FI126999B - Parannettu paineanturi - Google Patents
Parannettu paineanturi Download PDFInfo
- Publication number
- FI126999B FI126999B FI20145044A FI20145044A FI126999B FI 126999 B FI126999 B FI 126999B FI 20145044 A FI20145044 A FI 20145044A FI 20145044 A FI20145044 A FI 20145044A FI 126999 B FI126999 B FI 126999B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- layer
- pressure sensor
- planar base
- diaphragm plate
- side wall
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Claims (15)
1. Mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, joka käsittää pohjatason (21), sivuseinäkerroksen (23) ja kalvolevyn (20), jolloin sivuseinäkerros (23) muodostaa sivuseinät, jotka ulottuvat pohjatasosta poispäin yhtyen kalvolevyyn (20); tunnettu siitä, että sivuseinäkerros (23) muodostuu ainakin kolmesta tasomaisesta kerroksesta, eristävää materiaalia olevasta ensimmäisestä kerroksesta ja johtavaa materiaalia olevasta kolmannesta kerroksesta (27), jolloin kolmas kerros (27) on ensimmäisen kerroksen (28) ja toisen kerroksen (29) välissä.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että ensimmäinen kerros (28) ulottuu vaakatasossa kolmatta kerrosta (27) ulommas, ja kolmas kerros (27) ulottuu vaakatasossa toista kerrosta (29) ulommas.
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että poikkileikkauksessa ensimmäisen eristävän kerroksen (28) ulkoreuna ulottuu vaakatasossa kolmannen kerroksen (27) ulkoreunaa ulommas, ja kolmannen kerroksen (27) ulkoreuna ulottuu vaakatasossa toista eristävää kerrosta (29) ulommas.
4. Patenttivaatimuksen 2 tai 3 mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että poikkileikkauksessa etäisyys ensimmäisen kerroksen (28) vastakkaisten sisäreunojen välillä on pienempi kuin etäisyys (Wl) kolmannen kerroksen (27) vastakkaisten sisäreunojen välillä, ja etäisyys (Wl) kolmannen kerroksen (27) vastakkaisten sisäreunojen välillä on pienempi kuin etäisyys (W2) toisen kerroksen (29) sisäreunojen välillä.
5. Patenttivaatimuksen 1, 2 tai 3 mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että kalvolevyn (20) se osa, joka ei ole kosketuksessa sivuseinäkerrokseen (23) muodostaa kalvon; poikkileikkauksessa suhde kolmannen kerroksen tasolla olevan raon leveyden (Wl) ja kalvon leveyden (W2) välillä on pienempi kuin yksi.
6. Patenttivaatimuksen 1, 2 tai 3 mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että suhde on välillä 0,3 - 0,7.
7. Patenttivaatimuksen 1, 2 tai 3 mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että suhde on 0,4.
8. Jonkin edeltävän patenttivaatimuksen mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että ensimmäinen kerros (28) ja toinen kerros (29) on valmistettu piidioksidista.
9. Jonkin edeltävän patenttivaatimuksen mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu johtavaa materiaalia olevasta sivuseinäkerroksen (23) sisällä olevasta sisäisestä elektrodikerroksesta (400), joka on sähköisesti eristetty kolmannesta kerroksesta (27).
10. Patenttivaatimuksen 9 mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että sähköinen eristys aikaansaadaan sähköisesti eristävällä alueella (402), joka ympäröi sisäistä elektrodikerrosta (400).
11. Patenttivaatimuksen 10 mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että sähköisesti eristävä kerros (402) on vako, joka ulottuu pohjatasoon sisäisen elektrodikerroksen (400) ja kolmannen kerroksen (27) välissä, ja ensimmäinen kerroksen (28) läpi.
12. Patenttivaatimuksen 9, 10, tai 11 mukainen mikroelektromekaaninen paineanturirakenne, tunnettu siitä, että sisäinen elektrodikerros (400) on sähköisessä yhteydessä pohjatasoon yhdysaukon (501) välityksellä.
13. Paineanturi, joka sisältää minkä tahansa edeltävän vaatimuksen mukaisen paineanturi rakenteen.
14. Patenttivaatimuksen 13 mukainen paineanturi, tunnettu siitä, että paineanturi käsittää sähköpiirin (92), joka on kytketty pohjatason ja johtavaa materiaalia olevan kolmannen kerroksen ja kalvolevyn sähköliittimeen; sähköpiiri (92) käsittää takaisinsyöttörakenteisen operaatiovahvistimen, joka on kytketty pitämään johtavaa materiaalia oleva kolmas kerros samassa potentiaalissa joko pohjatason tai kalvolevyn kanssa, ja erottamaan johtavaa materiaalia olevan kolmannen kerroksen ja kalvolevyn läpi kulkevat virtapolut toisistaan.
15. Patenttivaatimuksen 13 mukainen paineanturi, tunnettu siitä, että operaatiovahvistin on invertoiva operaatiovahvistin tai suora operaatiovahvistin.
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20145044A FI126999B (fi) | 2014-01-17 | 2014-01-17 | Parannettu paineanturi |
PCT/IB2015/050241 WO2015107453A1 (en) | 2014-01-17 | 2015-01-13 | An improved pressure sensor structure |
KR1020167021967A KR101848226B1 (ko) | 2014-01-17 | 2015-01-13 | 향상된 압력 센서 구조 |
JP2016546981A JP6256619B2 (ja) | 2014-01-17 | 2015-01-13 | 改良された圧力センサ構造 |
CN201580004485.4A CN105917205B (zh) | 2014-01-17 | 2015-01-13 | 改进的压力传感器结构 |
TW104101296A TWI648527B (zh) | 2014-01-17 | 2015-01-15 | 改良的壓力感測器結構 |
US14/600,240 US9829405B2 (en) | 2014-01-17 | 2015-01-20 | Micromechanical pressure sensor structure having a side wall layer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20145044A FI126999B (fi) | 2014-01-17 | 2014-01-17 | Parannettu paineanturi |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI20145044A FI20145044A (fi) | 2015-07-18 |
FI126999B true FI126999B (fi) | 2017-09-15 |
Family
ID=52574193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI20145044A FI126999B (fi) | 2014-01-17 | 2014-01-17 | Parannettu paineanturi |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9829405B2 (fi) |
JP (1) | JP6256619B2 (fi) |
KR (1) | KR101848226B1 (fi) |
CN (1) | CN105917205B (fi) |
FI (1) | FI126999B (fi) |
TW (1) | TWI648527B (fi) |
WO (1) | WO2015107453A1 (fi) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI125958B (fi) * | 2013-05-10 | 2016-04-29 | Murata Manufacturing Co | Parannettu paineanturi |
FI125960B (fi) * | 2013-05-28 | 2016-04-29 | Murata Manufacturing Co | Parannettu paineanturi |
FI125447B (fi) * | 2013-06-04 | 2015-10-15 | Murata Manufacturing Co | Parannettu paineanturi |
US11284808B2 (en) | 2014-10-11 | 2022-03-29 | Linet Spol. S.R.O. | Device and method for measurement of vital functions, including intracranial pressure, and system and method for collecting data |
US10421565B2 (en) * | 2015-05-25 | 2019-09-24 | 2266170 Ontario Inc. | Apparatus and method for the detection of leaks in a sealed capsule |
JP6486866B2 (ja) * | 2016-05-27 | 2019-03-20 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 物理量測定装置およびその製造方法ならびに物理量測定素子 |
EP3474733A1 (en) * | 2016-06-22 | 2019-05-01 | Linet Spol. S.R.O. | Medical data collection system and method of use thereof |
JP2020003211A (ja) * | 2016-09-29 | 2020-01-09 | 株式会社村田製作所 | 容量測定回路及び容量測定システム |
KR102039577B1 (ko) * | 2017-12-05 | 2019-11-01 | 삼성중공업 주식회사 | 액화수소 저장탱크 누출 감지 장치 |
JP6922798B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2021-08-18 | オムロン株式会社 | 静電容量式圧力センサ |
JP6922797B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2021-08-18 | オムロン株式会社 | 静電容量式圧力センサ |
CN113557419A (zh) * | 2019-03-13 | 2021-10-26 | 株式会社村田制作所 | 压力传感器 |
JPWO2022019167A1 (fi) * | 2020-07-21 | 2022-01-27 | ||
US11940336B2 (en) * | 2021-03-26 | 2024-03-26 | Sporian Microsystems, Inc. | Driven-shield capacitive pressure sensor |
WO2023058660A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | 株式会社村田製作所 | 圧力センサ構造および圧力センサ装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3737059A1 (de) * | 1987-10-29 | 1989-05-11 | Siemens Ag | Messumformer mit einem kapazitiven sensor |
US4954925A (en) | 1988-12-30 | 1990-09-04 | United Technologies Corporation | Capacitive sensor with minimized dielectric drift |
US4951174A (en) | 1988-12-30 | 1990-08-21 | United Technologies Corporation | Capacitive pressure sensor with third encircling plate |
JP2000307127A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-02 | Omron Corp | 静電容量型センサ |
JP2001255225A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Anelva Corp | 静電容量型真空センサ |
JP3771425B2 (ja) * | 2000-07-04 | 2006-04-26 | 株式会社山武 | 容量式圧力センサおよびその製造方法 |
JP2002181648A (ja) | 2000-12-19 | 2002-06-26 | Fujikura Ltd | 圧力センサ |
US6720777B2 (en) * | 2002-02-15 | 2004-04-13 | Rosemount Inc. | Bridged capacitor sensor measurement circuit |
EP1522521B1 (en) | 2003-10-10 | 2015-12-09 | Infineon Technologies AG | Capacitive sensor |
JP3930862B2 (ja) * | 2004-02-13 | 2007-06-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 容量型センサ |
DE102004011144B4 (de) * | 2004-03-08 | 2013-07-04 | Infineon Technologies Ag | Drucksensor und Verfahren zum Betreiben eines Drucksensors |
JP2007057247A (ja) * | 2005-08-22 | 2007-03-08 | Hosiden Corp | 静電容量型センサ |
JP2007057394A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-03-08 | Epson Toyocom Corp | 圧力センサ、及びその製造方法 |
JP2007278716A (ja) * | 2006-04-03 | 2007-10-25 | Epson Toyocom Corp | 容量変化型圧力センサ |
US8334159B1 (en) | 2009-03-30 | 2012-12-18 | Advanced Numicro Systems, Inc. | MEMS pressure sensor using capacitive technique |
EP2520917A1 (en) * | 2011-05-04 | 2012-11-07 | Nxp B.V. | MEMS Capacitive Pressure Sensor, Operating Method and Manufacturing Method |
TWI444605B (zh) * | 2011-12-12 | 2014-07-11 | Metrodyne Microsystem Corp | 微機電系統壓力感測元件及其製作方法 |
DE102014200500A1 (de) * | 2014-01-14 | 2015-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Drucksensorvorrichtung und entsprechendes Herstellungsverfahren |
-
2014
- 2014-01-17 FI FI20145044A patent/FI126999B/fi active IP Right Grant
-
2015
- 2015-01-13 WO PCT/IB2015/050241 patent/WO2015107453A1/en active Application Filing
- 2015-01-13 CN CN201580004485.4A patent/CN105917205B/zh active Active
- 2015-01-13 JP JP2016546981A patent/JP6256619B2/ja active Active
- 2015-01-13 KR KR1020167021967A patent/KR101848226B1/ko active IP Right Grant
- 2015-01-15 TW TW104101296A patent/TWI648527B/zh active
- 2015-01-20 US US14/600,240 patent/US9829405B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105917205A (zh) | 2016-08-31 |
KR20160108471A (ko) | 2016-09-19 |
TW201531682A (zh) | 2015-08-16 |
WO2015107453A1 (en) | 2015-07-23 |
KR101848226B1 (ko) | 2018-05-28 |
TWI648527B (zh) | 2019-01-21 |
JP2017506329A (ja) | 2017-03-02 |
CN105917205B (zh) | 2019-03-19 |
US20150204744A1 (en) | 2015-07-23 |
JP6256619B2 (ja) | 2018-01-10 |
US9829405B2 (en) | 2017-11-28 |
FI20145044A (fi) | 2015-07-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI126999B (fi) | Parannettu paineanturi | |
US9541464B2 (en) | Pressure sensor structure | |
JP6920967B2 (ja) | 圧力センサの補正のための方法および装置 | |
KR100486322B1 (ko) | 반도체압력센서 | |
US20170315008A1 (en) | Capacitive Pressure Sensor and Method for its Production | |
CN109319727B (zh) | Mems传感器以及提供和运行mems传感器的方法 | |
US20130152694A1 (en) | Sensor with vacuum cavity and method of fabrication | |
CN116134625A (zh) | 压力传感器构造、压力传感器装置及压力传感器构造的制造方法 | |
WO2007126269A1 (en) | Touch mode capacitive pressure sensor | |
US11448564B2 (en) | Sensor arrangement and method of operating a sensor arrangement | |
JPH02262032A (ja) | 絶対圧型半導体圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FG | Patent granted |
Ref document number: 126999 Country of ref document: FI Kind code of ref document: B |