FI108115B - Laite metallipinnan käsittelemiseksi - Google Patents
Laite metallipinnan käsittelemiseksi Download PDFInfo
- Publication number
- FI108115B FI108115B FI982398A FI982398A FI108115B FI 108115 B FI108115 B FI 108115B FI 982398 A FI982398 A FI 982398A FI 982398 A FI982398 A FI 982398A FI 108115 B FI108115 B FI 108115B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- treatment means
- treated
- nozzle
- treatment
- agent
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C3/00—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material
- B05C3/02—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material
- B05C3/12—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material for treating work of indefinite length
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C3/00—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material
- B05C3/02—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material
- B05C3/04—Apparatus in which the work is brought into contact with a bulk quantity of liquid or other fluent material the work being immersed in the liquid or other fluent material with special provision for agitating the work or the liquid or other fluent material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C2/00—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
- C23C2/003—Apparatus
- C23C2/0034—Details related to elements immersed in bath
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C2/00—Hot-dipping or immersion processes for applying the coating material in the molten state without affecting the shape; Apparatus therefor
- C23C2/003—Apparatus
- C23C2/0036—Crucibles
- C23C2/00361—Crucibles characterised by structures including means for immersing or extracting the substrate through confining wall area
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Chemical Treatment Of Metals (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Description
1 108115
LAITE METALLIPINNAN KÄSITTELEMISEKSI
Tämä keksintö kohdistuu laitteeseen käsittelyn aikana liikkuvan metallikappa-leen metallipinnan käsittelemiseksi.
5 US-patentti 5312530 kuvaa liikkuvan materiaalin pinnan käsittelylaitetta. Tämä laite on varustettu sisäonkalolla, johon käsittelyaine syötetään paineenalaisena. Suihkun muodostavaa aukkoa käytetään ohjaamaan hyvin laminaari suihku käsittelyainetta terävässä 40 - 70 asteen kulmassa liikkuvalle materiaalille. 10 Suihkun muodostava aukko on pyörähdysliikkeen suhteen symmetrinen ja ympäröi polkua, jota pitkin materiaali kulkee. Edelleen sähköinen elektrodi on sijoitettu onkaloon, jonka yhteyteen on sijoitettu lisäelektrodi, materiaalin kulkusuuntaan hiukan erillään suihkun muodostavasta aukosta, jonka yhteyteen on muodostettu bipolaarinen elektrolyysikenno. On käytännöllistä, että useita käsit-15 tely-yksiköitä, jokaisessa sisäonkalo ja suihkun muodostava aukko, on sijoitettu yksi toisensa jälkeen materiaalin kulkusuunnassa. Onkalo on rengasmainen ja se avautuu akseliporausta kohti, jonka läpi käsiteltävä materiaali kulkee, rengasmaisen aukon kautta. Käsittelyaine nousee muodoltaan rengasmaisen aukon läpi, joka on leveydeltään niin pieni, että suihku toimii veitsenä. Elektrodit 20 lisäävät puhdistustehoa edelleen. Jos onkaloon sijoitettu elektrodi on yhdistetty miinusnapaan, kun taas liikkuvaa materiaalia ympäröivä elektrodi on yhdistetty tasasuuntaajan plusnapaan, silloin käsiteltävä pinta tulee anodiseksikäsittelyai-neen kapean suihkun vaikutuksesta. Näin liuenneiden saasteiden ja metalli-io-neiden liikkuvaa materiaalia ympäröivä resistiivinen kerros liukenee ja sallii 25 suuremman virran kulkevan kennon läpi.
• < / ,
Kun käytetään rengasmaista aukkoa kuten viitatussa US-patentissa 5312530 suihkun vastakkaisilta suunnilta tulevat osat heikentävät toisiaan niin, että kokonaisvaikutus kohteen pinnan ravistelemiseksi ei ole niin voimakas kuin 30 suihkun osien summateho voisi yksittäisesti olla.
2 108115
Esilläolevan keksinnön tarkoituksena on poistaa tekniikan tason mukaisia haittapuolia ja aikaansaada uusi ja entistä toimintakykyisempi laite käsittelyn aikana liikkeessä olevan metallikappaleen metallipinnan käsittelemiseksi niin, että käsittelyaine syötetään suihkujen avulla metallikappaleen pintaan. Keksin-5 nön olennaiset tunnusmerkit selviävät oheisista patenttivaatimuksista.
Keksinnön mukaisesti käsittelyaine suunnataan suihkuilla liikkuvan metallikappaleen pintaan suuttimien kautta, jotka on sijoitettu toisiinsa nähden siten, että osa käsiteltävästä pinnasta on käsittelyn alaisena suunnattavan käsittelyaineen 10 yhdessä asemassa. Käsiteltävälle pinnalle suunnattavan käsittelyaineen yhdessä asemassa on vähintään yksi suutin, jonka läpi käsittelyaineen suihku suunnataan pintaan niin, että enintään 70 % käsiteltävästä pinnasta on suihkujen suoran vaikutuksen alla. Suihku tulee suuttimen aukosta, jonka maksimile-veys on vähemmän kuin 8 kertaa pinnan leveys. Keksinnön mukaisessa 15 laitteessa on vähintään kaksi käsiteltävälle pinnalle suunnatun käsittelyaineen asemaa etäisyyden päässä toisistaan niin, että olennaisesti koko käsiteltävä pinta on ainakin kerran käsittelyaineen suihkujen vaikutuksen alaisena sinä aikana kun metallikappaleen pintaa menee keksinnön mukaisen laitteen läpi.
20 Keksinnön mukaisessa laitteessa on vähintään yksi säiliö, joka on täytetty käsittelyaineella. Käsittelyaine on väline pinnoittamiseen, elektrolyyttiseen puhdistukseen tai päällystämiseen, jotka ovat sopivimmat käsittelyt tehtäväksi keksinnön mukaisella laitteella. Säiliö on varustettu sisäänmenoaukolla yhdellä seinämällä ja ulostuloaukolla toisella ensimmäiseen seinämään nähden vastak-25 kaisella seinämällä. Sisäänmenoaukkoa ja ulostuloaukkoa käytetään suuntaa-” maan pinnoituksessa suurella nopeudella 20 - 40 m/s liikkuva käsiteltävä ' metallikappale säiliön läpi. Päällystämisessä tyypilliset nopeudet ovat välillä 5 -40 m/s.
30 Käsiteltävä metallikappale on keksinnön mukaisessa laitteessa käsittelyaineen ja metallipinnan välisessä vuorovaikutuksessa. Minimoidakseen niin kutsuttu 3 108115 diffuusiokerroksen metallipinnalta, mfetallikappale käsitellään voimakkaalla käsittelyaineen liikkeellä tai sekoituksella hyvin lähellä metaliipintaa. Turbulens-si, joka minimoi diffuusiokerroksen, on osittain käsittelyaineen säiliön läpi liikkuvan metallikappaleen itsensä aikaansaama. Lisätäkseen turbulenssia 5 metallipinnan läheisyydessä säiliöön on sijoitettu ainakin kahteen asemaan ainakin yksi suutin kuhunkin asemaan suuntaamaan käsittelyaineen suihkuja metaliipintaa vastaan.
Kun käytetään keksinnön mukaista laitetta peräkkäiset suunnattujen suihkujen 10 asemat toimivat edullisesti siten, että suihkujen suunnat ovat erilaisia. Siksi metaliipintaa käsitellään jokaisessa suunnattujen suihkujen asemassa siten, että edullisesti samaa osaa metallipinnasta ei käsitellä kahdessa peräkkäisessä asemassa. Peräkkäiset suunnattujen suihkujen asemat voivat olla myös erillisissä säiliöissä.
15
Yhdestä asemasta tuleva suihku voidaan suunnata siten, että suihkun suunta on olennaisesti kohtisuorassa metallipintaan nähden. Suihkun suunta voi myös olla sellainen, että suihku muodostaa terävän tai tylpän kulman käsiteltävän metallipinnan kulkusuunnan kanssa. Suihkujen suunnat jopa peräkkäisissä 20 asemissa voivat olla erilaiset, yhdellä on suunta terävässä kulmassa ja toisella ** tylpässä kulmassa. Samassa asemassa muodostettujen suihkujen suunnat voivat olla erilaiset riippuen käsiteltävästä pinnasta.
Keksintöä selostetaan lähemmin seuraavassa viitaten oheisiin piirustuksiin, 25 joissa kuvio 1 on kaavamainen sivukuvanto keksinnön edullisesta sovellutusmuodosta, kuvio 2 on osittainen ja kaavamainen sivukuvanto kuvion 1 mukaisesta sovellutusmuodosta suunnasta A - A katsottuna.
30 4 ίο 81 is
Kuvioiden 1 ja 2 mukaisesti pinnoitusaine 1 on säiliössä 2. Säiliö 2 on varustettu sisääntuloaukolla 3 yhdellä säiliön 2 seinämällä ja ulosmenoaukolla 4 toisella ensimmäiseen seinämään nähden vastakkaisella säiliön 2 seinämällä. Metallilanka 5 on eteenpäinmenevässä liikkeessä sisäänmenoaukosta 3 ulostu-5 loaukkoa 4 kohti. Metallilangan 5 läheisyyteen säiliössä 2 on asennettu suutti-mia suuntaamaan pinnoiteaineen suihkuja metallilangan pintaan. Suuttimet 6 suuntaavat pinnoiteaineen suihkut metallilangan pintaan eri suunnista kuten nuolilla on osoitettu. Suuttimien 6 yhdessä asemassa vain osa metallilangan pinnasta on pinnoiteaineen suihkujen kohteena.
•« • < '
Claims (12)
1. Laite käytettäväksi käsiteltävän metallikappaleen pinnan käsittelyssä, joka pinta on olennaisesti jatkuvassa etenevässä liikkeessä, tunnettu siitä, että 5 käsittelyaine (1) suunnataan käsiteltävään pintaan (5) suuttimien (6) avulla, joiden aukko on maksimileveydeltään vähemmän kuin 8 kertaa käsiteltävän pinnan (5) leveys, niin, että enintään 70 % käsiteltävästä pinnasta (5) on käsittelyn alaisena yhdessä suunnattavan käsittelyaineen (1) asemassa, ja että laitteessa on ainakin kaksi käsiteltävälle pinnalle (5) suunnatun käsittelyaineen 10 (1) käsittelyasemaa.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laite, tunnettu siitä, että ainakin yksi suutin (6) on asennettu yhteen suunnattavan käsittelyaineen (1) asemaan.
3. Patenttivaatimusten 1 tai 2 mukainen laite, tunnettu siitä, että ainakin kaksi suutinta (6) on asennettu samaan suunnattavan käsittelyaineen asemaan suuntaamaan käsittelyaine eri suunnista käsiteltävälle pinnalle.
4. Patenttivaatimusten 1 tai 2 mukainen laite, tunnettu siitä, että ainakin yksi 20 suutin (6) on asennettu käsiteltävän pinnan liikettä vastaavasti suunnattavan käsittelyaineen peräkkäisiin asemiin suuntaamaan käsittelyaine eri suunnista käsiteltävälle pinnalle.
5. Jonkin patenttivaatimuksen 1 - 4 mukainen laite, tunnettu siitä, että suunnat-25 tavan käsittelyaineen suutin (6) on asennettu olennaisesti kohtisuoraan käsitel- tävään pintaan nähden.
6. Jonkin patenttivaatimuksen 1 - 4 mukainen laite, tunnettu siitä, että suunnattavan käsittelyaineen suutin (6) on asennettu terävään kulmaan käsiteltävään 30 pintaan nähden. 6 108115
7. Jonkin patenttivaatimuksen 1-4 mukainen laite, tunnettu siitä, että suunnattavan käsittelyaineen suutin (6) on asennettu tylppään kulmaan käsiteltävään pintaan nähden. i
8. Jonkin patenttivaatimuksen 1-7 mukainen laite, tunnettu siitä, että suutin (6) on suihkutyyppinen suutin. Θ. Jonkin patenttivaatimuksen 1-8 mukainen laite, tunnettu siitä, että suunnattavan käsittelyaineen asemat ovat erillisissä käsittelyaineella (1) täytetyissä 10 säiliöissä.
10. Jonkin patenttivaatimuksen 1-11 mukainen laite, tunnettu siitä, että käytetty käsittelyaine on pinnoiteaine.
11. Jonkin patenttivaatimuksen 1-11 mukainen laite, tunnettu siitä, että käytetty käsittelyaine on päällystysaine.
12. Jonkin patenttivaatimuksen 1-11 mukainen laite, tunnettu siitä, että käytetty käsittelyaine on elektrolyyttiseen puhdistukseen käytetty aine. ·· 108/,5
Priority Applications (12)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI982398A FI108115B (fi) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | Laite metallipinnan käsittelemiseksi |
HU0104228A HUP0104228A3 (en) | 1998-11-05 | 1999-10-22 | Device for processing a metal surface |
PL348361A PL192440B1 (pl) | 1998-11-05 | 1999-10-22 | Urządzenie do obróbki powierzchni metalowego przedmiotu |
KR1020017005294A KR20010085969A (ko) | 1998-11-05 | 1999-10-22 | 금속표면 처리장치 |
SK560-2001A SK5602001A3 (en) | 1998-11-05 | 1999-10-22 | Device for processing a metal surface |
CZ20011537A CZ20011537A3 (cs) | 1998-11-05 | 1999-10-22 | Zařízení k úpravě povrchu pohybujícího se podlouhlého kovového předmětu |
US09/830,464 US6641706B1 (en) | 1998-11-05 | 1999-10-22 | Device for processing a metal surface |
CA002348942A CA2348942A1 (en) | 1998-11-05 | 1999-10-22 | Device for processing a metal surface |
EP99954011A EP1126921A1 (en) | 1998-11-05 | 1999-10-22 | Device for processing a metal surface |
PCT/FI1999/000878 WO2000027542A1 (en) | 1998-11-05 | 1999-10-22 | Device for processing a metal surface |
MYPI99004756A MY124417A (en) | 1998-11-05 | 1999-11-03 | Device for processing a metal surface |
TW088120012A TW580525B (en) | 1998-11-05 | 1999-11-17 | Device for processing a metal surface |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI982398A FI108115B (fi) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | Laite metallipinnan käsittelemiseksi |
FI982398 | 1998-11-05 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI982398A0 FI982398A0 (fi) | 1998-11-05 |
FI982398A FI982398A (fi) | 2000-05-06 |
FI108115B true FI108115B (fi) | 2001-11-30 |
Family
ID=8552851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI982398A FI108115B (fi) | 1998-11-05 | 1998-11-05 | Laite metallipinnan käsittelemiseksi |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6641706B1 (fi) |
EP (1) | EP1126921A1 (fi) |
KR (1) | KR20010085969A (fi) |
CA (1) | CA2348942A1 (fi) |
CZ (1) | CZ20011537A3 (fi) |
FI (1) | FI108115B (fi) |
HU (1) | HUP0104228A3 (fi) |
MY (1) | MY124417A (fi) |
PL (1) | PL192440B1 (fi) |
SK (1) | SK5602001A3 (fi) |
TW (1) | TW580525B (fi) |
WO (1) | WO2000027542A1 (fi) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1500957A4 (en) * | 2002-04-26 | 2008-11-19 | Epson Toyocom Corp | LAMINAT WAVE LENGTH PLATE AND OPTICAL BUYER THEREOF |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2057264A5 (fi) * | 1969-08-07 | 1971-05-21 | Tunzini | |
AR204283A1 (es) * | 1975-01-21 | 1975-12-10 | Uss Eng & Consult | Aparato para el tratamiento electrolitico de tiras de metal |
US4270317A (en) * | 1978-10-10 | 1981-06-02 | Midland-Ross Corporation | Apparatus used in the treatment of a continuous strip of metal and method of use thereof |
US4811748A (en) * | 1986-04-04 | 1989-03-14 | Naniwa Seitei Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for continuously applying surface treatment onto an article being fed along a pass line |
US5024864A (en) * | 1988-02-26 | 1991-06-18 | At&T Bell Laboratories | Methods of and apparatus for making an insulated transmission medium |
SE469267B (sv) | 1991-07-01 | 1993-06-14 | Candor Sweden Ab | Ytbehandlingsanordning, varvid ett medium under tryck riktas mot en loepande materialbana i en kavitet |
-
1998
- 1998-11-05 FI FI982398A patent/FI108115B/fi active
-
1999
- 1999-10-22 HU HU0104228A patent/HUP0104228A3/hu unknown
- 1999-10-22 CA CA002348942A patent/CA2348942A1/en not_active Abandoned
- 1999-10-22 KR KR1020017005294A patent/KR20010085969A/ko active IP Right Grant
- 1999-10-22 PL PL348361A patent/PL192440B1/pl not_active IP Right Cessation
- 1999-10-22 WO PCT/FI1999/000878 patent/WO2000027542A1/en not_active Application Discontinuation
- 1999-10-22 SK SK560-2001A patent/SK5602001A3/sk unknown
- 1999-10-22 CZ CZ20011537A patent/CZ20011537A3/cs unknown
- 1999-10-22 US US09/830,464 patent/US6641706B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-10-22 EP EP99954011A patent/EP1126921A1/en not_active Withdrawn
- 1999-11-03 MY MYPI99004756A patent/MY124417A/en unknown
- 1999-11-17 TW TW088120012A patent/TW580525B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PL192440B1 (pl) | 2006-10-31 |
CA2348942A1 (en) | 2000-05-18 |
HUP0104228A3 (en) | 2002-05-28 |
FI982398A (fi) | 2000-05-06 |
FI982398A0 (fi) | 1998-11-05 |
WO2000027542A1 (en) | 2000-05-18 |
CZ20011537A3 (cs) | 2002-05-15 |
MY124417A (en) | 2006-06-30 |
EP1126921A1 (en) | 2001-08-29 |
PL348361A1 (en) | 2002-05-20 |
HUP0104228A2 (hu) | 2002-03-28 |
SK5602001A3 (en) | 2002-02-05 |
TW580525B (en) | 2004-03-21 |
US6641706B1 (en) | 2003-11-04 |
KR20010085969A (ko) | 2001-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102672349B (zh) | 激光焊接设备 | |
US7951244B2 (en) | Liquid cleaning apparatus for cleaning printed circuit boards | |
CN101687154B (zh) | 产品的湿式化学处理装置和方法以及将流动构件安装入该装置的方法 | |
FI108115B (fi) | Laite metallipinnan käsittelemiseksi | |
ES2694408T3 (es) | Procedimiento para pasivar una superficie de metal | |
KR101096326B1 (ko) | 가속 습식-화학 표면처리를 위한 방법 및 장치 | |
TW200831719A (en) | Apparatus and method for non-contact liquid sealing | |
JP2006225677A (ja) | 連続部分めっき装置 | |
JP6360045B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
FI105119B (fi) | Sovitelma ja menetelmä spray-suuttimesta tulevan haitallisen suihkun paperirainalle suuntautumisen estämiseksi | |
JP4920365B2 (ja) | 処理槽 | |
KR102663445B1 (ko) | 물체를 처리하기 위한 방법 및 이 방법을 수행하기 위한 장치 | |
KR101829358B1 (ko) | 컨베이어 벨트를 전기 폴리싱 및 전기 도금하기 위한 시스템 및 방법 | |
CN106670602B (zh) | 一种自修复线电极放电车削装置及方法 | |
CN206912417U (zh) | 一种自修复线电极放电车削装置 | |
KR101704494B1 (ko) | 고속 유체 분사 노즐 및 이를 이용한 기판 처리 장치 | |
KR20240110636A (ko) | 대기압 플라즈마 빔과 레이저 빔의 조합을 이용하여 피처리재의 표면을 처리하는 장치 | |
JPS5852778B2 (ja) | 電気加工における加工液供給装置 | |
CN111295476B (zh) | 提供补偿力矢量的扇形喷嘴的系统和方法 | |
WO1993013902A1 (en) | Wirecut electrical discharge machining apparatus | |
KR20080011906A (ko) | 기판 처리 장치 | |
TW201515974A (zh) | 用於濕化學或電化學處理之方法與裝置 | |
JPH0460767B2 (fi) | ||
JPH04176515A (ja) | ワイヤカット放電加工用加工液供給装置 | |
JPH05279892A (ja) | 竪型メッキ設備用電析防止方法 |