FI91950C - Lasin pinnoitusmenetelmä ja sillä saatava tuote - Google Patents

Lasin pinnoitusmenetelmä ja sillä saatava tuote Download PDF

Info

Publication number
FI91950C
FI91950C FI881944A FI881944A FI91950C FI 91950 C FI91950 C FI 91950C FI 881944 A FI881944 A FI 881944A FI 881944 A FI881944 A FI 881944A FI 91950 C FI91950 C FI 91950C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
coating
glass
silicon
coated
thickness
Prior art date
Application number
FI881944A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI881944A (fi
FI881944A0 (fi
FI91950B (fi
Inventor
Ronald D Goodman
Peter J Tausch
William M Greenberg
Original Assignee
Libbey Owens Ford Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Libbey Owens Ford Co filed Critical Libbey Owens Ford Co
Publication of FI881944A publication Critical patent/FI881944A/fi
Publication of FI881944A0 publication Critical patent/FI881944A0/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI91950B publication Critical patent/FI91950B/fi
Publication of FI91950C publication Critical patent/FI91950C/fi

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3435Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10009Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the number, the constitution or treatment of glass sheets
    • B32B17/10018Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing characterized by the number, the constitution or treatment of glass sheets comprising only one glass sheet
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32LAYERED PRODUCTS
    • B32BLAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B17/00Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
    • B32B17/06Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
    • B32B17/10Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin
    • B32B17/10005Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material of synthetic resin laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10165Functional features of the laminated safety glass or glazing
    • B32B17/10174Coatings of a metallic or dielectric material on a constituent layer of glass or polymer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3482Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising silicon, hydrogenated silicon or a silicide
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/913Material designed to be responsive to temperature, light, moisture
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975No layer or component greater than 5 mils thick
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/261In terms of molecular thickness or light wave length
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678Of metal
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678Of metal
    • Y10T428/31692Next to addition polymer from unsaturated monomers
    • Y10T428/31699Ester, halide or nitrile of addition polymer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Description

91950
Lasin pinnoitusmenetelmå ja si 11a saatava tuote.
- Forfarande for ytbelåggning av glas och darmed erhillen produkt
Keksinto koskee keskeytymåtontå, kemial lista hoyrykerros-tusmenetelmaa pinnoitetun lasituotteen, erityisesti pinnoi-tetun låmpoå heijastavan rakennuslasin valmistamiseksi, sekå nåin valmistettua pinnoitettua tuotetta. Keksinnon mååråtty suoritusmuoto koskee sellaista menetelmaå lasi-tuotteen valmistamiseksi, jossa tuote on pinnoitettu pii-kerroksella, joka on muodostettu monosilaania (SiH*) ja eråisså tapauksissa monosilaanin ja eteenin (CaiU) seosta kasittavalla hapettamattomalla kaasukasittelylla, titaani-nitridikerrokse1 la, joka on muodostettu piikerroksen paålle sekoittamalla titaanitetrahaloidia. esim. TiCL*. pelkista-vaan kaasuun kuten ammoniakkiin ja sen jålkeen antamalla kaaasujen reagoida piin pinnalla tai pinnan laheisyydessa, ja titaaninitridikerroksen paalla olevalla toisella piiker-roksella, joka on muodostettu monosilaania ja monosilaanin ja eteenin seosta kasittavalla hapettamattomalla kaasukasittelyl la . Keksinto sisaltaa lisaksi valinnaisesti vai-heen, jossa muodostetaan suojaava kerros, esim. hankausta kestavéi kerros toisen piikerroksen paalle, jolloin suojaava kerros voi sisaltaa tinaoksidia.
US-patentista 4 019 887, "Kirkbride et al", tunnetaan sel-laisen rakennuslasin valmistaminen, joka on pinnoitettu piilla keskeytymattomasså kemial1isessa kasittelyssa hapet-tamattomalla kaasulla, joka kasittaa monosilaania. Maini-tussa julkaisussa selitetty menetelraa soveltuu eraiden esil lå olevan keksinnon vaiheiden toteuttamiseen. nimittåin muodostettaessa piipinnoitekerrosta lasipinnalle sekå titaaninitridipinnoitteelle.
US-patentissa 4 188 444, "Landau", esitetåån eteenin 2 91950 lisaaminen Kirkbriden mukaiseen hapettamattomaan mono-silaania kasittåvan kaasuun, jolloin sellaisen eteenin lisååmisen etuna on, etta piikerrokselle saadaan mer-kittavasti parantunut emasten kestavyys.
Ammoniakin ja TiCL* -sekoitusten kåytto tuottamaan nitridi-pinnoittelta lasi Ile kemlallise 1 la hoyrystamiskerrostuksel la selitetaan US-patentissa 4 535 000, "Gordon".
Sellaisen lasituotteen valmistaminen. jol la on Kirkbride et al*in menetelmalla tuotetulla piikerrokse1 la pinnoitettu pinta, ja joka lisaksi on pinnoitettu metal 1ioksidikerrok-sella piin paalle, selitetaan US-patentissa 4 100 330, "Donley".
Rakennuslasia tuotetaan enimmakseen "Float Glass" -proses-sissa, josta osa esitetaan Kirkbride et al'in piirustuksis-sa. Tahan prosessiin sisaltyy lasin valaminen sopivasti suljetulle sulalle tinakyIvy1 le, lasin siirtaminen, kun se on riittavasti jaahtynyt, kylvyn kanssa linjassa oleville teloille, ja lasin jaahdyttamminen sen edetessa teloilla ensin lasinjaahdytysuunin lapi ja lopuksi ymparistooloi1 le alttiina. Prosessin float-osassa yllapidetaan hapettamaton atmosfaari tinakylvyn yhteydessa hapettumisen estamiseksi, kun taas lasinjaahdytysuunissa yllapidetaan ilma-atmosfaari.
Haluttaessa pinnoitettua lasia piil la ja titaaninitridi1 la ja sen jalkeen tina- tai muulla oksidilla, ymmarretaan, etta se olisi edullista suorittaa lasin valmistuksen yhteydessa float-prosessissa. Lasi on prosessin float-osassa sopivassa lampotilassa, kuten selitetaan julkaisuissa Kirkbride et al ja Gordon, piipinnoittamisen ja titaaninitridi-pinnoittamisen suorittamiseksi. Se on myos soveltuvassa lampotilassa lasinjaahdytysuunin joissakin osissa, joka sisaltaa ilmaa, jotta voitaisiin kasitella sen pintaa ha-pettavalla kaasulla, joka kasittaa tetrametyy1 itinaa tina-
II
3 91950 oksidipinnoitteen muodostamiseksi.
Esillå oleva keksinto perustuu havainnolle, ettå pinnoitettu tai kalvolla varustettu lasituote, jolla on erityinen kåyttd rakennusten lasituksessa sen pinnoitteella ollessa pieni tehon såteilykyky, jonka vuoksi se voidaan kiinnittaå rakennuksen sisåpuolelle ja kuitenkin saada hyvin edulliset auringonsåtei-lyominaisuudet, voidaan aikaansaada rakenteella, joka sisåltåå lasisubstraatin, ensimmåisen piipinnoitteen liitettynå lasi-substraattiin, titaaninitridipinnoitteen liitettynå piipinnoit-teeseen, toisen piipinnoitteen liitettynå titaaninitridipin-noitteeseen, ja valinnaisen metallioksidipinnoitteen liitettynå toiseen piipinnoitteeseen. Pieni tehon såteilykyky aikaansaa myos paremmat eristysomainaisuudet kuin samanlaatuinen ja vah-vuinen pinnoittamaton lasi. Lasin kokonaislåmmonsiirtymisker-roin, arvioituna talviolosuhteissa, pienenee merkittåvåsti kåy-tettåesså pienen tehon såteilykyvyn omaavaa pinnoitetta sisåån-påin. Esimerkiksi pinnoite, jonka tehon såteilykyky on 0,22, pienentåå lånunonsiirtymiskerrointa pinnoittamattomaan lasiin verrattuna 30 %, eli sååståå 119 w/m2, laskettuna ulkolåmpoti-lalla -18°C ja sisålåmpotilalla 21eC.
Keksinnon mukaiselle tuotteelle on tunnusomaista patenttivaati-muksen 1 tunnusmerkkiosassa esitetyt asiat. Itse keksintd ymmårretåån parhaiten, sekå rakenteen ettå menetelmån osalta, seuraavasta mååråttyjen suoritusmuotojen selityksestå yhdesså liittyvien piirustusten kanssa, joissa:
Kuvio 1 on jonkin verran kaaviomainen pystyleikkaus laitteesta, jolla toteutetaan float-glass-prosessi, ja johon lisåk-si kuuluu neljå kaasujakelijaa, jotka on sijoitettu soveltuvasti mahdollistamaan esillå olevan keksinnon mukaisen menetelmån toteuttaminen/
Kuvio 2 on osaleikkaus keksinnon mukaisesta pinnoitetusta 4 91950 tuotteesta; ja
Kuvio 3 on osaleikkaus, joka havainnol1istaa keksinnon mukaisen toisen tuotteen.
Piirustukseen viitaten kasittaa float glass -prosessin toteuttava, yleisesti vlItenumerolla 10 osoitettu lait-teisto float-osaston 11, lasinjaahdytysuunin 12 ja jaahdy-tysosaston 13. Float-osastossa 11 on pohja 14, joka sisal-ta'a tinakylvyn 15, paallinen 16, sivuseinat (ei kuvattu) ja seinat 17, jotka muodostavat tiivisteet siten, etta muodos-tuu suljettu alue 18, jossa yllapidetaan hapettamaton atmosfaari, kuten seuraavassa yksityiskohtaisemmin kuva-taan, jotta estetaan tinakylvyn 15 hapettuminen.
Laitteistoa 10 kaytettaessa valetaan sulaa lasia, kuten kohdassa 19 on osoitettu, uunin pohjalle 20, josta se virtaa annosteluseinan 21 alta ja alaspain tinakylvyn 15 pinnalle, josta se nostetaan teloille 22 ja kuljetetaan lasinjaahdytysuunin 12 ja jaahdytysosaston 13 lapi.
Float-osaston 11 hapettamaton armosfaari yllapidetaan syottamalla soveltuvaa kaasua, esimerkiksi sellaista, joka sisaltaa 99 tilavuusprosenttia typpea ja 1 tilavuusprosent-tia vetyd. alueelle 18 johdoilla 23, jotka ovat kaytto-yhteydessa jakoputkistoon 24. Kaasua syotetaan putkista 23 tilaan 18 sellainen maara, joka riittåa korvaamaan hukan (osa atmosfaarista poistuu tilasta 18 virtaamalla seinien 17 alta) ja yllapitamaan vahaisen ylipaineen, esim. 0.1 - 1 kPa yli ymparoivan ilmakehan paineen. Metallikylpy 15 ja suljettu alue 18 lammitetaan sateilyteholla, joka sateilee alaspain lammittimista 25. Lasinjaahdytysuunin 12 atmosfaari on ilmaa, jaahdytysosaston 13 ollessa avoin, ja ymparoivaa ilmaa puhalletaan Iasi lie tuulettimi1 la 26.
Laitteistoon 10 sisaltyy myos kaasunjakelijat 27, 28 ja 29 float-osastossa 11, seka kaasunjakelija 30 lasinjaahdytys- 11 5 91950 uunissa 12.
Seuraavat esimerkit. joita keksijat pltavat talla hetkella edul llslmpana suoritusmuotona, esitetaan alnoastaan keksin-non tarkempana kuvauksena, eika nllta ole tulklttava kek-sinnon rajoituksina.
Esimerkki 1
Lalttelstolla 10 sovellettiin esilla olevan keksinnon mu-kaista menetelmaa pinnoitetun float-lasin valmistamiseksi. Lampo'å imevåa, vihreata lasia, joka sisalsi noin 14 paino-prosenttia Nas>0, 73 painoprosenttia SiCb, 8,5 paino-prosenttia CaO, 0,48 painoprosenttia Fe=Os, 0.18 painoprosentt ia AlaOat, 0,01 painoprosenttia TiOa, 4 painoprosenttia MgO, ja 0,001 painoprosenttia C03Q*, syotet-tiin uunin pohjalle 20 ja saatettiin virtaamaan tinakylvyl-le 15 levyna, joka oli 3,6 m levea ja 5 mm paksu. Lasilevya siirrettiin eteenpain laitteiston 10 lapi nopeudella noin 8,25 m minuutissa. Lasin lampotila oli noin 1093°C uunin pohjalla 20. Alueella 18 y1lapidettiin hapettamaton atmo-sfaari syottamalla siihen kaasua johdoilla 23 yllapitamaan ymparistoa 0,6 kPa korkeampi paine; kaasu muodostui 99 tilavuusprosentista typpea ja 1 tilavuusprosentista vetya. Lasinj aahdytysuunin 12 atmosf å'årin ohjaamiseksi ei tehty mitaan,· sen seurauksena siina oleva hapettava atmosfaari oli ilmaa. Lasia kasiteltiin sen kulkiessa jakelijan 27 ohi kaasulla, joka kasitti 90 tilavuusprosenttia typpea ja 10 tilavuusprosenttia monosilaania; kun se kulki jakelijan 28 alta, kaasulla. joka kasitti 6 tilavuusprosenttia titaani-tetrakloridia, 19 tilavuusprosenttia ammoniakkia, ja 75 ti-lavuusprosenttia typpea; ja lopuksi sen kulkiessa jakelijan 29 alta, kaasulla, joka kasitti 95 tilavuusprosenttia typpea ja 5 tilavuusprosenttia monosilaania. Lasi kulki edel-leen jakelijalta 28 float-osaston 11 poistumispaahan noin 44 - 67 sekunnissa. Lasin lampotila oli 660*C jakelijan 28 al la.
6 91950
Nostettaessa ulos alueesta 18, pinnoitettu Iasi siirrettiin Iasijaahdytysuuniin 12 ja sen lapi jaahdytysosastoon 13 ja poistettiin viimeksimainitusta noin 38*C lampotilassa. Jakeilija 30 ei ollut toiminnassa lasilevyn eli nauhan kulkiessa 1asinjaahdytysuunin lapi.
Edel lisesså esimerkissa 1 valmistettua tuotetta havain-nollistetaan kuviossa 2, ja se koostuu lasisubstraatista 36 ja monikerroksisesta heijastavasta pinnoitteesta 37, joka on liitetty sen toiseen pintaan. Heijastava pinnoite koostuu lasin paalla olevasta 200 - 300 A paksusta piikerrok-sesta 38, piikerroksen paalla olevasta 900 - 1000 A paksusta titaaninitridikerroksesta 39, ja toisesta, titaaninitri-din paalla olevasta 100 - 200 A paksusta piikerroksesta 40 ilmaa vastaan. Pinnoitetun lasin heijastus oli hopeinen lasin puolelta ja sininen kalvon puolelta. Kalvolla pinnoitetun pinnan tehon sateilykyky oli 0,25 - 0,38. Pinnoite-tulla Iasi 11a oli himmennyskerroin 0,25 lasin puolelta, paivanvalon eli nakyvan valon heijastavuus 32 % lasin puolelta, paivanvalon eli nakyvan valon lapaisykyky 6,6 % ja auringonvalon kokonaislapaisykyky 4,5 %. Tuote oli j alkikarkaistavaa.
Edel la olevassa esimerkissa 1 kuvattua menettelya voidaan myos kayttaa harmaan ja pronssinvarisen, seka kirkkaan lampoa absorboivan lasin pinnoittamiseksi.
Vaikka esimerkin 1 pinnoitetun tuotteen kestavyys on riit-tava moniin tarkoituksiin, on havaittu, etta kalvopinnan hankauksen ja naarmuuntumisen keståvyyden merkittava para-neminen voidaan saavuttaa, vaikuttamatta merkittavasti tuotteen erinomaisiin optisiin ominaisuuksiin, pinnoitta-malla ja liittamalla toiseen piipinnoitteeseen metalli-oksidikerros, edullisimmin tinaoksidia.
II
7 91950
Esimerkki 2
Esimerkin 1 menettely toistettiin, paitsi etta kun pii -titaaninitridi - pii -pinnoitettu levy oli kulkenut jake-lijan 30 alle lasinjaahdytysuunissa 12, jolloin sen låmpotila oli noin 510 - 538*C, kåynnistettiin jakelija syottåmaan kaasua, joka kasitti 98,6 tilavuusprosenttia ilmaa ja 1,4 tilavuusprosenttia tetrametyy1itinaa, koske-tukseen pinnoitetun levyn kanssa. Taman esimerkin 2 mukai-sesti tuotettua tuotetta havainnol1istetaan viitenumerolla 45 kuviossa 3. ja se kåsittaa ensimmaisen piikerroksen 38, titaaninitridikerroksen 39 ja toisen piikerroksen 40 lisak-si noin 200 - 300 A paksun tinaoksidikerroksen 46 kiinteas-ti piikerroksen 40 yhteydessa ja sita peittaen. Pinnoite-tulla Iasi 11a on puhtaan sinisesta hopeaan heijastava vari seka lasin etta pinnoitteen puolelta. Kalvopinnan tehon sateilykyky oli 0,25 - 0,38. Himmennyskerroin oli lasin puolelta 0,25, ja kalvon puolelta 0,28. Pinnoitetun tuot-teen nåkyvan valon heijastavuus oli 32,5 % lasin puolelta, nakyvan valon lapaisykyky 7,1 % lasin puolelta ja auringon-valon kokonaislapaisykyky 4,5 %. Tuote oli jålkikarkaista-vaa ja si 11a havaittiin olevan erinomainen kestavyys naar-muja ja hankausta vastaan.
Esimerkki 3
Esimerkin 1 menettely toistettiin. paitsi etta kun Iasi oli kulkenut jakelijan 27 alle sita kasiteltiin kaasulla, joka kasitti 94 tilavuusprosenttia typpea, 4 tilavuusprosenttia monosilaania, ja 2 tilavuusprosenttia eteenia; kun se kulki jakelijan 28 alia, kaasulla, joka kasitti 1 tilavuuspro-senttia titaanitetrakloridia, 6 tilavuusprosentt!a ammoniakkia, ja 93 tilavuusprosentt!a heliumia (voidaan kayttåa N= tai muuta inerttia kaasua); ja lopuksi sen kulkiessa jakelijan 29 alia, kaasulla, joka kasitti 95 tilavuusprosenttia typpea ja 5 tilavuusprosenttia mono-silaania. Lasi kulki jakelijalta 28 float-osaston 11 91 950 8 poistopååhån noin 44 - 67 sekunnissa. Lasin låmpotila oli 660'C jakelijan 28 alla.
Nostettaessa pois alueelta 18 pinnoitettu lasi kuljetettiin lasinjååhdytysuuniin 12 ja jååhdytysosaston 13 lapi ja poistettiin viiraeksimainitusta låmpotilassa noin 38*C. Jakelija 30 ei ollut toiminnassa lasilevyn eli nauhan kul-kiessa lasinjaahdytysuunin lapi.
Edel lisesså esimerkisså 3 valmistettu tuote koostuu lasi-substraatista ja monikerroksisesta heijastavasta pinnoit-teesta, joka on liitetty sen toiseen pintaan. Heijastava pinnoite koostuu lasin påållå olevasta 175 - 225 A paksusta piikerroksesta, piikerroksen påållå olevasta 650 - 750 A paksusta titaaninitridikerroksesta, ja toisesta, titaani-nitridin påållå olevasta 200 - 250 A paksusta piikerrok-sesta ilmaa vastaan. Pinnoitetun lasin heijastus oli murre-tun roosan vårinen, joka påtee myos kåytettåesså kirkasta lasisubstraattia låmpoå absorboivan lasin sijasta. Pinnoi-tetulla lasi 11a oli auringonvalon kokonaislåpåisykyky 6,3 %; nåkyvån valon låpåisykyky 11,8 %; auringonvalon kokonaisheijastavuus 10,2 % lasin puolelta; ja nåkyvån valon heijastavuus 6,9 % lasin puolelta. Kalvolla oli tehon såteilykyky 0,27; himmennyskerroin 0,28 mitattuna lasin puolelta ja 0,33 kalvon puolelta; ja låmmonsiirtymiskerroin 4,60 W/m2 (pinnoittamattoman lasin låmmonsiirtymiskerroin on 6,30 W/m2 saman paksuisena). Tuote oli jålkikarkais-tavaa.
Vaikka toisen piikerroksen edeltåjå on edellå merkitty typeksi ja monosilaaniksi, voidaan myos kåyttåå samaa edeltåjåå kuin muodostettaessa ensimmåistå piikerrosta, mukaanlukien eteeni, jos halutaan lisåtå pinnoitetun tuotteen nåkyvån valon låpåisykykyå.
9 91950
Esimerkki 4
Esimerkin 3 menettely toistettiin, paitsi etta kun pii -titaaninitridi - pii -pinnoitettu levy oli kulkenut jake-lijan 30 alle lasinjåahdytysuunissa 12, jolloin sen lampo-tila oli noin 510 - 538*C, kåynnistettiin jakelija syotta-maan kaasua, joka kåsitti 98,6 tilavuusprosenttia ilmaa ja 1,4 tilavuusprosenttia tetrametyy1 itinaa. Taman esimerkin 4 mukaisesti tuotettu tuote kasittaa ensimmaisen piikerrok-sen, titaaninitridikerroksen ja toisen piikerroksen lisaksi noin 200 - 300 A paksun tinaoksidikerroksen kiinteasti piikerroksen yhteydessa ja sita peittaen. Pinnoitetulla lasil-la on murretun roosan varinen heijastus seka lasin etta pinnoitteen puolelta. Kalvopinnan tehon sateilykyky oli 0,27. Himmennyskerroin oli lasin puolelta 0,28, ja kalvon puolelta 0,33. Pinnoitetun tuotteen lasin puoleinen auringonvalon kokonaisheijastavuus oli 10,2 %; auringon-valon kokonaislapaisykyky 6,3 * ja nakyvan valon heijasta-vuus 6,9 % lasin puolelta. Tuote oli jalkikarkaistavaa ja silla havaittiin olevan erinomainen kestavyys naarmuja ja hankausta vastaan.
Ymmarretaan, etta lukuisia muutoksia ja muunnelmia voidaan tehda keksinnon edellisiin esimerkkeihin sisaltyviin yksi-tyiskohtiin poikkeamatta keksinnon hengesta ja suoja-alasta siten kuin se on maaritelty liittyvissa patenttivaatimuk-sissa. Oleellisissa yksityiskohdissaan keksinto on keskey-tymaton kemiallinen hoyrykerrostusmenetelma lasituotteiden valmistamiseksi. Menetelma kasittaa vaiheet, joissa jatku-vasti siirretaan tuotetta eteenpain sen ollessa kuuma, ensimmaisen, toisen ja kolmannen perakkaisen kasittelyase-man lapi, seka valinnaisesti neljannen kasittelyaseman lapi. Ensimmiiiset kolme kasittelyasemaa ovat suljetussa alueessa, jossa yllapidetaan hapettamaton atmosfaari. Hapettava atmosfaari yllapidetaan valinnaisen neljannen kasittelyaseman laheisyydessa. Edel la olevissa esimerkeissa y1lapidettiin suljetun alueen hapettamaton atmosfaari.
10 91950 jossa ensimmaiset kolme kasittelyasemaa sijaitsevat, syottamalla slihen kaasua, joka kasittaa 99 tllavuus-prosenttia typpeå ja 1 tilavuusprosenttla vetya. Kuten on ilmeista menetelmalla esimerkeissa 1, 2, 3 ja 4 saavute-tuista tuloksista, on sellainen atmosfaarl taysln sopiva. Typen sijasta voltalslin kultenkln kayttaa inerttia kaasua, ja vedyn osuttaa voitaisiin lisata tal vahentaå, kunhan tolvottu tulos saavutetaan, nimittain kunhan tinakylvyn hapettuminen estetaan ja pii- ja titaaninitridikerrokset voldaan alkaansaada lasisubstraat11le. Samoin kaytettiin esimerkeissa 2 ja 3 1lmaa hapettavana atmosfaarina lasin-jaahdytysuunissa 12, mutta voidaan myos kayttaa muita ha-pettavia atmosfaareja, esimerklksl Ilmaa, johon on llsatty joko happea tal typpea, tal jopa sellaista, joka sisaltaa muuta inerttia kaasua kuin typpea, kunhan saavutetaan vaa-dittu tinan tai muun oksidin kerrostustulos aiheuttamatta vahinkoa itse lasinjaahdytysuuni1le.
Sove 1lettaessa esilla olevaa keksintoa, suunnataan hapetta-matonta. silaania sisaltavaa kaasua tuotteen pintaan ensim-maisen piikerroksen muodostamiseksi pinnalle seka titaani-nitridikerrokseen toisen piikerroksen muodostamiseksi.
Edella olevissa esimerkeissa silaani oli monosilaania (SiH*). Kasittelykaasu voi kuitenkin sisaltaa muita silaa-neja monosilaanin lisaksi tai sen sijasta. Esimerkkeja muista silaaneista, joita voidaan kayttaa. ovat monokloori-silaani (CISiHs), dikloorisilaani (ClzSiHa), muut haloidisilaanit, alkoksisilaanit sekå di-, tri- ja korkeam-mat silaanit. Orgaaniset silaanit, esim. metyylitrikloori-silaani, ovat vahemman toivottavia silaaneja kuin edella mainitut, koska on vaikeata katkaista pii-hiili -sidos halutun piipinnoitteen muodostamiseksi. Monosilaani on talla hetkella edullisena pidetty kasittelyaine kustannus-ja saatavuussyista, ja koska sivutuote (vety) sita kaytet-taessa ei muodosta ymparistoongelmaa (toisin kuin kloori-silaanit edella. joilla sivutuote on kloorivetya).
li 11 91950
Keksinnon edullisimman suorltusmuodon mukaisesti sllaanlin lisåtåån jokin maara olefiinia, eslm. eteenia. Eteenin (CaH*) lisaaminen monosilaanlln aikaansaa selvat edut alemmalle ja paal1immaise1le piikerrokselle. Monosilaaniin lisåtyt pienet eteenimaaråt, jotka reagoivat muodostaen peruskerroksen, muuttaa optisia ominaisuuksia siten, ettå nakyvan valon låpåisykyky voi kasvaa vaikuttamatta himmen-nyskertoimeen merkittåvåsti. Titaaninitridiå peruspii-kerroksen paaile kerrostettaessa muodostuvien huokosten esiintymistiheys ja koko v'åhenee merkittåvasti pienil la eteenin lisåyksillå peruskerrokseen. Eteenin lisaaminen monosilaaniin paallimmaista kerrosta kerrostettaessa lisaa myos kalvokerrosten nakyvan valon lapåisykykyå.
Esimerkeissa titaaninitridikerros muodostetti in suuntaa-malla titaanitetrakloridia ja ammoniakkia ja inerttia kantoainetta sisaltavaa kaasua ensimmaiseen piikerrokseen. Kaasuseoksen tyypilliset koostumukset vaihtelivat valilla 0,5 - 10 mooliprosenttia titaanitetrakloridia ja 3 - 50 (mieluummin 5 - 30) mooliprosenttia ammoniakkia.
Peruspiikerrokseen voi sisaltya happea siirroskerroksena lasisubstraatin ja piikerroksen valilla. Tama siirroskerros ei ole muodostettu tarkoitukse 1 la, mutta voi sin'ånså muo-dostua kerrostettaessa piikerrosta kuumalle lasi Ile tassa esitetylla tavalla. Peruspiialkuainekerroksessa voi olla jalkia hiilesta, vedysta ja hapesta, jol loin edeltaja sisaltaa eteeniå seka monosilaania. Samoin voi titaani-nitridikerrokseen sisaltya hi ilta, klooria ja happea. seka jalkia muista aineista, joko edeltajåaineista tai jommasta kummasta piikerroksesta. Toisessa piikerroksessa voi olla, sen lisaksi etta se mahdollisesti koko alallaan sisaltaa jalkia hiilesta, vedysta ja hapesta, erityisesti kun edeltaja sisaltaa eteenia, lisaksi pintaoksidikalvo, joka on muodostunut tinakylvylta nostettaessa ja lasinjaahdytys-uunin låpi kuljetettaessa. Taman pintaoksidikerroksen on esiintyessaan havaittu estavan huokosten muodostumisen 12 91950 pinnoitettuun tuotteeseen, kun seuraava kerros. kuten tinaoksidikerros, muodostetaan toisen pilkerroksen påalle.
Siten. vaikka kerrosten koostumus on selitetty tassa ja liittyvissa patenttivaatimuksissa muodostuvan piista ja titaaninitridista, on ymmarrettava, etta nama termit on maaritelty siten, etta niihin voidaan lukea jålkiaineet ja siirroskerrokset kuten edella on selitetty.
Alustalasin eli 1asisubstraatin koostumus ei rakenteellisesti tai kemial 1isesti vaikuta si Ile muodostettuun pin-noitteeseen, mutta vaikuttaa tuotteen lopullisiin ominai-suuksiin, johtuen erityyppisten lasien erilaisista auringonvalon absorptio-ominaisuuksista. Lasin eri varit - kirkas, sini-vihrea, harmaa ja pronssi - absorboivat eri tavalla auringonvalon spektrin nåkyvalla ja infrapuna-alueella, ja muuttavat seka tuotteen ulkonakoa etta ominai-suuksia. Myos muut lasikoostumukseet muuttaisivat naita pi irteita.
Edella kuvattujen esimerkkien 2 ja 4 menettely sisalsi pinnoitetun lasin 35 kasittelyn lasinjaahdytysuunissa kaa-sulla, joka kasitti 98,6 tilavuusprosenttia ilmaa ja 1,4 tilavuusprosenttia tetrametyy1itinaa, suunnattuna lasiin jakelijasta 30. Taman kasittelyn tarkoituksena oli muodos-taa tinaoksidikerros aiemmin muodostettujen pii-titaani-nitridi-pii -kerrosten paaile. Tarvitaan hapettava atmo-sfaari, joka mahdollistaa sen, etta tetrametyy1 itina muo-dostaa tinaoksidikerroksen. Ilma on soveltuva hapettava kaasu kaytettavaksi tahan tarkoitukseen, mutta ilman sijas-ta voitaisiin kayttaa myos joko hapella tai type 11a tai jopa jollain muulla inertilla kaasulla rikastettua ilmaa.
Seos, jossa on enemman kuin noin 1,6 tilavuusprosenttia tetrametyy1itinaa on syttyvaa, jonka takia sita tulisi valttaa. Muita tinayhdisteita voitaisiin kayttaa tetrametyy litinan sijasta, esimerkiksi tinakloridia ja erilaisia orgaanisia tinakoostumuksia joita on saatavilla. Voidaan jopa kayttaa muita metallioksideja, esimerkiksi
II
13 91950 titaaniaksidipinnoitteita voidaan liittåå pii-titaani-nitridl-pll -kerroksiin, esimerkiksi kåyttåen titaani-tetraklorldla; alumiinikerroksia, esimerkiksi kåyttaen dietyylialumiinikloridia; kvartsipinnoitteita, esimerkiksi kåyttaen oksidi -boorioksidi-alumiinioksidi pinnoitteita titaanitetrakloridin, boorihydridin ja dietyy1ialumiinikloridin avulla.
Edellisisså esimerkeisså oli lasin låmpotila jakelijoilla 27, 28 ja 29 : 649 ± 55*C ja jakelijalla 30 : 521 ± 11*C.
Lasin viipymisaika lasinjååhdytysuunin 12 hapettavassa atmosfåårisså (ilma), ennen sen kåsittelyå ilma-tetra-metyylitina -kaasulla jakelijasta 30, oli noin 6 minuuttia.
Yleisesti ottaen esil lå olevan keksinnon mukaiset pinnoi-tetut lasituotteet kåsittåvåt lasisubstraatin, ensimmåisen noin 100 - 400 A paksun piikerroksen liitettynå lasisubstraatin pintaan, noin 500 - 1200 A paksun titaani-nitridipinnoitteen liitettynå ensimmåiseen piikerrokseen, toisen noin 100 - 400 A paksun piikerroksen liitettynå titaaninitridikerrokseen, ja valinnaisen metal 1ioksidi-kerroksen liitettynå toiseen piikerrokseen. Edullisimmin metal 1ioksidikerros esiintyessåån kåsittåå tinaoksidia ja sen paksuus on noin 150 - 300 A.
Pinnoitetui1 la lasituottei1 la on nåkyvån valon låpåisykyky pienempi kuin 15 % ja himmennyskerroin mitattuna lasin kummaltakin puolelta alle 0,35, edullisimmin alueella 0,23 - 0,32, jolloin lasin puolelta mitattu on elampi kuin pin-noitteen puolelta mitattu. Erityisen edullinen keksinnon mukainen pinnoite, mukaanlukien tinaoksidipinnoitteen liitettynå toiseen piikerrokseen, kåsittåå ensimmåisen ja toisen noin 150 - 300 A paksun piipinnoitteen, sekå 600 - 1100 A paksun titaaninitridipinnoitteen, jolloin tinaoksidi-kerroksen paksuus on alueella 150 - 250 A. Tål lå lasituot-teella on nåkyvån valon låpåisykyky alueella 5 - 12 % ja himmennyskerroin mitattuna lasin puolelta alueella 14 91*50 0,23 - 0,28 ]a pinnoitteen puolelta alueella 0,26 - 0,31, mutta joka tapauksessa guurempi kuin lasln puolelta.
Muut muutokset ja muunnokset edella se 1itettyihin keksinnon yksityiskoht1 in ovat alan ammattimiehe1 le ilmeisia, ja ne voidaan tehda poikkeamatta keksinnon hengesta tai suoja-alasta niiden ollessa liittyvien patenttivaatimusten maari-telmien mukaiset.
II

Claims (14)

15 91950
1. Pinnoitettu lasituote (35), tunnettu siitå, ettå siihen kuuluu: lasisubstraatti (36); ensimmåinen piipinnoite (38) liitettynå lasisubstraattiin (36); titaaninitridipinnoite (39) liitettynå ensinunåiseen piipinnoit-teeseen (38); toinen piipinnoite (40) liitettynå titaaninitridipinnoitteeseen (39); ja valinnainen metallioksidipinnoite (46) liitettynå toiseen pii-pinnoitteeseen (40), jolloin tuotteella (35) on himmennysker-roin pienempi kuin 0,35 mitattuna sekå lasin puolelta ettå pinnoitteen puolelta ja nåkyvån valon låpåisykyky våhemmån kuin 15 %.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen pinnoitettu lasituote, tunnettu siitå, ettå ensinunåisellå piipinnoitteella (38) on paksuus 10 x 10-6 - 40 x 10_emm (100 - 400 A), titaaninitriit-tipinnoitteella (39) on paksuus 50 x 10-e - 120 x 10-emm (500 - 1200 A) ja toisella piipinnoitteella on paksuus 10 x 10-1 2 - 40 x 10-2mm (lOO - 400 A).
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen pinnoitettu lasituote, tunnettu siitå, ettå siinå on tinaoksidipinnoite (46) liitettynå toiseen piipinnoitteeseen (40).
4. Patenttivaatimuksen 3 mukainen pinnoitettu lasituote, tunnettu siitå, ettå tinaoksidipinnoitteella (46) on paksu 15 x 10“® - 30 x 10-6mm (150 - 300 A). Patenttivaatimuksen 3 tai 4 mukainen pinnoitettu lasituote, tunnettu siitå, ettå ensimmåisellå piipinnoitteella 2 (38) on paksuus 15 x 10-6 - 30 x 10_6mm (150 - 300 A), titaa-ninitridipinnoitteella (39) on paksuus 60 x 10-6 - 110 x l0_emm 16 91950 (600 - 1100 Å), toisella piipinnoitteella (40) on paksuus 15 x 10-e - 30 x 10_emm (150 - 300 Å) ja tinaoksidipinnoitteel-la (46) on paksuus 15 x 10-e - 25 x 10-6 (150 -250 Å), jolloin tuotteella on hieman puhtaansinisesta hopeaan heijastava våri sekå lasin ettå pinnoitteen puolella.
6. Jonkin patenttivaatimuksen 1-5 mukainen pinnoitettu lasi-tuote, tunnettu siitå, ettå himmennyskerroin sekå lasin puolella etta pinnoitteen (37) puolella on 0,23 - 0,35, jolloin lasin puolelta mitattu himmennyskerroin on pienempi kuin pinnoitteen (37) puolelta mitattu.
7. Patenttivaatimuksen 6 mukainen pinnoitettu lasituote, tunnettu siitå, ettå himmennyskerroin lasin puolelta mitattuna on 0,23 - 0,28 ja pinnoitteen (37) puolelta mitattuna 0,26 - 0,31, ja ettå tuotteen (35) nåkyvån valon låpåisykyky on 5 - 10 %.
8. Jonkin patenttivaatimuksen 1-7 mukainen pinnoitettu lasituote, tunnettu siitå, ettå tuotteen (35) pinnoitteen (37) puoleinen tehon såteilykyky on 0,22 - 0,38.
9. Rakennus, mikå on lasitettu jonkin patenttivaatimuksen 1-7 mukaisella pinnoitetulla lasituotteella (35), tunnettu siitå, ettå laskettu låmmonsiirtymiskerroin talviolosuhteissa, tuotteen (35) pinnoitetun (37) puolen ollessa suunnattuna rakennuksen sisåtilaa kohti, on jopa 30 % alhaisempi kuin yksinkertaisella lasituksella pinnoittamattomalla lasilla, jolla on sama koostumus ja paksuus.
10. Menetelmå patenttivaatimuksen 1 mukaisen pinnoitetun lasituotteen valmistamiseksi, tunnettu siitå, ettå siihen kuuluu seuraavat vaiheet: (a) yllåpidetåån lasisubstraatti (36) låmpdtilassa våhintåån 590°C (1100°F) ei hapettavassa ilmakehåsså; li 17 91950 (b) vaikutetaan lasisubstraatin (36) yhteen pintaan kaasuseok-sella, joka sisåltåå silaania, riittåvån kauan muodostamaan ensimmåisen piipinnoitteen (38) yhdelle pinnalle; (c) vaikutetaan ensimmåiseen piipinnoitteeseen (38) ei-hapetta-valla kaasulla, joka sisåltåå ammoniakkia ja titaanitetrahaloi-dia riittåvån kauan muodostamaan titaaninitridipinnoitteen (39) ensimmåisen piipinnoitteen (38) påålle; (d) vaikutetaan titaaninitridipinnoitteeseen (39) kaasuseoksel-la, joka sisåltåå silaania, riittåvån kauan muodostamaan toisen piipinnoitteen (40), joka sijaitsee titaaninitridipinnoitteen (39) påållå, ja (e) poistetaan pinnoitettu lasisubstraatti ei-hapettavasta ilmakehåstå ja jååhdytetåån substraatti huoneen låmpotilaan.
11. Patenttivaatimuksen 10 mukainen menetelmå, tunnettu siitå, ettå siihen kuuluu lisåvaiheet seuraten vaihetta (d) ja ennen vaihetta (e), jossa vaikutetaan pinnoitettuun pintaan (37) lasisubstraatin ollessa låmpotilassa våhintåån 510eC (950eF) ja hapettavassa ilmakehåsså koostumuksella, joka sisåltåå metalliyhdisteen, mikå kosketuksessa pinnoitteen kanssa låmpohajaantuu muodostamaan paljaan hankausta keståvån metallioksidipinnoitteen toisen piipinnoitteen påålle.
12. Patenttivaatimuksen 10 tai 11 mukainen menetelmå, tunnettu siitå, ettå vaiheessa (c) titaanitetrahaloidi on titaanitetrakloridi.
13. Jonkin patenttivaatimuksen 10 - 12 mukainen menetelmå, tunnettu siitå, ettå vaiheissa (b) ja (d) kaasuseos . sisåltåå olefiiniå.
14. Patenttivaatimuksen 13 mukainen menetelmå, tunnettu siitå, ettå olefiini on eteeni. 18 91950
FI881944A 1986-08-28 1988-04-26 Lasin pinnoitusmenetelmä ja sillä saatava tuote FI91950C (fi)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US90128286A 1986-08-28 1986-08-28
US90128286 1986-08-28
US8778987 1987-08-25
US07/087,789 US4847157A (en) 1986-08-28 1987-08-25 Glass coating method and resulting article
PCT/US1987/002297 WO1988001568A1 (en) 1986-08-28 1987-08-28 Glass coating method and resulting article
US8702297 1987-08-28

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI881944A FI881944A (fi) 1988-04-26
FI881944A0 FI881944A0 (fi) 1988-04-26
FI91950B FI91950B (fi) 1994-05-31
FI91950C true FI91950C (fi) 1994-09-12

Family

ID=26777402

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI881944A FI91950C (fi) 1986-08-28 1988-04-26 Lasin pinnoitusmenetelmä ja sillä saatava tuote

Country Status (14)

Country Link
US (1) US4847157A (fi)
EP (1) EP0282565B1 (fi)
JP (1) JPH07100361B2 (fi)
KR (1) KR950010580B1 (fi)
CN (1) CN1013435B (fi)
AR (1) AR241457A1 (fi)
AT (1) ATE68129T1 (fi)
AU (1) AU608255B2 (fi)
BR (1) BR8707437A (fi)
DE (1) DE3773661D1 (fi)
ES (1) ES2004990A6 (fi)
FI (1) FI91950C (fi)
MX (1) MX164292B (fi)
WO (1) WO1988001568A1 (fi)

Families Citing this family (63)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5256483A (en) * 1988-02-05 1993-10-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Plasma processing method and apparatus
DE3811907C1 (fi) * 1988-04-09 1989-08-03 Kernforschungszentrum Karlsruhe Gmbh, 7500 Karlsruhe, De
US5167986A (en) * 1988-04-15 1992-12-01 Gordon Roy G Titanium silicide-coated glass windows
US5057375A (en) * 1988-04-15 1991-10-15 Gordon Roy G Titanium silicide-coated glass windows
FR2631346B1 (fr) * 1988-05-11 1994-05-20 Air Liquide Revetement protecteur multicouche pour substrat, procede de protection de substrat par depot par plasma d'un tel revetement, revetements obtenus et leurs applications
US5459346A (en) * 1988-06-28 1995-10-17 Ricoh Co., Ltd. Semiconductor substrate with electrical contact in groove
US5108843A (en) * 1988-11-30 1992-04-28 Ricoh Company, Ltd. Thin film semiconductor and process for producing the same
DE69026327T2 (de) * 1989-02-21 1996-11-28 Libbey Owens Ford Co Gegenstände aus beschichtetem glas
US5087525A (en) * 1989-02-21 1992-02-11 Libbey-Owens-Ford Co. Coated glass articles
DE3924276A1 (de) * 1989-07-22 1991-01-24 Ver Glaswerke Gmbh Elektrisch beheizbare und waermestrahlung reflektierende autoglasscheibe
US5310446A (en) * 1990-01-10 1994-05-10 Ricoh Company, Ltd. Method for producing semiconductor film
US5407733A (en) * 1990-08-10 1995-04-18 Viratec Thin Films, Inc. Electrically-conductive, light-attenuating antireflection coating
US5091244A (en) * 1990-08-10 1992-02-25 Viratec Thin Films, Inc. Electrically-conductive, light-attenuating antireflection coating
US5135808A (en) * 1990-09-27 1992-08-04 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant coated substrate product
US5637353A (en) * 1990-09-27 1997-06-10 Monsanto Company Abrasion wear resistant coated substrate product
US5527596A (en) * 1990-09-27 1996-06-18 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant coated substrate product
US5190807A (en) * 1990-10-18 1993-03-02 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant polymeric substrate product
JPH04173137A (ja) * 1990-11-02 1992-06-19 Oike Ind Co Ltd バルーン用積層体
US5106671A (en) * 1990-12-10 1992-04-21 Ford Motor Company Transparent anti-reflective coating
US5171414A (en) * 1990-12-10 1992-12-15 Ford Motor Company Method of making transparent anti-reflective coating
GB2252333B (en) * 1991-01-29 1995-07-19 Spectra Physics Scanning Syst Improved scanner window
DE4105235A1 (de) * 1991-02-20 1992-08-27 Merck Patent Gmbh Beschichtetes system
JP3139031B2 (ja) * 1991-02-21 2001-02-26 日本板硝子株式会社 熱線遮蔽ガラス
US5424130A (en) * 1991-05-13 1995-06-13 Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha Water repellent glass and process for producing the same
US5234748A (en) * 1991-06-19 1993-08-10 Ford Motor Company Anti-reflective transparent coating with gradient zone
US6274244B1 (en) 1991-11-29 2001-08-14 Ppg Industries Ohio, Inc. Multilayer heat processable vacuum coatings with metallic properties
US5705278A (en) * 1991-09-30 1998-01-06 Ppg Industries, Inc. Heat processable metallic vacuum coatings
EP0546302B2 (en) 1991-10-30 2004-09-15 Asahi Glass Company Ltd. Method of making a heat treated coated glass
US6793781B2 (en) 1991-11-29 2004-09-21 Ppg Industries Ohio, Inc. Cathode targets of silicon and transition metal
US5709938A (en) 1991-11-29 1998-01-20 Ppg Industries, Inc. Cathode targets of silicon and transition metal
US6139969A (en) * 1991-11-29 2000-10-31 Ppg Industries Ohio, Inc. Reactive sputtering of silicon and transition metal
GB9127268D0 (en) * 1991-12-23 1992-02-19 Glaverbel Coated glass
JP3355654B2 (ja) * 1992-04-06 2002-12-09 松下電器産業株式会社 画像表示装置およびその製造方法
US5344718A (en) * 1992-04-30 1994-09-06 Guardian Industries Corp. High performance, durable, low-E glass
US5480722A (en) * 1992-07-03 1996-01-02 Asahi Glass Company Ltd. Ultraviolet ray absorbent glass and method for preparing the same
GB2268509B (en) * 1992-07-11 1996-01-31 Pilkington Uk Ltd Coatings on glass
US5580364A (en) * 1992-07-11 1996-12-03 Libbey-Owens-Ford Co. Method of producing a coated glass substrate exhibiting reflected color
US5965278A (en) * 1993-04-02 1999-10-12 Ppg Industries Ohio, Inc. Method of making cathode targets comprising silicon
US5814367A (en) * 1993-08-13 1998-09-29 General Atomics Broadband infrared and signature control materials and methods of producing the same
GB9400323D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
GB9400319D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
GB9400321D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
GB9400320D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coating on glass
US5691044A (en) * 1994-12-13 1997-11-25 Asahi Glass Company, Ltd. Light absorptive antireflector
US6142642A (en) * 1995-06-29 2000-11-07 Cardinal Ig Company Bendable mirrors and method of manufacture
JP3513108B2 (ja) 1997-10-31 2004-03-31 カーディナル・シージー・カンパニー 熱で曲げることができる鏡
US6171646B1 (en) 1999-12-09 2001-01-09 Engineered Glass Products, Llc Method for making an abrasion and scratch resistant coated glass article
KR20010062879A (ko) * 1999-12-20 2001-07-09 이기선 산화티탄의 제조방법
US6436820B1 (en) 2000-02-03 2002-08-20 Applied Materials, Inc Method for the CVD deposition of a low residual halogen content multi-layered titanium nitride film having a combined thickness greater than 1000 Å
US6919133B2 (en) * 2002-03-01 2005-07-19 Cardinal Cg Company Thin film coating having transparent base layer
ATE344217T1 (de) * 2002-03-01 2006-11-15 Cardinal Cg Co Dünnfilmbeschichtung mit einer transparenten grundierungsschicht
US7067195B2 (en) 2002-04-29 2006-06-27 Cardinal Cg Company Coatings having low emissivity and low solar reflectance
US7122252B2 (en) * 2002-05-16 2006-10-17 Cardinal Cg Company High shading performance coatings
WO2004011382A2 (en) * 2002-07-31 2004-02-05 Cardinal Cg Compagny Temperable high shading performance coatings
US7151532B2 (en) * 2002-08-09 2006-12-19 3M Innovative Properties Company Multifunctional multilayer optical film
JP4501152B2 (ja) * 2003-09-24 2010-07-14 日本電気硝子株式会社 ガラス物品
CN1321926C (zh) * 2005-11-08 2007-06-20 浙江大学蓝星新材料技术有限公司 浮法在线生产涂层玻璃的方法
US8264466B2 (en) * 2006-03-31 2012-09-11 3M Innovative Properties Company Touch screen having reduced visibility transparent conductor pattern
US7807248B2 (en) * 2007-08-14 2010-10-05 Cardinal Cg Company Solar control low-emissivity coatings
EP2905267A4 (en) * 2012-10-02 2016-08-17 Asahi Glass Co Ltd METHOD FOR PRODUCING COATED GLASS
US20140340757A1 (en) * 2013-05-16 2014-11-20 GM Global Technology Operations LLC Mirror assembly
US10662652B2 (en) * 2016-03-10 2020-05-26 Carlisle Intangible Company Heating compensating roofing boards
US10214956B2 (en) * 2017-01-05 2019-02-26 Guardian Glass, LLC Heat treatable coated article having titanium nitride and nickel chrome based IR reflecting layers

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1164352A (en) * 1967-06-16 1969-09-17 Standard Telephones Cables Ltd Optical Filters.
US3959565A (en) * 1974-01-08 1976-05-25 D. H. Baldwin Company Tin oxide coating
US4100330A (en) * 1977-03-28 1978-07-11 Ppg Industries, Inc. Method for coating glass with silicon and a metal oxide and resulting product
JPS5565545A (en) * 1978-11-13 1980-05-17 Nhk Spring Co Ltd Multilayer coating protective film board
US4524718A (en) * 1982-11-22 1985-06-25 Gordon Roy G Reactor for continuous coating of glass
JPS59148654A (ja) * 1983-02-15 1984-08-25 トヨタ自動車株式会社 熱線遮断部材
FR2550138B1 (fr) * 1983-08-04 1985-10-11 Saint Gobain Vitrage Vitrage a basse emissivite, notamment pour vehicules

Also Published As

Publication number Publication date
FI881944A (fi) 1988-04-26
EP0282565A1 (en) 1988-09-21
KR880701638A (ko) 1988-11-04
FI881944A0 (fi) 1988-04-26
BR8707437A (pt) 1988-12-06
CN87106530A (zh) 1988-03-16
EP0282565A4 (en) 1988-12-12
KR950010580B1 (ko) 1995-09-20
AR241457A1 (es) 1992-07-31
AU608255B2 (en) 1991-03-28
AU8032787A (en) 1988-03-24
DE3773661D1 (de) 1991-11-14
ATE68129T1 (de) 1991-10-15
JPH07100361B2 (ja) 1995-11-01
MX164292B (es) 1992-07-30
EP0282565B1 (en) 1991-10-09
CN1013435B (zh) 1991-08-07
US4847157A (en) 1989-07-11
JPH02504612A (ja) 1990-12-27
FI91950B (fi) 1994-05-31
ES2004990A6 (es) 1989-02-16
WO1988001568A1 (en) 1988-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI91950C (fi) Lasin pinnoitusmenetelmä ja sillä saatava tuote
US5897957A (en) Coated glass article having a solar control coating
JP4685304B2 (ja) ソーラーコントロールコーティングを有するガラス製品
RU1836305C (ru) Изделие
US4946712A (en) Glass coating method and resulting article
FI97220C (fi) Pinnoitetut lasituotteet
US20070281168A1 (en) Glass article having a zinc oxide coating and method for making same
JP2006206435A (ja) 透明基材上に金属窒化物系の層を堆積させる方法
US5217753A (en) Coated glass articles
RU2447032C2 (ru) Стеклоизделие с покрытием из оксида цинка и способ его изготовления
EP0409890B1 (en) Titanium silicide-coated glass windows
PL179769B1 (pl) S zyba do oszklen o wlasnosciach przeciwslonecznych i sposób wytwarzania szyby do oszklen o wlasnosciach przeciwslonecznych PL PL PL PL PL
WO1997025201A1 (en) Coated glass article having a solar control coating
CA1323803C (en) Glass coating method and resulting article
FI89585C (fi) Kontinuerligt aongavlagringsfoerfarande foer framstaellning av en belagd glasprodukt

Legal Events

Date Code Title Description
BB Publication of examined application
MM Patent lapsed
MM Patent lapsed
MM Patent lapsed

Owner name: LIBBEY-OWENS FORD CO.