FR2548826A1 - Cathode de magnetron pour installations de pulverisation cathodique - Google Patents

Abstract

CATHODE DE MAGNETRON POUR INSTALLATIONS DE PULVERISATION CATHODIQUE, AMELIORANT L'UTILISATION DU MATERIAU DE LA CIBLE SANS PARTICIPATION DES FACES POLAIRES OU DE PIECES DU BOITIER A LA PULVERISATION. LES PROJECTIONS DE LA CIBLE 9 ET DES FACES POLAIRES 7C, 7D SUR UN PLAN COMMUN, PARALLELE A LA FACE 9A DE LA CIBLE NE SE RECOUPENT PAS. AU VOISINAGE DES FACES POLAIRES 7C, 7D, DANS LE BOITIER 16 EST EN SAILLIE SUR LA FACE 9A DE LA CIBLE, DANS LE SENS DE PULVERISATION, OU - LA RIGUEUR, SE SITUE DANS LE PLAN DE LADITE FACE. LE BOITIER 16 CONTENANT LE SYSTEME MAGNETIQUE 7 EST ISOLE ELECTRIQUEMENT DU PORTE-CIBLE 10 ET DE LA MASSE 4.

Description

La présente invention concerne une cathode de magnétron pour des

installations de pulvérisation cathodique, avec un porte-cible, pour la fixation amovible d'une cible plane, et un dispositif magnétique à faces polaires paralllèes à la surface de la cible, pour la produc5 tion d'au moins un tunnel annulaire fermé da lignes de force magnétique recouvrant la cible, le dispositif magnétique étant logé dans au moins

un boîtier en matière plastique non ferromagnétique, qui s'étend audessus des faces polaires.

Des cathodes de magnétron avec des faces de cible planes ou 10 cintrées sont suffisamment connues Un montage spatialement défini d'aimants permanents et/ou d'électroaimiants est prévu dans une position par rapport à la face de la cible telle qu'un tunnel annulaire fermé de lignes de force magnétique: est produit au-dessus de la face de la cible et limite la décharge luminescente produisant la pulvérisation 15 à une zone au voisinage immédiat de la cible, augmentant ainsi de plus d'un ordre de grandeur le taux de dép 8 t L'expression "face de la cible" désigne la surface active de la cible, soumise à la décharge luminescente et émettant les particules pulvérisées, c'est-à-dire la

face ancérieure de la cible en règle générale.

De telles cathodes de magnétron peuvent être équipées d'aimants

permanents ou d'électroaimants pour produire le tunnel annulaire fermé.

Des champs magnétiques statiques, produits par des aimants permanents, conduisent toutefois à une mauvaise utilisation du matériau de la cible, car ils se situent dans un domaine très étroit, o Ies lignes de champ magnétique sont parallèles à la face de la cible, et produisent des fossés d'érosion profonds, au voisinage desquels la plus grande partie du matériau de la cible demeure inutilisée Il s'agit d'un

grave inconvénient dans le cas de coûteux matériaux de cible La pulvérisation avec addition de gaz réactifs forme en outre régulièrement 30 dans la partie non érodée de la cible des couches électriquement isolantes, qui risquent de produire des charges ou des décharges gênantes.

Il est connu, par la demande de brevet de la République fédérale d'Allemagne publiée sous le n 27 35 525, d'augmenter l'utilisation du matériau de la cible en élargissant les fossés d'érosion Ce résul35 tat s'obtient en imprimant un mouvement constant au système magnétique, parallèlement à la face de la cible Cette disposition impose toutefois une structure complexe de la cathode de magnétron, en liaison

avec un entraînement approprié.

La demande de brevet de la République fédérale d'Allemagne 5 publiée sous le n 25 56 607 décrit la superposition d'un champ magnétique oscillant, produit par une bobine alimentée en courant alternatif, à un champ magnétique fixe produit par des aimants permanents, de façon à élargir les fossés d'érosion et par suite à améliorer l'utilisation L'effet est toutefois relativement faible, car un électroaimant ne permet pas de produire un champ magnétique suffisamment intense pour assurer, en liaison avec le système d'aimants permanents, un enlèvement pratiquement superficiel du matériau de la cible. La demande de brevet de la République fédérale d'Allemagne 15 publiée sous le n 30 47 113 décrit la suppression de l'influence gênante du fossé d'érosion sur les conditions de pulvérisation à long terme, par une augmentation constante de la distance du système

magnétique à sa face antérieure initiale, en fonction de la consommation du matériau de la cible Cette solution ne permet aussi qu'une 20 augmentation négligeable de l'utilisation du matériau de la cible.

Le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 198 283 traite également du problème d'une utilisation défavorable du matériau de la cible Afin d'accroître l'utilisation, la cible constituée par plusieurs morceaux est encastrée entre des pièces polaires en matériau magnétique doux, 25 qui constituent dans une certaine mesure le prolongement des aimants permanents logés dans le bottier refroidi en matériau non ferromagnétique L'utilisation n'est toutefois augmentée que par la possibilité de déplacer les divers morceaux de la cible après une consommation partielle, de sorte que d'autres parties superficielles peuvent être 30 soumises à la pulvérisation La maintenance d'une telle cathode de magnétron est toutefois rendue difficile par le déplacement fréquent des morceaux de la cible, le refroidissement posant des problèmes supplémentaires quand les morceaux de la cible sont tournés sur une face d'appui initialement plate et viennent ainsi en contact avec 35 le bottier refroidi par une surface présentant le fossé d'érosion précité. Dans le cas de l'objet du brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 198 283, les projections de la cible et des faces polaires des aimants permanents situées dans le boitier, se recoupent d'une part e: leencastrement serré des mc Seaux de la cible dans les pièces polaires en matriau magnetique dou: produit d'autre part dans ce cas une forte courbure des lignes de champ magnétique, conduisant aux fossés d'érosion délibéréaent prcfands et étroits La saillie des pièces polaires en matériau magnftique doux entraînerait en outre un risque de pulvérisation desdites pieces en mlme temps que le materiau de la cible si un blindage porté au potentiel de masse n'interdio

sait pas cet effet.

Le brevet de la République fédérale d'Allemagne N O 30 04 546 et le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 282 083 décrivent des cathodes 15 de magnétron dans lesquelles les projections de la cible et des faces polaires d'aimants auxiliaires se recoupent La superposition des champs magnétiques auxiliaires ainsi produits et d'un champ magnétique principal, produit par des faces polaires ne se situant pas dans la face de projection de la cible, est destinée à améliorer 20 notablement l'utilisation du matériau de la cible Indépeidammnt d'une structure très complexe d'un tel montage, les faces polaires (du système magnétique principal) non situées dans la projection de la cible sont dans ce cas aussi soumises à la pulvérisation, de sorte que des revêtements superficiels spéciaux sont nécessaires pour 25 assurer que les couches produites par le matériau de la cible ne sont pas po Dhiées par le matériau du système magnétique Un blindage à la terre également prévu interdit simplement la pulvérisation de la

face extérieure ou du boîtier de la cathode.

L'invention a donc pour objet une cathode de magnétron du type 30 précité, permettant une meilleure utilisation de la cible sans participation des faces polaires ou de parties du boîtier de l'ensemble

à la pulvérisation.

Selon une caractéristique essentielle de l'invention, a) les projections de la cible et des faces polaires sur un plan 35 conmmun, parallèle à la surface de la cible, ne se coupent pas; b) au voisinage des faces polaires, le bottier est en saillie sur la surface de la cible, dans le sens de pulvérisation, ou à la rigueur se situe dans le plan de la surface de la cible; et

le bottier contenant le système magnétique est isolé électrique5 ment par rapport au porte-cible et à la masse.

Le "sens de pulvérisation" est ici le sens de migration du matériau arraché à la cible, en direction des substrats disposés en

regard de la cathode La "face de la cible" est la face sur laquelle se produit la pulvérisation, c'est-à-dire la face antérieure visible 10 de la cible.

La caractéristique a) crée la possibilité d'une variation de la position relative de la cible et des faces polaires suivant le sens de pulvérisation, c'est-à-dire que les faces polaires peuvent aussi se situer latéralement, à côté des parois de délimitation de la cible, 15 sans que des pièces polaires spéciales en matériau magnétique doux soient nécessaires Il est ainsi possible d'exercer une influence

sur le tracé du champ magnétique par rapport à la face du cible.

Compte tenu de la distance d'isolement selon la caractéristique c), il est même particulièrement avantageux que les projections de la 20 cible d'une part et des faces polaires d'autre part se situent les une dans les autres sur un plan commun, parallèle à la face de la

cible, avec des écartements, c'est-à-dire en maintenant des entrefers.

Les faces polaires ne se situant plus derrière la cible, mais nettement en dehors de la surface de projection de cette dernière, 25 la courbure des lignes de champ magnétique est nettement réduite par rapport aux dimensions de la cible qui doivent être recouvertes par les lignes de champ, de sorte que la largeur du fossé d'érosion augmente en conséquence et améliore notablement l'utilisation du matériau. La combinaison des caractéristiques a) et b) assure un avantage

supplémentaire lors de la pulvérisation réactive de cibles métalliques.

Toute la surface de la cible est pulvérisée, de sorte que la production de couches superficielles isolantes est efficacement interdite.

Ces couches entraîneraient en effet une charge superficielle, abou35 tissant finalement à des claquages La caractéristique b) assure en

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un blindage électriquement parfait des faces latérales de la cible, sur lesquelles ni une charge, ni une décharge ne peuvent donc se

produire La pulvérisation des faces latérales est efficacement interdite.

L'avantage particulier réside toutefois dans la pulvérisation régulière de la face de cibles comprimées ou à mauvse conductibilité thermique L'apport régulier d'énergie évite toute déformation de la

cible par des contraintes thermiques.

La saillie du boîtier permet en outre de déplacer les faces polaires à l'intérieur du boîtier et par suite d'ajuster la position

relative du champ magnétique par rapport à la face de la cible.

La disposition consistant à ne pas faire se recouper les projections des cibles et des faces polaires sur un plan commun entraîne nécessairement un risque de pulvérisation des faces polaires Il est 15 certes concevable par principe de connecter l'aimant central en anode (potentiel de masse) pour interdire cette pulvérisation, mais des raisons d'isolation produisent alors au voisinage de la culasse magnétique un entrefer représentant une réluctance (brevet des Etats-Unis

d'Amérique n 4 282 083).

Une telle disposition produit en outre, entre le système magnétique et la cible, un champ électrique très intense, favorisant l'apparition de décharges luminescentes dans l'entrefer Le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 391 697 décrit certes des décharges luminescentes dans les entrefers comme souhaitables, mais une telle disposition impose 25 de nouveau de placer des matériaux spéciaux sur la base des entrefers pour interdire au matériau étranger provenant de l'entrefer de polluer les couches déposées par le matériau de la cible Il est en outre bien connu que la pulvérisation libère sous forme de chaleur dans l'anode une partie notable de la puissance électrique fournie au dispositif 30 de pulvérisation L'utilisation du système magnétique comme anode impose ainsi un système de refroidissement supplémentaire pour sa protection. La caractéristique c) offre un remède par l'isolation électrique du boîtier contenant le système magnétique par rapport au porte-cible 35 et à la masse Par suite de cette disposition, le boîtier contenant le système magnétique correspondant peut se porter automatiquement à un potentiel intermédiaire tout en conservant la géométrie des lignes de champ nécessaire pour le principe du magnétron, de sorte qu'il n'y ni pulvérisation, ni bombardement par des électrons secon5 daires à forte énergie, qui contribuent notablement à l'échauffement de l'anode Cette disposition impose toutefois quelques conditions constructives, car le boîtier contenant le système magnétique constitue normalement un corps de cathode, qui sert de support à toutes les autres pièces de la cathode et se trouve donc lui-meme au poten10 tiel de cathode (brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 198 283; demande de brevet de la République fédérale d'Allemagne publiée sous le n 28 24 289; brevet des E Tats-Unis d'Amérique n 4 385 579; demandes de brevet de la République fédérale d'Allemagne publiées sous les n 30 47 113 et 25 56 607) Cette construction usuelle doit 15 être abandonnée pour satisfaire au principe d'une double isolation

selon l'invention.

Selon une autre caractéristique particulièrement avantageuse de l'invention, un entrefer supplémentaire au moins est prévu entre le boîtier et la cible, suivant une direction parallèle à la face de cette dernière, est de préférence nettement marqué (contrairement au

principe du brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 198 283 par exemple) et s'étend sur quelques millimètres La régularité de l'érosion de la cible est pratiquement indépendante de la largeur de cet entrefer, de sorte que la cathode est protégée contre une pollution à l'intérieur 25 de l'entrefer, même en service continu.

L'invention concerne également une cathode de magnétron avec une culasse magnétique reliant les p 6 les opposés du dispositif magnétique et servant simultanément d'élément support de la cible et du boîtier avec le dispositif magnétique Selon une autre caractéristique de l'invention, la cible, le porte-cible et sa connexion électrique sont

isolés par rapport à la culasse magnétique.

Selon une autre caractéristique particulièrement avantageuse de l'invention, la culasse magnétique est plane et présente sur sa face plane des faces d'appui annulaires pour le dispositif magnétique et une pièce isolante plane; et un système de refroidissement de la cible I

repose sur la pièce isolante.

Selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, les faces polaires sont en retrait sur la face frontale du bottier, d'au moins 'épaisseur de la paroi du boîtier à cet endroit Ce retrait est avantageusement supérieur à l'épaisseur de la paroi du boîtier I de façon à former une cavité entre les faces polaires et la face frontale du boîtier Une autre piece en matériau magiétique doux peut être introduite dans cette cavit Y= de préférence avec interposition d'un ertrefer, Cetce pièce divise l'entrefer situé à est endroit en deux 10 entreers, la position spatiale de la piece en matériau magnétique doux permettant la répartition des lignes de force magnétique en lignes traversant la cible et en lignes passant au-dessus de cette

dernière Cette disposition contribue également à régulariser l'arrachement de matériau de la surface de la cible.

D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront

mieux compris à l'aide de la description détaillée ci-dessous d'un

exemple de réalisation et des dessins annexes sur lesquels la figure 1 est une coupe axiale d'une cathode de magnetron présentant pratiquement une symétrie de rotation; la 'figure 2 est le plan de la cathode de magnétron selon figure 1, mais après démontage de la cible et des parties du boîtier correspondant au dispositif magnétique; et la figure 3 est une vue de dessous de la cathode e d nmgnétron selon

figure i.

La figure 1 représente une plaque d'alimentation 1, reliée par un

support isolant 2 à une chambore à vide 3 qui est reliée à la masse.

Une culasse magnétique 5, pratiquement plane aussi, est solidaire de la plaque d'alimentation 1, mais isolée par rapport à cette dernière.

La culasse magnétique présente à sa face supérieure une surface plane 30 6, dans laquelle se trouvent des faces d'appui annulaires 6 a et 6 b pour un dispositif magnétique 7 Ce dernier est constitué par un aimant anaulaire 7 a intérieur et une rangée extérieure fermée de barreaux aimantés 7 b, qui sont tous aimantés axialement par rapport à l'axe A du système, de façon que la direction de polarisation de l'aimant 35 annulaire intérieur 7 a soit inverse de celle des barreaux aimantés

extérieurs 7 b La position des pôles est indiquée sur la figure 1.

te dispositif magnétique 7 présente, du côté opposé à la culasse

magnétique 5, des faces polaires 7 c et 7 d situées dans un plan commun.

Entre les faces d'appui 6 a et 6 b et entre les faces polaires 7 c 5 et 7 d se trouve une face d'appui annulaire 8, au-dessus de laquelle sont disposées une pièce isolante 11 et une cible annulaire 9 présentant une face plane 9 a Un choix approprié de l'épaisseur de la pièce isolante 11 permet selon l'invention d'amener la face 9 a de la cible dans une position spatiale déterminée par rapport aux faces 10 polaires 7 c et 7 d La face arrière de la cible 9 est munie d'une nervure circulaire 9 b dans laquelle sont taillés des filetages répartis sur la circonférence pour plusieurs vis de traction 10 Ces dernières permettent de fixer la cible 9 par rapport à la culasse magnétique 5

et à la plaque d'alimentation.

Entre la cible 9 et la pièce isolante 11 se trouve un système 12 de refroidissement de la cible, réalisé selon la figure 2 sous forme d'un tube bifilaire, enroulé sur deux rayons différents, présentant une section carrée ou rectangulaire, et dont les axes des différentes spires se trouvent dans un plan commun Les deux spires sont reliées 20 par un tronçon radial 12 a de tube à cnglet (figure 2) Les extrémités opposées 12 b et 12 c sont repliées à l'équerre et traversent, avec

des distances d'isolement suffisantes, des pergages non référencés de la culasse magnétique 5 ou un évidement radial la de la plaque d'alimentation 1.

Lors du serrage des vis de traction 10, la cible 9 prend appui sur le système 12 de refroidissement et ce dernier sur la pièce isolante 11. Comme le montre la figure 1, un alésage 13 s'étend de la face

plane 6 à la face plane 14 en regard de la culasse magnétique 5.

L'alésage 13 sur la figure 1 représente les six alésages de ce type dans lesquels passent les six vis de traction 10 qui sont toutes reliées avec conduction d'une part à la cible 9 et d'autre part à la

plaque d'alimentation 1.

Afin d'interdire un court-circuit entre la plaque d'alimentation 35 1 ou les vis de traction 10 et la culasse magnétique 5, une douille isolante 15 est disposée dans l'alésage 13 et présente à l'extérieur

de ce dernier une collerette 15 a s'appliquant sur la face plane 14.

La force exercée par la vis de traction 10 applique cette collerette

sur la plaque d'alimentation 1.

On voit que de cette façon la plaque d'alimentation 1 est, avec la cible 9, isolée électriquement de la culasse 5 portant le dispo tif magnétique 7 et de la chambre à vide 3 ou de la masse 4 Alors que la cible 9 peut être portée par la plaque d'alimentation 1 à un potentiel négatif défini et que la masse b représente aussi un poten10 tiel défini (potentiel nul), le dispositif magnétique 7 avec la culasse 5 est libre et peut se porter à un potentiel intermédiaire fixée par la condition de service, une pulv Erisation du dispositif

magnétique étant automatiquement interdite dès que ce potentiel intermédiaire est atteint, en un temps extrêmement court.

Les vis de traction 10 peuvent être considérées dans ce cas conme le porte-cible Alors que dans le cas de cibles métalliques, il est possible de visser les vis de traction 10 directement dans le matériau de la cible 9, on peut lors de la pulvérisation de cibles diélectriques par exemple, disposer sur la pièce isolante il un anneau matéllique sur 20 lequel le matériau diélectrique de la cible est fixé Cet anneau métallique représente alors une liaison à bonne conductibilité thermique avec le système 12 de refroidissement de la cible et absorbe en

outre les forces mécaniques qu'une cible diélectrique fragile ne pourrait pas absorber Un canal de refroidissement 25 dans la culasse 25 magnétique 5 améliore en outre la dissipation de chaleur.

Le dispositif magnétique 7 est logé dans un boîtier 16, constitué par un matériau non ferromagnétique Le boîtier 16 est formé par deux pièces à symétrie de rotation, à savoir une pièce centrale 16 a en pot, entourant l'aimant annulaire 7 a et fixée par une vis 17 sur la culasse 30 magnétique 5, et une pièce extérieure annulaire 16 b qui vue en coupe entoure les barreaux aimantés 7 b suivant une rangée sans fin, c'est-àdire fermée, et que plusieurs vis 18, dont une seule est représentée, fixent également sur la culasse magnétique 5 Le boîtier 16 comporte une face frontale 16 e, constituée par une face circulaire

(de la pièce 16 a) et une face annulaire concentrique (de la pièce 16 b).

A partir de cette face frontale 16 e, le boîtier 16 est en retrait sur la cible 9, c'est-à-dire qu'il présente au voisinage de ses bords intérieurs deux saillies 16 c et 16 d en forme de bride parallèle à la face frontale 16 e, qui recouvrent suffisamment la pièce isolante plane 11 pour qu'elle ne soit pas visible par les entrefers 19 et 20

décrits ci-dessous entre la cible 9 et le boîtier 16.

On voit en outre que les deux pièces 16 a et 16 b du boîtier recouvrent, à partir de la face frontale 16 e, les aimants 7 a et 7 b ou leurs faces polaires 7 c et 7 d, et recouvrent, sous forme de deux châssis 10 cylindriques, les faces cylindriques intérieure et extérieure de la cible 9, avec formation des deux entrefers annulaires 19 et 20 Les parties en forme de châssis du bottier 16 peuvent être considérées

comme faisant partie des entrefers 19 et 20, car elles sont constituées par un matériau non ferromagnétique.

Le recouvrement précité de la pièce isolante 11 par les saillies 16 c et 16 d en forme de bride interdit efficacement que, dans le cas d'une pulvérisation en sens inverse, du matériau conducteur se dépose sur la pièce isolante et nuise à ses propriétés d'isolation Il convient de tenir compte de ce que les distances disponibles sont relati20 vement faibles, de sorte que les propriétés d'isolation doivent être conservées dans une large mesure, même pour des périodes de service prolongées. On voit en outre que les faces polaires 7 c et 7 d sont en retrait sur la face frontale 16 e du bottier d'une distance supérieure à l'épaisseur de la paroi à cet endroit du bottier Des cavités 21 et 22 sont ainsi formées entre les faces polaires 7 c et 7 d, et la face frontale 16 e du boîtier, pour le logement de pièces 23 et 24 en matériau magnétique doux Ces pièces présentent la forme d'anneaux géométriquement semblables au tracé des faces frontales du boîtier Des 30 entrefers sont ainsi formés entre les pièces 23 et 24 en matériau magnétique doux d'une part et les faces polaires 7 c et 7 d d'autre part, représentent une réluctance et permettent une sortie latérale de lignes de champ magnétique en direction de la cible 9 Une autre partie des lignes de champ magnétique ne sort également que par les pièces

23 et 24 en matériau magnétique doux et suit par conséquent des trajec-

* 25 1826

toires légèrement cintrées au-dessus de la surface 9 a de la cible.

(Les pièces 23 et 24 en mat Sriau magnétique doux ne sont représentés que sur la moitié gauche de la figure 1; elles s'étendent évidemment

tout autour de l'axe A-A).

L'invention ne se limite absolument pas à la disposition représenutée aux figures 1 à 3 avec pratiquement une symétrie de rotation, mais s'applique aussi, et avec un avantage particulier, aux cathodes rectangulaires allongees, du type utilisé par exemple pour l'enduction de grandes fenetres De telles cathodes peuvent sans difficulté 10 présenter une longueur d'environ 4 m pour une largeur d'environ 30 à cm Toutes les formes intermédiaires entre le cercle et le rectangle

sont également concevables.

Bien entendu, diverses modifications peuvent tre apportées par l'homme de l'art au principe et aux dispositifs qui viennent 15 d'être décrits uniquement à titre d'exemples non limitatifs, sans sortir du cadre de l'inventiono

Claims (8)

Revendications

1 Cathode de magnétron pour des installations de pulvérisation cathodique, avec un porte-cible, pour la fixation amovible d'une cible plane, et un dispositif magnétique à faces polaires parallèles à la surface de la cible, pour la production d'au moins un tunnel annulaire fermé de lignes de force magnétique recouvrant la cible, et logé dans au moins un boîtier en matériau non ferromagnétique, qui s'étend au-dessus des faces polaires, ladite cathode étant caractérisée en ce que: a) les projections de la cible ( 9) et des faces polaires ( 7 c, 7 d) sur un plan commun, parallèle à la surface de la cible ( 9 a), ne se recoupent pas; b) au voisinage des faces polaires ( 7 c, 7 d), le boîtier ( 16) est en saillie sur la surface de la cible ( 9 a), dans le sens de pulvérisa15 tion ou à la rigueur se situe dans le plan de ladite surface ( 9 a); et c) le boîtier ( 16) contenant le système magnétique ( 7) est isolé

électriquement par rapport au porte-cible ( 10) et à la masse ( 4).

2 Cathode de magnétron selon revendication 1, caractérisée-Ppar-au 20 moins un entrefer supplémentaire ( 19, 20) entre le boîtier ( 16) et la

cible ( 9).

3 Cathode de magnétron selon revendication 1, avec une culasse reliant les p$ 1 es opposés du dispositif magnétique et servant simultanément de support à la cible et au dispositif magnétique, ladite cathode étant caractérisée en ce que la cible ( 9), le porte-cible ( 10) et sa connexion electrique ( 1) sont isolés par rapport à la culasse

magnétique ( 5).

4 Cathode de magnétron selon revendication 3, caractérisée en ce que la culasse magnétique ( 5) est réalisée sous forme d'une plaque et 30 présente sur sa face plane ( 6) des faces d'appui annulaires fermées ( 6 a, 6 b et 8 a) pour le dispositif magnétique ( 7) et une pièce isolante plane ( 11); et-un système ( 12) de refroidissement de la cible repose

sur la pièce isolante ( 11).

Cathode de magnétron selon une quelconque des revendications 1 à 35 4, caractérisée en ce que le boîtier ( 16), à partir de sa face frontale

( 16 e), est en retrait derrière la cible ( 9) et présente au voisinage de ses bords intérieurs deux saillies ( 16 c, 16 d), en forme de bride parallèle à la face frontale ( 16 e), qui recouvrent la pièce isolante plane ( 11) suffisamment pour qu'elle ne soit pas visible à travers les entrefers ( 19, 20) entre la cible ( 9) et le boîtier ( 16).

6 Cathode de magnétron selon une quelconque des revendications 1

à 5, caractérisée en ce que les faces polaires ( 7 c, 7 d) sont en retrait sur la face frontale ( 16 e) du boîtier ( 16) d'au moins l'épaisseur de la paroi à cet endroit du boîtier,

7 Cathode de magnétron selon une quelconque des revendications 1

à 6, caractérisée en ce qu'une autre pièce ( 23, 24) en matériau magnétique doux est logée dans au moins une des cavités ( 21, 22) formées entre les faces polaires ( 7 c, 7 d) et la face frontale ( 16 e) du boîtier

( 16).

8 Cathode de magnétron selon revendication 7, caractérisée par un entrefer entre les faces polaires ( 7 c, 7 d) et la pièce supplémentaire

( 23, 24) en matériau magnétique doux.

9 Cathode de magnétron selon une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que la position relative de la face ( 9 a) de 20 la cible et des faces polaires ( 7 c, 7 d) est ajustable dans le sens de

pulvérisation, à lfaide de pièces isolantes planes ( 11) d'épaisseur différente.

Cathode de magnétron selon une quelconque des revendications 1

à 9, caractérisée en ce que la partie ( 16 b) extérieure du boîtier 25 ( 16) recouvre la culasse nagnétique ( 5).