monsieur Paul VULLIEZ et leurs correspondants DE-2.225.327 et US-3.802. 809. Ces pompes sont

capables de refouler à la pression atmosphérique tout en attei-

gnant un vide limite résiduel de 10 Pa (10 1 millibars) envi-

ron.

Ces brevets proposent entre autre d'associer ces pompes sèches à spirales à des pompes à membranes synthétiques, ce qui permet d'atteindre un vide limite.de 10 1 Pa (10-3 millibars) environ. Cette solution est cependant limitée au pompage de gaz compatibles avec la nature de la membrane synthétique;

elle n'est pas applicable au pompage de gaz corrosifs ou radio-

actifs.

On connait par ailleurs des pompes à vide faisant interve-

nir une compression alternative de soufflets métalliques qui, en association avec des pompes à spirales du type précité, permettent le pompage de gaz corrosifs ou radioactifs jusqu'à un vide limite du même ordre (10 1 Pa). Les performances de ces pompes à soufflets restent toutefois limitées en raison

des volumes résiduels qui subsistent inmanquablement au voisina-

ge de ces soufflets.

La présente invention a pour objet un nouveau type de pompe à vide dont les organes de pompage sont métalliques et qui présente de meilleures performances. L'invention vise ainsi une nouvelle pompe sèche à mouvement rectiligne de compression alternative permettant, avec une construction simple et robuste et un fonctionnement exempt d'aléas, l'obtention de bonnes performances grâce, pour chaque cycle de compression, à une

expulsion quasi-complète du gaz pompé, et en conséquence l'ob-

tention d'un taux de compression particulièrement élevé. L'in-

vention vise aussi une pompe sèche qui permette non seulement l'amélioration du vide, mais aussi une pression de refoulement élevée. L'invention vise encore une pompe sèche qui comporte,

de façon aisée, une sécurité par double isolation métallique.

L'invention vise notamment une pompe sèche à compression

alternative qui, en association avec une pompe sèche à spira-

les du type précité, permette le pompage de tous gaz, y compris corrosifs et radioactifs, avec une amélioration sensible du vide limite et de la pression de refoulement par rapport aux

pompes sèches connues.

L'invention propose à cet effet une pompe à vide intégra-

lement sèche et étanche du genre comportant une chambre de pompage à volume variable reliée à une tubulure d'aspiration

et à une tubulure de refoulement munies toutes les deux d'or-

ganes anti-retour assurant conjointement un écoulement de fluide en sens unique depuis la tubulure d'aspiration vers la tubulure de refoulement, caractérisée en ce que la chambre de pompage est définie par deux pièces rigides en regard, animées l'une vis à vis de l'autre d'un mouvement axial rectiligne alternatif entre une configuration écartée et une configuration

rapprochée, et reliées en leur périphérie à un élément métalli-

que, souple axialement et de raideur élastique requise, de

forme sensiblement toroidale ouverte radialement vers l'exté-

rieur, que les deux pièces rigides présentent respectivement des surfaces centrales complémentaires en regard et des zones annulaires évidées en regard axialement de l'élément annulaire,

et que le profil de ces zones évidées est tel que, en configu-

ration rapprochée, les deux pièces rigides viennent en contact

intime, d'une part, l'une avec l'autre par leurs surfaces cen-

trales et, d'autre part, avec l'élément annulaire par ces zones évidées. Une telle pompe se révèle particulièrement performante et

fiable. L'adéquation du profil des zones évidées avec le pro-

fil que prend l'élément annulaire entre les pièces rigides, assure en effet lors de chaque rapprochement des pièces rigides une expulsion quasi totale du gaz situé dans la chambre de

pompage; l'élimination de tout volume résiduel du côté inter-

ne de cet élément annulaire permet une vidange complète de la

chambre de pompage à chaque fois que les pièces rigides vien-

nent en configuration rapprochée.

Suivant une caractéristique avantageuse de l'invention, la pompe sèche selon l'invention comporte deux chambres de pompage du type précité, coaxiales mais décalées, définies respectivement entre deux pièces rigides fixes et deux pièces mobiles solidaires d'un équipage animé d'un mouvement axial alternatif entre les deux pièces rigides fixes, avantageuse- ment commandé par un excentrique du type "à cadre" dont l'excentricité détermine le débattement axial du dit équipage

entre les pièces rigides fixes.

Selon une autre caractéristique avantageuse, la pompe sèche selon l'invention comporte des couples de chambres de pompage parallèles, définies entre deux pièces rigides séparées axialement par une pièce rigide intermédiaire. Le débit-masse

de pompage s'en trouve amélioré.

Une pompe selon l'invention se prête particulièrement bien à l'aménagement d'une sécurité grâce à une double isolation des chambres de pompage. Il suffit en effet de disposer.n soufflet de sécurité autour des éléments annulaires d'une ou plusieurs chambres de pompage associées et de mettre le volume annulaire ainsi délimité en communication avec un pressostat adapté à déclencher une alarme en cas de rupture, soit d'un soufflet,

soit d'un élément annulaire.

Un élément annulaire d'une pompe sèche selon l'invention peut être notamment constitué de deux diaphragmes métalliques disposés dos à dos, reliés entre eux par leurs bords internes et reliés aux pièces rigides associées par leur périphérie

externe. L'invention préconise également que cet élément annu-

laire puisse être fabriqué en une seule pièce soit avantageuse-

ment torique soit de tout autre profil transversal présentant à la fois la souplesse axiale et la raideur radiale appropriées

à cette fonction. -

Le-s surfaces centrales complémentaires des pièces rigides d'une chambre de pompage donnée sont de préférence planes et

perpendiculaires à l'axe de déplacement relatif.

Dans le cas d'une pompe selon l'invention comportant plu-

sieurs chambres de pompage, les tubulures d'aspiration et de refoulement sont avantageusement alignées, parallèlement à

l'axe, ce qui présente l'avantage d'opposer une résistance mi-

nimale à l'écoulement du gaz au travers de la pompe.

Comme déjà signalé l'utilisation de la pompe à vide sui-

vant l'invention trouve un intérêt tout particulier lorsqu'elle

est associée avec les pompes à spirales ci-dessus mentionnées.

Dans ce cas le vide limite rigoureusement sec obtenu peut atteindre 10-2 à 10 3 Pa (10-4 à 105 millibars) et ceci conjoin-

tement avec l'obtention d'une pression de refoulement de l'or-

dre de 3 à 4.105 Pa (3 à 4 bars).

Les caractéristiques et avantages de l'invention ressorti-

ront de la description qui va suivre de formes d'exécution

décrites à titre d'exemple en référence aux dessins annexés dans lesquels: la figure 1 est une vue schématique en coupe axiale d'une partie d'une pompe suivant l'invention dans laquelle un élément annulaire constitué par une paire de diaphragmes métalliques

flexibles dos à dos est disposé entre d'une part une paroi rigi-

de fixe et d'autre part une paroi rigide mobile de manière à

assurer un pompage de l'espace compris entre l'élément annulai-

re et les deux pièces rigides;

la figure 2 est une vue analogue à la figure 1, dans la-

quelle la partie de pompe représentée à la figure 1 est doublée de telle façon que l'une des chambres de pompage se trouve au volume m.nimal tandis que l'autre est au volume maximal, ce qui permet un pompage en série;

la figure 3 est une vue analogue à la figure 1, mais repré-

sentant une pompe comportant une chambre de pompage doublée;

dont les volumes croissent et décroissent simultanément.

la figure 4 montre une variante d'un élément annulaire fa-

briqué en une seule pièce; -

la figure 5 est une vue en coupe selon la ligne V-V de la figure 6 d'un groupe de pompage intégralement sec et étanche réalisé par couplage d'une pompe selon la figure 2 avec une

pompe à spirale à mouvement de translation circulaire; et-

la figure 6 est une vue en coupe suivant la ligne brisée

VI-VI de la figure 5.

La figure 1 présente, à titre d'exemple non limitatif, une

partie de pompe à vide intégralement sèche et étanche à mouve-

ment rectiligne de compression alternative, adaptée selon l'in-

vention à pomper toutes sortes de milieux, même corrosifs ou radioactifs. Cette partie de pompe comprend une chambre de pompage I dont le volume variable est compris à l'intérieur radialement

d'un élément annulaire élastique axialement flexible, ici for-

mé de deux diaphragmes métalliques souples 2 et 3 reliés dos à dos, par leurs bords annulaires internes 4. Cette chambre est par ailleurs délimitée par deux pièces rigides 5 et 6 axialement en regard et animées, l'une par rapport à l'autre, d'un mouvement axial alternatif rectiligne, suivant un axe A-A, entre une configuration écartée et une configuration rapprochée L'élément annulaire 2-3 est raccordé suivant ses bords externes 7 et 8, par exemple par soudure, à chacune des deux pièces

rigides, respectivement. Ces pièces rigides présentent axiale-

ment, en regard, des surfaces centrales 9 et 10 de profils complémentaires, et, entre celles-ci et les lignes de fixation de l'élément annulaire, des zones annulaires évidées 9A et lOA. Le profil de ces zones (qui doit être extrêmement précis) et le mouvement relatif entre les pièces rigides sont tels que, en configuration rapprochée, ces pièces rigides viennent en

contact intime, d'une part, l'une avec l'autre par leurs sur-

faces centrales complémentaires 9 et 10 et, d'autre part, avec l'élément annulaire flexible par les zones évidées 9A et 10A qui en épousent le contour: le volume résiduel de la chambre 1 est ainsi réduit au minimum. Dans l'exemple représenté les

surfaces centrales complémentaires 9 et 10 sont planes.

Dans la partie de pompe représentée à titre d'exemple à la figure 1, la pièce rigide supérieure 5 est fixée sur un bâti B. La partie rigide inférieure 6 appartient à un équipage mobile M entraîné en mouvement à l'aide d'un dispositif à excentrique 11 du type "à cadre", dont l'axe X-X croise l'axe

A-A à angle droit. Tel que représenté, le dispositif ll com-

prend un arbre d'entraînement llA, aligné selon l'axe X-X, solidaire d'un disque excentré llB engagé dans un roulement à billes 11C. La pièce rigide mobile 6 comporte deux plages d'appui 6A et 6B parallèles à la surface centrale 10, entre lesquelles est engagée avec jeu la piste externe du roulement

à billes 11C.

Lors de la rotation de l'excentrique 11 à partir de sa position basse représentée à la figure 1, celui-ci exerce sur l'équipage M une poussée axiale vers le haut, toute composante radiale de frottement étant éliminée grâce à la coopération par roulement du roulement à billes llC avec la plage d'appui 6A. Ce mouvement ascendant se poursuit jusqu'au contact intime

des surfaces complémentaires 9 et 10, puis la rotation de l'ex-

centrique 11 produit un mouvement descendant de l'équipage

mobile M et cela se poursuit de manière cyclique. Le débatte-

O10 ment axial de l'équipage M est défini par l'excentricité "e"

de l'excentrique 11.

Dans les pièces rigides 5 et 6 sont disposées des soupapes anti-retour 12 et 13 assurant un écoulement de fluide à sens unique dans une tubulure 14 comprenant un tronçon d'aspiration 14A et un tronçon de refoulement 14B. Telles que représentées

ces soupapes 12 et 13 sont constituées de billes for-iant res-

pectivement soupape d'aspiration et soupape de refoulement.

On appréciera que les tubulures 14A et 14B sont alignées l'une avec l'autre, parallèlement à l'axe A-A. L'écoulement

de fluide s'en trouve facilité.

En fonctionnement, lors du mouvement ascendant de l'équi-

page mobile M, l'élément annulaire 2-3 est progressivement

comprimé par les pièces rigides 5 et 6; il s'applique progres-

sivement en épousant les surfaces sur les zones évidées 9A et 10A et ceci, en même temps que les surfaces centrales 9 et 10

viennent elles mêmes en contact le gaz se trouvant ainsi expul-

sé au travers de l'orifice de refoulement.

La figure 2 représente une pompe selon l'invention qui comporte deux chambres de pompage 1 et 1' du type précité, mais disposées tête-bêche. Les mêmes signes de référence ont été utilisés pour désigner, à propos de la chambre supérieure de pompage 1, les mêmes éléments qu'à la figure 1, et des signes de références analogues, mais suivis d'un indice "prime"

pour désigner les éléments correspondants de la chambre infé-

rieure de pompage 1'.

Ces chambres 1 et 1' sont centrées et alignées sur le même axe A-A et les pièces mobiles 6 et 6' qui contribuent,

avec les pièces rigides fixes 5 et 5' et les éléments annulai-

res 2-3 et 2'-3', à les définir sont toutes deux solidaires de l'équipage mobile M dont le guidage axial par rapport au bâti B est assuré par les éléments annulaires 2-3 et 2'-3' grâce en particulier à leur raideur radiale. De la sorte, ces chambres suivent des cycles de compression en opposition de

phase, d'o un pompage en série de la chambre 1' vers la cham-

bre 1.

La tubulure 14A qui traverse l'équipage mobile M constitue une tubulure d'admission pour la chambre de pompage 1, mais une tubulure de refoulement pour la chambre de pompage 1', laquelle reçoit une tubulure d'aspiration 14C qui est avantageu

sement dans le prolongement des tubulures 14A et 14B qui cons-

titue la tubulure de refoulement de la chambre 1.

Pour des mesures de sécurité, chacun des éléments annu-

laires de pompage 2-3 et 2'-3' est, de façon préférentielle, entouré par un soufflet 15 ou 15', par exemple métallique, fixé

aux pièces rigides auxquelles est fixé ledit élément annulaire.

Ces éléments annulaires et ces soufflets définissent des cham-

bres annulaires, notées 15A et 15'A qui assurent une isolation des chambres de pompage vis à vis de l'extérieur. Ces chambres annulaires sont avantageusement reliées, par des tubulures 17A et 17B de liaison à un pressostat 16 adapté à contrôler que la pression du gaz témoin contenu dans ces chambres reste entre deux valeurs limites, et à déclencher une alarme lorsque cette pression sort de cette plage de valeurs admissibles. Le pressos tat permet ainsi de détecter toute rupture, soit d'un élément annulaire, soit d'un soufflet, sans qu'aucune communication directe n'ait été établie entre l'intérieur des chambres de pompage et l'extérieur. Il en résulte une bonne sécurité dans

le cas du pompage de. gaz dangereux.

La-figure 3 est une variante de la figure 1 représentant deux chambres de pompage-lA et lB adaptées à fonctionner en

phase. Ces chambres sont définies par une pièce rigide intermé-

diaire I disposée axialement entre la pièce rigide fixe 5 soli-

daire du bâti B et la pièce rigide mobile 6 solidaire de l'équi

page mobile M, et présentant des surfaces IA et IB complémen-

taires des surfaces 9 et 10.

Deux éléments annulaires de pompage 2A-3A et 2B-3B sont

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reliés respectivement aux pièces rigides 5 et I et I et 6. La pièce intermédiaire I est traversée axialement par un canal

14D en communication avec une chambre intermédiaire.

Un même soufflet 15" est disposé autour des deux éléments annulaires de pompage, dans le but exposé à propos de la figure 2. On notera que le guidage axial de la pièce intermédiaire I est obtenu grâce à la raideur radiale des éléments annulaires

2A-3A-2B-3B.

Les chambres lA et 1B suivent des cycles simultanés de compression alternative, sous l'action de l'excentrique à cage 11, ce qui a pour effet d'augmenter le débit-masse de pompage

avec un encombrement qui reste toutefois réduit.

Cette disposition de deux chambres de pompage accouplées

peut bien sûr être mise en oeuvre de part et d'autre de l'excen-

trique 11, en sorte d'obtenir une pompe analogue à celle de la

figure 2 mais comportent quatre chambres de pompage. Cette multi-

plication des chambres de' pompage améliore, bien sûr, les per-

formances d'une pompe selon l'invention, tant du point de vue

du taux de compression que de celui du débit.

Dans des exemples des figures 1 à 3, les éléments annulai-

res de pompage sont constitués de diaphragmes 2 et 3 (2' et 3'; 2A et 3A; 2B et 3B) reliés par soudure (4, 4', 4A ou 4B) le

long de leurs bords internes. Selon une autre forme de réalisa-

tion préférée, selon l'invention, un tél élément annulaire est

formé d'une seule pièce 18 axialement flexible de forme appro-

ximativement toroidale, ainsi que cela est représenté à la figure 4. I1 est à noter que l'élément annulaire, quelle que

soit sa structure ou son profil transversal, est ouvert radiale-

ment vers l'extérieur.

Quoiqu'une pompe intégralement sèche et étanche du type précité puisse être utilisée seule, il est avantageux de lui

associer une autre pompe, par exemple du type à spirales précé-

demment mentionné. Les figures 5 et 6 représentent une telle pompe à spirales 19A associée à une pompe 19B du type décrit

à propos de la figure 2 ci-dessus.

La pompe à spirales 19A, dont le principe est maintenant bien connu d'après les brevets précités de Monsieur Paul VULLIEZ (FR-2.141.402 et FR2.153.129; DE-2.225.327 ou US-3.802.809,

notamment) ne sera décrite ci-dessous que de façon sommaire.

Elle comporte, dans une enceinte fermée par une cloche 26 et un ensemble à double soufflet 27, une spirale fixe 24 solidaire par une plaque 24A d'un canon 25 d'aspiration de gaz et, imbriquée dans celle-ci, une spirale mobile 22 entraînée dans un mouvement de translation circulaire exacte adapté à lui faire longer radialement et axialement, respectivement,

avec un très petit jeu constant, la spirale fixe 24 et la pla-

que de base 24A associée. Le mouvement de translation circu-

laire est commandé par trois excentriques 23 de même excentri-

cité "e", solidaires de trois arbres parallèles 20 et engagés au moyen de roulements dans des cavités aménagées axialement

dans la pièce 22A portant la spirale mobile 22.

L'un, 20A, des trois arbres 20 est entraîné en rotation par un moteur 21, les autres arbres ne servant qu'à assurer un

guidage rigoureux de la spirale mobile 22. L'ensemble est dis-

posé dans un bâti B1.

Les gaz à pomper sont aspirés, par une tubulure de liaisor à l'enceinte à vider (non représentée) dans la tubulure 28 du canon 25, pénètrent entre les spirales à leur périphérie et pal compression entre ces spirales, sont refoulés vers l'axe dans

une chambre annulaire 29 comprise entre le canon 25 et l'ensem-

ble 27 à double soufflet.

Ces gaz sont ensuite aspirés par une tubulure 30 vers les

chambres de pompage 1 et 1' de la pompe 19B.

Cette pompe 19B est analogue à la pompe de la figure 2

mais représentée à la figure 5 selon un plan de coupe perpendi-

culaire à celui de cette figure 2; les éléments correspondantE portent les mêmes chiffres que sur cette figure 2. Cette.pompe, de la mianière précédemment décrite, refoule lesdits gaz, soit à l'atmosphère, soit dans une capacité ou dans un circuit o ils peuvent, selon l'invention, être transférés à une pression

de l'ordre de 3.105 Pa(3 bars).

On notera que l'entraînement de l'excentrique 11 de la pompe 19B (excentricité "el") est assuré par la rotation d'un arbre 32 disposé dans le prolongement de l'arbre 20A entraîné par le moteur 21. La liaison entre les arbres 20 et 32 peut être faite, soit directement, soit à travers un réducteur de

vitesse coaxial, la pompe 19B à compression alternative conser-

vant suffisamment d'efficacité à des vitesses réduites, compte tenu du faible débit-masse des gaz à pomper aux pressions o l'essentiel du pompage est confié à la pompe à soirales. De manière avantageuse le volume situé entre les deux

soufflets de l'ensemble à double soufflet 27 est mis en commu-

nication (par une tubulure 17C), comme les volumes 15A et 15'A

situés entre les éléments annulaires 2-3 et 2'-3' et les souf-

flets 15 et 15', avec un pressostat 16 adapté à détecter des

pressions anormales.

Il va de soi que la description qui précède n'a été propo-

sée qu'à titre illustratif et que de nombreuses variantes

peuvent être proposées par l'homme de l'art, notamment par com-

binaison des diverses dispositions précitées, sans sortir du cadre de l'invention, notamment en ce qui concerne la structure particulière des éléments annulaires, l'agencement des diverses

chambres de pompage au sein d'une même pompe o le mode d'accou-

plement d'une pompe selon l'invention à une autre pompe, notam-

ment du type à spirales mais pas nécessairement.

il

Claims

REVENDICATIONS

1. Pompe à vide intégralement sèche et étanche du genre comportant une chambre de pompage à volume 'variable reliée à une tubulure d'aspiration et à une tubulure de refoulement munies toutes deux d'organes anti-retour assurant conjointement un écoulement de fluide en sens unique depuis la tubulure d'aspi- ration vers la tubulure de refoulement, caractérisée en ce que la chambre de pompage (1, l', 1A, lB) est définie par deux pièces rigides en regard (5, 6; 5', 6'; I), animées l'une vis-.'à vis de l'autre d'un mouvement axial rectiligne alternatif entre une configuration écartée et une configuration rapprochée, et reliées en leur périphérie à un élément souple axialement (2-3; 2'-3'; 2A-3A; 2B.-3B; 18) de forme sensiblement toroïdale ouverte radialement vers lPextérieur, en ce que les deux pièces rigides présentent, respectivement, des surfaces centrales complémentaires en regard (9, 10) et des - zones annulaires évidées (9A, 10A) en regard axialement de l'élément annulaire, et que le profil-de ces zones évidées est tel que, en configuration rapprochée, les deux pièces rigides viennent en contact.intime, d'une part, l'une avec l'autre par leurs surfaces centrales et, d'autre part, avec l'élément

annulaire par ces zones évidées.

2. Pompe à vide selon la revendication 1, caractérisée en

ce que l'élément annulaire est formé de deux diaphragmes métal-

liques (2, 3; 2', 3'; 2A, 3A; 2B, 3B) souples axialement et de raideur axiale appropriée reliés entre eux, dos à dos, par leur partie centrale et reliés aux pièces rigides suivant

leurs bords externes.

3. Pompe à vide-selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'élément annulaire est formé en une seule pièce souple

axialement et de raideur radiale appropriée à sa fonction (18).

4. Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications

1 à 3, caractérisée en ce que l'une (5) des pièces rigides est

fixe tandis que l'autre (6), mobile, est entraînée dans ledit.

mouvement rectiligne alternatif par un dispositif à excentrique

du type à cadre (11).

5. Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications

1 à 3, caractérisée en ce que l'une (5) des pièces rigides

est fixe, que l'autre (I) de ces pièces, dite pièce intermé-

diaire, coopère avec un second élément annulaire (2B, 3B) et une troisième pièce rigide (6) en sorte de former une seconde chambre de pompage (1B) analogue à la chambre (1A) définie par la pièce rigide (5) et la pièce intermédaire (I), et que cette troisième pièce rigide, mobile, est entrafnée en mouvement rectiligne alternatif par un dispesitif à excentrique du

type à cadre (11).

6. Pompe à vide selon la revendication 4 ou la reven-

dication 5, caractérisée en ce que ledit dispositif à excentri-

que (11) comporte un arbre (l1A) et un disque excentrique (11B) engagé dans un roulement à billes (11C) dont la piste externe est destinée à coopérer par roulement avec deux plages d'appui

(6A, 6B) parallèles et solidaires de la pièce mobile (6).

7. Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications

4 à 6, caractérisée en ce qu'elle-comporte une seconde pièce rigide fixe (5') solidaire de ladite pièce rigide fixe (5)

et une seconde pièce mobile (6') solidaire de la-

dite pièce rigide.nobile (6), ces secondes pièces rigides étant situées à l'opposé desdites pièces rigides par rapport au dispositif à excentrique selon une disposition axiale opposée

à celle de ces pièces rigides fixe et mobile.

8. Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications

1 à 7, caractérisée en ce que ledit élément annulaire (2-3; 2A-3A; 2B-3B; 2'-3'; 18) est entouré par un soufflet (15, 15', 15") relié aux pièces rigides en sorte de définir radialement un espace annulaire de sécurité (15A, 15'A) et que célui-ci est mis en communication, par des tubulures (17A, 17B) avec un

dispositif (16) de contrôle de pression.

9. Pompe à vide selon l'une quelconque des revendications

1 à 8, caractérisée en ce qu'elle comporte des tubulures d'aspi-

ration et de refoulement (14A, 14B, 14C) qui sont alignées entre

elles parallèlement à l'axe (A-A) de la pompe. -

10. Pompe à vide selon la revendication 7, caractérisée en

ce qu'elle est montée en association avec une pompe à vide inté-

gralement sèche et étanche du genre comportant une spirale mobile (22) imbriquée dans une spirale fixe (24) et adaptée à décrire, dans cette spirale fixe, un mouvement de translation circulaire exacte commandé par trois excentriques (23) de même excentricité solidaires de trois arbres parallèles (20) dont l'un (20A) est attèlé à un moteur (21), et que ledit dispositif à excentrique du type à cadre (11) est monté sur un arbre (32), disposé dans le prolongement de celui (20A) des trois arbres qui est entraîné par le moteur, ledit dispositif à excentrique (11) étant entraîné en rotation à

partir dudit arbre (20A).