FI80959B - Foerfarande och anordning foer inspektion av spegelreflexionsytor. - Google Patents

Foerfarande och anordning foer inspektion av spegelreflexionsytor. Download PDF

Info

Publication number
FI80959B
FI80959B FI881857A FI881857A FI80959B FI 80959 B FI80959 B FI 80959B FI 881857 A FI881857 A FI 881857A FI 881857 A FI881857 A FI 881857A FI 80959 B FI80959 B FI 80959B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
light source
controlled
light
lens
receiving
Prior art date
Application number
FI881857A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI80959C (sv
FI881857A (fi
FI881857A0 (fi
Inventor
Timo Heikki Piironen
Original Assignee
Outokumpu Oy
Rautaruukki Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Outokumpu Oy, Rautaruukki Oy filed Critical Outokumpu Oy
Priority to FI881857A priority Critical patent/FI80959C/sv
Publication of FI881857A0 publication Critical patent/FI881857A0/fi
Priority to EP89106680A priority patent/EP0338442B1/en
Priority to DE68913064T priority patent/DE68913064T2/de
Priority to US07/341,135 priority patent/US5018867A/en
Priority to CA000597244A priority patent/CA1324503C/en
Publication of FI881857A publication Critical patent/FI881857A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI80959B publication Critical patent/FI80959B/fi
Publication of FI80959C publication Critical patent/FI80959C/sv

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901—Optical details; Scanning details

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Claims (10)

1. Förfarande för automatisk visuell kontroll av särskilt i kontinuerlig rörelse befintliga, ätminstone delvis spegelreflekterande ytor, säsom metallytor medelst en mottagaranordning och en bildanalysapparatur, kännetecknat av att för eliminering av den ojämnhet i belysningen av mottagaranordningens (5,17,37) som förorsakas av variationer i höjden och riktningen av den yta (4,16,36) som skall kontrolleras regleras mottagaranordningens beskädningsvinkel (39,40) sä att längden av ljuskällans bild som bildats med tillhjälp av en framför ljuskällan (1,10) befintlig perforerad lins (3,15) är större än diametern av pupillen för mottagaranordningens (5,17,37) lins.
2. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat av att mottagaranordningens beskädningsvinkel (39,40) regleras genom ändring av ljuskällans (1,10) längd.
3. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat av att mottagaranordningens beskädningsvinkel (39,40) regleras genom ändring av öppningen (7) framför ljuskällan (1,10). li 7 80959
4. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat avatt mottagaranordningens beskädningsvinkel (39,40) regleras genon användning av en skärm (11) framför Ijuskällan (1.10).
5. Förfarande enligt patentkravet 4, kännetecknat avatt mottagaranordningens beskädningsvinkel (39,40) regleras genom ändring av skärmens (11) bredd.
6. Anordning för genomförande av förfarandet eligt patentkravet 1, vilken anordning uppvisar ätminstone en ljuskälla samt organ för behandling av den bild som erhällits av den yta som skall kontrolleras, kännetecknad av att framför Ijuskällan (1,10) anordnats en lins (3,15) med häl som alstrar en sädan bild av Ijuskällan (1,10) som med tillhjälp av ytan (4,16,36) som skall kontrolleras kan projiceras tili en mottatgaranordning (5,17,37).
7. Anordning enligt patentkravet 6, kännetecknad av att en perforerad lins (3,15,22,24,26,28,30) anordnats pro ljuskälla (1,10,21,23,25,27,29).
8. Anordning enligt patentkravet 6 eller 7, kännetecknad av att Ijuskällan (1 ,10,21 ,23,25,27,29) förskjutits i förhällande tili den perforerade linsens (3,15,22,26,28,30) optiska axel sä att linsen avbildar en av ljuskällorna genom den yta som skall kontrolleras tili mottagaranordningen (5,17,37).
9. Anordning enligt patentkraven 6, 7 eller 8, kännetecknad av att Ijuskällan (1,10,21 ,23,25,27,29) är en glödlampa.
10. Anordning enligt patentkraven 6,7,8 eller 9, kännetecknad av att mottagaranordningen (5,17,37) är en TV-kamera.
FI881857A 1988-04-21 1988-04-21 Förfarande och anordning för inspektion av spegelreflexionsytor FI80959C (sv)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI881857A FI80959C (sv) 1988-04-21 1988-04-21 Förfarande och anordning för inspektion av spegelreflexionsytor
EP89106680A EP0338442B1 (en) 1988-04-21 1989-04-14 A method and apparatus for the inspection of specularly reflective surfaces
DE68913064T DE68913064T2 (de) 1988-04-21 1989-04-14 Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung von spiegelnd reflektierenden Oberflächen.
US07/341,135 US5018867A (en) 1988-04-21 1989-04-20 Method and apparatus for the inspection of specularly reflective surfaces
CA000597244A CA1324503C (en) 1988-04-21 1989-04-20 Method and apparatus for the inspection of specularly reflective surfaces

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI881857A FI80959C (sv) 1988-04-21 1988-04-21 Förfarande och anordning för inspektion av spegelreflexionsytor
FI881857 1988-04-21

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI881857A0 FI881857A0 (fi) 1988-04-21
FI881857A FI881857A (fi) 1989-10-22
FI80959B true FI80959B (fi) 1990-04-30
FI80959C FI80959C (sv) 1990-08-10

Family

ID=8526329

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI881857A FI80959C (sv) 1988-04-21 1988-04-21 Förfarande och anordning för inspektion av spegelreflexionsytor

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5018867A (sv)
EP (1) EP0338442B1 (sv)
CA (1) CA1324503C (sv)
DE (1) DE68913064T2 (sv)
FI (1) FI80959C (sv)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5133019A (en) * 1987-12-03 1992-07-21 Identigrade Systems and methods for illuminating and evaluating surfaces
DE19859512A1 (de) * 1998-12-22 2000-07-06 Eltromat Ges Fuer Ind Elektron Vorrichtung zur Erkennung von Bereichen unterschiedlich hoher Reflektionsfähigkeit auf Druckbahnen bzw. Druckbögen
JP4132046B2 (ja) * 2001-07-05 2008-08-13 日本板硝子株式会社 シート状透明体の欠点を検査する装置
HUP0104057A2 (hu) * 2001-10-02 2003-06-28 MTA Műszaki Fizikai és Anyagtudományi Kutatóintézet Mérési elrendezés és eljárás félvezető szeletek és más tükörjellegű felületek érintésmentes, gyors kvantitatív topográfiai vizsgálatára
GB2416834A (en) * 2004-08-03 2006-02-08 Intercolor Ltd A method of measuring the lustre of a surface having a metallic appearance
US7705978B2 (en) * 2006-02-06 2010-04-27 Northrop Grumman Corporation Method and apparatus for inspection of multi-junction solar cells
US7326929B2 (en) * 2006-02-06 2008-02-05 Northrop Grumman Corporation Method and apparatus for inspection of semiconductor devices
DE202013101851U1 (de) * 2013-04-29 2014-07-30 Eltromat Gmbh Anordnung zur Aufnahme eine Bildes von einer Bedruckstoffbahn

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2315282A (en) * 1939-10-21 1943-03-30 Harold A Snow Method of and apparatus for determining characteristics of surfaces
US3385971A (en) * 1965-08-06 1968-05-28 Appalachian Electric Instr Inc Radiation sensitive fabric flaw detecting systems
GB1449044A (en) * 1972-11-14 1976-09-08 Kongsberg Vapenfab As Procedures and apparatuses for determining the shapes of surfaces
DE2911177A1 (de) * 1979-03-22 1980-10-02 Betr Forsch Inst Angew Forsch Verfahren zur oberflaechenpruefung von kalten, durchlaufenden baendern und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
JPS57178134A (en) * 1981-04-27 1982-11-02 Toshiba Corp Specular surface defect observing device
DE3226372A1 (de) * 1982-07-14 1984-01-19 Compur-Electronic GmbH, 8000 München Verfahren und vorrichtung zum messen von remissionen
DE3526553A1 (de) * 1985-07-25 1987-01-29 Zeiss Carl Fa Remissionsmessgeraet zur beruehrungslosen messung

Also Published As

Publication number Publication date
EP0338442A2 (en) 1989-10-25
US5018867A (en) 1991-05-28
EP0338442A3 (en) 1990-06-13
DE68913064T2 (de) 1994-06-01
FI80959C (sv) 1990-08-10
DE68913064D1 (de) 1994-03-24
FI881857A (fi) 1989-10-22
CA1324503C (en) 1993-11-23
FI881857A0 (fi) 1988-04-21
EP0338442B1 (en) 1994-02-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7382457B2 (en) Illumination system for material inspection
KR100907247B1 (ko) 스크래치 탐지 장치 및 방법
JP5388543B2 (ja) 外観検査装置
EA034246B1 (ru) Устройство и способ для измерения пороков, вызывающих искажение, в произведенной полосе флоат-стекла
JPS63261144A (ja) 光学的ウエブモニター装置
JPH1090198A (ja) 欠陥を検出するための方法および照射装置
JP6038434B2 (ja) 欠陥検査装置
FI80959B (fi) Foerfarande och anordning foer inspektion av spegelreflexionsytor.
US6847442B1 (en) Illuminator for inspecting substantially flat surfaces
JP2005156420A (ja) 表面凹凸の検査方法及び検査装置
KR101001113B1 (ko) 웨이퍼 결함의 검사장치 및 검사방법
JP6039119B1 (ja) 欠陥検査装置
JPH06129995A (ja) 光学式表面欠陥検査装置
KR19980080031A (ko) 투명물체 검사방법, 이에 사용되는 장치 및 검사시스템
JPH07234187A (ja) ガラス基板の表面欠点検出方法およびその装置
WO1999064845A1 (en) Defect detecting unit
JP3078784B2 (ja) 欠陥検査装置
EP0556655A2 (en) Device and method for testing optical elements
JP3822567B2 (ja) 移動するストリップの自動表面検査装置
KR100389967B1 (ko) 자동화 결함 검사 장치
JP2821460B2 (ja) 透明基板の傷検査装置
US5666204A (en) Method and apparatus for optical shape measurement of oblong objects
JPH07306152A (ja) 光学的歪検査装置
KR20080023183A (ko) 기판 표면 에러를 광학적으로 검출하기 위한 장치
JPS62191741A (ja) 表面欠陥検出方法

Legal Events

Date Code Title Description
PC Transfer of assignment of patent

Owner name: RAUTARUUKKI OY

MM Patent lapsed

Owner name: RAUTARUUKKI OY