ES2607444T3 - Disposición para alinear un objeto de medición en relación con un detector, disposición interferométrica así como procedimiento de alineación - Google Patents

Disposición para alinear un objeto de medición en relación con un detector, disposición interferométrica así como procedimiento de alineación Download PDF

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Abstract

Disposición para alinear un objeto (2) de medición en relación con un detector (5), con medios (10) de iluminación que generan una trayectoria (15) de rayos de iluminación para iluminar el objeto (2) de medición y con medios (8) de regulación para ajustar la posición relativa del objeto (2) de medición con respecto al detector (5), presentando los medios (10) de iluminación al menos dos medios (12, 13) de iluminación parcial que pueden activarse individualmente, caracterizada porque el detector (5) está configurado para determinar las intensidades luminosas de los rayos de luz reflejados en el objeto (2) de medición y generados por los medios (12, 13) de iluminación parcial, que inciden sobre el detector (5).

Description

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DESCRIPCION
Disposicion para alinear un objeto de medicion en relacion con un detector, disposicion interferometrica as! como procedimiento de alineacion
Estado de la tecnica
La invencion se refiere a una disposicion para alinear un objeto de medicion en relacion con un detector segun el preambulo de la reivindicacion 1, a una disposicion interferometrica segun la reivindicacion 9 as! como a un procedimiento para alinear un objeto de medicion en relacion con un detector segun el preambulo de la reivindicacion 11. Los interferometros se utilizan para la medicion precisa de objetos de medicion, en particular con superficies planas. Dado que el campo angular medible, admisible como maximo, de la superficie es limitado, es necesario alinear en primer lugar el objeto de medicion en la posicion angular con respecto al detector. En particular en el caso de interferometros que trabajan con luz coherente corta, tal como interferometros de luz blanca, con una profundidad de medicion maxima reducida, desviaciones angulares mlnimas pueden conducir a que ya no sea posible la verdadera medicion interferometrica.
Para alinear el objeto de medicion en relacion con el detector se conoce realizar mediciones parciales interferometricas y mediante la representacion sobre el detector llevar a cabo una alineacion manual del objeto de medicion. Sin embargo, esto requiere que el objeto de medicion, para obtener al menos en zonas parciales un patron de interferencia en el detector, este ya alineado de manera suficientemente exacta con respecto al detector. Esta alineacion aproximada corre a cuenta del usuario, que mediante la impresion de claridad (intensidad luminosa) de la imagen de detector (imagen de camara) intenta determinar una buena posicion de alineacion.
Ademas se conocen sistemas de alineacion automaticos, que realizan un barrido angular mecanico del objeto de medicion. A este respecto, la posicion del objeto de medicion se ajusta en relacion con el detector, en el que en la imagen de detector se establece la mayor intensidad luminosa. En el modo de proceder descrito resulta desventajoso que la intensidad luminosa en la zona del maximo de intensidad luminosa solo varla ligeramente con la posicion angular del objeto de medicion, de modo que diflcilmente puede implementarse una alineacion sumamente exacta del objeto de medicion con respecto al detector.
El documento US5900940 da a conocer una disposicion para alinear un objeto de medicion.
Descripcion de la invencion
Objetivo tecnico
Por tanto, la invencion se basa en el objetivo de proponer una disposicion para alinear un objeto de medicion en relacion con un detector, en la que sea posible de manera sencilla una alineacion sumamente exacta del objeto de medicion en cuanto a su posicion angular en relacion con el detector. Igualmente, el objetivo consiste en proponer una disposicion interferometrica con una disposicion de alineacion mejorada de manera correspondiente. Por lo demas, el objetivo consiste en proponer un procedimiento de alineacion optimizado con respecto a una exactitud de alineacion mejorada.
Solucion tecnica
Este objetivo se alcanza en cuanto a la disposicion para alinear un objeto de medicion con las caracterlsticas de la reivindicacion 1, en cuanto a la disposicion interferometrica con las caracterlsticas de la reivindicacion 10 y en cuanto al procedimiento de alineacion con las caracterlsticas de la reivindicacion 12. Perfeccionamientos ventajosos de la invencion se indican en las reivindicaciones dependientes. Todas las combinaciones de al menos dos de las caracterlsticas dadas a conocer en la descripcion, las reivindicaciones y/o las figuras se encuentran dentro del marco de la invencion. Para evitar repeticiones, las caracterlsticas dadas a conocer para el dispositivo se entenderan como dadas a conocer para el procedimiento y podran reivindicarse. Igualmente, las caracterlsticas dadas a conocer para el procedimiento se entenderan como dadas a conocer para el dispositivo y podran reivindicarse.
La invencion se basa en la idea de desplazar la evaluacion manual de la intensidad luminosa o la medicion automatica de la intensidad luminosa alejandolas del maximo de iluminacion a los flancos de un trazado de la intensidad de iluminacion a traves de la posicion angular del objeto de medicion en relacion con el detector, para que ya variaciones angulares mlnimas tengan como consecuencia variaciones significativas de intensidad luminosa que puede establecerse en la imagen de detector de los rayos de luz que inciden sobre el detector, reflejados por el objeto de medicion. Esto se consigue en una disposicion configurada segun el concepto de la invencion para alinear un objeto de medicion en cuanto a su posicion angular en relacion con un detector, porque en lugar de un unico medio de iluminacion se preven al menos dos medios de iluminacion (parcial), que pueden activarse por separado.
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En el caso de un objeto de medicion no alineado de manera exacta en relacion con el detector, la intensidad luminosa de los rayos que inciden sobre el detector, reflejados por el objeto de medicion depende de cual de los medios de iluminacion parcial esta activado en ese preciso momento, es decir esta activo. Esto puede atribuirse a que con los medios de iluminacion parcial se iluminan diferentes superficies parciales de la superficie del objeto de medicion, con lo que, por ejemplo cuando el objeto de medicion se ilumina con un primer medio de iluminacion parcial, una mayor proporcion de rayos de luz pasa por el detector, que cuando el objeto de medicion se ilumina con un segundo medio de iluminacion parcial. En el caso ideal, es decir en el caso de un objeto de medicion alineado de manera exacta con respecto al detector en su posicion angular, la intensidad luminosa de los rayos de luz que inciden sobre el detector, reflejados por el objeto de medicion se mantiene constante, independientemente de que medios de iluminacion parcial se activan o las intensidades luminosas estan en una relacion de magnitud definida entre si. Esto puede utilizarse como indicador de la calidad de alineacion y como medida para el desplazamiento manual o automatico necesario, en particular la inclinacion del objeto de medicion en relacion con el detector. Expresado de otro modo, el objeto de medicion puede desplazarse en relacion con el detector hasta que la intensidad luminosa que llega al detector, preferiblemente determinada con el detector, es decir la impresion de claridad de la imagen de detector, independientemente de que medio de iluminacion parcial se activa, se mantiene al menos aproximadamente constante o hasta que se ajusta una determinada relacion de intensidad. Preferiblemente, el detector esta equipado con una camara digital, en particular con un chip CCD. A este respecto, se prefiere especialmente que al chip de la camara (sensor fotosensible) este asociado un diafragma de apertura, que en la trayectoria de rayos de la luz reflejada por el objeto de medicion se encuentra entre el chip de camara y el objeto de medicion.
Se prefiere especialmente una forma de realizacion de la disposicion de alineacion, en la que se implementa una denominada disposicion de iluminacion de Kohler y los medios de iluminacion parcial estan dispuestos en un plano de diafragma de la lente, o de la disposicion de lente para la orientacion paralela de la luz emitida por los medios de iluminacion parcial.
En un perfeccionamiento de la invencion esta previsto ventajosamente que los medios de iluminacion parcial comprendan en cada caso al menos un LED. Por ejemplo, los medios de iluminacion comprenden un chip de cuatro LED. Este puede formar, si se activan conjuntamente en cada caso dos LED, dos medios de iluminacion parcial. En el caso de implementar una posibilidad de activacion separada de los LED individuales, con un chip de cuatro LED de este tipo pueden implementarse cuatro medios de iluminacion parcial.
Se prefiere especialmente una forma de realizacion en la que los medios de iluminacion parcial estan dispuestos simetricamente con respecto a un eje optico de la lente o de la disposicion de lente. En este caso, la posicion angular optima del objeto de medicion en relacion con el detector se alcanza cuando la intensidad luminosa de los rayos de luz que inciden sobre el detector es constante, independientemente de cuales de los medios de iluminacion parcial estan activos en ese preciso momento. Sin embargo, tambien puede implementarse una forma de realizacion, en la que los medios de iluminacion parcial estan dispuestos de manera asimetrica con respecto al eje optico de la lente o de la disposicion de lente. En este caso, la posicion angular optima del objeto de medicion en relacion con el detector se alcanza cuando las intensidades luminosas conseguidas con los diferentes medios de iluminacion parcial en el detector alcanzan un determinado valor de relacion.
Se prefiere especialmente una forma de realizacion en la que los medios de iluminacion parcial pueden activarse de manera alternante, preferiblemente multiples veces unos detras de otros. De este modo puede determinarse durante la operation de alineacion continuamente la relacion de intensidad luminosa de las intensidades luminosas generadas con los medios de iluminacion parcial, que pueden registrarse en el detector.
Puede implementarse una forma de realizacion de la disposicion de alineacion en la que la intensidad luminosa de los rayos de luz que inciden sobre el detector se evalua manualmente en cuanto a la impresion de claridad de la imagen de detector, en particular de la imagen de camara. Sin embargo, se prefiere especialmente una forma de realizacion del detector, en la que la intensidad luminosa de los rayos de luz que inciden en cada caso se mide por medio del detector y preferiblemente tambien se presenta visualmente, por ejemplo en una pantalla asociada con una unidad de posicion del detector.
Se prefiere especialmente una forma de realizacion en la que el detector, basandose en las intensidades luminosas de los medios de iluminacion parcial activados de manera alternante, esta configurado de manera que genera un indicador optico y/o acustico de la calidad de alineacion. Preferiblemente, el detector, o una unidad logica del detector, relaciona para ello entre si las intensidades luminosas, en particular determinadas de manera alternante, de los diferentes medios de iluminacion parcial y muestra el valor de relacion por ejemplo como barra indicadora grafica.
Con respecto a la configuration de los medios de regulation existen diferentes posibilidades. Asl, por ejemplo es concebible prever medios de regulacion manuales, por ejemplo en forma de un tornillo de regulacion, en particular en forma de un tornillo de regulacion micrometrico, con cuya ayuda puede desplazarse el objeto de medicion a su posicion angular con relacion al detector. Adicional o alternativamente, pueden preverse medios de regulacion que
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pueden activarse automaticamente, por ejemplo en forma de al menos un regulador piezoelectrico, que desplazan el objeto de medicion en funcion de las intensidades luminosas de los medios de iluminacion parcial determinadas por medio del detector en relacion con el detector.
Se prefiere especialmente una forma de realizacion de la disposicion de alineacion en la que los medios de iluminacion parcial estan configurados de manera que emiten luz coherente corta. Preferiblemente, la disposicion de alineacion forma parte de un interferometro de luz blanca, siendo los medios de iluminacion de la unidad de alineacion de manera especialmente preferible los medios de iluminacion para realizar la medicion interferometrica. A este respecto, se prefiere especialmente que, con el proposito de la medicion interferometrica, todos los medios de iluminacion parcial esten activados al mismo tiempo, es decir activos.
La invencion conduce tambien a una disposicion interferometrica para medir un objeto de medicion. Segun la invention, esta previsto que la disposicion interferometrica este equipada con una disposicion configurada segun el concepto de la invencion para alinear el objeto de medicion con relacion al detector, en particular una camara digital.
Como se indico, se prefiere especialmente que los medios de iluminacion de la disposicion para alinear el objeto de medicion en relacion con el detector sean al mismo tiempo los medios de iluminacion para iluminar el objeto durante la medicion interferometrica, prefiriendose especialmente que durante la medicion interferometrica todos los medios de iluminacion parcial esten activos, es decir activados.
La invencion conduce tambien a un procedimiento para alinear un objeto de medicion en relacion con un detector, preferiblemente usando una disposicion de alineacion descrita anteriormente. Segun la invencion esta previsto que el objeto de medicion durante la operation de alineacion no se ilumine con un unico medio de iluminacion, sino preferiblemente de manera alternante con al menos dos medios de iluminacion parcial, dispuestos en particular en un plano (por ejemplo plano de diafragma) unos al lado de otros, variandose la position relativa, en particular la position angular del objeto de medicion con respecto al detector, en funcion de las intensidades luminosas de los rayos de luz generados por los medios de luz parcial, que inciden sobre el detector. De manera especialmente preferible, como medida de la calidad de alineacion se determina un valor de relacion de las intensidades luminosas generadas con diferentes medios de iluminacion parcial.
Se prefiere especialmente una forma de realizacion en la que la posicion relativa, en particular la posicion angular del objeto de medicion con respecto al detector, mediante el desplazamiento del objeto de medicion y/o del detector se varla hasta que la relacion de las intensidades luminosas de los rayos de luz generados por los medios de iluminacion parcial, que inciden sobre el detector, alcanza un valor definido. Para el caso en el que los medios de iluminacion parcial esten dispuestos simetricamente con respecto a un eje optico de una lente dispuesta en la trayectoria de rayos de iluminacion, o de una disposicion de lente, esta relacion de las intensidades luminosas asciende a 1.
Con respecto a la evaluation de las intensidades luminosas existen diferentes posibilidades. As! es posible evaluar la intensidad luminosa manualmente mediante la observation optica subjetiva de la impresion de claridad de la imagen de detector. Se prefiere especialmente una forma de realizacion en la que se determinan intensidades luminosas de los rayos de luz de los medios de iluminacion parcial con ayuda del detector, en particular con una unidad de control adecuada del detector.
Breve descripcion de los dibujos
Ventajas, caracterlsticas y detalles adicionales de la invencion se obtienen de la siguiente descripcion de ejemplos de realizacion preferidos as! como mediante los dibujos. Estos muestran en:
la figura 1a, una representation esquematica de una disposicion interferometrica para medir un objeto de medicion, que comprende una disposicion para alinear el objeto de medicion en relacion con un detector y
la figura 1b, una vista girada 90° de los medios de iluminacion compuestos por varios medios de iluminacion parcial de la disposicion para alinear el objeto de medicion en relacion con un detector, sirviendo los medios de iluminacion al mismo tiempo como medios de iluminacion de la disposicion interferometrica.
Formas de realizacion de la invencion
En las figuras, los mismos componentes y componentes con la misma funcion estan identificados con los mismos numeros de referencia.
En la figura 1a se muestra una disposicion 1 interferometrica para medir superficies de un objeto 2 de medicion. En el caso de la disposicion 1 interferometrica representada se trata de un interferometro que mide superficies, en este caso un interferometro de luz blanca.
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La construccion comprende una disposicion 3 para alinear la posicion angular del objeto 2 de medicion con relacion a un detector 5, que comprende un chip 4 CCD de una camara digital. Para poder realizar mediciones interferometricas exactas de la superficie del objeto 2 de medicion, la superficie 6 del objeto 2 de medicion en el ejemplo de realization mostrado tiene que alinearse en paralelo a la extension superficial del chip 4 CCD del detector 5. Para inclinar (pivotar) el objeto 2 de medicion con respecto a un eje 7 de pivotado estan previstos medios 8 de regulation representados unicamente de manera esquematica como flechas de pivotado, que segun la forma de realizacion pueden accionarse manual o automaticamente. A este respecto, los medios 8 de regulacion actuan sobre un soporte 9, sobre el que esta fijado el objeto 2 de medicion.
La disposicion 3 para alinear el objeto 2 de medicion en relacion con el detector 5 comprende medios 10 de iluminacion. Estos estan configurados, como se desprende de la figura 1b, como chip de cuatro LED con cuatro LED 11a, 11b, 11c, 11d. A este respecto, los LED 11a, 11b dispuestos arriba en el plano de dibujo forman conjuntamente primeros medios 12 de iluminacion parcial y los LED 11c, 11d dispuestos debajo en el plano de dibujo forman segundos medios 13 de iluminacion parcial. Esto significa que los LED 11a, 11b superiores y los LED 11c, 11d inferiores pueden activarse en cada caso como unidad. Tambien puede implementarse una forma de realizacion con cuatro medios de iluminacion parcial, formando en este caso cada LED 11a, 11b, 11c, 11d medios de iluminacion parcial que pueden activarse de manera autonoma.
Como se desprende de la figura 1a, los medios 12, 13 de iluminacion parcial estan dispuestos simetricamente con respecto a un eje O optico de una lente 14 de una trayectoria 15 de rayos de iluminacion generada con ayuda de los medios 10 de iluminacion. La funcion de la lente 14 es orientar de manera paralela los rayos de luz coherente corta emitidos por los medios 10 de iluminacion. Los medios 10 de iluminacion estan dispuestos en un plano B de diafragma de la lente 14 que atraviesa el foco de la lente 14, estando dispuestos los medios 12, 13 de iluminacion parcial en el plano B de diafragma unos al lado de otros, en este caso unos encima de otros.
Los rayos de luz que forman una trayectoria 15 de rayos de iluminacion, irradiados por los medios 10 de iluminacion inciden sobre un divisor 16 de haz, que en el ejemplo de realizacion mostrado esta formado por un espejo semitransparente, dispuesto a un angulo de 45° con respecto al eje O optico. Desde all!, una parte de los rayos de luz generados por los medios 10 de iluminacion se dirigen en perpendicular a la superficie 6 del objeto 2 de medicion, desde donde los rayos de luz vuelven al divisor 16 de haz y lo atraviesan en llnea recta, pasando a traves de una lente 19 de enfoque, un diafragma 20 de apertura y una lente 21 incidiendo sobre el detector 5, mas exactamente el chip 4 CCD. Para poder detectar fenomenos de interferencia por medio de la disposicion 1 interferometrica, durante la medicion del objeto 2 de medicion los rayos de luz (rayos de medicion) que llegan de la superficie 6 del objeto al detector 5 tienen que superponerse con rayos de luz de referencia. Los rayos de luz de referencia se separan con ayuda del divisor de haz de la trayectoria 15 de rayos de iluminacion (a este respecto se trata de los rayos de luz irradiados por los medios 10 de iluminacion en llnea recta a traves del divisor 10 de haz, no ilustrados, que en su recorrido inciden sobre un espejo 17, que reflejan los rayos de luz de referencia hacia un elemento 18 de referencia formado en este ejemplo de realizacion por un espejo de referencia). Desde all!, los rayos de referencia se reflejan de vuelta al espejo 17 y desde all! se dirigen al divisor 16 de haz, que desvla los rayos de referencia en angulo recto hacia el detector 5, mas exactamente al chip 4 CCD. Dado que los medios 10 de iluminacion solo irradian luz coherente corta, solo se producen fenomenos de interferencia en el detector 5 cuando la diferencia de trayectorias entre los verdaderos rayos de medicion y los rayos de referencia es menor que la longitud de coherencia de los rayos de luz, preferiblemente cero. Para poder ajustar esta diferencia de trayectoria, el elemento 18 de referencia puede desplazarse de manera lineal, como se indica mediante flechas 22.
La medicion descrita anteriormente del objeto 2 de medicion solo puede realizarse, en particular en el caso de medios 10 de iluminacion que irradian exclusivamente luz coherente corta, cuando el objeto 2 de medicion esta alineado con respecto al detector (en este caso en paralelo a la extension superficial del chip 4 CCD del detector 5). En este caso alineado se obtiene como resultado la trayectoria 23 de rayos de la representacion identificada con el numero de referencia 23 (trayectoria de rayos de medicion y de referencia combinada).
Para alinear el objeto 2 de medicion en relacion con el detector 5, los medios 12, 13 de iluminacion parcial se activan de manera alternante. Para el caso en el que el objeto 2 de medicion esta alineado de manera exacta con respecto al detector 5, la intensidad luminosa (impresion de claridad) de la imagen de detector (imagen de camara) se mantiene constante, independientemente de que medios 12, 13 de iluminacion parcial estan activados en ese preciso momento, es decir estan activos. Si el objeto 2 de medicion, como en el presente caso, no esta alineado de manera exacta en su posicion angular con respecto al detector 5, la intensidad luminosa que puede establecerse en el detector 5 varla en funcion de que medios 12, 13 de iluminacion parcial estan activados en ese preciso momento, es decir estan activos. En la figura 1a se muestra que solo estan activados los medios 12 de iluminacion parcial superiores en el plano de dibujo. Como se desprende adicionalmente de la representation segun la figura 1, no todos los rayos de luz emitidos por los medios 12 de iluminacion parcial y reflejados por el objeto 2 de medicion, concretamente por la superficie 6, e irradiados por el divisor 16 de haz inciden sobre el chip 4 CCD, sino que se retienen por el diafragma 20 de apertura, como se indica mediante el numero de referencia 24, que identifica un fragmento de imagen parcial de la imagen del medio 10 de iluminacion. La intensidad luminosa de los rayos de luz que inciden sobre el chip 4 CCD se determina con ayuda del detector 5 y se evalua en una unidad 25 logica (unidad
de control del detector 5) y se almacena de manera intermedia. Alternativamente es posible una evaluacion subjetiva de la claridad de la imagen de detector. Despues se desactivan los medios 12 de iluminacion parcial y en su lugar se activan los medios 13 de iluminacion parcial, con lo que se varla la intensidad luminosa que debe determinarse en el detector 5. En el ejemplo de realizacion mostrado, la intensidad luminosa aumenta, dado que una menor proporcion 5 de los rayos de luz generados por los medios 13 de iluminacion parcial y reflejados en la superficie 6 del objeto 2 de medicion se desvla de tal manera que ya no incide sobre el detector 5. Los medios 25 logicos determinan esta intensidad luminosa y relacionan la intensidad luminosa medida en ultimo lugar con la intensidad luminosa medida anteriormente almacenada de manera intermedia. En funcion de la magnitud del valor de relacion, el objeto 2 de medicion tiene que hacerse pivotar con ayuda de los medios 8 de regulation manual o automaticamente en uno u 10 otro sentido con respecto al eje 7 de pivotado. Se obtiene una alineacion optima cuando, en el ejemplo de realizacion mostrado, el valor de relacion es 1, es decir la intensidad luminosa se mantiene igual, independientemente de cuales de los medios 12, 13 de iluminacion parcial estan activados en ese preciso momento.
Para realizar la verdadera medicion interferometrica descrita al inicio de la superficie 6 del objeto 2 de medicion, se activan todos los medios 12, 13 de iluminacion parcial de los medios 10 de iluminacion, para implementar as! un 15 rendimiento luminoso lo mas grande posible.

Claims (13)

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    REIVINDICACIONES
    1. Disposicion para alinear un objeto (2) de medicion en relacion con un detector (5), con medios (10) de iluminacion que generan una trayectoria (15) de rayos de iluminacion para iluminar el objeto (2) de medicion y con medios (8) de regulacion para ajustar la posicion relativa del objeto (2) de medicion con respecto al detector (5), presentando los medios (10) de iluminacion al menos dos medios (12, 13) de iluminacion parcial que pueden activarse individualmente, caracterizada porque el detector (5) esta configurado para determinar las intensidades luminosas de los rayos de luz reflejados en el objeto (2) de medicion y generados por los medios (12, 13) de iluminacion parcial, que inciden sobre el detector (5).
  2. 2. Disposicion segun la reivindicacion 1, caracterizada porque los medios (12, 13) de iluminacion parcial estan dispuestos unos al lado de otros en un plano (B) de diafragma de una lente (14) dispuesta en la trayectoria (15) de rayos de iluminacion o de una disposicion de lente.
  3. 3. Disposicion segun una de las reivindicaciones 1 o 2, caracterizada porque los medios (12, 13) de iluminacion parcial comprenden en cada caso al menos un LED (11a, 11b, 11c, 11 d).
  4. 4. Disposicion segun una de las reivindicaciones 2 o 3, caracterizada porque los medios (12, 13) de iluminacion parcial estan dispuestos simetricamente con respecto a un eje (O) optico de la lente (14) o de la disposicion de lente.
  5. 5. Disposicion segun una de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque los medios (12, 13) de iluminacion parcial pueden activarse de manera alternante.
  6. 6. Disposicion segun la reivindicacion 1, caracterizada porque el detector (5) esta configurado de manera que genera, basandose en las intensidades luminosas de los rayos de luz de los medios (12, 13) de iluminacion parcial activados de manera alternante, un indicador optico y/o acustico de la calidad de alineacion.
  7. 7. Disposicion segun una de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque los medios (8) de regulacion pueden accionar manualmente, en particular por medio de un tornillo de regulacion, y/o activarse automaticamente, en particular en funcion de intensidades luminosas determinadas con el detector (5) de los rayos de luz de los medios (12, 13) de iluminacion parcial.
  8. 8. Disposicion segun una de las reivindicaciones anteriores, caracterizada porque los medios (12, 13) de iluminacion parcial estan configurados de manera que emiten luz coherente corta.
  9. 9. Disposicion interferometrica para medir un objeto (2) de medicion y con una disposicion (3) para alinear el objeto (2) de medicion en relacion con un detector (5) segun una de las reivindicaciones anteriores.
  10. 10. Disposicion interferometrica segun la reivindicacion 9, caracterizada porque los medios (10) de iluminacion de la disposicion (3) para alinear el objeto (2) de medicion en relacion con el detector (5) son los medios (10) de iluminacion, que emiten preferiblemente luz coherente corta, para iluminar el objeto (2) durante la medicion interferometrica.
  11. 11. Procedimiento para alinear un objeto (2) de medicion en relacion con un detector (5), en particular usando una disposicion (3) segun una de las reivindicaciones 1 a 8, en el que el objeto (2) de medicion se ilumina con ayuda de medios (10) de iluminacion, caracterizado porque la posicion relativa del objeto (2) de medicion se varla con respecto al detector (5) en funcion de la intensidad luminosa de los rayos de luz reflejados en el objeto (2) de medicion, generados por los medios (10) de iluminacion y que inciden sobre el detector (5), porque el objeto (2) de medicion se ilumina, preferiblemente de manera alternante, con al menos dos medios (12, 13) de iluminacion parcial y la posicion relativa del objeto (2) de medicion se varla con respecto al detector (5) en funcion de las intensidades luminosas de los rayos de luz generados por los medios (12, 13) de iluminacion parcial, reflejados en el objeto (2) de medicion y que inciden sobre el detector (5).
  12. 12. Procedimiento segun la reivindicacion 11, caracterizado porque la posicion relativa se varla hasta que la relacion de las intensidades luminosas que inciden sobre el detector (5), generadas con ayuda de los medios (12, 13) de iluminacion parcial, alcanza al menos aproximadamente, un determinado valor, preferiblemente 1.
  13. 13. Procedimiento segun una de las reivindicaciones 11 o 12, caracterizado porque las intensidades luminosas de los rayos de luz que inciden sobre el detector (5) de los medios (12, 13) de iluminacion parcial se determinan automaticamente con el detector (5).
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