FI118548B - Fotoakustisk detektor - Google Patents
Fotoakustisk detektor Download PDFInfo
- Publication number
- FI118548B FI118548B FI20021734A FI20021734A FI118548B FI 118548 B FI118548 B FI 118548B FI 20021734 A FI20021734 A FI 20021734A FI 20021734 A FI20021734 A FI 20021734A FI 118548 B FI118548 B FI 118548B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- chamber
- sensor
- detector
- door
- light
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 53
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 10
- 238000005457 optimization Methods 0.000 abstract description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 30
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 29
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 19
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 8
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 description 8
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 5
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000008685 targeting Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 241001442234 Cosa Species 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005293 physical law Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical class [H]S* 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R23/00—Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00
- H04R23/008—Transducers other than those covered by groups H04R9/00 - H04R21/00 using optical signals for detecting or generating sound
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1702—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
- G01N2021/1704—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in gases
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Claims (10)
1. Fotoakustisk detektor, vilken omfattar ätminstone - en första kammare (Vo), till vilken den gas, som skall undersökas, kan ledas, 5. ett fönster (2) för genomsläppande av modulerad och/eller pulserad infraröd- strälning och/eller ljus tili den första kammaren (V0), - en andra kammare (V), som bildar ett mätningsutrymme, vilken har en volym V, och som stir i förbindelse med den första kammaren via en i den första kammarens väggyta anordnad öppning, 10 - ätminstone en sensor, vilken har anordnats i den första kammarens väggyta befint- lig öppning och anordnats rörlig tili följd av tryckväxlingar ästadkomna av absorbe-rad infrarödsträlning och/eller ljus i den första kammaren, och - medel för mätning av sensoms rörelse, kännetecknad därav, att medlen för mät-ning av sensoms rörelse omfattar ätminstone en eller flera ljuskällor för belysning 15 av sensom eller en del därav, en optisk lins (12) för fokusering av ljussträlen, en referensspegel (16), en sträldelare (15) för delning av ljussträlen tili sensom och referensspegeln och en eller flera flerdetektorer för mottagning av frän sträldelaren *:* kommande ljus. ···· J ·· · • · · • « • · ·* : ·· 20
2. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att ljuskällan är [ ) en laser (10) eller glödträd. • · · • ·· • · ··· ♦ · • a • # a
3. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 1 eller 2, kännetecknad därav, att den ·’·„ av ljuskällan sända ljussträlens fokus (13) har anordnats ungefär vid ytan av sensom 25 och pä referensspegeln (16). • · · • · · • · ·
4. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 1 eller 2, kännetecknad därav, att fas- ; skillnaden mellan ätminstone tre mätningssignaler, som flerdetektoms detektor # · * mottar, är 90°. • · · 30 118548 29
5. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att referens-spegeln (16) regleras för att ästadkomma en fasskillnad mellan mätningssignalema.
6. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att pä vägen av 5 den frän referensspegeln (16) ätervändande ljussträlen tvä medel har anordnats, som tili exempel tvä glasskivor, varav ställningen av ätminstone en kan regleras för att ästadkomma en fasskillnad mellan mätningssignalema.
7. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 5, kännetecknad därav, att referens-10 spegeln (16) har anordnats sä att pä trippel- (17) eller linjedetektom bildas % delar av en interferensband.
8. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 5 eller 7, kännetecknad därav, att medlen för mätning av sensoms rörelse omfattar dessutom en stationär planspegel 15 (20) och en stationär ändspegel (21), vilka har anordnats sä, att laserljuset färdas tili ändspegeln och tillbaka genom att reflekteras fram och tillbaka mellan sensom och planspegeln.
• · · « • · · · :*·*; 9. Fotoakustisk detektor enligt patentkravet 8, kännetecknad därav, att planspegeln • · : 20 (20) och/eller ändspegeln (21) har anordnats sä, att den frän sträldelaren (15) via sensom tili ändspegeln att färdas anordnade lasersträlen ätervänder samma optiska • · • · · *· " väg tillbaka frän ändspegeln tili sträldelaren.
• *· • · ··· .. 10. Fotoakustisk detektor enligt nägot av de tidigare patentkraven, kännetecknad • ·· .···. 25 därav, att den dessutom omfattar en tredje kammare (V0), vilken är sluten och tili ··· sin storlek identisk med den första kammaren (V0), och vilken uppvisar en med den · · .···. första kammarens öppning identisk öppning, som förenar den tredje kammaren med • · • · *. den andra kammaren (V), och vilken tredje kammares Öppning har stängts med en • φ · .··, motsvarande sensor säsom den första kammarens öppning, vilken sensoms rörelse • · 30 mäts pä ett motsvarande sätt säsom rörelsen av den sensom som stänger första 118548 30 kammarens öppning, samt medel för kalkyiering av i den forsta kammarens öppning anordnade sensom mätta egentliga mätningssignals amplitud och i den tredje kammarens öppning anordnade sensom mätta referenssignals amplitud samt för ästadkommande av deras differens. « • · · • · · · ·· · • · · • « • · ·· • · • ·· • · • · • · · • · 1 2 3 • · • · * · • · ·· · ·· • · • · • · · • · • · • · · *·1 • · · • · · • · · • · • · • · · · • · *·· · · 2 • · • φ 3
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20021734A FI118548B (sv) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | Fotoakustisk detektor |
| AU2003262608A AU2003262608A1 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Photoacoustic detector |
| CNB038233355A CN100552429C (zh) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | 光声检测器 |
| US10/529,777 US7208737B2 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Photoacoustic detector |
| AT03798202T ATE534028T1 (de) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Fotoakustischer detektor |
| PCT/FI2003/000683 WO2004029593A1 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Photoacoustic detector |
| EP03798202A EP1546683B1 (en) | 2002-09-30 | 2003-09-19 | Photoacoustic detector |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI20021734 | 2002-09-30 | ||
| FI20021734A FI118548B (sv) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | Fotoakustisk detektor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI20021734A0 FI20021734A0 (sv) | 2002-09-30 |
| FI118548B true FI118548B (sv) | 2007-12-14 |
Family
ID=8564668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI20021734A FI118548B (sv) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | Fotoakustisk detektor |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7208737B2 (sv) |
| EP (1) | EP1546683B1 (sv) |
| CN (1) | CN100552429C (sv) |
| AT (1) | ATE534028T1 (sv) |
| AU (1) | AU2003262608A1 (sv) |
| FI (1) | FI118548B (sv) |
| WO (1) | WO2004029593A1 (sv) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005093390A1 (en) | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Noveltech Solutions Oy | Method and system for detecting one or more gases or gas mixtures and/or for measuring the concentration of one or more gases or gas mixtures |
| FI20060259A0 (sv) * | 2006-03-17 | 2006-03-17 | Noveltech Solutions Oy | Arrangemang för optiks audiomikrofon |
| CA2756209C (en) | 2006-07-11 | 2017-05-02 | The Curators Of The University Of Missouri | Photo-acoustic detection device and method |
| US8501099B2 (en) | 2006-07-11 | 2013-08-06 | The Curators Of The University Of Missouri | Photo-acoustic detection device and method |
| DE102006048839B4 (de) * | 2006-10-16 | 2010-01-07 | Eads Deutschland Gmbh | Photoakustische Gassensor-Vorrichtung mit mehreren Messzellen |
| FI20070713A0 (sv) * | 2007-09-18 | 2007-09-18 | Noveltech Solutions Ltd | Detektoranordning för elektromagnetisk strålning och förfarande för mätning av elektromagnetisk strålning |
| US8085403B2 (en) * | 2008-08-21 | 2011-12-27 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor |
| AU2009318026B2 (en) * | 2008-11-21 | 2015-07-09 | The University Of Houston | Free charge carrier diffusion response transducer for sensing gradients |
| JP2011169748A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Olympus Corp | 光テコ方式カンチレバー変位検出機構 |
| JP5850633B2 (ja) * | 2011-04-12 | 2016-02-03 | キヤノン株式会社 | 被検体情報取得装置 |
| US8848191B2 (en) | 2012-03-14 | 2014-09-30 | Honeywell International Inc. | Photoacoustic sensor with mirror |
| EP2770319B2 (de) | 2013-02-25 | 2022-01-26 | Sick Ag | Gasmessgerät |
| EP2972218B1 (en) | 2013-03-15 | 2020-08-26 | United Technologies Corporation | Focused optical configuration for nsms probes |
| US9513261B2 (en) | 2013-10-14 | 2016-12-06 | Infineon Technologies Ag | Photoacoustic gas sensor device and a method for analyzing gas |
| EP3265766B1 (en) | 2015-03-05 | 2023-09-27 | Honeywell International Inc. | Use of selected glass types and glass thicknesses in the optical path to remove cross sensitivity to water absorption peaks |
| CN108351294A (zh) | 2015-09-10 | 2018-07-31 | 霍尼韦尔国际公司 | 具有归一化响应和改进灵敏度的气体检测器 |
| US9606049B1 (en) * | 2015-10-09 | 2017-03-28 | Honeywell International Inc. | Gas detector using a golay cell |
| EP3359933A1 (en) | 2015-10-09 | 2018-08-15 | Honeywell International Inc. | Electromagnetic radiation detector using a planar golay cell |
| FR3059779B1 (fr) * | 2016-12-06 | 2019-05-17 | Thales | Detecteur photoacoustique a lecture optique |
| CN107560730A (zh) * | 2017-08-24 | 2018-01-09 | 中国科学院电子学研究所 | 双腔式光声光谱仪 |
| EP3696523A1 (de) * | 2019-02-12 | 2020-08-19 | Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. | Ir-emitter mit modulierbarem emissionsgrad auf basis von metamaterialien |
| KR102294094B1 (ko) * | 2019-03-13 | 2021-08-25 | 아크소프트 코포레이션 리미티드 | 에어 펌핑 트랜스듀서 및 에어 펌핑 트랜스듀서에 결합된 센서 |
| US11397177B2 (en) * | 2019-05-14 | 2022-07-26 | The Regents Of The University Of California | Detection of biomarkers from exhaled breath |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3433959A (en) * | 1966-07-25 | 1969-03-18 | Perkin Elmer Corp | Microphone |
| US4507170A (en) * | 1980-01-07 | 1985-03-26 | Myhre Kjell E | Optimized stress and strain distribution diaphragms |
| CN1009489B (zh) * | 1985-06-15 | 1990-09-05 | 株式会社堀场制作所 | 光声效应式分析器 |
| US4926696A (en) * | 1986-11-19 | 1990-05-22 | Massachusetts Institute Of Technology | Optical micropressure transducer |
| US5822061A (en) * | 1992-01-20 | 1998-10-13 | Dilor | Spectrometry apparatus |
| AU6184196A (en) | 1996-06-26 | 1998-01-14 | Morphometrix Technologies Inc. | Confocal ultrasonic imaging system |
| NO301854B1 (no) | 1996-09-19 | 1997-12-15 | Nyfotek As | Foto-akustisk infraröd detektor |
| NO308228B1 (no) | 1997-11-26 | 2000-08-14 | Presens As | Dynamisk trykksensor |
| JP4204112B2 (ja) * | 1998-10-12 | 2009-01-07 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 光干渉計の干渉位相検出方式 |
| EP1239698A4 (en) | 1999-12-13 | 2006-11-22 | Kenwood Corp | OPTICAL ELECTRIC ACOUSTIC CONVERTER |
| EP1211501A1 (de) | 2000-11-29 | 2002-06-05 | Siemens Building Technologies AG | Zellkörper für optoakustische Sensoren |
| NO315177B1 (no) | 2001-11-29 | 2003-07-21 | Sinvent As | Optisk forskyvnings-sensor |
| US6831266B2 (en) | 2002-03-13 | 2004-12-14 | Phone-Or Ltd. | Optical transducers of high sensitivity |
-
2002
- 2002-09-30 FI FI20021734A patent/FI118548B/sv not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-09-19 CN CNB038233355A patent/CN100552429C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-19 AU AU2003262608A patent/AU2003262608A1/en not_active Abandoned
- 2003-09-19 AT AT03798202T patent/ATE534028T1/de active
- 2003-09-19 EP EP03798202A patent/EP1546683B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-19 US US10/529,777 patent/US7208737B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-19 WO PCT/FI2003/000683 patent/WO2004029593A1/en not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU2003262608A1 (en) | 2004-04-19 |
| US20060138327A1 (en) | 2006-06-29 |
| ATE534028T1 (de) | 2011-12-15 |
| EP1546683A1 (en) | 2005-06-29 |
| EP1546683B1 (en) | 2011-11-16 |
| WO2004029593A1 (en) | 2004-04-08 |
| FI20021734A0 (sv) | 2002-09-30 |
| US7208737B2 (en) | 2007-04-24 |
| CN1685216A (zh) | 2005-10-19 |
| CN100552429C (zh) | 2009-10-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI118548B (sv) | Fotoakustisk detektor | |
| US7738116B2 (en) | Photoacoustic detector | |
| US20200240896A1 (en) | System and method for particles measurement | |
| US10739220B2 (en) | Optical pressure sensor | |
| US7521668B2 (en) | Optical audio microphone arrangement including a Michelson type interferometer for providing a phase difference between different parts of light beams | |
| CN110736703A (zh) | 高灵敏光声光谱检测装置与方法 | |
| US10768096B2 (en) | Noise canceling detector | |
| CN112254799B (zh) | 一种抗振动差分式干涉声敏检测装置 | |
| US9182281B1 (en) | Robust terahertz spectrometer configuration against scanner heads misalignment | |
| JP2009014465A (ja) | 赤外ガス分析計 | |
| US20050231717A1 (en) | Fluorescence inspection spectrometer | |
| JP2006317325A (ja) | 光熱変換測定装置及びその方法 | |
| CN109839514A (zh) | 一种具有自调零功能的高精度光学加速度计 | |
| CN109341605B (zh) | 一种基于激光外差干涉技术的复合测头 | |
| JPS6281550A (ja) | 光音響分光装置 | |
| JP4290139B2 (ja) | 光熱変換測定装置及びその方法 | |
| JP2662374B2 (ja) | 光音響赤外線検出器 | |
| JPH01140004A (ja) | 深さ測定装置 | |
| JP2002202251A (ja) | ガス検出装置 | |
| JPH11237417A (ja) | 音響光学型周波数分析器 | |
| JPH075029A (ja) | 小型振動検出素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG | Patent granted |
Ref document number: 118548 Country of ref document: FI |
|
| PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: GASERA LTD |
|
| MA | Patent expired |