FR2486927A1 - Procede de revetement interieur d'un tube substrat en verre pour la fabrication d'une preforme de fibre optique - Google Patents
Procede de revetement interieur d'un tube substrat en verre pour la fabrication d'une preforme de fibre optique Download PDFInfo
- Publication number
- FR2486927A1 FR2486927A1 FR8113947A FR8113947A FR2486927A1 FR 2486927 A1 FR2486927 A1 FR 2486927A1 FR 8113947 A FR8113947 A FR 8113947A FR 8113947 A FR8113947 A FR 8113947A FR 2486927 A1 FR2486927 A1 FR 2486927A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- substrate tube
- tube
- electric field
- heated zone
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C16/045—Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/453—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
LA PRESENTE INVENTION CONCERNE LA FABRICATION DE PREFORMES DE FIBRES OPTIQUES PAR LE PROCEDE CLASSIQUE DE DEPOSITION EN PHASE VAPEUR D'UN REVETEMENT DE VERRE A L'INTERIEUR D'UN TUBE DE VERRE ET, PLUS PARTICULIEREMENT, DE NOUVEAUX MOYENS DE MODIFICATION DE CE PROCEDE POUR ACCROITRE LA VITESSE DE DEPOT. CES MOYENS SONT CONSTITUES PAR UN CHAMP ELECTRIQUE LOCAL PRODUIT EN AVAL DE LA SOURCE DE CHALEUR 2 PAR UN SYSTEME D'ELECTRODES 7, 8 QUI EST DEPLACE LE LONG DU TUBE 1 EN MEME TEMPS QUE LA SOURCE 2. UN CHAMP ELECTRIQUE PRATIQUEMENT RADIAL PEUT AINSI ETRE PRODUIT PAR UNE ELECTRODE ANNULAIRE EXTERNE 7 ET UNE ELECTRODE INTERNE EN FORME DE TIGE 8 CONFONDUE AVEC L'AXE DU TUBE 1. EN VARIANTE, DES BALAIS FIXES OU UN JET DE GAZ CREENT UN CHAMP ELECTROSTATIQUE ANALOGUE PAR FROTTEMENT SUR LA MEME REGION DU TUBE QUI TOURNE SUR SON AXE PENDANT LA DEPOSITION.
Description
-1 22486927
La présente invention concerne un procédé de revêtement intérieur d'un tube substrat en verre par déposition des produits d'une réaction chimique en phase vapeur formant le revêtement, pour la fabrication d'une préforme de fibre optique, au cours duquel les réactifs sont introduits dans le tube substrat qui tourre autour de son axe longitudinal et sont amenés à réagir dans une zone chauff4e qui est déplacée le long du tube substrat, les produits de réaction formant le revêtement étant déposés en aval de la zone chauffée et des mesures
étant prises pour aider à la-déposition de ces produits de réaction.
Un tel procédé est décrit et publié dans le brevet international
PCT-WO 80/00440.
Afin d'aider à la déposition des produits formateurs de verre qui résultent de la réaction chimique en phase vapeur, on dispose une
source de chaleur supplémentaire selon la technique connue, en aval de-
la source de chaleur responsable de la création de la zone chauffée nécessaire à la réaction chimique en phase vapeur. Cette source de chaleur est supposée produire des forces thermophorétiques supplémentaires qui servent à accélérer le mouvement de parties supplémentaires des produits de réaction formateurs de verre en direction de la paroi intérieure-du tube, sans quoi elles ne seraient pas déposées et sortiraient du tube
substrat en même temps que les gaz d'échappement.
L'objet de l'invention est de fournir un procédé du type précité dans lequel la déposition des produits de réaction qui forment le revêtement est favorisée par la prise de mesures autres que les mesures
classiques.
Ce but est atteint par le fait qu'en aval de la zone chauffée est produit un champ électrique local qui se déplace en synchronisme avec elle, pour aider à la déposition des produits de réaction qui forment le
revêtement sur la paroi intérieure du tube substrat.
Le champ électrique peut être créé en électrisant une région du tube substrat par frottement, les moyens d'électrisation par frottement agissant à la surface extérieure du tube en rotation, pendant la réaction chimique en phase vapeur, et se déplaçant en synchronisme avec la zone chauffée. Ces moyens sont constitués par des balais entourant le tube ou
par un courant de gaz sec dirigé sur une région limitée du tube.
En variante, le champ électrique est produit par deux électrodes, l'une d'entre elles étant disposée à l'intérieur et l'autre à l'extérieur du tube substrat, pour créer un champ électrique radial. L'électrode interne se présente par exemple sous la forme d'une tige et l'électrode
externe sous celle d'un anneau.
2 2486927
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description
détaillée qui va suivre, faite à titre d'exemple non limitatif, en se reportant aux figures annexées qui représentent: - la figure 1, les parties qui sont nécessaires à la compréhension de l'invention d'une installation destinée au revêtement intérieur d'un tube substrat selon le procédé de déposition à partir d'une réaction chimique en phase vapeur, pendant laquelle est produit un champ électrique local à l'intérieur du tube de verre par l'action de moyens externes de frottement; - la figure 2, une installation correspondant à celle de la figure 1, dans laquelle l'électrisation par frottement, repanseble de la production du champ électrique, est produite par le fait que le tube substrat est soumis à l'action d'un courant de gaz sec; - la figure 3, une installation correspondant à la figure 1 ou à la figure 2, dans laquelle le champ électrique local est produit
par deux électrodes.
Dans la figure 1, la référence numérique 1 désigne le tube substrat dont la paroi intérieure doit être revêtue. Au moyen d'un tour de verrerie horizontal (non représenté), on fait tourner le substrat autour de son axe longitudinal pendant le processus du revêtement intérieur. Pour exécuter la réaction chimique en phase vapeur, on utilise comme source de chaleur, par exemple, un brûleur à oxygène et à hydrogène 2 produisant une zone chauffée 3 à l'intérieur du tube substrat. Cette source de chaleur est disposée de façon telle qu'elle puisse être déplacée parallèlement à l'axe longitudinal du tube substrat 1. Les réactifs qui sont soit gazeux soit à l'état de vapeur - désignés dans les figures par le terme de gaz de réaction - en circulant à l'intérieur du tube substrat à partir de son extrémité, réagissent dans la zone chauffée 3 en formant des produits de réaction qui, postérieurement à leur déposition sur la paroi intérieure du tube, sont fondus en aval de la zone chauffée pour former le revêtement vitreux. Dans le même temps, le déplacement longitudinal de la zone chauffée 3 assure un revêtement intérieur uniforme du tube substrat 1
en rotation.
Selon l'invention, un champ électrique local est maintenant produit en aval de la zone chauffée 3, qui augmente la vitesse des produits de réaction formateurs de verre, particulièrement les particules de SiO2, en direction de la paroi intérieur du tube. Sans cette accélération supplémentaire, la plus grande partie des produits de réaction formateurs de verre sortirait du tube substrat et serait ainsi
3 2486927
perdue pour le revêtement intérieur.
Dans l'installation, telle que la représente la figure 1, on crée le champ électrique en disposant les moyens de frottement 4 à l'extérieur du tube substrat 1, ce qui lors de la rotation du tube substrat 1, produit l'électrisation du tube par frottement. L'accélération des produits de réaction formateurs de verre en direction de la paroi intérieure du tube provoquée par le champ électrique ainsi produit est due au fait qu'un corps diélectrique à l'intérieur d'un champ électrique non homogène est soumis à-une force dirigée vers les points ou l'intensité du champ électrique est la plus élevée. On peut, comme moyens de frottement utiliser des balais ou autres éléments d'un matériau approprié. Les moyens de frottement 4 sont disposés dans un endroit fixe en aval de la zone chauffée, la source de chaleur 2 ainsi que les moyens de frottement 4 étant montés sur un support 5 commun à chacun d'entre eux. Par conséquent, le champ électrique produit se déplace le long de l'axe longitudinal
du tube substrat en synchronisme avec la zone chauffée 3.
Dans l'installation, telle que la représente la figure 2, le champ électrique local est créé de la même manière en produisant l'électrisation par frottement du tube substrat 1 mais dans ce cas on ne frotte pas le tube substrat 1 par des moyens mécaniques, mais par un courant de gaz sec, émis en direction du tube par un bec 6 dans une région limitée. Ce bec 6 est de nouveau monté avec la source de chauffage sur un support commun 5 de manière que le champ électrique produit par frottement dans une région située en aval de la zone chauffée 3 soit
déplacé en synchronisme le long de l'axe longitudinal du substrat 1.
On peut utiliser pour le courant de gaz sec qui s'écoule du
bec 6 un gaz inerte, comme l'azote.
Une autre possibilité pour produire le champ électrique aidant à la déposition du matériau formateur de verre est représentée
par la figure 3. Là le champ électrique est produit grâce à deux -
électrodes 7 et 8 qui sont connectées aux pôles d'une source de courant continu 9. L'électrode 8 se présente sous la forme d'une tige et s'avance, à partir de l'extrémité à laquelle sortent les gaz d'échappement, dans le tube substrat 1. L'autre électrode 7 est disposée à l'extérieur du tube substrat 1 en aval de la source de chaleur 2 et, par exemple, se présente sous une forme annulaire, de telle sorte que dans l'espace compris entre les deux électrodes il existe un champ électrique symétrique presque radial. L'électrode interne 8 est connectée au pole négatif, et l'électrode externe 7 au pole positif de la source de tension 9. De manière que le champ électrique, comme dans les exemples de réalisation décrits jusqu'ici, puisse se déplacer en synchronisme avec la zone chauffée 3, les deux électrodes ainsi que leurs éléments de maintien et 11, sont disposées rigidement à l'opposé de la source de chaleur 2, par le fait que les éléments de maintien 10, 11, au moyen d'une tige 12, sont fermement reliés à la source de chaleur 2. Le support commun à la source de chaleur 2 et aux-éléments de maintien 10 et 11 n'est pas
représenté dans la figure.
Le champ électrique,tel qu'il est créé par les électrodes 7 et 8, agit maintenant à la manière d'un séparateur électrique de type
connu.
A la proximité directe de l'électrode interne 8 existe un champ électrique à intensité élevée sous l'influence duquel des particules formatrices de verre sont chargées négativement. Les particules ainsi chargées se déplacent en direction de l'électrode positive 7 et sont
ainsi déposées sur la paroi intérieure du tube.
Il est bien évident que la description qui précède n'a été
donnée qu'à titre d'exemple non limitatif et que d'autres variantes peuvent
être envisagées sans sortir pour autant du cadre de l'invention.
22486927
Claims (6)
1. Procédé de revêtement intérieur d'un tube substrat en verre par déposition de produits d'une réaction chimique en phase vapeur formant le revêtement, pour la fabrication d'une préforme de fib4re optique, au cours duquel les réactifs sont introduits dans le tube substrat qui tourne autour de son axe longitudinal et sont amenés à réagir dans une zone chauffée qui est déplacée le long du tube substrat, les produits de réaction formant le revêtement étant déposés en aval de la zone chauffée et des mesures étant prises pour aider à la déposition desdits produits de réaction, caractérisé par le fait qu'en QOIl de la zone îO chauffée (3) est produit un champ électrique local qui est déplacé en synchronisme avec elle, pour aider à la déposition des produits de réaction
qui forment le revêtement sur la paroi intérieure du tube substrat (1).
2. Procédé conforme à la revendication 1, caractérisé par le fait que ledit champ éldectrique est créé par des moyens d'électrisation par
frottement (4,6) sur ledit tube substrat (1).
3. Procédé conforme à la revendication 2, caractérisé par le fait que lesdits moyens d'électrisation par frottement agissent sur la surface extérieure dudit tube substrat en rotation (1), pendant la réaction chimique en phase vapeur, lesdits moyens (4) se déplaçant en synchronisme
avec ladite zone chauffée (3).
4. Procédé conforme à la revendication 2, caractérisé par le fait que ladite électrisation par frottement est produite du fait que ledit tube substrat (1) quand il tourne pendant la réaction chimique en phase vapeur est soumis à l'action d'un courant de gaz sec (6) à l'intérieur d'une zone locale qui se déplace en synchronisme avec ladite zone chauffée (3).
5. Procédé conforme à la revendication 1, caractérisé par le fait que ledit champ électrique est produit par deux électrodes (7,8), l'une d'entre elles (8) étant disposée à l'intérieur, et l'autre (7) à l'extérieur dudit tube substrat (1), c'est-à-dire de telle sorte qu'entre lesdites électrodes (7,B), il existe un champ électrique dirigé de manière radiale, les deux électrodes (7,8) se déplaçant en synchronisme avec
ladite zone chauffée (3), dans le sens longitudinal dudit tube substrat (1).
6. Procédé conforme à la revendication 5, caractérisé par le fait que ladite électrode interne (8) se présente sous la forme d'une tige,
et ladite électrode externe (7), sous celle d'un anneau.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803027450 DE3027450C2 (de) | 1980-07-19 | 1980-07-19 | Verfahren zur Innenbeschichtung eines Glas-Substratrohres für die Herstellung eines Glasfaser-Lichtleiters |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2486927A1 true FR2486927A1 (fr) | 1982-01-22 |
FR2486927B1 FR2486927B1 (fr) | 1985-02-22 |
Family
ID=6107625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR8113947A Granted FR2486927A1 (fr) | 1980-07-19 | 1981-07-17 | Procede de revetement interieur d'un tube substrat en verre pour la fabrication d'une preforme de fibre optique |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
AT (1) | AT380867B (fr) |
BE (1) | BE889655A (fr) |
CH (1) | CH652112A5 (fr) |
DE (1) | DE3027450C2 (fr) |
FR (1) | FR2486927A1 (fr) |
GB (1) | GB2079742B (fr) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3206175A1 (de) * | 1982-02-20 | 1983-08-25 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zur herstellung einer vorform, aus der optische fasern ziehbar sind |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3319448A1 (de) * | 1983-05-28 | 1984-11-29 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Verfahren zur herstellung von lichtwellenleitern |
NL8302127A (nl) * | 1983-06-15 | 1985-01-02 | Philips Nv | Werkwijze en inrichting voor de vervaardiging van optische vezels. |
DE3326043A1 (de) * | 1983-07-20 | 1985-02-07 | Licentia Gmbh | Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes und dessen verwendung |
US6003342A (en) * | 1991-10-25 | 1999-12-21 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Apparatus for production of optical fiber preform |
KR0168009B1 (ko) * | 1996-09-13 | 1999-10-15 | 김광호 | 광섬유 모재를 제조시 사용되는 냉각장치 |
DE19852722C1 (de) * | 1998-11-16 | 2000-06-15 | Karlsruhe Forschzent | Verfahren zur Innenbeschichtung von Kapillaren und deren Verwendung |
US7608151B2 (en) | 2005-03-07 | 2009-10-27 | Sub-One Technology, Inc. | Method and system for coating sections of internal surfaces |
US20080210290A1 (en) * | 2006-04-14 | 2008-09-04 | Dau Wu | Plasma inside vapor deposition apparatus and method for making multi-junction silicon thin film solar cell modules and panels |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2284572A1 (fr) * | 1974-09-14 | 1976-04-09 | Philips Nv | Procede pour la realisation de tubes en verre a revetement interieur pour l'etirage de fibres optiques |
US3982916A (en) * | 1975-12-24 | 1976-09-28 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Method for forming optical fiber preform |
DE2930781A1 (de) * | 1979-07-28 | 1981-02-12 | Licentia Gmbh | Verfahren zur herstellung einer lichtleitfaser |
-
1980
- 1980-07-19 DE DE19803027450 patent/DE3027450C2/de not_active Expired
-
1981
- 1981-06-16 GB GB8118476A patent/GB2079742B/en not_active Expired
- 1981-07-16 CH CH465881A patent/CH652112A5/de not_active IP Right Cessation
- 1981-07-17 FR FR8113947A patent/FR2486927A1/fr active Granted
- 1981-07-17 BE BE2/59268A patent/BE889655A/fr not_active IP Right Cessation
- 1981-07-17 AT AT316281A patent/AT380867B/de not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2284572A1 (fr) * | 1974-09-14 | 1976-04-09 | Philips Nv | Procede pour la realisation de tubes en verre a revetement interieur pour l'etirage de fibres optiques |
US3982916A (en) * | 1975-12-24 | 1976-09-28 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Method for forming optical fiber preform |
DE2930781A1 (de) * | 1979-07-28 | 1981-02-12 | Licentia Gmbh | Verfahren zur herstellung einer lichtleitfaser |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3206175A1 (de) * | 1982-02-20 | 1983-08-25 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zur herstellung einer vorform, aus der optische fasern ziehbar sind |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2079742B (en) | 1984-02-15 |
CH652112A5 (de) | 1985-10-31 |
DE3027450A1 (de) | 1982-02-18 |
AT380867B (de) | 1986-07-25 |
GB2079742A (en) | 1982-01-27 |
DE3027450C2 (de) | 1982-06-03 |
BE889655A (fr) | 1982-01-18 |
FR2486927B1 (fr) | 1985-02-22 |
ATA316281A (de) | 1985-12-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2486927A1 (fr) | Procede de revetement interieur d'un tube substrat en verre pour la fabrication d'une preforme de fibre optique | |
EP0440130B1 (fr) | Procédé de fabrication de préformes pour fibres optiques de caractéristiques régulières | |
FR2636078A1 (fr) | Procede et appareillage de revetement par depot chimique en phase vapeur pour la realisation de couches sur des substrats | |
FR2747673A1 (fr) | Dispositif de fibrage d'une preforme de fibre optique | |
JP2008144271A (ja) | Pcvd堆積プロセスを実施する装置および方法 | |
EP0250326B1 (fr) | Procédé de fabrication de préformes pour fibres optiques | |
EP0524111A1 (fr) | Dispositif pour le traitement thermique de fils en mouvement | |
FR2401103A1 (fr) | Procede et appareil de production de fibres de transmission optique | |
FR2576918A1 (fr) | Source de vapeur pour installations de revetement sous vide | |
FR2540856A1 (fr) | Procede de fabrication de guide d'ondes lumineuses et en particulier d'une preforme ensuite etiree pour fournir le guide d'ondes | |
EP0578589B1 (fr) | Dispositif de chauffage d'un fil en mouvement | |
FR2661486A1 (fr) | Procede et four de chauffage avec levitation. | |
FR2549953A1 (fr) | Montage de cathode dans un gyroscope a laser en anneau | |
EP0872459B1 (fr) | Procédé et appareil de fabrication d'une fibre optique munie d'un revêtement hermétique | |
JPH0465819A (ja) | 気相成長装置 | |
KR20110039049A (ko) | 테이프 기판의 박막 형성장치 | |
EP0556115B1 (fr) | Dispositif de contrÔle d'un flux de matière émise par une source d'évaporation sous vide | |
WO1989002876A1 (fr) | Procede de fabrication de fibre optique avec preforme obtenue par retreint | |
BE1010797A3 (fr) | Procede et dispositif pour la formation d'un revetement sur un substrat, par pulverisation cathodique. | |
FR2721946A1 (fr) | Procede de procuction de pellicule mince et appareil pour mettre en oeuvre le procede | |
EP0506566A1 (fr) | Procédé et dispositif de chauffage d'une fibre optique en silice sur une installation de fibrage | |
FR2849264A1 (fr) | Condensateur a haute stabilite thermique pour poste blinde haute tension comprenant un circuit imprime cylindrique plaque contre un chassis | |
FR2587731A1 (fr) | Procede et dispositif de depot chimique de couches minces uniformes sur de nombreux substrats plans a partir d'une phase gazeuse | |
EP0541752A1 (fr) | Procede de fabrication d'une fibre optique et fibre optique realisee selon ce procede | |
FR2693559A1 (fr) | Réalisation de passage hermétique d'une fibre optique dans un tube métallique. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TP | Transmission of property | ||
ST | Notification of lapse |