FI122485B - Förfarande och anordning för gasrensning - Google Patents

Förfarande och anordning för gasrensning Download PDF

Info

Publication number
FI122485B
FI122485B FI20096004A FI20096004A FI122485B FI 122485 B FI122485 B FI 122485B FI 20096004 A FI20096004 A FI 20096004A FI 20096004 A FI20096004 A FI 20096004A FI 122485 B FI122485 B FI 122485B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
gas
particles
electrode
effz
jet1
Prior art date
Application number
FI20096004A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI20096004A0 (sv
Inventor
Jorma Keskinen
Kauko Janka
Ari Laitinen
Original Assignee
Jorma Keskinen
Kauko Janka
Ari Laitinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jorma Keskinen, Kauko Janka, Ari Laitinen filed Critical Jorma Keskinen
Priority to FI20096004A priority Critical patent/FI122485B/sv
Publication of FI20096004A0 publication Critical patent/FI20096004A0/sv
Priority to PCT/FI2010/050763 priority patent/WO2011039422A1/en
Priority to US13/498,188 priority patent/US9028589B2/en
Priority to CN201080043971.4A priority patent/CN102648055B/zh
Priority to EP10819962.1A priority patent/EP2482988A4/en
Application granted granted Critical
Publication of FI122485B publication Critical patent/FI122485B/sv

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/40—Electrode constructions
    • B03C3/45—Collecting-electrodes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/02—Plant or installations having external electricity supply
    • B03C3/04—Plant or installations having external electricity supply dry type
    • B03C3/08—Plant or installations having external electricity supply dry type characterised by presence of stationary flat electrodes arranged with their flat surfaces parallel to the gas stream
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/02—Plant or installations having external electricity supply
    • B03C3/04—Plant or installations having external electricity supply dry type
    • B03C3/12—Plant or installations having external electricity supply dry type characterised by separation of ionising and collecting stations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/02—Plant or installations having external electricity supply
    • B03C3/04—Plant or installations having external electricity supply dry type
    • B03C3/14—Plant or installations having external electricity supply dry type characterised by the additional use of mechanical effects, e.g. gravity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/36—Controlling flow of gases or vapour
    • B03C3/361—Controlling flow of gases or vapour by static mechanical means, e.g. deflector
    • B03C3/366—Controlling flow of gases or vapour by static mechanical means, e.g. deflector located in the filter, e.g. special shape of the electrodes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/38—Particle charging or ionising stations, e.g. using electric discharge, radioactive radiation or flames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/40—Electrode constructions
    • B03C3/41—Ionising-electrodes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/40—Electrode constructions
    • B03C3/45—Collecting-electrodes
    • B03C3/47—Collecting-electrodes flat, e.g. plates, discs, gratings

Landscapes

  • Electrostatic Separation (AREA)

Claims (21)

1. Gasreningsanordning (500), som omfattar - en laddningsenhet (150) som är anordnad att bilda laddade partiklar (P1) 5 frän partiklar (PO) som finns i en gas (FG), - en strömstyrstruktur (30) som är anordnad att bilda en gassträle (JET1) genom att styra den sagda partiklar innehällande gasen (FG), och - en uppsamlingselektrod (10) med ett effektivt uppsamlingsomräde (EFFZ) som är anordnat att samla upp partiklar (P1) frän sagda gassträle (JET1) 10 med hjälp av ett elektriskt fält (E1), kännetecknad av att sagda gasreningsanordning (500) ytterligare omfattar en jonkälla (100) som är anordnad att producera joniserad gas (IG) genom att jonisera en väsentligen partikelfri gas (AG), varvid sagda laddningsenhet (150) är anordnad att bilda laddade partiklar (P1) genom att överföra ladd-15 ning frän joner (J1) av sagda joniserade gas (IG) tili partiklar (PO) av den partiklar innehällande gasen (FG), och sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är sä placerat att gasens hastighetsgradient (Av/Ay) i varje punkt av sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är mindre än eller lika stor som 10 % av gasens maximihastighet (VMax) i sagda gassträle (JET1) dividerad 20 med höjdmättet (d1 ’) av sagda sträle, varvid sagda höjdmätt (d1') bestäms vid sagda strömstyrstruktur (30).
2. Anordning (500) enligt patentkrav 1, i vilket sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är sä placerat att gasens hastighet pä ett avständ (Ay) av 25. cm frän sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är mindre än eller lika stor som 10 % av gasens maximihastighet (VMAx) i sagda gassträle (JET1), ^ varvid sagda avständ (Ay) är bestämt i huvudriktningen av sagda elektriska w fält (E1). i o S 30
3. Anordning enligt patentkrav 1 eller 2, varvid sagda jonkälla (100) är anord- x nad att bilda joner (J1) med hjälp av koronaurladdning. CL
4. Anordning (500) enligt patentkrav 3, varvid sagda jonkälla omfattar en o» koronaelektrod (110) och en motelektrod (120), och varvid tillträde av sagda o ^ 35 partiklar (PO, P1) tili utrymmet mellan koronaelektroden (110) och mot- elektroden (120) är väsentligen hindrat. 31
5. Anordning (500) enligt patentkrav 3 eller 4, varvid sagda laddningsenhet (150) är anordnad att blanda joniserad gas (IG) till sagda partiklar inne-hällande gas (FG) i en inloppskanal (301).
6. Anordning (500) enligt patentkrav 5, varvid sagda joniserad gas (IG) leds till inloppskanalen (301) genom ett munstycke (130), ooh avständet (L1) mellan sagda munstycke (130) och sagda uppsamlingselektrod (10) är större än eller lika stor som 50 cm.
7. Anordning (500) enligt nägot av patentkraven 1-6, varvid längden (L3) av sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är större än eller lika stor som tre gänger höjdmättet (d’1) av sagda sträle (JET1).
8. Anordning (500) enligt nagot av patentkraven 1-7, varvid sagda strömstyr-15 struktur (30) befinner sig i olik elektrisk potential än sagda uppsamlingselektrod (10).
9. Förfarande för separering av partiklar (PO, P1) frän gas (FG) som inne-häller partiklar, i vilket förfarande: 20. laddade partiklar (P1) bildas frän partiklar (PO) som finns i gasen (FG), - en gassträle (JET1) bildas genom att styra den sagda partiklar inne-hällande gasen (FG) med hjälp av en strömstyrstruktur (30), och - laddade partiklar (P1) samlas upp frän sagda gassträle (JET1) till ett effek-tivt uppsamlingsomräde (EFFZ) av en uppsamlingselektrod (10) med hjälp av 25 ett elektriskt fält (E1), kännetecknad av att i sagda förfarande ytterligare produceras joniserad gas ^ (IG) genom att jonisera en väsentlig partikelfri gas (AG), och laddning över- ^ förs frän joner (J1) av sagda joniserade gas (IG) till partiklar (PO) av den par- 2 tiklar innehällande gasen (FG) för att bilda laddade partiklar (P1), varvid § 30 sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är sä placerat att gasens hastig- x hetsgradient (Δν/Ay) i varje punkt av sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är mindre än eller lika stor som 10% av gasens maximihastighet § (Vmax) i sagda gassträle (JET1) dividerad med höjdmättet (d1 ’) av sagda o» sträle, varvid sagda höjdmätt bestäms vid sagda strömstyrstruktur (30). o ° ^5 CM
10. Förfarande enligt patentkrav 9, i vilket sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är sä placerat att gasens hastighet pä ett avständ (Ay) av 32 1 cm frän sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är mindre än eller lika stor som 10 % av gasens maximihastighet (VMax) i sagda gassträle (JET1), varvid sagda avständ (Ay) bestäms i huvudriktningen av sagda elektriska fait (E1). 5
11. Förfarande enligt patentkrav 9 eller 10, i vilket den fjärmaste punkien av sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är sä belägen att en laddad par-tikel (P1) som gär i mitten (CNT1) av sagda gassträle (JET1) träffar sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) när diametern av sagda laddade parti- 10 kel (P1) är 100 nm.
12. Förfarande enligt nägot av patentkraven 9-11, i vilket strömningshastig-heten av sagda partiklar innehällande gas (FG) halls under ett förutbestämt gränsvärde pä sä sätt att en laddad partikel (P1) som gär i mitten (CNT1) av 15 sagda gassträle (JET1) träffar sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) när diametern pä sagda laddade partikel (P1) är 100 nm.
13. Förfarande enligt nägot av patentkraven 9-12, i vilket sagda laddning omfattar blandning av sagda partiklar innehällande gas (FG) tili sagda jonise- 20 rad gas (IG).
14. Förfarande enligt patentkrav 13, som omfattar bildning av joner (J1) med hjälp av koronaurladdning. 25
15. Förfarande enligt patentkrav 14, varvid sagda joniserad gas (IG) produce rs med en jonkälla som omfattar en koronaelektrod (110) och en mot-^ elektrod (120), och varvid tillträde av sagda partiklar (PO, P1) tili utrymmet ° imellän koronaelektroden (110) och motelektroden (120) är väsentligen hind- ° rat. S 30 x
16. Förfarande enligt nägot av patentkraven 13-15, som omfattar blandning av joniserad gas (IG) tili sagda partiklar innehällande gas (FG) i en inlopps- o kanal (301). cd 05 O ° 35
17. Förfarande enligt nägot av patentkraven 13-16, som omfattar ledning av sagda joniserad gas (IG) tili inloppskanalen (301) genom ett munstycke (130) 33 pä sä sätt att avständet (L1) imellän sagda munstycke (130) och sagda upp-samlingselektrod (10) är större än eller lika stor som 50 cm.
18. Förfarande enligt nägot av patentkraven 9-17, i vilket gasens hastighet 5 (Δν) pä ett avständ (Ay) av 1 cm över varje punkt av sagda effektiva uppsam- lingsomräde (EFFZ) är mindre än eller lika stor som 20 cm/s.
19. Förfarande enligt nägot av patentkraven 9-18, i vilket gasens hastighets-gradient (Δν/Ay) i varje punkt av sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) 10 är mindre än eller lika stor som 20 s'1.
20. Förfarande enligt nägot av patentkraven 9-19, varvid längden (L3) av sagda effektiva uppsamlingsomräde (EFFZ) är större än eller lika stor som tre gänger höjdmättet (d’1) av sagda sträle (JET1). 15
21. Förfarande enligt nägot av patentkraven 9-20, varvid sagda strömstyr-struktur (30) befinner sig i olik elektrisk potential än sagda uppsamlings-elektrod (10). δ (M i o oo o X en CL O o CD CD O O (M
FI20096004A 2009-10-01 2009-10-01 Förfarande och anordning för gasrensning FI122485B (sv)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20096004A FI122485B (sv) 2009-10-01 2009-10-01 Förfarande och anordning för gasrensning
PCT/FI2010/050763 WO2011039422A1 (en) 2009-10-01 2010-10-01 Method and device for gas cleaning
US13/498,188 US9028589B2 (en) 2009-10-01 2010-10-01 Method and device for gas cleaning
CN201080043971.4A CN102648055B (zh) 2009-10-01 2010-10-01 气体清洁的方法和设备
EP10819962.1A EP2482988A4 (en) 2009-10-01 2010-10-01 METHOD AND DEVICE FOR GAS CLEANING

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI20096004A FI122485B (sv) 2009-10-01 2009-10-01 Förfarande och anordning för gasrensning
FI20096004 2009-10-01

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FI20096004A0 FI20096004A0 (sv) 2009-10-01
FI122485B true FI122485B (sv) 2012-02-15

Family

ID=41263422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI20096004A FI122485B (sv) 2009-10-01 2009-10-01 Förfarande och anordning för gasrensning

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9028589B2 (sv)
EP (1) EP2482988A4 (sv)
CN (1) CN102648055B (sv)
FI (1) FI122485B (sv)
WO (1) WO2011039422A1 (sv)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI124675B (sv) * 2012-09-06 2014-11-28 Tassu Esp Oy Förfarande för att samla upp mikropartiklar från rökgaser samt motsvarande arrangemang
CN103769299B (zh) * 2014-01-25 2016-02-24 游学秋 空气微纳颗粒过滤净化设备
EP3240948A4 (en) * 2014-12-29 2018-05-09 Wirojpaisi, Wanlop Engine combustion system oxygen efficiency enhancing device with raised electrical voltage and improved installation method
CN108348926A (zh) 2015-09-28 2018-07-31 麻省理工学院 用于收集物类的系统和方法
FI20155760A (sv) * 2015-10-26 2017-04-27 Dekati Oy Laddningsenhet för partikelövervakningsanordning samt partikelövervakningsanordning
US9791361B2 (en) 2015-10-26 2017-10-17 Dekati Oy Method and apparatus for measuring aerosol particles of exhaust gas
US9791360B2 (en) * 2015-10-26 2017-10-17 Dekati Oy Method and apparatus for measuring aerosol particles suspended in gas
WO2017143255A1 (en) * 2016-02-19 2017-08-24 Washington University Systems and methods for gas cleaning using electrostatic precipitation and photoionization
FI20175319A1 (sv) * 2017-04-06 2018-10-07 Olfactomics Oy Förfarande och utrustning för analys av biologiska prover
FR3121493A1 (fr) * 2021-04-06 2022-10-07 Akwel Dispositif électrostatique de récupération de particules de poussières de freinage.

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1070622A (en) * 1974-08-19 1980-01-29 James J. Schwab Process and apparatus for electrostatic cleaning of gases
GB1587983A (en) * 1977-03-16 1981-04-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic air cleaner
JPS57122952A (en) * 1981-01-22 1982-07-31 Nissan Motor Co Ltd Electric dust collecting type exhaust gas purifying apparatus
FR2652009B3 (fr) * 1989-09-20 1992-02-07 Breton Jacques Dispositif electrostatique d'elimination des polluants et biocontaminants atmospheriques par ionisation negative prealable de l'air et capture complete des particules chargees.
JPH1043631A (ja) 1996-08-08 1998-02-17 Daikin Ind Ltd 空気清浄機
US5961693A (en) * 1997-04-10 1999-10-05 Electric Power Research Institute, Incorporated Electrostatic separator for separating solid particles from a gas stream
US6436170B1 (en) * 2000-06-23 2002-08-20 Air Products And Chemical, Inc. Process and apparatus for removing particles from high purity gas systems
AUPR160500A0 (en) * 2000-11-21 2000-12-14 Indigo Technologies Group Pty Ltd Electrostatic filter
US6824587B2 (en) * 2003-02-14 2004-11-30 Moustafa Abdel Kader Mohamed Method and apparatus for removing contaminants from gas streams
US20090071328A1 (en) * 2002-08-21 2009-03-19 Dunn John P Grid type electrostatic separator/collector and method of using same
FI119468B (sv) * 2003-04-22 2008-11-28 Jorma Keskinen Förfarande och anordning för intensifiering av elektrisk partikelfiltrering i en förbränningsanläggning
US7267708B2 (en) * 2005-04-20 2007-09-11 Air-Cure Dynamics, Inc. Rigid electrode ionization for packed bed scrubbers
JP4823027B2 (ja) * 2006-06-14 2011-11-24 臼井国際産業株式会社 ディーゼルエンジン排気ガスの電気式処理方法およびその装置
JP4638452B2 (ja) 2007-01-31 2011-02-23 三菱電機株式会社 電気集塵デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
CN102648055B (zh) 2016-04-06
EP2482988A1 (en) 2012-08-08
US9028589B2 (en) 2015-05-12
CN102648055A (zh) 2012-08-22
EP2482988A4 (en) 2016-12-28
FI20096004A0 (sv) 2009-10-01
US20120180659A1 (en) 2012-07-19
WO2011039422A1 (en) 2011-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI122485B (sv) Förfarande och anordning för gasrensning
US7297182B2 (en) Wet electrostatic precipitator for treating oxidized biomass effluent
JP6030671B2 (ja) 静電荷中和用の清浄なコロナガス電離
US8088198B2 (en) Wet electrostatic precipitator
KR101959628B1 (ko) 공기 청정을 위한 샤워필터
US20090263293A1 (en) Electric discharge device and air purification device
US7459009B2 (en) Method and apparatus for flue gas desulphurization
WO2006094174A2 (en) Dual flow wet electrostatic precipitator
FI124675B (sv) Förfarande för att samla upp mikropartiklar från rökgaser samt motsvarande arrangemang
JP2009125653A (ja) 空気浄化装置
JP2008264738A (ja) 静電集塵装置
CN215235037U (zh) 一种酸雾颗粒物处理的湿式静电设备
US20080302241A1 (en) Structural Principle of an Exhaust Gas Purification Installation, and Associated Method For Purifying an Exhaust Gas
TWI730738B (zh) 用於半導體製造的潔淨室系統及其電場除塵方法
KR102142758B1 (ko) 전기 집진기 및 배출가스 유동으로부터 물질을 전기 집진하기 위한 방법
CN218742503U (zh) 一种用于半导体制造的洁净室系统
KR101002403B1 (ko) 반도체 공정의 집진 장치
US10399091B2 (en) Electrostatic precipitation device for removing particles in explosive gases
US20190270094A1 (en) Boiler
JPH0631203A (ja) ダクト型電気集じん装置
JP2022187928A (ja) エアロゾル捕集装置及びエアロゾル捕集装置設置方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed