FI116859B - Fotoakustisk detektor - Google Patents
Fotoakustisk detektor Download PDFInfo
- Publication number
- FI116859B FI116859B FI20021733A FI20021733A FI116859B FI 116859 B FI116859 B FI 116859B FI 20021733 A FI20021733 A FI 20021733A FI 20021733 A FI20021733 A FI 20021733A FI 116859 B FI116859 B FI 116859B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- door
- chamber
- measuring
- movement
- opening
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Claims (10)
1. Fotoakustisk detektor, vilken omfattar ätminstone en första kammare (Vo), till vilken den gas, som skall undersökas, kan ledas 5 - ett fönster för genomsläppande av modulerad och/eller pulserad inf och/eller ljus tili den första kammaren (Vo), och - medel för detekterande av tryckväxlingar ästadkomna av absorberad inf och/eller ljus i den första kammaren, kännetecknad därav, att medlen för di tryckväxlingar ästadkomna av absorberad infrarödsträlning och/eller ljus 10 kammaren omfattar ätminstone - en i den första kammarens (Vo) väggyta anordnad öppning, i förbinde anordnats en dörr som anordnats rörlig tili följd av gasens rörelse, och - medel för mätning av dörrens rörelse utan att röra denna.
2. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att c högst lika stor som ytan av den i den första kammaren (Vo) anordnade öppnin
3. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 1 eller 2, kännetecknad därav, ätminstone till sin ena sida fästad vid en karmstruktur som omger dörrens side 5 ·· 20 ·· « • * · *' 4. Fotoakustisk detektor enligt nägot av tidigare patentkraven, käimeteckr « * * · * • . dörren och kannen har bildats av kisel. • 4 • * • · » • 1« l./ 5. Fotoakustisk detektor enligt nägot av tidigare patentkraven, känneteckn * m 25 medlen för mätning av dörrens rörelse utan att röra denna omfattar: : - en optisk mätningsanordning, vilken omfattar ätminstone en eller flera i · · ··· · .·*·. belysning av dörren eller en del därav och en eller flera detektorer för motta • · ··· för mätning av förändringar i kapacitans hos kondensatom som biidas metallfolien.
6. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 5, kännetecknad därav, ai 5 mätningsanordningens ljuskälla är laser.
7. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 5 ellei 6* kännetecknad därav, mätningsanordningens detektor är en dubbelsensor.
10 S. Fotoakustisk detektor enligt nägot av patentkraven 5 - 7, kännetecki ljuskällan och detektom har anordnats som en del av en interferometer.
9. Fotoakustisk detektor enligt nägot av patentkraven 5 - 8, kännetecki medlen för mätning av dörrens rörelse utan att röra denna har anordna 15 kammare (V), vilken bildar ett mätningsutrymme, vilket har en volym V o< förbindelse med den första kammaren via den första kammarens öppning.
10. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 9, kännetecknad därav, att i den andra kammaren har därtill anordnats en tredje kammare, vilken är 1 «· ♦ 0 · * ·* 20 identisk med den första kammaren, och i vilken uppvisar en med den förs » · · ** öppning identisk öppning, som förenar den tredje kammaren med den and m « • \ vilken tredje kammares öppning har stängts med en motsvarande dörr säs • · . . kammarens öppning, vilken dörrs rörelse mäts pä ett motsvarande sätt säso f · · « ·· I..* den dörren som stänger första kammarens öppning, samt medel för kalkyh • · 25 första kammarens öppning anordnade sensom mätta egentliga mätningssig ; och i den tredje kammarens öppning anordnade sensom mätta referenssig ··* samt för ästadkommande av deras differens.
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20021733A FI116859B (sv) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | Fotoakustisk detektor |
| CNB038233231A CN100559162C (zh) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | 光声检测器 |
| US10/529,597 US7738116B2 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Photoacoustic detector |
| AT03798203T ATE533039T1 (de) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Fotoakustischer detektor |
| AU2003264327A AU2003264327A1 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Photoacoustic detector |
| EP03798203A EP1546684B1 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Photoacoustic detector |
| PCT/FI2003/000684 WO2004029594A1 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Photoacoustic detector |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20021733A FI116859B (sv) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | Fotoakustisk detektor |
| FI20021733 | 2002-09-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI20021733A0 FI20021733A0 (sv) | 2002-09-30 |
| FI116859B true FI116859B (sv) | 2006-03-15 |
Family
ID=8564667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI20021733A FI116859B (sv) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | Fotoakustisk detektor |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7738116B2 (sv) |
| EP (1) | EP1546684B1 (sv) |
| CN (1) | CN100559162C (sv) |
| AT (1) | ATE533039T1 (sv) |
| AU (1) | AU2003264327A1 (sv) |
| FI (1) | FI116859B (sv) |
| WO (1) | WO2004029594A1 (sv) |
Families Citing this family (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005093390A1 (en) | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Noveltech Solutions Oy | Method and system for detecting one or more gases or gas mixtures and/or for measuring the concentration of one or more gases or gas mixtures |
| FI20060259A0 (sv) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | Noveltech Solutions Oy | Arrangemang för optiks audiomikrofon |
| US7684051B2 (en) * | 2006-04-18 | 2010-03-23 | Halliburton Energy Services, Inc. | Fiber optic seismic sensor based on MEMS cantilever |
| EP2021747B1 (en) | 2006-04-26 | 2018-08-01 | Halliburton Energy Services, Inc. | Fiber optic mems seismic sensor with mass supported by hinged beams |
| US8115937B2 (en) | 2006-08-16 | 2012-02-14 | Davidson Instruments | Methods and apparatus for measuring multiple Fabry-Perot gaps |
| US7787128B2 (en) | 2007-01-24 | 2010-08-31 | Halliburton Energy Services, Inc. | Transducer for measuring environmental parameters |
| FI20070713A0 (sv) * | 2007-09-18 | 2007-09-18 | Noveltech Solutions Ltd | Detektoranordning för elektromagnetisk strålning och förfarande för mätning av elektromagnetisk strålning |
| CN101907567A (zh) * | 2010-06-25 | 2010-12-08 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种基于真空隧道电流检测的红外气体检测方法及检测装置 |
| TW201209219A (en) * | 2010-08-16 | 2012-03-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Coating apparatus and coating method |
| US20120321322A1 (en) * | 2011-06-16 | 2012-12-20 | Honeywell International Inc. | Optical microphone |
| US8594507B2 (en) * | 2011-06-16 | 2013-11-26 | Honeywell International Inc. | Method and apparatus for measuring gas concentrations |
| US8848191B2 (en) | 2012-03-14 | 2014-09-30 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor with mirror |
| CN102830084A (zh) * | 2012-08-28 | 2012-12-19 | 苏州斯坦福仪器有限公司 | 一种用于大气可吸入颗粒物浓度在线检测的传感器 |
| EP2770319B2 (de) | 2013-02-25 | 2022-01-26 | Sick Ag | Gasmessgerät |
| WO2016141155A1 (en) | 2015-03-05 | 2016-09-09 | Honeywell International Inc. | Use of selected glass types and glass thicknesses in the optical path to remove cross sensitivity to water absorption peaks |
| DE102015106373B4 (de) * | 2015-04-24 | 2023-03-02 | Infineon Technologies Ag | Photoakustisches gassensormodul mit lichtemittereinheit und einer detektoreinheit |
| US10458900B2 (en) | 2015-09-10 | 2019-10-29 | Honeywell International Inc. | Gas detector with normalized response and improved sensitivity |
| NO344002B1 (en) | 2015-09-29 | 2019-08-12 | Sintef Tto As | Optical gas detector |
| EP3359933A1 (en) | 2015-10-09 | 2018-08-15 | Honeywell International Inc. | Electromagnetic radiation detector using a planar golay cell |
| NO343314B1 (no) * | 2015-11-29 | 2019-01-28 | Tunable As | Optisk trykksensor |
| CN105606488B (zh) * | 2016-01-11 | 2019-03-08 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 易调节的气体密度测量系统及其测量方法 |
| US10352910B2 (en) * | 2016-08-31 | 2019-07-16 | Infineon Technologies Ag | Gas analyzer |
| US9696283B1 (en) * | 2016-10-11 | 2017-07-04 | Aerodyne Research, Inc. | Apparatus and methods for photoacoustic measurement of light absorption of particulate and gaseous species |
| US10302599B2 (en) * | 2016-10-27 | 2019-05-28 | Infineon Technologies Ag | Photoacoustic gas detector |
| CN107830810B (zh) * | 2017-12-07 | 2019-11-01 | 南方电网科学研究院有限责任公司 | 一种涂层厚度的测量方法及测量系统 |
| US11255824B2 (en) * | 2018-11-08 | 2022-02-22 | Infineon Technologies Ag | Photoacoustic sensor module and assembly |
| EP4323750A1 (en) | 2021-04-14 | 2024-02-21 | Helsingin Yliopisto | Apparatus and method for analyzing a sample |
| IT202100033143A1 (it) | 2021-12-30 | 2023-06-30 | Consiglio Nazionale Ricerche | Sensore di spettroscopia fotoacustica per il rilevamento di gas traccia e metodo per il rilevamento di gas traccia |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3471238A (en) * | 1966-11-02 | 1969-10-07 | Atomic Energy Commission | Interferometric method and apparatus |
| US4355234A (en) * | 1980-09-19 | 1982-10-19 | Mine Safety Appliances Company | Stable infrared analyzer |
| WO1982002950A1 (en) * | 1981-02-25 | 1982-09-02 | Oskar Oehler | Gas analyser,particularly audiovisual gas detector |
| CN1009489B (zh) * | 1985-06-15 | 1990-09-05 | 株式会社堀场制作所 | 光声效应式分析器 |
| FR2632404B1 (fr) * | 1988-06-03 | 1990-09-21 | Elf Aquitaine | Capteur interferometrique et son utilisation dans un dispositif interferometrique |
| US4996627A (en) * | 1989-01-30 | 1991-02-26 | Dresser Industries, Inc. | High sensitivity miniature pressure transducer |
| US5633552A (en) | 1993-06-04 | 1997-05-27 | The Regents Of The University Of California | Cantilever pressure transducer |
| JP2560260B2 (ja) * | 1994-10-05 | 1996-12-04 | 科学技術庁防災科学技術研究所長 | レーザひずみ計 |
| NO300078B1 (no) * | 1995-02-10 | 1997-04-01 | Sinvent As | Fotoakustisk gassdetektor |
| NO963924A (no) * | 1996-09-19 | 1997-12-15 | Nyfotek As | Foto-akustisk infrarød detektor |
| NO308228B1 (no) * | 1997-11-26 | 2000-08-14 | Presens As | Dynamisk trykksensor |
| WO2001043494A1 (fr) | 1999-12-13 | 2001-06-14 | Kabushiki Kaisha Kenwood | Transducteur electroacoustique optique |
| EP1211501A1 (de) | 2000-11-29 | 2002-06-05 | Siemens Building Technologies AG | Zellkörper für optoakustische Sensoren |
| NO315177B1 (no) | 2001-11-29 | 2003-07-21 | Sinvent As | Optisk forskyvnings-sensor |
-
2002
- 2002-09-30 FI FI20021733A patent/FI116859B/sv not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-09-19 AT AT03798203T patent/ATE533039T1/de active
- 2003-09-19 CN CNB038233231A patent/CN100559162C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-19 AU AU2003264327A patent/AU2003264327A1/en not_active Abandoned
- 2003-09-19 WO PCT/FI2003/000684 patent/WO2004029594A1/en not_active Application Discontinuation
- 2003-09-19 US US10/529,597 patent/US7738116B2/en active Active
- 2003-09-19 EP EP03798203A patent/EP1546684B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU2003264327A1 (en) | 2004-04-19 |
| CN100559162C (zh) | 2009-11-11 |
| ATE533039T1 (de) | 2011-11-15 |
| US7738116B2 (en) | 2010-06-15 |
| WO2004029594A1 (en) | 2004-04-08 |
| US20060126070A1 (en) | 2006-06-15 |
| EP1546684A1 (en) | 2005-06-29 |
| CN1685215A (zh) | 2005-10-19 |
| FI20021733A0 (sv) | 2002-09-30 |
| EP1546684B1 (en) | 2011-11-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI116859B (sv) | Fotoakustisk detektor | |
| FI118548B (sv) | Fotoakustisk detektor | |
| CA2930466C (en) | System for determining at least one property of a sheet dielectric sample using terahertz radiation | |
| Kauppinen et al. | High sensitivity in gas analysis with photoacoustic detection | |
| US10739220B2 (en) | Optical pressure sensor | |
| US7522287B2 (en) | Photothermal conversion measurement apparatus, photothermal conversion measurement method, and sample cell | |
| CN106092901B (zh) | 一种基于表面波的声信号探测器和反射式光声显微镜 | |
| JP2014517287A (ja) | ガラスユニット内の気体成分濃度を測定するための方法およびデバイス | |
| US20190094066A1 (en) | Phase-front-modulation sensor | |
| CN110736703A (zh) | 高灵敏光声光谱检测装置与方法 | |
| CN110927122B (zh) | 一种基于干涉光谱的相位型spr检测装置及方法 | |
| CN103575468B (zh) | 高反射率光纤f-p腔水听器动态相位解调和定标方法 | |
| CN109507116B (zh) | 一种基于聚合物薄膜微腔的光声光谱气体传感装置及方法 | |
| CN108139319A (zh) | 消除噪声式检测器 | |
| Veber et al. | Laser vibrometry based on analysis of the speckle pattern from a remote object | |
| US7608827B2 (en) | Near-field terahertz imaging | |
| CN101413827A (zh) | 利用古斯汉欣位移特性检测激光波长的方法 | |
| Weisen | The phase-contrast technique as an imaging diagnostic for plasma density fluctuations | |
| CN110118533A (zh) | 一种三维检测方法及检测装置 | |
| JP2016114532A (ja) | 光熱変換分光分析装置 | |
| JP2662374B2 (ja) | 光音響赤外線検出器 | |
| Hu et al. | A temperature-robust optical microphone with a compact grating interferometric | |
| BG110789A (bg) | Лазерно устройство за дистационно измерване на транслация с приплъзване на обекти използващо клиновидна интерференчна структура | |
| Hibino et al. | Multiple-surface testing by a wavelength-scanning interferometer for refractive index inhomogeneity measurement | |
| Fujiyama et al. | Electromagnetic radiation from interaction of high energy, low density |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG | Patent granted |
Ref document number: 116859 Country of ref document: FI |
|
| PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: GASERA LTD |
|
| MA | Patent expired |