FR2421292A1 - Dispositif de fabrication d'elements semi-conducteurs a multicouches au moyen d'une epitaxie a phase liquide - Google Patents

Dispositif de fabrication d'elements semi-conducteurs a multicouches au moyen d'une epitaxie a phase liquide

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Abstract

Dispositif de fabrication d'éléments semi-conducteurs à multicouches au moyen d'une épitaxie à phase liquide. Les différentes solutions supersaturées sont mises en contact avec les substrats semi-conducteurs pendant de courts instants. Le transport des solutions entre les chambres 5, 7, 9, 11, 12, 13 a lieu sous l'influence des variations alternées de l'accélération. Ces variations sont soit entre l'accélération de la gravité et l'accélération centrifuge soit entre une accélération rotationnelle positive et une négative. Les chambres dans le creuset sont interconnectées par des canaux de façon que les forces alternées agissant sur les solutions les fassent s'écouler dans une direction préférée sans mélange les unes avec les autres. Peut être utilisé dans tout procédé d'épitaxie à couches multiples à phase liquide.
FR7905101A 1978-03-31 1979-02-20 Dispositif de fabrication d'elements semi-conducteurs a multicouches au moyen d'une epitaxie a phase liquide Granted FR2421292A1 (fr)

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