FI116543B - En vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetssensor - Google Patents
En vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetssensor Download PDFInfo
- Publication number
- FI116543B FI116543B FI20041708A FI20041708A FI116543B FI 116543 B FI116543 B FI 116543B FI 20041708 A FI20041708 A FI 20041708A FI 20041708 A FI20041708 A FI 20041708A FI 116543 B FI116543 B FI 116543B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- angular velocity
- velocity sensor
- masses
- sensor according
- springs
- Prior art date
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 10
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 108091006503 SLC26A1 Proteins 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 206010061592 cardiac fibrillation Diseases 0.000 description 1
- 230000002600 fibrillogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003534 oscillatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Claims (19)
1. En vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetssensi omfattar tvä seismiska massor (1), (2), (36), (37), v 5 fästa vid sensorkomponentens stomme vid stödomräden, mellan massorna (1), (2), (36), (37) be sammankopplande fjäder sälunda, att en primär rörelse som bör framkall vinkelhastighetssensorn är vinkelvibration hos c 10 seismiska massorna (1), (2), (36), (37) med motsa omkring s tödomrädena, - de seismiska massorna (1), (2), (36), (37) är koppi varandra med hjälp av ätminstone en böjningsfjäder (50) , som mekaniskt synkroniserar deras primära rörel 15 att - de seismiska massorna (1), (2), (36), (37) är koppia stödomrädena med hjälp av fjädrar eller med hjälp av och styva hjälpkonstruktioner, vilka ger massorna (1 (36), (37) en frihetsgrad i relation till en vridnin 20 som är vinkelrät mot planet hos den skiva som bi] massorna, samt tili ätminstone en vridningsaxel i skiv
2. Vinkelhastighetssensor enligt patentkrav 1, känne av, att vinkelhastighetssensorn är en vinkelhastighet 25 som mäter vinkelhastigheten relativt en axel, varvid seismiska massorna (1) , (2) är fästa vid sensorkompo stomme med hjälp av ätminstone tvä fästpunkter (3), (4
4. Vinkelhastighetssensor enligt patentkrav 7 kännetecknad av, att vinkelhastighetssensorn omfat - rotationsfjädrar (5), (6) för den primara röre fjädrar i relation till den primära rörelsen, samt 5. torsionsfjädrar (7)-(10) för detektionsrörel fjädrar i relation till den torsionsvibration, son det vridmoment som ästadkoms av en yttre vinkelhas
5. Vinkelhastighetssensor enligt patentkrav 2, 10 kännetecknad av, att den vibration som orsakas £ vinkelhastighet detekteras kapacitivt med hjälp av som befinner sig ovanom eller nedanom massorna (1)
6. Vinkelhastighetssensor enligt patentkrav 5, k 15 av, att elektroderna uppläterats pä den inre ytan som hermetiskt tillsluter sensorkonstruktionen.
7. Vinkelhastighetssensor enligt nägot av de patentkraven 2-6, k&nnetecknad a\ 2. vinkelhastighetssensorn omf attar en andra, likriktad böjningsfjäder, som är fäst vid mittpun fjäder (11) som sammankopplar vinkelhastigb massor.
8. Vinkelhastighetssensor enligt nägot av de patentkraven 2-7, k&nnetecknad av, att massorna är fästa vid stommen med hjälp av fästpunkterna (3 11 ytterligare med hjälp av fästpunkter (14)-(17) soin a] i hörnen eller vid kanten.
10. Vinkelhastighetssensor enligt nägot av de fö] 5 patentkraven 2-7, kännetecknad av, att massorna (1), fästa vid stommen med hjälp av fästpunkter (18), (19] fästpunkter (18), (19) pä en sida är fästa vid massoi (2) med hjälp av styva, formgivna hjälpkonstruktioner
11. Vinkelhastighetssensor enligt nägot av de fö] patentkraven 2-7, kännetecknad av, att massorna (1) , fästa vid stommen med hjälp av fästpunkter (18), (19) fästpunkter (18) , (19) pä en sida är fästa vid massoi (2) med hjälp av fjädrar. 15
12. Vinkelhastighetssensor enligt nägot av de fö] patentkraven 2-7, kännetecknad av, att massorna (1), fästa vid stommen med hjälp av fästpunkter (24), (2 anordnats vid mitten av ändarna, samt ytterligare me 20 av fästpunkter (20), (21), vilka fästpunkter (20), (2j sida är fästa vid massorna (1) , (2) med hjälp av (22), (23) .
13. Vinkelhastighetssensor enligt nägot av de föi 25 patentkraven 2-12, kännetecknad av, vinkelhastighetssensorn omf attar konstruktioner (26] för dracavlastnino.
15. Vinkelhastighetssensor enligt nägot av de patentkraven 2-14, kännetecknad a'' vinkelhastighetssensorn omfattar radiella kamkon (34), (35). 5
16. Vinkelhastighetssensor enligt patentkrav 1, k av, att vinkelhastighetssensorn är en vinkelhastig som mäter vinkelhastighet i relation till tvä axla sensor tvä seismiska massor (36), (37) är 10 sensorkomponentens stomme med hjälp av tvä fästpu (39) .
17. Vinkelhastighetssensor enligt patentk kännetecknad av, att höjden hos en böjningsfjäd 15 väsentligen större än dess bredd.
18. Vinkelhastighetssensor enligt patentkrav 16 kännetecknad av, att vinkelhastighetssensorn omfat - rotationsfjädrar (40), (41) för den primära röre 20 fjädrar i relation till den primära rörelsen, - torsionsfjädrar (42)-(45) för detektionsrörelse riktning, vilka fjädrar i den första riktningen i m tili detektionsrörelsen, samt - torsionsfjädrar (46)-(49) för detektionsrörelse 25 riktning, vilka fjädrar i den andra riktningen tili detektionsrörelsen. 11
20. Vinkelhastighetssensor enligt patentkrav kännetecknad av, att elektroderna uppläteräts pä d ytan av en skiva som hermetiskt ti sensorkonstruktionen. 5
21. Vinkelhastighetssensor enligt nägot av de fö: patentkraven 2-20, kännetecknad av, att fästpunkter (4), (14)-(19), (20), (21), (24), (25), (30), anodiskt kopplade tili en skiva som hermetiskt ti 10 sensorkonstruktionen.
22. Vinkelhastighetssensor enligt nägot av de fö: patentkraven 2-20, kännetecknad av, att fästpunkter (4), ¢14)-(19), (20), (21), (24), (25), (30), 15 kopplade med hjälp av fusionsförbindning tili en s> hermetiskt innesluter sensorkonstruktionen. «
Priority Applications (15)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20041708A FI116543B (sv) | 2004-12-31 | 2004-12-31 | En vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetssensor |
US11/318,897 US7454971B2 (en) | 2004-12-31 | 2005-12-28 | Oscillating micro-mechanical sensor of angular velocity |
EP12171952.0A EP2527789B1 (en) | 2004-12-31 | 2005-12-30 | Oscillating micro-mechanical sensor of angular velocity |
CA2586707A CA2586707C (en) | 2004-12-31 | 2005-12-30 | Oscillating micro-mechanical sensor of angular velocity |
EP05823273A EP1831643B1 (en) | 2004-12-31 | 2005-12-30 | Oscillating micro-mechanical sensor of angular velocity |
JP2007548849A JP5006208B2 (ja) | 2004-12-31 | 2005-12-30 | 角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサー |
ES12171952.0T ES2477570T3 (es) | 2004-12-31 | 2005-12-30 | Sensor micromecánico oscilante de velocidad angular |
KR1020077016091A KR100936638B1 (ko) | 2004-12-31 | 2005-12-30 | 발진 마이크로-기계 각속도 센서 |
CN2005800448799A CN101120232B (zh) | 2004-12-31 | 2005-12-30 | 振荡微机械角速度传感器 |
PCT/FI2005/000557 WO2006070059A1 (en) | 2004-12-31 | 2005-12-30 | Oscillating micro-mechanical sensor of angular velocity |
IL183573A IL183573A (en) | 2004-12-31 | 2007-05-31 | Oscillating micro-mechanical sensor of angular velocity |
NO20073688A NO339420B1 (no) | 2004-12-31 | 2007-07-17 | Oscillerende mikromekanisk vinkelhastighetssensor |
JP2011015625A JP5514384B2 (ja) | 2004-12-31 | 2011-01-27 | 角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサー |
JP2011015626A JP2011137826A (ja) | 2004-12-31 | 2011-01-27 | 角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサー |
JP2011015627A JP2011145298A (ja) | 2004-12-31 | 2011-01-27 | 角速度についての振動マイクロ−メカニカルセンサー |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20041708A FI116543B (sv) | 2004-12-31 | 2004-12-31 | En vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetssensor |
FI20041708 | 2004-12-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI20041708A0 FI20041708A0 (sv) | 2004-12-31 |
FI116543B true FI116543B (sv) | 2005-12-15 |
Family
ID=33548065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI20041708A FI116543B (sv) | 2004-12-31 | 2004-12-31 | En vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetssensor |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7454971B2 (sv) |
EP (2) | EP1831643B1 (sv) |
JP (4) | JP5006208B2 (sv) |
KR (1) | KR100936638B1 (sv) |
CN (1) | CN101120232B (sv) |
CA (1) | CA2586707C (sv) |
ES (1) | ES2477570T3 (sv) |
FI (1) | FI116543B (sv) |
IL (1) | IL183573A (sv) |
NO (1) | NO339420B1 (sv) |
WO (1) | WO2006070059A1 (sv) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009043967A1 (en) | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Vti Technologies Oy | Vibrating micromechanical sensor of angular velocity |
Families Citing this family (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8952832B2 (en) | 2008-01-18 | 2015-02-10 | Invensense, Inc. | Interfacing application programs and motion sensors of a device |
US8508039B1 (en) | 2008-05-08 | 2013-08-13 | Invensense, Inc. | Wafer scale chip scale packaging of vertically integrated MEMS sensors with electronics |
US8020441B2 (en) * | 2008-02-05 | 2011-09-20 | Invensense, Inc. | Dual mode sensing for vibratory gyroscope |
US8250921B2 (en) | 2007-07-06 | 2012-08-28 | Invensense, Inc. | Integrated motion processing unit (MPU) with MEMS inertial sensing and embedded digital electronics |
US7934423B2 (en) | 2007-12-10 | 2011-05-03 | Invensense, Inc. | Vertically integrated 3-axis MEMS angular accelerometer with integrated electronics |
US8141424B2 (en) * | 2008-09-12 | 2012-03-27 | Invensense, Inc. | Low inertia frame for detecting coriolis acceleration |
US8462109B2 (en) | 2007-01-05 | 2013-06-11 | Invensense, Inc. | Controlling and accessing content using motion processing on mobile devices |
US7998380B2 (en) * | 2007-07-13 | 2011-08-16 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method of fabricating a tissue engineering scaffold |
DE102007035806B4 (de) * | 2007-07-31 | 2011-03-17 | Sensordynamics Ag | Mikromechanischer Drehratensensor |
DE102007054505B4 (de) * | 2007-11-15 | 2016-12-22 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
US8368387B2 (en) * | 2008-04-11 | 2013-02-05 | Mitsubishi Electric Corporation | Acceleration sensor |
FI122397B (sv) * | 2008-04-16 | 2011-12-30 | Vti Technologies Oy | En vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetssensor |
DE102008040682A1 (de) * | 2008-07-24 | 2010-01-28 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung und Verfahren zum Betrieb einer Sensoranordnung |
US20100095768A1 (en) * | 2008-10-20 | 2010-04-22 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Micromachined torsional gyroscope with anti-phase linear sense transduction |
DE102008043796B4 (de) * | 2008-11-17 | 2023-12-21 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
DE102009001244A1 (de) * | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
DE102009001248B4 (de) * | 2009-02-27 | 2020-12-17 | Hanking Electronics, Ltd. | MEMS-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
FI20095201A0 (sv) * | 2009-03-02 | 2009-03-02 | Vti Technologies Oy | Oscillerande mikromekanisk vinkelhastighetssensor |
US8256290B2 (en) * | 2009-03-17 | 2012-09-04 | Minyao Mao | Tri-axis angular rate sensor |
DE102009002701B4 (de) * | 2009-04-28 | 2018-01-18 | Hanking Electronics, Ltd. | Mikromechanischer Sensor |
DE102009002702B4 (de) * | 2009-04-28 | 2018-01-18 | Hanking Electronics, Ltd. | Mikromechanischer Sensor |
US9068834B2 (en) | 2009-09-09 | 2015-06-30 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Double-axial, shock-resistant rotation rate sensor with nested, linearly oscillating seismic elements |
US8534127B2 (en) | 2009-09-11 | 2013-09-17 | Invensense, Inc. | Extension-mode angular velocity sensor |
US9097524B2 (en) | 2009-09-11 | 2015-08-04 | Invensense, Inc. | MEMS device with improved spring system |
EP2378246A1 (en) | 2010-04-16 | 2011-10-19 | SensoNor Technologies AS | MEMS Structure for an Angular Rate Sensor |
DE102011056971A1 (de) * | 2011-12-23 | 2013-06-27 | Maxim Integrated Products, Inc. | Mikromechanischer Coriolis-Drehratensensor |
US9759563B2 (en) | 2012-01-31 | 2017-09-12 | Nxp Usa, Inc. | Vibration robust x-axis ring gyro transducer |
JP6070920B2 (ja) * | 2012-04-04 | 2017-02-01 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサーおよび電子機器 |
DE102013208828A1 (de) * | 2013-05-14 | 2014-11-20 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors |
FI125695B (sv) | 2013-09-11 | 2016-01-15 | Murata Manufacturing Co | Förbättrad gyroskopkonstruktion och gyroskop |
DE102014215038A1 (de) * | 2014-07-31 | 2016-02-04 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Sensor und Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Sensors |
CN105371834B (zh) * | 2014-08-21 | 2018-08-31 | 上海矽睿科技有限公司 | 检测质量块及采用该检测质量块的陀螺仪 |
FI20146153A (sv) | 2014-12-29 | 2016-06-30 | Murata Manufacturing Co | Mikromekanisk gyroskopstruktur |
FI127042B (sv) * | 2015-09-09 | 2017-10-13 | Murata Manufacturing Co | En elektrod för en mikroelektromekanisk apparat |
DE102016213870A1 (de) * | 2015-11-20 | 2017-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer Drehratensensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102016208503A1 (de) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauelement |
TWI632345B (zh) * | 2016-05-27 | 2018-08-11 | 日商村田製作所股份有限公司 | 振動的微機電陀螺儀之驅動振輻的持續性監控與相關方法 |
JP6627911B2 (ja) | 2017-05-24 | 2020-01-08 | 株式会社村田製作所 | 圧電回転mems共振器 |
JP6627912B2 (ja) | 2017-05-24 | 2020-01-08 | 株式会社村田製作所 | 圧電回転mems共振器 |
JP6696530B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2020-05-20 | 株式会社村田製作所 | 圧電ジャイロスコープにおける連結懸架 |
JP6610706B2 (ja) | 2017-05-24 | 2019-11-27 | 株式会社村田製作所 | 横駆動変換器を備える圧電ジャイロスコープ |
JP2020085744A (ja) * | 2018-11-28 | 2020-06-04 | セイコーエプソン株式会社 | 加速度センサー、電子機器および移動体 |
CN112378575B (zh) * | 2020-06-23 | 2022-02-08 | 襄阳达安汽车检测中心有限公司 | 一种汽车碰撞试验用假人多轴力传感器轴间串扰校准方法 |
US11634320B2 (en) * | 2021-02-22 | 2023-04-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Micro-electromechanical system device including a precision proof mass element and methods for forming the same |
GB2624843A (en) | 2022-07-08 | 2024-06-05 | Autorient Tech As | Micromechanical devices and methods of manufacturing thereof |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5396797A (en) * | 1991-02-08 | 1995-03-14 | Alliedsignal Inc. | Triaxial angular rate and acceleration sensor |
JPH05240874A (ja) | 1991-12-06 | 1993-09-21 | Canon Inc | 角速度センサ |
JPH05264282A (ja) | 1992-03-17 | 1993-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
US5492596A (en) * | 1994-02-04 | 1996-02-20 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Method of making a micromechanical silicon-on-glass tuning fork gyroscope |
DE4414237A1 (de) | 1994-04-23 | 1995-10-26 | Bosch Gmbh Robert | Mikromechanischer Schwinger eines Schwingungsgyrometers |
DE4431232C2 (de) | 1994-09-02 | 1999-07-08 | Hahn Schickard Ges | Integrierbares Feder-Masse-System |
US5635640A (en) * | 1995-06-06 | 1997-06-03 | Analog Devices, Inc. | Micromachined device with rotationally vibrated masses |
US5886259A (en) | 1996-04-01 | 1999-03-23 | Alliedsignal Inc. | Axis aligned rate and acceleration sensor |
US5992233A (en) * | 1996-05-31 | 1999-11-30 | The Regents Of The University Of California | Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope |
DE19641284C1 (de) | 1996-10-07 | 1998-05-20 | Inst Mikro Und Informationstec | Drehratensensor mit entkoppelten orthogonalen Primär- und Sekundärschwingungen |
SE9800194D0 (sv) | 1998-01-23 | 1998-01-23 | Gert Andersson | Anordning för mätning av vinkelhastighet |
US6105427A (en) | 1998-07-31 | 2000-08-22 | Litton Systems, Inc. | Micro-mechanical semiconductor accelerometer |
JP3796991B2 (ja) * | 1998-12-10 | 2006-07-12 | 株式会社デンソー | 角速度センサ |
DE19937747C2 (de) * | 1999-08-10 | 2001-10-31 | Siemens Ag | Mechanischer Resonator für Rotationssensor |
EP1083431A1 (en) * | 1999-09-10 | 2001-03-14 | STMicroelectronics S.r.l. | Method for compensating the position offset of a capacitive inertial sensor, andcapacitive inertial sensor |
ATE476638T1 (de) * | 1999-09-17 | 2010-08-15 | Kionix Inc | Elektrisch entkoppelter mikrogefertigter kreisel |
KR100343211B1 (ko) * | 1999-11-04 | 2002-07-10 | 윤종용 | 웨이퍼 레벨 진공 패키징이 가능한 mems의 구조물의제작방법 |
KR100374812B1 (ko) * | 1999-11-04 | 2003-03-03 | 삼성전자주식회사 | 두개의 공진판을 가진 마이크로 자이로스코프 |
FR2809174B1 (fr) * | 2000-05-16 | 2002-07-12 | Commissariat Energie Atomique | Structure vibrante a deux oscillateurs couples, notamment pour un gyrometre |
JP2002296038A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | 角速度センサ |
US6513380B2 (en) * | 2001-06-19 | 2003-02-04 | Microsensors, Inc. | MEMS sensor with single central anchor and motion-limiting connection geometry |
US6722197B2 (en) * | 2001-06-19 | 2004-04-20 | Honeywell International Inc. | Coupled micromachined structure |
FR2834055B1 (fr) * | 2001-12-20 | 2004-02-13 | Thales Sa | Capteur inertiel micro-usine pour la mesure de mouvements de rotation |
US7316161B2 (en) * | 2002-01-12 | 2008-01-08 | Robert Bosch Gmbh | Rotation rate sensor |
US6848304B2 (en) * | 2003-04-28 | 2005-02-01 | Analog Devices, Inc. | Six degree-of-freedom micro-machined multi-sensor |
US6837107B2 (en) * | 2003-04-28 | 2005-01-04 | Analog Devices, Inc. | Micro-machined multi-sensor providing 1-axis of acceleration sensing and 2-axes of angular rate sensing |
US6767758B1 (en) * | 2003-04-28 | 2004-07-27 | Analog Devices, Inc. | Micro-machined device structures having on and off-axis orientations |
US7036372B2 (en) | 2003-09-25 | 2006-05-02 | Kionix, Inc. | Z-axis angular rate sensor |
US7458263B2 (en) * | 2003-10-20 | 2008-12-02 | Invensense Inc. | Method of making an X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging |
US6892575B2 (en) * | 2003-10-20 | 2005-05-17 | Invensense Inc. | X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging |
US6939473B2 (en) | 2003-10-20 | 2005-09-06 | Invensense Inc. | Method of making an X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging |
US7406867B2 (en) * | 2005-06-27 | 2008-08-05 | Milli Sensor Systems + Actuators | G2-Gyroscope: MEMS gyroscope with output oscillation about the normal to the plane |
US7621183B2 (en) * | 2005-11-18 | 2009-11-24 | Invensense Inc. | X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging |
US7549334B2 (en) * | 2006-04-24 | 2009-06-23 | Milli Sensor Systems + Actuators | Small angle bias measurement mechanism for MEMS instruments |
-
2004
- 2004-12-31 FI FI20041708A patent/FI116543B/sv active IP Right Grant
-
2005
- 2005-12-28 US US11/318,897 patent/US7454971B2/en active Active
- 2005-12-30 KR KR1020077016091A patent/KR100936638B1/ko active IP Right Grant
- 2005-12-30 WO PCT/FI2005/000557 patent/WO2006070059A1/en active Application Filing
- 2005-12-30 EP EP05823273A patent/EP1831643B1/en not_active Not-in-force
- 2005-12-30 ES ES12171952.0T patent/ES2477570T3/es active Active
- 2005-12-30 CN CN2005800448799A patent/CN101120232B/zh active Active
- 2005-12-30 EP EP12171952.0A patent/EP2527789B1/en active Active
- 2005-12-30 CA CA2586707A patent/CA2586707C/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-30 JP JP2007548849A patent/JP5006208B2/ja active Active
-
2007
- 2007-05-31 IL IL183573A patent/IL183573A/en active IP Right Grant
- 2007-07-17 NO NO20073688A patent/NO339420B1/no unknown
-
2011
- 2011-01-27 JP JP2011015627A patent/JP2011145298A/ja not_active Withdrawn
- 2011-01-27 JP JP2011015625A patent/JP5514384B2/ja active Active
- 2011-01-27 JP JP2011015626A patent/JP2011137826A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009043967A1 (en) | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Vti Technologies Oy | Vibrating micromechanical sensor of angular velocity |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2527789B1 (en) | 2014-04-09 |
US20060156814A1 (en) | 2006-07-20 |
FI20041708A0 (sv) | 2004-12-31 |
EP2527789A1 (en) | 2012-11-28 |
US7454971B2 (en) | 2008-11-25 |
EP1831643A1 (en) | 2007-09-12 |
JP2008527318A (ja) | 2008-07-24 |
CN101120232B (zh) | 2011-07-06 |
IL183573A0 (en) | 2007-09-20 |
CN101120232A (zh) | 2008-02-06 |
JP5006208B2 (ja) | 2012-08-22 |
KR20070094920A (ko) | 2007-09-27 |
EP1831643A4 (en) | 2010-09-01 |
EP1831643B1 (en) | 2012-08-01 |
CA2586707A1 (en) | 2006-07-06 |
JP2011149944A (ja) | 2011-08-04 |
JP5514384B2 (ja) | 2014-06-04 |
CA2586707C (en) | 2011-02-08 |
WO2006070059A1 (en) | 2006-07-06 |
JP2011145298A (ja) | 2011-07-28 |
ES2477570T3 (es) | 2014-07-17 |
KR100936638B1 (ko) | 2010-01-14 |
IL183573A (en) | 2011-03-31 |
NO339420B1 (no) | 2016-12-12 |
JP2011137826A (ja) | 2011-07-14 |
NO20073688L (no) | 2007-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI116543B (sv) | En vibrerande mikromekanisk vinkelhastighetssensor | |
US11079229B2 (en) | Microelectromechanical structure with enhanced rejection of acceleration noise | |
KR101178692B1 (ko) | 코리올리 자이로스코프 | |
US11815354B2 (en) | Drive and sense balanced, semi-coupled 3-axis gyroscope | |
US8443668B2 (en) | Yaw rate sensor | |
JP4719751B2 (ja) | 角速度のための振動マイクロ−メカニカルセンサー | |
US20130174661A1 (en) | Rotation rate sensor and method for operating a rotation rate sensor | |
KR20100023045A (ko) | 회전 속도 센서 | |
IL228048A (en) | Spring structure, resonator, resonator array and sensor | |
US8997568B2 (en) | Micromachined gyroscope with detection in the plane of the machined wafer | |
JP2020091280A (ja) | 回転運動検出用微小電気機械デバイス | |
JP2005241500A (ja) | 角速度センサ | |
US6561028B1 (en) | Mechanical resonator for a rotation sensor | |
US20130333470A1 (en) | Planar coriolis gyroscope |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FG | Patent granted |
Ref document number: 116543 Country of ref document: FI |
|
PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: MURATA ELECTRONICS OY |
|
PC | Transfer of assignment of patent |
Owner name: MURATA MANUFACTURING CO., LTD. |