FR2491502A1 - Procede pour la preparation de cibles pour la pulverisation cathodique en chrome ou alliage de chrome - Google Patents
Procede pour la preparation de cibles pour la pulverisation cathodique en chrome ou alliage de chrome Download PDFInfo
- Publication number
- FR2491502A1 FR2491502A1 FR8118631A FR8118631A FR2491502A1 FR 2491502 A1 FR2491502 A1 FR 2491502A1 FR 8118631 A FR8118631 A FR 8118631A FR 8118631 A FR8118631 A FR 8118631A FR 2491502 A1 FR2491502 A1 FR 2491502A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- chromium
- gas
- targets
- pressure
- chrome
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/12—Both compacting and sintering
- B22F3/14—Both compacting and sintering simultaneously
- B22F3/15—Hot isostatic pressing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
- C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Heat Treatment Of Nonferrous Metals Or Alloys (AREA)
Abstract
L'INVENTION A POUR OBJET UN PROCEDE POUR LA PREPARATION DE PIECES MOULEES EN CHROME OU EN UN ALLIAGE A BASE DE CHROME APPROPRIEES COMME CIBLES POUR LA PULVERISATION CATHODIQUE. SELON L'INVENTION, ON INTRODUIT LE CHROME OU L'ALLIAGE DE CHROME DANS UNE GAINE EN METAL, ON FAIT LE VIDE DANS CELLE-CI ET ON LA VERROUILLE DE MANIERE ETANCHE AUX GAZ, ON SOUMET A L'ACTION D'UN GAZ OU MELANGE GAZEUX PRESENTANT UNE PRESSION DANS L'INTERVALLE DE 700 A 3100 BARS A UNE TEMPERATURE DANS L'INTERVALLE DE 600 A 1500C, JUSQU'A CE QUE LA DENSITE DE LA PIECE MOULEE OBTENUE CORRESPONDE A PEU PRES A LA DENSITE THEORIQUE, ET ENSUITE ON LA SEPARE DE LA PIECE MOULEE APRES AVOIR ATTEINT LA TEMPERATURE AMBIANTE ET LA PRESSION NORMALE.
Description
249 1502
L'invention concerne un procédé pour la préparation
de pièces moulées en chrome ou en un alliage à base de chrome appro-
priées pour la pulvérisation cathodique.
Il est connu d ' utiliser des cibles en chrome déposé par voie galvanique sur un support pour l'application de couches minces de chrome par pulvérisation cathodique. Mais ce "chrome
électrolytique" possède une teneur relativement élevée en gaz, princi-
palement de l'oxygène.
On peut préparer des pièces moulées appropriées comme cibles en chrome et alliages de chromepar exemple Cr8OFe2O et
Cr9OAlO, par une technique de fusion ou par pressage à chaud mono-
axial des poudres. Mais ces pièces moulées sont poreuses et dans l'obtention par une technique de fusion présentent également des
fissures, de sorte qu'il peut se produire des défauts dans la forma-
tion de la couche pendant la pulvérisation cathodique.
L'invention a donc pour objet un procédé pour la prépa-
ration de cibles exemptes de fissures et de pores en chrome ou en un
alliage à base de chrome.
On résout le problème de l'invention par un procédé dans lequel on place le chrome ou l'alliage de chrome dans une gaine métallique, on fait le vide dans celle-ci, on la verrouille de manière étanche auxgaz, on la soumet à l'action d'un gaz ou mélange gazeux présentant une pression dans l'intervalle de 700 à 3100 bars à une température dans l'intervalle de 600 à 15001C,jusqu'à ce que la densité de la pièce moulée obtenue corresponde à peu près à la densité théorique, et ensuite on la sépare de la pièce moulée après avoir
atteint la température ambiante et la pression normale.
On place le chrome ou l'alliage de chromepar exemple Cr8OFe2O, Cr9OAllO et Cr7ONi3O dans la gaine métallique sous forme de poudre, de préférence à une grosseur de particules entre 20 et ,u, sous forme de pièce moulée obtenue à partir de celle-ci par pressage à froid ou à chaud ou sous forme de pièce coulée poreuse obtenue à partir de la masse fondue. Dans le cas de l'alliage de chrom% on peut aussi utiliser un mélange sous forme de poudre des composants individuels de l'alliage ou une pièce pressée obtenue à partir de celle-ci par pressage à froid ou à chaud. On entend donc également au sens de l'invention ces matières premières non alliées qui forment
l'alliage de chrome pendant le procédé selon l'invention.
24 915 0 2
De préférenceon utilise dans le cas du chrome une
pression de 1200 bars et une température de 13400C.
Le traitement de pression et température s'effectue de préférence avec un gaz rare, en particulier l'argon ou l'azote ou un mélange de ces gaz. Pour obtenir une amélioration de la désorption des gaz adsorbés sur la surface du produit de départ introduit dans la gaine métallique, il s'est révélé avantageux de chauffer celle-ci pendant
la mise sous vide, de préférence à environ 2000C..
La gaine est de préférence une gaine en acier, que l'on sépare de la pièce moulée obtenue par traitement mécanique ou par dérochage.
Les cibles moulées obtenues par le procédé selon l'inven-
tion sont homogènes, exemptes de fissures et de pores.
L'exemple suivant illustre l'invention sans toutefois en
limiter la portée.
EXEMPLE
On place un disque de tôle (diamètre 225 mm, épaisseur mm) d'une densité d'environ 70 % de la valeur théorique, obtenu par pressage isostatique à froid de poudre de chrome de dimension de particules 60 - l50oPm sous une pression de 2500 bars, dans une gaine en acier dont les dimensions intérieures correspondent aux dimensions du disque et dont l'épaisseur de paroi est de 2 mm. On soude ensuite la gaine d'acier de manière étanche atxgaz au moyen d'un couvercle en acier de même épaisseur de paroi, dans lequel est soudé un tube d'acier pour la mise sous vide de la gaine d'acier. On fait ensuite le vide (environ 10-3 à 10 4 mbars) dans la gaine d'acier au moyen du tube d'acier en chauffant la gaine et le disque à environ 2001C, on la verrouille de manière étanche auxgaz et on la place dans un récipient sous pression. On soumet dans celui-ci la gaine d'acier avec le disque de chrome à une pression d'argon de 1200 bars et une température de 1340 C pendant 3 heures. On détend ensuite l'argon et on laisse refroidir à la température ambiante et on retire la gaine d'acier du récipient sous pression. On sépare ensuite la gaine d'acier
de la cible de chrome par fraisage.
Le procédé selon l'invention est mis en oeuvre dans des
appareils sous pression du commerce à température réglable, fonction-
nant sous pression de gaz.
Claims (5)
1. Procédé pour la préparation de pièces moulées en chrome ou en alliage à base de chrome appropriées comme cibles pour la pulvérisation cathodique, caractérisé en ce que l'on introduit le chrome ou l'alliage de chrome dans une gaine en métal, on fait le vide dans celle-ci et on la verrouille de manière étanche aux gaz, on soumet à l'action d'un gaz ou mélange gazeux présentant une pression
dans l'intervalle de 700 à 3100 bars à une température dans l'inter-
valle de 600 à 15000C, jusqu'à ce que la densité de la pièce moulée obtenue corresponde à peu près à la densité théorique, et ensuite on la sépare de la pièce moulée après avoir atteint la température
ambiante et la pression normale.
2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la gaine métallique est remplie avec le chrome ou l'alliage de chrome
sous forme de poudre.
3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que
le chrome ou l'alliage de chrome est introduit dans la gaine métalli-
que sous forme d'une pièce pressée.
4. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que
le chrome ou l'alliage de chrome est introduit dans la gaine métalli-
que sous forme d'une pièce coulée présentant des pores ou des fissures
ou leurs -combinaisons.
5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4,
caractérisé en ce que dans.le cas du chrome on utilise une pression
de 1200 bars à une température de 13400C.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19803037617 DE3037617A1 (de) | 1980-10-04 | 1980-10-04 | Verfahren zur herstellung von targets aus chrom oder chrom-legierungen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2491502A1 true FR2491502A1 (fr) | 1982-04-09 |
Family
ID=6113652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8118631A Withdrawn FR2491502A1 (fr) | 1980-10-04 | 1981-10-02 | Procede pour la preparation de cibles pour la pulverisation cathodique en chrome ou alliage de chrome |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5792103A (fr) |
| DE (1) | DE3037617A1 (fr) |
| FR (1) | FR2491502A1 (fr) |
| GB (1) | GB2085032A (fr) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2151261A (en) * | 1983-12-14 | 1985-07-17 | Rolls Royce | Recovery of machine swarthy hot isostatic pressing |
| JPS62174373A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-07-31 | Hitachi Metals Ltd | クロムタ−ゲツト材及びその製造方法 |
| JPH0699728B2 (ja) * | 1985-10-31 | 1994-12-07 | 東ソー株式会社 | 金属クロム圧延体の製造法 |
| JPS62107036A (ja) * | 1985-11-02 | 1987-05-18 | Toyo Soda Mfg Co Ltd | 金属クロム成型体及びその製造法 |
| JP5053961B2 (ja) * | 2008-09-08 | 2012-10-24 | 株式会社東芝 | スパッタリングターゲット |
| JP5268771B2 (ja) * | 2009-05-07 | 2013-08-21 | 株式会社東芝 | スパッタリングターゲットの製造方法、それを用いた硬質被膜の形成方法および硬質被膜被覆部材 |
| CN103785838B (zh) * | 2012-11-01 | 2016-06-01 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 铬靶材的制作方法 |
| CN105695832A (zh) * | 2014-11-26 | 2016-06-22 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | CrMo合金的成型方法 |
| CN111604503B (zh) * | 2020-06-12 | 2022-03-29 | 钢铁研究总院 | 一种FeCrAl不锈钢复合管坯及其制备方法 |
-
1980
- 1980-10-04 DE DE19803037617 patent/DE3037617A1/de not_active Withdrawn
-
1981
- 1981-10-01 GB GB8129663A patent/GB2085032A/en not_active Withdrawn
- 1981-10-02 FR FR8118631A patent/FR2491502A1/fr not_active Withdrawn
- 1981-10-02 JP JP15634881A patent/JPS5792103A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3037617A1 (de) | 1982-04-22 |
| GB2085032A (en) | 1982-04-21 |
| JPS5792103A (en) | 1982-06-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4135286A (en) | Sputtering target fabrication method | |
| KR960011244B1 (ko) | 텅스텐-티탄 스퍼터링 타겟트의 제조방법 | |
| FR2798395A1 (fr) | Procede de fabrication de cibles de pulverisation inter- metalliques haute-densite | |
| US6010661A (en) | Method for producing hydrogen-containing sponge titanium, a hydrogen containing titanium-aluminum-based alloy powder and its method of production, and a titanium-aluminum-based alloy sinter and its method of production | |
| TWI596222B (zh) | Cylindrical Cu-Ga alloy sputtering target and method of manufacturing the same | |
| FR2491502A1 (fr) | Procede pour la preparation de cibles pour la pulverisation cathodique en chrome ou alliage de chrome | |
| KR20090031499A (ko) | 냉간 압축 성형된 스퍼터 타겟 | |
| CN111778487A (zh) | 一种铬铝合金溅射靶材及其制备方法 | |
| EP1146979B1 (fr) | Procede de fabrication d'une cible de pulverisation en silicium/aluminium | |
| RU97103986A (ru) | Способ и устройство для направленного затвердевания расплава | |
| US5993734A (en) | Method for making W/Ti sputtering targets and products in an inert atmosphere | |
| US2818339A (en) | Method for producing malleable and ductile beryllium bodies | |
| US6805189B2 (en) | Die casting | |
| SU1752517A1 (ru) | Способ изготовлени многослоистых спеченных изделий | |
| JPH032230B2 (fr) | ||
| RU2822495C1 (ru) | Способ получения плотного материала из порошка титана | |
| SU884856A1 (ru) | Способ получени изделий из безвольфрамовых твердых сплавов | |
| SU1044432A1 (ru) | Способ изготовлени пористых спеченных изделий из титана | |
| JPH0663002B2 (ja) | 希土類含有金属の焼結法 | |
| JPS63235407A (ja) | 高脆性合金スパツタリングタ−ゲツトの製造方法 | |
| JPS63162863A (ja) | スパツタリング用クロムタ−ゲツトの製造方法 | |
| JPH02250964A (ja) | センダスト合金ターゲットおよびその製造方法 | |
| JPH04263069A (ja) | スパッタリング用ターゲットおよびその製造方法 | |
| NO161603B (no) | Anvendelse av fluorerte norbornylsiloksaner til avskumming av nytransportert, avgassende jordolje. | |
| FR2459788A1 (fr) | Procede de fabrication de produits thermostables de grande refractarite en ceramique |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RE | Withdrawal of published application |