FR2550379A1 - Canon a electrons destine a etre monte sur une chambre de travail notamment pour le traitement de pieces par vaporisation sous vide - Google Patents

Canon a electrons destine a etre monte sur une chambre de travail notamment pour le traitement de pieces par vaporisation sous vide Download PDF

Info

Publication number
FR2550379A1
FR2550379A1 FR8412341A FR8412341A FR2550379A1 FR 2550379 A1 FR2550379 A1 FR 2550379A1 FR 8412341 A FR8412341 A FR 8412341A FR 8412341 A FR8412341 A FR 8412341A FR 2550379 A1 FR2550379 A1 FR 2550379A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
tube
flange
guide tube
vacuum
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
FR8412341A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Helmut Spruck
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold Heraeus GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold Heraeus GmbH filed Critical Leybold Heraeus GmbH
Publication of FR2550379A1 publication Critical patent/FR2550379A1/fr
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/18Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/06Electron sources; Electron guns
    • H01J37/065Construction of guns or parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
FR8412341A 1983-08-04 1984-08-03 Canon a electrons destine a etre monte sur une chambre de travail notamment pour le traitement de pieces par vaporisation sous vide Pending FR2550379A1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833328172 DE3328172A1 (de) 1983-08-04 1983-08-04 Elektronenstrahlkanone

Publications (1)

Publication Number Publication Date
FR2550379A1 true FR2550379A1 (fr) 1985-02-08

Family

ID=6205785

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8412341A Pending FR2550379A1 (fr) 1983-08-04 1984-08-03 Canon a electrons destine a etre monte sur une chambre de travail notamment pour le traitement de pieces par vaporisation sous vide

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4622453A (enExample)
JP (1) JPS6044950A (enExample)
DE (1) DE3328172A1 (enExample)
FR (1) FR2550379A1 (enExample)
GB (1) GB2144904B (enExample)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4032918C2 (de) * 1990-10-17 2000-06-29 Heidelberger Druckmasch Ag Vorrichtung zur Beaufschlagung eines Materials mit einem Elektronenstrahl
DE19537230C1 (de) * 1995-10-06 1997-01-30 Saechsische Elektronenstrahl G Elektronenkanone
RU2518502C1 (ru) * 2012-10-09 2014-06-10 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский технологический институт "Прогресс" Электронно-лучевая пушка

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2627580A (en) * 1948-10-23 1953-02-03 Rca Corp Demountable vacuumtight seal
US3150256A (en) * 1962-07-05 1964-09-22 Philips Electronic Pharma Column for electron microscopes
US3345529A (en) * 1966-08-29 1967-10-03 Ibm Electron beam column with demountable flux-generating assembly and beam-forming elements
US3652821A (en) * 1969-11-06 1972-03-28 Leybold Heraeus Verwaltung Electron gun for heating materials in an evacuated container
US3787696A (en) * 1972-03-15 1974-01-22 Etec Corp Scanning electron microscope electron-optical column construction
US3846660A (en) * 1969-08-06 1974-11-05 Gen Electric Electron beam generating system with collimated focusing means
US4020353A (en) * 1974-09-06 1977-04-26 Hitachi, Ltd. Sample analysis apparatus using electron beam irradiation

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1163530A (en) * 1965-12-14 1969-09-10 Steigerwald Strahltech Electron beam generating apparatus
US3887784A (en) * 1971-12-27 1975-06-03 Commissariat Energie Atomique Welding guns
US3783230A (en) * 1972-08-10 1974-01-01 J Peyrot Gun for welding tubes on a tube plate
DE2528032C2 (de) * 1975-06-24 1983-06-09 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Elektronenstrahlerzeuger für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke
US4084076A (en) * 1977-05-10 1978-04-11 Evgeny Ivanovich Istomin Electron beam welding gun

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2627580A (en) * 1948-10-23 1953-02-03 Rca Corp Demountable vacuumtight seal
US3150256A (en) * 1962-07-05 1964-09-22 Philips Electronic Pharma Column for electron microscopes
US3345529A (en) * 1966-08-29 1967-10-03 Ibm Electron beam column with demountable flux-generating assembly and beam-forming elements
US3846660A (en) * 1969-08-06 1974-11-05 Gen Electric Electron beam generating system with collimated focusing means
US3652821A (en) * 1969-11-06 1972-03-28 Leybold Heraeus Verwaltung Electron gun for heating materials in an evacuated container
US3787696A (en) * 1972-03-15 1974-01-22 Etec Corp Scanning electron microscope electron-optical column construction
US4020353A (en) * 1974-09-06 1977-04-26 Hitachi, Ltd. Sample analysis apparatus using electron beam irradiation

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6044950A (ja) 1985-03-11
GB8417147D0 (en) 1984-08-08
JPH0524613B2 (enExample) 1993-04-08
GB2144904B (en) 1986-12-03
US4622453A (en) 1986-11-11
DE3328172A1 (de) 1985-02-14
GB2144904A (en) 1985-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0717785B1 (fr) Dispositif de traitement d'un materiau a tete photo-ionique miniaturisee
FR2926668A1 (fr) Source d'electrons a base d'emetteurs de champs pour radiographie multipoint.
EP0238397B1 (fr) Source d'ions à résonance cyclotronique électronique à injection coaxiale d'ondes électromagnétiques
EP0186558B1 (fr) Dispositif d'irradiation de matière par un faisceau électronique
EP2195643A1 (fr) Systeme d'analyse de gaz a basse pression par spectroscopie d'emission optique
FR2655209A1 (fr) Connecteur haute tension pour tube a rayons x.
EP3972771A1 (fr) Appareil a souder par faisceau d'electrons
EP0000309B1 (fr) Générateur de faisceau tubulaire d'électrons monocinétiques en orbites hélicoidales
EP0307017B1 (fr) Implanteur d'ions métalliques
FR2550379A1 (fr) Canon a electrons destine a etre monte sur une chambre de travail notamment pour le traitement de pieces par vaporisation sous vide
EP0362946A1 (fr) Dispositif d'extraction et d'accélération des ions limitant la réaccélération des électrons secondaires dans un tube neutronique scellé à haut flux
EP0095969A1 (fr) Canon à électrons avec cathode à émission de champ et lentille magnétique
WO2004114353A1 (fr) Tube generateur de rayons x a ensemble porte-cible orientable
FR2597260A1 (fr) Procede d'introduction directe automatique d'echantillons dans un spectrometre de masse, et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede
EP0314552B1 (fr) Ensemble radiogène à protection intégrale contre les rayonnements de fuite
EP0300566A1 (fr) Source d'ions de métaux liquides à arc sous vide
FR2552264A1 (fr) Canon electronique pour le chauffage de materiaux, en vue du soudage en particulier
EP1320119A1 (fr) Détecteur de rayonnements ionisants et procédé de fabrication d'un tel détecteur
CH626190A5 (enExample)
WO1990000811A1 (fr) Interface microsonde laser pour spectrometre de masse
FR2637727A1 (fr) Tube neutronique muni d'une source d'ions a confinement electrostatique des electrons
FR2467496A1 (fr) Dispositif laser a decharge dans le gaz
FR2599555A1 (fr) Tube radiogene tournant
FR2538948A1 (fr) Tube a rayons x a balayage
EP0165140A1 (fr) Source d'ions opérant par ionisation de surface, notamment pour la réalisation d'une sonde ionique