ES2336466T3 - Sensores opticos de multiples longitudes de onda. - Google Patents
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Abstract
Aparato que comprende: una fuente de luz (18); y un sensor óptico (10) que comprende: un sustrato (12); por lo menos dos rejillas (14) de Bragg planas definidas dentro de una o más guías de ondas (26) ópticas en el sustrato, presentando cada rejilla de Bragg una respuesta de filtración de longitudes de onda que varía con un índice modal efectivo experimentado por la luz que se propaga en la rejilla de Bragg y que tiene una longitud de onda de Bragg característica diferente a las longitudes de onda de Bragg de las otras rejillas de Bragg; y una ventana (16) de muestras común superpuesta sobre y asociada a las rejillas de Bragg y dispuesta para recibir una muestra de fluido (58) de tal manera que la presencia de una muestra de fluido afecta al índice modal efectivo experimentado por luz que se propaga en las rejillas de Bragg asociadas y, por lo tanto, modifica la respuesta de filtración de longitudes de onda de las rejillas de Bragg; estando dispuestas las rejillas de Bragg para recibir luz de la fuente de luz (18), filtrar la luz, y dar salida a la luz filtrada para su detección por parte de un detector óptico de resolución espectral o un detector de potencia óptica; comprendiendo además el aparato un detector óptico (32) de resolución espectral o un detector de potencia óptica dispuesto para detectar luz reflejada de las rejillas de Bragg, y un procesador que se puede hacer funcionar para recibir resultados de un análisis espectral del detector óptico y para determinar la dispersión de una muestra a partir del mismo.
Description
Sensores ópticos de múltiples longitudes de
onda.
La presente invención se refiere a unos sensores
ópticos basados en rejillas de guías de ondas planas para detectar
el índice de refracción de muestras de fluido y parámetros y
características relacionados con las mismas.
La medición del índice de refracción óptico de
fluidos es importante en campos que incluyen el bioanálisis y la
biodetección. Diferentes fluidos, o concentraciones del mismo
fluido, tienen índices de refracción diferentes de manera que los
fluidos se pueden identificar o diferenciar a partir de mediciones
del índice de refracción. El índice de refracción o cambio del
índice de refracción de un fluido se puede usar para determinar
muchos mensurandos biológicamente importantes tales como
concentraciones de proteínas y niveles de glucosa. En otros campos,
las mediciones del índice de refracción se usan en aplicaciones tan
diversas como el control de procesos y la detección de explosivos
[1].
Se conocen varios dispositivos y técnicas para
medir el índice de refracción. Los mismos incluyen el refractómetro
de tipo Abbe, y sensores basados en la resonancia del plasmón
superficial. También se pueden usar guías de ondas ópticas. La
presencia de un líquido adyacente a una guía de ondas óptica puede
modificar el índice modal efectivo de la luz que se propaga dentro
de la guía de ondas. Esta modificación del índice se puede medir
usando técnicas que son sensibles a cambios en la longitud del
trayecto óptico. Por ejemplo, se han usado estructuras de
interferómetros para medir cambios del índice y, por lo tanto,
detectar la presencia de proteínas [2].
Una alternativa a la medición interferométrica
es el uso de rejillas de guías de ondas ópticas, en las que las
propiedades de reflexión de una rejilla, que dependen del índice de
refracción, son modificadas por el índice de un líquido en contacto
con la guía de ondas. Uno de los primeros dispositivos de este tipo
usaba guías de ondas ópticas planas con rejillas de relieves
superficiales, en las que la adsorción y la desorción de gas sobre
la superficie de la guía de ondas cambiaba el índice de refracción y
permitía la detección del gas [3]; se han propuesto otras
configuraciones de rejillas planas para sensores ópticos integrados
biológicos y químicos [4]. Otros dispositivos basados en rejillas
han usado rejillas de Bragg de fibra [5]. Las propuestas han
incluido la reducción del espesor de la fibra con ataque químico en
húmedo para incrementar la sensibilidad [6], y el uso de rejillas de
periodo largo en fibra D, de las que se ha observado que son más
sensibles que rejillas en fibra de telecomunicaciones convencional
[7], No obstante, el uso de rejillas de fibra requiere un procesado
tedioso de la fibra para dejar al descubierto el núcleo de guiado de
las ondas al líquido, por ejemplo mediante ataque químico, que
resulta difícil de controlar en la geometría de una fibras, o
montando la fibra en un bloque y rebajándola por pulido hasta
acceder al núcleo. Son preferibles implementaciones de guías de
ondas planas ya que típicamente resulta más sencillo obtener acceso
al modo óptico de propagación.
Schroeder et al, en "A fibre Bragg
grating refractometer" (Measurement Science and Technology, vol.,
12, págs. 757 a 764, 2001), describen un sensor de rejilla de Bragg
contenido en una fibra para la medición de índices de refracción en
líquidos, que hace uso del pulido lateral de la fibra. En una zona
pulida en la que el revestimiento de la fibra se ha eliminado
parcialmente, la rejilla queda expuesta a un analito líquido a
través de la interacción de campo evanescente del modo de fibra
guiado. La longitud de onda de Bragg de la rejilla se obtiene en
términos de su dependencia con respecto al índice de refracción del
analito. Se puede usar una segunda rejilla situada en una parte no
pulida de la fibra para compensar efectos de la temperatura. La
sensibilidad se puede modificar aplicando un recubrimiento de índice
elevado a la rejilla. Si se requiere medir una amplia gama de
índices de refracción de analitos, se sugiere el multiplexado de un
conjunto de sensores de diferente sensibilidad.
Veldhuis et al, en "An integrated
optical Bragg-reflector used as an
chemo-optical sensor" (Puré and Applied Optics,
vol. 7, págs. L23 a L26, 1998), describen el uso de un reflector de
Bragg óptico integrado como sensor químico-óptico, que convierte un
cambio en la concentración de analito en un cambio del índice de
refracción, detectable mediante la detección de un cambio en la
longitud de onda reflejada por el reflector de Bragg.
El documento EP 1154269 describe un aparato de
diagnóstico por ultrasonidos que tiene múltiples rejillas de Bragg
con diferentes longitudes de onda de Bragg características. Se mide
la respuesta de las rejillas de Bragg a ondas acústicas.
La invención está definida por el objeto de la
reivindicación 1.
Un sensor que incorpora varias rejillas en un
único sustrato resulta ventajoso por cuanto se pueden poner en
práctica muchas configuraciones de sensor, ofreciendo pruebas
simultáneas de múltiples muestras o pruebas bajo diferentes
parámetros, con las diferentes longitudes de onda de Bragg
proporcionando un elemento espectral para mediciones realizadas con
el sensor, que pueden producir información detallada sobre fluidos y
permitir la discriminación de diferentes fluidos. Además, el uso de
longitudes de onda diferentes permite un acceso exclusivo a las
diferentes rejillas simplemente usando luz de una longitud de onda
adecuada, de manera que el acoplamiento de luz hacia y fuera de las
rejillas y el posterior análisis de la luz detectada pueden resultar
muy directos. La salida de luz del sensor se puede usar para medir
el índice de refracción y la dispersión, para determinar parámetros
relacionados con el índice de refracción, para investigar capas
dentro de una muestra de fluido o la distribución espacial del
fluido a lo largo de la ventana de la muestra, y/o para identificar
tipos de fluido, entre otras aplicaciones. El posicionamiento de las
rejillas en un sustrato significa que las mismas disponen de
entornos más similares de manera que la salida del sensor queda
menos sujeta a errores provocados por perturbaciones, ya que todas
las rejillas experimentan perturbaciones de forma equitativa de modo
que sus salidas relativas no se ven afectadas. La fabricación y la
estructura del sensor pueden ser sencillas; se pueden usar técnicas
directas de grabación ultravioleta para definir los componentes del
sensor completo en una única etapa de procesado. Las rejillas de
guías de ondas planas constituyen una forma particularmente
conveniente de proporcionar elementos reflectantes con las
respuestas requeridas de filtración de longitudes de onda, ya que
las mismas son compactas y robustas, y se pueden fabricar de forma
precisa con una gama amplia de respuestas, particularmente por medio
de grabación ultravioleta.
En la invención, dicha por lo menos una ventana
de muestras está asociada a cada una de dichas por lo menos dos
rejillas de Bragg, de manera que a la totalidad de dichas por lo
menos dos rejillas de Bragg se les puede proporcionar una muestra de
fluido. Esto permite que, si se desea, cada rejilla se use para
pruebas y medición de fluidos. Dicha por lo menos una ventana de
muestras puede comprender una única ventana de muestras compartida
por la totalidad de dichas por lo menos dos rejillas de Bragg de
manera que una muestra de fluido recibida por la ventana de muestras
influya en el índice modal efectivo de propagación de la luz en la
totalidad de dichas por lo menos dos rejillas de Bragg. De este
modo, cada rejilla se usa para hacer indagaciones sobre una única
muestra de fluido, de manera que se puede determinar de la forma más
sencilla posible información espectral detallada sobre propiedades
de los fluidos. Alternativamente, fuera del alcance de la invención,
dicha por lo menos una ventana de muestras puede comprender una
ventana de muestras independiente asociada a cada una de dichas por
lo menos dos rejillas de Bragg, de manera que a cada una de dichas
por lo menos dos rejillas de Bragg se le puede proporcionar una
muestra de fluido independiente. Esto permite considerar
simultáneamente varias muestras diferentes, y también puede resultar
relevante en casos en los que las dimensiones de la ventana sean
significativas, por ejemplo, si las muestras de fluido disponibles
son muy pequeñas.
Dichas por lo menos dos rejillas de Bragg pueden
comprender uno o más pares de rejillas de Bragg, comprendiendo cada
par de rejillas de Bragg una rejilla de detección que tiene una
ventana de muestras asociada y una rejilla de referencia,
presentando la rejilla de detección y la rejilla de referencia
longitudes de onda de Bragg con una separación suficientemente
reducida de manera que las rejillas tengan sustancialmente el mismo
confinamiento modal. Por ejemplo, la rejilla de detección y la
rejilla de referencia pueden tener longitudes de onda de Bragg
separadas en una magnitud en el intervalo de entre 2 y 10 nm. El uso
de rejillas de referencia permite realizar una compensación de la
variación térmica y otras perturbaciones que pueden inducir errores.
La comparación de las respuestas de las rejillas de referencia y de
detección permite aislar cambios de índices inducidos por una
muestra de fluido aplicada a la rejilla de detección con respecto a
cambios que surjan por perturbaciones no relacionadas. Esto resulta
particularmente preciso ya que las rejillas están en el mismo
sustrato, de manera que los entornos de las rejillas de referencia y
de detección son lo más similares posible excepto por la muestra de
fluido. Para comparar adicionalmente los entornos de las rejillas de
referencia y de detección, la rejilla de referencia puede tener una
ventana de muestras asociada, independiente con respecto a la
ventana de muestras asociada a la rejilla de detección. A la rejilla
de referencia se le puede aplicar un fluido de referencia, para
proporcionar a las dos rejillas una respuesta similar, por ejemplo,
a cambios de temperatura. Además, la rejilla de referencia y la
rejilla de detección se pueden definir dentro de una única guía de
ondas.
En algunas formas de realización, dichas por lo
menos dos rejillas de Bragg pueden comprender una pluralidad de
rejillas de Bragg divididas en grupos de rejillas de Bragg,
presentando las rejillas de Bragg dentro de cada grupo longitudes de
onda de Bragg separadas por una primera separación, y presentando
cada grupo una longitud de onda de Bragg media separada con respecto
a longitudes de onda de Bragg medias de otros grupos por una segunda
separación mayor que la primera separación. La segunda separación
puede ser, por ejemplo, por lo menos diez veces mayor que la primera
separación. La primera separación se puede encontrar en el intervalo
de entre 2 y 10 nm.
Ventajosamente, la guía o guías de ondas ópticas
se pueden configurar para una propagación de la luz de unimodal.
Por lo menos una de dicha por lo menos una
ventana de muestras puede comprender una parte de una capa de
revestimiento superpuesta sobre un núcleo de la guía de ondas óptica
en la que se define la rejilla de Bragg asociada, de tal manera que
una muestra de fluido recibida por la ventana de muestras esté en
contacto con la capa de revestimiento. Además, el sensor puede
comprender dos o más ventanas de muestras en cada una de las cuales
la parte de la capa de revestimiento tenga un espesor diferente. De
forma adicional o alternativa, por lo menos una de dicha por lo
menos una ventana de muestras puede comprender una parte expuesta de
un núcleo de la guía de ondas óptica en la que se define la rejilla
de Bragg asociada, de tal manera que una muestra de fluido recibida
por la ventana de muestras esté en contacto con el núcleo. Estas
opciones se pueden usar para seleccionar la sensibilidad de la
rejilla al fluido, habiendo disponible una mayor flexibilidad en la
primera opción mediante la selección del espesor de la capa de
revestimiento para determinar la proximidad del fluido al núcleo. En
la última opción, la parte expuesta del núcleo puede tener un
espesor menor que un espesor del núcleo en partes adyacentes de la
guía de ondas óptica en la que se define la rejilla de Bragg
asociada. Esta disposición se puede usar para proporcionar un guiado
de ondas unimodal a través de la rejilla con el fin de superar la
perturbación modal que puede surgir por el cambio de la estructura
de la guía de ondas en los bordes de la ventana de muestras.
Cada rejilla de Bragg que tiene una ventana de
muestras asociada se puede definir en una guía de ondas óptica que
tenga un núcleo que presente una variación de reducción progresiva
en el índice de refracción a todo lo largo del mismo, con el fin de
reducir cambios bruscos del índice modal efectivo en los bordes de
la ventana de muestras. Una guía de ondas estructurada de esta
manera ayuda además a superar perturbaciones modales en los límites
de la ventana, reduciendo reflexiones que se pueden producir en un
límite estructural brusco. De modo similar, dicha por lo menos una
ventana de muestras puede tener uno o más bordes que estén en ángulo
con respecto a una dirección de propagación de la luz en la guía de
ondas óptica en la que se defina la rejilla de Bragg asociada, con
el fin de reducir reflexiones de luz que se propague en la rejilla
de Bragg.
La guía o guías de ondas ópticas pueden
comprender una o más capas que modifiquen propiedades del guiado de
ondas de la guía o guías de ondas ópticas. Se pueden usar capas
adicionales para aproximar o alejar el campo óptico de la luz que se
propaga en la guía de ondas con respecto a la ventana de la muestra,
permitiendo una personalización de la sensibilidad del sensor al
fluido recibido en la ventana.
Estos sensores se pueden usar para realizar
mediciones directas del índice de refracción, o para medir o
detectar características del fluido que varíen con el índice de
refracción. Este planteamiento se puede ampliar mediante
modificaciones sencillas en el sensor. Por ejemplo, fuera del
alcance de la presente invención, por lo menos una de dicha por lo
menos una ventana de muestras puede estar provista de un
recubrimiento superficial de un material químicamente selectivo que
pueda actuar para unirse con moléculas que puedan estar presentes en
una muestra de fluido que vaya a ser recibida por la ventana de
muestras, provocando la unión una modificación del índice modal
efectivo de luz que se propaga en la rejilla de Bragg asociada. De
esta manera, se pueden detectar sustancias química y bioquímicamente
reactivas, por ejemplo, en pruebas para la presencia de anticuerpos
particulares en muestras biológicas. Además, por lo menos una de
dicha por lo menos una ventana de muestras puede estar provista de
una capa superficial de un metal que tenga un plasmón de superficie
que pueda ser modificado por una muestra de fluido que vaya a ser
recibida por la ventana de muestras, provocando la modificación en
el plasmón de superficie una modificación del índice modal efectivo
de la luz que se propaga en la rejilla de Bragg asociada.
El sensor puede comprender además un dispositivo
de calentamiento o enfriamiento que puede funcionar para modificar
la temperatura del sustrato de tal manera que cada una de dichas por
lo menos dos rejillas de Bragg tenga sustancialmente la misma
temperatura. Se pueden realizar mediciones a diferentes temperaturas
del fluido calentando las rejillas y la(s) muestra(s)
de fluido. El hecho de que todas las rejillas, incluyendo
cualesquiera rejillas de referencia, estén todas ellas en el mismo
sustrato significa que se calientan de forma similar, lo cual
elimina errores que podrían surgir por la dependencia, con respecto
a la temperatura, de las respuestas de la filtración de longitudes
de onda en el caso de un calentamiento desigual.
El sensor óptico puede comprender rejillas según
los ejemplos y formas de realización anteriores a las que un usuario
puede conectar fuentes de luz y detectores de potencia óptica según
se requiera. No obstante, otras formas de realización pueden incluir
adicionalmente estos componentes, quizás montados en un único
sustrato con los elementos de detección y análisis. En algunas
formas de realización, el sensor óptico puede comprender además una
o más fuentes de luz que pueden funcionar para entregar luz a dichas
por lo menos dos rejillas de Bragg de tal manera que cada rejilla de
Bragg reciba luz con un ancho de banda espectral que abarque por lo
menos parte de su respuesta de filtración de longitudes de onda.
Además, el sensor puede comprender además un detector óptico de
resolución espectral que pueda funcionar para detectar y resolver
espectralmente la luz a la salida de cada una de las rejillas de
Bragg.
Otras formas de realización de la presente
invención se refieren a un sistema de control de procesos según la
reivindicación 20.
Otras formas de realización de la presente
invención se refieren a una red de sensores ópticos según la
reivindicación 21.
Para una mejor comprensión de la invención y
para mostrar cómo se puede llevar a cabo la misma, a continuación se
hace referencia, a título de ejemplo, a los dibujos adjuntos en los
que:
la Figura 1 muestra una representación
esquemática de un sensor óptico que comprende dos rejillas de
Bragg;
la Figura 2 muestra una respuesta de ejemplo de
la filtración de longitudes de onda de rejillas incluidas en el
sensor óptico de la Figura 1, mostrando claramente el funcionamiento
del sensor;
la Figura 3 muestra una representación
esquemática de un sensor óptico según una forma de realización, que
comprende una pluralidad de rejillas de Bragg;
la Figura 4 muestra la representación
esquemática de un sensor óptico que comprende una pluralidad de
rejillas de Bragg en una única guía de ondas;
las Figuras 5A, 5B y 5D muestran
representaciones esquemáticas de sensores ópticos que comprenden una
o más rejillas de referencia;
\newpage
la Figura 5C muestra una representación
esquemática de un sensor óptico según una forma de realización que
comprende una o más rejillas de referencia;
la Figura 6 muestra una representación
esquemática de un sensor óptico según otra forma de realización que
incluye un elemento de calentamiento o enfriamiento;
la Figura 7 muestra una representación
esquemática de un ejemplo de una ventana de detección superpuesta
sobre una rejilla de Bragg;
la Figura 8 muestra una representación
esquemática en sección transversal de parte de un sensor óptico
según una forma de realización con una primera configuración de una
ventana de muestras;
la Figura 9 muestra una representación
esquemática en sección transversal de parte de un sensor óptico
según una forma de realización con una segunda configuración de una
ventana de muestras;
la Figura 10 muestra una representación
esquemática en sección transversal de parte de un sensor óptico
según una forma de realización que utiliza una estructura de guía de
ondas por capas;
la Figura 11 muestra una representación
esquemática en sección transversal de parte de un sensor óptico
según una forma de realización con una tercera configuración de una
ventana de muestras;
la Figura 12 muestra una representación
esquemática en sección transversal de parte de un sensor óptico
según una forma de realización que incorpora ventanas de muestras de
sensibilidad variable; y
la Figura 13 muestra una representación
esquemática de un sistema de control de procesos que incorpora
sensores ópticos según formas de realización de la invención.
Una rejilla de reflexión óptica tal como una
rejilla de Bragg comprende una modificación periódica del índice de
refracción dentro de una estructura de guía de ondas óptica, en la
que la estructura de guiado de ondas comprende un núcleo rodeado por
material de revestimiento de un índice de refracción menor que el
núcleo. Esta estructura guía ondas ópticas por reflexión interna
total en el límite entre los dos índices de refracción. La rejilla
refleja luz que se propaga a lo largo de la guía de ondas de
longitudes de onda que caen dentro de un ancho de banda definido por
la magnitud y dimensiones de la modificación periódica del índice de
refracción, y transmite luz de otras longitudes de onda.
Si una región del núcleo de la guía de ondas
queda al descubierto o casi al descubierto eliminando la totalidad o
parte de una parte del revestimiento, y se aplica un fluido a la
región de manera que el campo óptico de la luz que se propaga en la
guía de ondas se extiende hacia el fluido, el índice de refracción
del fluido modifica el índice modal efectivo experimentado por la
luz que se propaga. Esto a su vez modifica las propiedades de
reflectividad de la rejilla, que pueden ser medidas. A partir de
esta medición, se puede determinar el índice de refracción del
fluido, lo cual permite o bien la realización de mediciones directas
del índice de refracción, o bien la determinación de otras
propiedades del fluido si se conoce la relación entre estas
propiedades y el índice de refracción.
Una rejilla de Bragg tiene un pico de
reflectividad en una longitud de onda de Bragg \lambda_{Bragg}.
Esto se define mediante la relación de Bragg
n_{ef} =
\lambda_{Bragg}/2\Lambda
en la que n_{ef} es el índice
modal efectivo y \Lambda es el periodo de la rejilla. De este
modo, si se conoce el periodo de la rejilla y se mide la longitud de
onda reflejada de pico, se puede calcular el índice modal efectivo
usando la relación de Bragg. A partir de esto, se puede averiguar el
índice de refracción del fluido mediante cálculo o mediante
referencia a las propiedades medidas de líquidos estándar
calibrados.
Para lograr esto, es necesario realizar
mediciones precisas de la longitud de onda de luz reflejada desde o
transmitida por la rejilla, para ver cuánto se ha desplazado la
longitud de onda de Bragg por la presencia del fluido. De este modo,
se usa un dispositivo de fotodetección con una resolución espectral
adecuada, tal como un analizador de espectros ópticos (OSA), un
espectrómetro, o usando luz de una fuente de luz sintonizable con la
que se realiza un barrido en longitud de onda a través del ancho de
banda de reflectividad de la rejilla y registrando la intensidad
reflejada en cada longitud de onda. La medición resultante permite
averiguar las propiedades del fluido en la longitud de onda de la
medición.
La presente invención amplía este concepto
proporcionando un sensor para determinar propiedades de fluidos que
incorpora varias rejillas en un único sustrato, presentando cada
rejilla una respuesta de reflectividad con una longitud de onda de
Bragg diferente. La aplicación de fluidos a las diversas rejillas
permite determinar el índice de refracción y otras propiedades de
los fluidos a longitudes de onda diferentes con un único
dispositivo, de manera que se pueden medir propiedades de dispersión
(variación con la longitud de onda). Además, se puede acceder de
forma exclusiva a las diversas rejillas debido a sus diferentes
longitudes de onda, de manera que se pueden distinguir fácilmente
resultados de rejillas diferentes, permitiendo medir al mismo tiempo
una pluralidad de muestras de fluido. Además, la colocación de
varias rejillas en el mismo sustrato mejora los resultados ya que
cada una de las rejillas experimenta las mismas o similares
perturbaciones del entorno, tales como tensiones o cambios de
temperatura, que pueden modificar los periodos de las rejillas y las
longitudes de onda de Bragg y, por lo tanto, proporcionar resultados
erróneos. En la presente invención, cada rejilla se ve sometida a la
misma modificación de manera que los desplazamientos relativos son
los mismos.
La Figura 1 muestra una representación
esquemática de una vista en planta de un ejemplo de un primer sensor
óptico, sencillo, que resulta útil para entender la presente
invención. El sensor óptico 10 se forma en un único sustrato 12, en
el que se graban dos rejillas de guías de ondas planas y las guías
de ondas asociadas. La primera rejilla 14A, grabada en una guía de
ondas óptica, tiene sobre ella una ventana 16A de muestras, que es
una región del sustrato en la que parte o la totalidad del
revestimiento que define las propiedades del guiado de ondas se ha
eliminado. De este modo, se puede aplicar una muestra de fluido a la
rejilla 14A colocándola en la ventana 16A de muestras. La rejilla
14A tiene una longitud de onda de Bragg de 1,3 \mum. De forma
similar, la segunda rejilla 14B, grabada en una guía de ondas
paralela, tiene sobre ella una ventana 16B de muestras, y tiene una
longitud de onda de Bragg de 1,5 \mum.
La longitud de onda de Bragg de cada rejilla es
un pico en una función de reflectividad/transmisividad que permite
que las rejillas funcionen como filtros ópticos de banda estrecha,
reflejando únicamente luz con longitudes de onda que cumplen la
relación de Bragg. Estas funciones se pueden considerar como
respuestas de filtración de longitudes de onda. La Figura 2 muestra
la respuesta de una rejilla 14 como una representación de la
longitud de onda \lambda con respecto a la intensidad reflejada
I_{R}; esta es la luz que se reflejará desde la rejilla si la
misma es iluminada por luz con un ancho de banda suficientemente
amplio como para cubrir el ancho de banda del pico de la respuesta.
De este modo, es necesario suministrarle al sensor luz de un ancho
de banda espectral apropiado. Puede resultar adecuado un diodo
emisor de luz. También se puede usar una fuente de banda amplia
general. Dependiendo de la gama de longitudes de onda de rejillas
presentes en un único sustrato, se pueden combinar varias fuentes
para cubrir todas las rejillas. El funcionamiento del sensor depende
del desplazamiento de las longitudes de onda de Bragg de las
rejillas 14, de manera que la luz de entrada también debería tener
un ancho de banda que abarque la magnitud del desplazamiento
esperado; esto dependerá de la gama de fluidos a detectar por el
sensor.
Tal como se ha explicado, cada rejilla 14 tiene
eliminada parte o la totalidad de su revestimiento superpuesto para
permitir que el índice modal efectivo se vea afectado, o modificado,
por la presencia de una muestra de fluido recibida por la ventana 16
de muestras. Dependiendo de la dirección del cambio del índice modal
efectivo, la longitud de onda de Bragg de la rejilla se desplaza,
según se indica mediante la flecha de la Figura 2. La magnitud del
desplazamiento depende de la magnitud del cambio del índice, lo cual
depende del índice de refracción de la muestra de fluido. Un fluido
con un índice elevado hará que aumente el índice modal y también la
longitud de onda de Bragg de manera que el pico de la respuesta se
mueve hacia la derecha en la Figura 2; un fluido con un índice
pequeño tiene el efecto opuesto y hace que el pico se mueva hacia la
izquierda.
Para hacer funcionar el sensor 10, la luz se
dirige a lo largo de las guías de ondas hacia las rejillas 14 desde
una fuente óptica 18, que se puede hacer funcionar para generar luz
a 1,3 \mum y 1,5 \mum. Para lograr esto se pueden combinar dos
fuentes de banda ancha, con el fin de adaptarse tanto al ancho de
banda de las rejillas 14 como también a los desplazamientos
anticipados máximos de las longitudes de onda de Bragg. La salida de
la fuente óptica 18 pasa a lo largo de una primera fibra óptica 20,
y hacia un circulador óptico 22 que traslada la luz hacia una
segunda fibra óptica 24 que está acoplada a una guía 26 de ondas de
entrada grabada en el sustrato 12. La guía de ondas de entrada está
acoplada a un divisor integrado 28 de longitudes de onda grabado de
modo similar en el sustrato, el cual divide la luz en sus dos
componentes de longitud de onda y traslada cada componente hacia la
guía de ondas en la que está grabada la rejilla 14 pertinente. No
obstante, para dividir la luz entre las dos guías de ondas se puede
usar cualquier dispositivo de acoplamiento y división de la luz. Las
diferentes longitudes de onda de Bragg consiguen que las rejillas 14
sean autoselectivas con respecto a la longitud de onda, de manera
que las mismas reflejarán en sus propias longitudes de onda y
rechazarán (transmitirán) luz en otras longitudes de onda. Por lo
tanto, la luz en longitudes de onda que no sean la longitud de onda
de Bragg pertinente se puede alimentar a una rejilla en particular
sin perjuicio de manera que no es necesario separar espectralmente
la luz antes de distribuirla entre las rejillas.
La luz reflejada por las rejillas 14 se traslada
de vuelta a lo largo de las guías de ondas hacia el divisor 28, en
el que se combina y se acopla de nuevo a la guía 26 de ondas de
entrada, la segunda fibra óptica 24, y el circulador 22, que
traslada la luz reflejada hacia una tercera fibra óptica 30. Esta
alimenta la luz hacia un analizador de espectros ópticos (OSA) 32
para la detección y la resolución/análisis espectrales. El OSA
resuelve espectralmente la luz que recibe para proporcionar una
lectura de la intensidad de la luz con respecto a la longitud de
onda. En este caso, la lectura muestra dos picos, una de cada
rejilla 14. El desplazamiento de la longitud de onda de Bragg
provocado por la presencia de muestras de fluido en las ventanas 16
de muestras se puede medir a partir de la lectura, a partir de lo
cual se pueden determinar el índice de refracción y propiedades
relacionadas de las muestras de fluido.
La presencia de dos rejillas con longitudes de
onda de Bragg diferentes combinadas con ventanas de muestras
independientes para cada rejilla ofrece varios usos del sensor. Se
pueden aplicar fluidos diferentes a cada rejilla al mismo tiempo, y
se puede realizar una única medición con luz que abarque ambas
respuestas de filtración. Las diferentes longitudes de onda
reflejadas presentes en el resultado medido se pueden usar para
diferenciar entre las rejillas y, por lo tanto, las muestras de
fluido, de manera que se pueden realizar simultáneamente la medición
y detección de dos muestras diferentes. Naturalmente, si se desea,
las rejillas también se pueden usar de forma independiente. Además,
si a ambas rejillas se les aplican muestras del mismo fluido, se
pueden obtener mediciones en dos longitudes de onda diferentes. Esto
resulta útil ya que el índice de refracción típicamente varía con la
longitud de onda (dispersión, dn/d\lambda), de manera que, en la
presente invención, se usan mediciones a más de una longitud de onda
para determinar esta variación, o para tenerla en cuenta si la misma
es conocida previamente y se está interesado en propiedades del
fluido relacionadas con el índice de refracción. Además, se pueden
diferenciar o identificar diferentes fluidos sobre la base de
mediciones de la variación del índice, ya que los fluidos pueden
tener el mismo índice en una única longitud de onda aunque presentar
dispersiones diferentes. Los datos de índices obtenidos a partir del
sensor se pueden ajustar a representaciones del índice de refracción
del tipo series de potencias (ecuaciones de Sellmeier).
Este concepto se puede ampliar para cubrir
muchas rejillas, de manera que se pueda obtener información
espectral detallada, o para permitir las pruebas de muchas muestras
de fluido usando la longitud de onda para su discriminación mutua.
Para lograr esto, es necesario proporcionar luz de una fuente de luz
o combinación de fuentes de luz que abarquen los anchos de banda y
desplazamientos de todas las rejillas, para acoplar la luz a cada
rejilla y captarla después de la filtración para el análisis
espectral. Para lograr esto se puede usar cualquier combinación
adecuada de fibras ópticas, guías de ondas grabadas en el sustrato,
acopladores, divisores y circuladores. Además, se pueden usar
fuentes ópticas individuales, con sus salidas respectivas acopladas
directamente a rejillas individuales. Adicionalmente, se pueden
añadir otros componentes para seleccionar una única polarización de
la luz que entra en el sensor; esto reduce los efectos sobre las
respuestas de birrefringencia medidas de las rejillas en las guías
de ondas y las rejillas del sensor.
Si un sensor está destinado a pruebas para
muchas muestras diferentes, cada rejilla debería estar provista de
una ventana de muestras independiente (fuera del alcance de la
presente invención), tal como en el ejemplo de la Figura 1. No
obstante, si se pretende realizar pruebas sobre un único fluido a
múltiples longitudes de onda tal como en la presente invención, el
sensor se puede simplificar proporcionando una única ventana de
muestras que se extienda cruzando algunas o la totalidad de las
rejillas, de manera que se pueda aplicar una muestra a cada rejilla
debajo de la ventana.
La Figura 3 muestra una representación
esquemática de .un ejemplo de dicho sensor según una forma de
realización de la invención. El sensor 10 en este caso comprende
siete rejillas 14A a 14G, que tienen cada una de ellas una longitud
de onda de Bragg diferente, fabricadas en guías de ondas paralelas
grabadas sobre un único sustrato 12. Una ventana 16 de muestras
abarca la totalidad de las rejillas. Las guías de ondas paralelas
están acopladas a una única guía 26 de ondas de entrada/salida que
está conectada, a través de una fibra óptica 24, a un circulador 22
que entrega luz entrante de una fuente de luz a las rejillas, y, a
continuación, dirige luz reflejada de las rejillas hacia un detector
óptico de resolución espectral para el análisis espectral. En la
Figura, la conexión entre las guías de ondas se muestra como un
acoplador directo en estrella I:n convergente/divergente (en el que
n es 7 en este ejemplo), aunque se puede usar cualquier disposición
de acoplamiento equivalente, tal como una cascada de divisores en y
(acopladores 1:2).
Además, no es necesario posicionar las rejillas
en guías de ondas independientes. En su lugar, dos o más rejillas se
pueden disponer secuencialmente a lo largo de una única guía de
ondas. La reflectividad autoselectiva de las rejillas individuales
significa que la guía de ondas única puede transportar luz con un
ancho de banda que abarque las respuestas de todas las rejillas. La
primera rejilla refleja luz con longitudes de onda dentro de su
respuesta, y transmite la totalidad del resto de longitudes de onda
sobre las siguientes rejillas, en las que la segunda rejilla refleja
sus longitudes de onda, y así sucesivamente.
La Figura 4 muestra una representación
esquemática de un sensor de este diseño que resulta útil para
entender la presente invención. El sensor 10 presenta cuatro
rejillas 14A a 14D, presentando cada una de ellas una longitud de
onda de Bragg diferente, fabricadas una tras otra a todo lo largo de
una única guía 26 de ondas grabada en un sustrato 12. La luz
entrante se acopla directamente a la guía 26 de ondas para su
transmisión hacia las rejillas, y la luz reflejada es captada para
la medición espectral a medida que es emitida desde la guía 26 de
ondas.
Otras formas de realización de la invención
incluyen una o más rejillas usadas como rejillas de referencia. Tal
como anteriormente, cada una de estas rejillas tiene una longitud de
onda de Bragg diferente con respecto a las otras rejillas en el
sensor. La finalidad de una rejilla de referencia es permitir la
compensación de perturbaciones del entorno y otras perturbaciones
que puedan alterar el rendimiento de rejillas que estén siendo
usadas para medir fluidos (que se pueden considerar como rejillas de
detección). Estas incluyen cambios de temperatura, o tensiones que
estén siendo aplicadas al sustrato. Dichas perturbaciones son
susceptibles de modificar temporalmente las estructuras de las
rejillas y producir un desplazamiento en la longitud de onda de
Bragg que no esté relacionado con el provocado por una muestra de
fluido aplicada aunque no se puede diferenciar del mismo en el
espectro medido. Para hacer frente a esto, se puede proporcionar una
rejilla de referencia a la que no se aplique ninguna muestra de
fluido. Ningún desplazamiento en el espectro de luz reflejada desde
la rejilla de referencia puede ser provocado por la muestra de
fluido, y, por lo tanto, el mismo se puede atribuir a una
perturbación no deseada. De este modo, no solamente se puede
detectar una perturbación, sino que se puede medir su efecto. Así,
se pueden realizar ajustes adecuados a la medición de la rejilla de
detección para compensar la perturbación.
La disposición de todas las rejillas en un único
sustrato, según la presente invención, facilita particularmente el
uso de rejillas de referencia, ya que la rejilla de referencia y la
rejilla de detección experimentarán el mismo entorno y, por lo
tanto, estarán sometidas a las mismas perturbaciones. Para
garantizar adicionalmente que la rejilla de referencia se ve
perturbada de la misma manera que la rejilla de detección y, por lo
tanto, mejorar la precisión, el entorno de las dos rejillas se puede
armonizar adicionalmente proporcionando una ventana de muestras para
la rejilla de referencia así como para la rejilla de detección. A
continuación, a la rejilla de referencia se le puede aplicar un
fluido de referencia, tal como un fluido acuoso, con propiedades
conocidas y un efecto conocido sobre la respuesta de la rejilla,
mientras que a la rejilla de detección se le aplica una muestra de
fluido en la que realizar las pruebas. No obstante, en otras formas
de realización, la rejilla de referencia no tiene ventana.
Preferentemente, la rejilla de referencia tiene
una longitud de onda de Bragg separada muy poco con respecto a la
longitud de onda de Bragg de la rejilla de detección. Esto permite
una discriminación espectral entre las dos rejillas, aunque también
proporciona propiedades modales similares a las dos rejillas de
manera que sus respuestas y comportamiento están adaptados de la
mejor manera posible. Por ejemplo, la rejilla de referencia y la
rejilla de detección pueden tener longitudes de onda de Bragg
separadas por 10 nm, por ejemplo, una rejilla de referencia a 1.540
nm y una rejilla de detección a 1.550 nm. No obstante, son útiles
separaciones más reducidas de hasta aproximadamente 2 nm. La rejilla
de referencia se puede proporcionar en una guía de ondas
independiente con respecto a la de la rejilla de detección, tal como
en la Figura 1, o se puede proporcionar en la misma guía de ondas
que la rejilla de detección, tal como en la Figura 4. Para un sensor
con una pluralidad de rejillas, se puede proporcionar una rejilla de
referencia para cada rejilla de detección. Alternativamente, puede
resultar adecuado proporcionar una única rejilla de referencia para
una pluralidad de rejillas de detección o para el sensor completo,
tal vez en el caso de que se requiera detectar una perturbación
aunque no compensar la misma. En sensores que tengan más de una
rejilla de referencia, se puede usar una única ventana sobre la
totalidad de las rejillas de referencia para la aplicación de un
único fluido de referencia a todas las rejillas de referencia.
Las Figuras 5A a 5D muestran representaciones
esquemáticas de varios ejemplos de sensores que incluyen rejillas de
referencia. No obstante, resultará evidente a partir del párrafo
anterior que son posibles muchas otras permutaciones. La Figura 5A
muestra un sensor sencillo 10 de dos rejillas, en el que en la misma
guía 26 de ondas sobre un sustrato 12 se definen una rejilla 34 de
referencia sin ventana y una rejilla 14 de detección con una ventana
16 de muestras. La Figura 5B muestra un sensor 10 con la misma
disposición de dos rejillas, pero en el que la rejilla 34 de
referencia está provista de una ventana 36 para recibir un fluido de
referencia. La Figura 5C muestra un sensor mayor 10 que tiene tres
rejillas 14A a 14C de detección grabadas en tres guías de ondas
independientes, aunque compartiendo una ventana común 16 de
muestras. Cada rejilla 14A a 14C de detección tiene una rejilla
asociada 34A a 34C de referencia grabada en la misma guía de ondas
que la rejilla de detección. Las tres rejillas 34 de referencia
comparten una ventana común 36 para la aplicación de un fluido de
referencia. Finalmente, la Figura 5D muestra un sensor 10 que tiene
tres rejillas 14A a 14D de detección cada una de ellas con su propia
ventana 16A a 16D de muestras, y cada una de ellas grabada en una
guía de ondas independiente. Se proporcionan también tres rejillas
34A a 34C de referencia, aunque las mismas se definen de forma
similar cada una de ellas en guías de ondas independientes, en cada
caso adyacentes a una rejilla de detección a la que las mismas estén
asociadas (por ejemplo, por presentar la separación apropiada de la
longitud de onda de Bragg).
Un sensor según la invención puede comprender un
número cualquiera de rejillas, dependiendo del número de longitudes
de onda que interesen, el número de muestras de fluido a someter a
prueba cada vez, y cualquier requisito para las rejillas de
referencia. Tal como se ha descrito, las rejillas tienen cada una de
ellas una longitud de onda de Bragg diferente; las longitudes de
onda individuales y el intervalo total de longitudes de onda se
pueden seleccionar con respecto a los fluidos y las propiedades de
fluidos a investigar con el sensor. Las longitudes de ondas se
pueden espaciar de forma regular o irregular a través del intervalo,
según se desee. Además, las rejillas se pueden proporcionar en
grupos según la longitud de onda, en los que las rejillas dentro de
un grupo presentan longitudes de onda poco separadas, y los grupos
tienen longitudes de onda separadas más ampliamente. Se puede
considerar que la longitud de onda de un grupo es la longitud de
onda media de todas las rejillas en el grupo. Por ejemplo, un grupo
puede tener una serie de rejillas con longitudes de onda separadas
por separaciones de longitud de onda en el intervalo de entre 2 y 10
nm, mientras que cada grupo está separado de los otros grupos por
una separación de longitud de onda de, por ejemplo, 50 nm, 100 nm, ó
200 nm. De este modo, los grupos pueden tener longitudes de onda
medias de 1.100 nm, 1.200 nm, 1.300 nm, 1.400 nm, 1.500 nm y 1.600
nm, comprendiendo un primer grupo tres rejillas en 1.098 nm, 1.100
nm y 1.102 nm, y comprendiendo un segundo grupo tres rejillas en
1.198 nm, 1.200 nm y 1.202 nm, etcétera. La poca separación dentro
de un grupo proporciona propiedades modales sustancialmente
similares a las guías de ondas, de manera que en muestras de fluidos
se pueden detectar, por ejemplo, las mismas capas o las mismas
especies moleculares, siendo aún diferenciables las rejillas por la
longitud de onda, y la amplia separación entre grupos puede producir
información espectralmente útil. Además, el concepto de grupo se
amplía a sensores que incluyan rejillas de referencia, de manera que
cada grupo comprende una rejilla de detección y una rejilla de
referencia, de modo que estas dos últimas presentan longitudes de
onda con una separación más pequeña que las de las diversas rejillas
de detección en el sustrato.
Además, con respecto a perturbaciones externas,
es posible introducir la temperatura como variable deseable en las
mediciones de los índices. Al sensor óptico se le puede acoplar
térmicamente un dispositivo que haga variar la temperatura tal como
un elemento de calentamiento o un dispositivo de enfriamiento. Se
puede aplicar (o quitar) calor para cambiar la temperatura de
la(s) muestra(s) de fluido. La(s)
rejilla(s) de detección y cualquiera (cualesquiera)
rejilla(s) de referencia experimentan también un cambio de
temperatura, que afecta a los periodos de las rejillas y las
longitudes de onda de Bragg, aunque, como las rejillas están en el
mismo sustrato acopladas al dispositivo que hace variar la
temperatura, cada una de ellas experimenta sustancialmente el mismo
cambio de temperatura y el mismo desplazamiento en la respuesta de
filtración de la longitud de onda. De este modo, la rejilla de
referencia se puede usar para identificar desplazamientos directos
inducidos por la temperatura en la rejilla de detección, de manera
que los cambios del índice de refracción inducidos por la
temperatura en el fluido se pueden diferenciar con respecto a los
primeros, y los mismos se pueden medir. El índice de refracción
varía típicamente con la temperatura, de manera que la(s)
muestra(s) de fluido se puede(n) calentar o enfriar a
una selección de temperaturas conocidas o a través de un ciclo de
temperaturas mientras se realizan mediciones del índice, para
generar la velocidad de cambio del índice con la temperatura, dn/dT.
Adicionalmente, la aplicación del mismo fluido a varias rejillas de
detección con longitudes de onda de Bragg diferentes añade una
dimensión espectral, de manera que se pueden realizar mediciones de
d(dn/dT)/d\lambda y d(dn/d\lambda)/dT. Además, se
pueden distinguir fluidos diferentes, ya que incluso si los mismos
tienen índices de refracción idénticos a una o más temperaturas, es
improbable que tengan la misma dependencia del índice con respecto a
la temperatura. Además, se pueden identificar fases particulares
térmicamente dependientes en reacciones químicas y biológicas.
La Figura 6 muestra una representación de una
vista en planta esquemática de un sensor óptico 10 que se ha
mejorado con un dispositivo 40 de calentamiento o enfriamiento según
la manera anterior. El sensor comprende tres rejillas 14 de
detección que tienen longitudes de onda de Bragg diferentes y
definidas en guías de ondas diferentes, aunque compartiendo una
ventana común 16 de muestras. Para lograr buenos resultados usando
esta técnica, el dispositivo 40 de calentamiento o enfriamiento se
debería acoplar al sensor óptico 10 con el fin de proporcionar el
mismo efecto de calentamiento o enfriamiento a todas las rejillas
(por ejemplo, mediante el uso de un medio 42 de acoplamiento
térmico), y preferentemente al sustrato completo 12, para eliminar
cualquier variación de temperatura entre las rejillas que pudiera
afectar a las mediciones del índice.
Cuando se diseña un sensor según la presente
invención, se debería considerar preferentemente una serie de
factores. Los mismos incluyen la longitud de onda operativa, el
índice de refracción y las dimensiones de las diversas capas de
guiado de las ondas, y las respuestas de las rejillas de filtración
de las longitudes de onda. La sensibilidad del sensor a la
diferencia del índice de refracción de muestras de fluidos depende
de cuánto se ve afectado el índice modal efectivo de una rejilla por
el índice del fluido, que, a su vez, depende de la magnitud en la
que el modo óptico de la luz que se propaga en la rejilla se
extiende fuera de las capas de la guía de ondas de la rejilla y
hacia el fluido. De este modo, el control de la proximidad del
fluido al modo de la guía de ondas modifica la sensibilidad, y
también la pérdida del modo óptico debida a la absorción en el
fluido. La penetración de luz en un área de un índice menor depende
de la diferencia del índice (entre la guía de ondas y el líquido), y
de la longitud de onda de la luz. En general, longitudes de onda
mayores penetrarán más en el fluido, y, por lo tanto, pueden
proporcionar una mayor sensibilidad. No obstante, longitudes de onda
mayores también pueden conducir a una pérdida superior en algunos
casos. Por ejemplo, una luz con una longitud de onda en torno a 1,3
\mum puede ser preferible a 1,5 \mum para ser usada con muestras
de fluido basadas en agua debido a la absorción considerablemente
menor a la longitud de onda más corta.
El diseño también debería tener en cuenta el
índice o intervalo de índices del fluido o fluidos que se pretende
medir con el sensor. Típicamente, se puede esperar que una guía de
ondas tenga un índice mayor que un fluido de manera que el modo
óptico se verá confinado al núcleo y se producirá una penetración
pequeña en el fluido. A medida que el índice de refracción del
fluido se aproxima al del núcleo, la profundidad de penetración del
modo aumentará, y también lo hará la sensibilidad del sensor al
índice del fluido. Para una sensibilidad elevada, puede que incluso
resulte apropiado realizar la guía de ondas de la rejilla con un
material con un índice menor que el del fluido. Esto conducirá a un
modo con pérdidas pero será muy sensible al índice del fluido.
En otra forma de realización, se pueden usar
guías de ondas de índice graduado. La ventana de muestras comprende
una región en la que la guía de ondas que contiene la rejilla
asociada se modifica para llevar el fluido recibido por la ventana a
una mayor proximidad con el campo evanescente de luz que se propaga
en la guía de ondas, eliminando parte o la totalidad del
revestimiento de la guía de ondas y posiblemente parte también del
núcleo de la guía de ondas (esto se describirá posteriormente de
forma más detallada). De este modo, la sección de la ventana de la
guía de ondas tiene un índice modal diferente con respecto a las
partes adyacentes de la guía de ondas, particularmente si el
revestimiento se elimina completamente para dejar al descubierto el
núcleo. El cambio en el índice modal es brusco, lo cual da como
resultado unas franjas fuertes del tipo Fabry-Perot
en la respuesta de la rejilla, que perturban la salida del sensor.
Se puede hacer frente a esto variando el índice de refracción de la
guía de ondas durante la totalidad o parte de la longitud de la
rejilla, para proporcionar una estructura de índice de refracción
graduado o de reducción progresiva. Esto hace que se modifique el
índice modal y, si se posiciona adecuadamente con respecto a la
ventana, puede compensar el cambio brusco en el índice modal
provocado por la ventana, o bien de forma completa o bien haciendo
que el cambio sea más gradual de manera que las franjas sean menos
significativas. Por ejemplo, la reducción progresiva se puede
extender durante una distancia de cientos de mieras hasta unos pocos
milímetros según se requiera, dependiendo del tamaño de la ventana,
la profundidad del revestimiento eliminado y los valores de índice
de refracción del revestimiento y el núcleo.
Un planteamiento alternativo o adicional
consiste en reducir las retrorreflexiones situando la ventana de
muestras en ángulo con respecto a la guía de ondas subyacente. De
este modo, por lo menos el primer borde de la ventana (con respecto
a la dirección de propagación de la luz entrante en la guía de
ondas), y preferentemente el segundo borde (especialmente si se
proporciona más de una rejilla a lo largo de la guía de ondas), se
posicionan alejados de la normal a la dirección de propagación de la
luz. De este modo, cualquier luz reflejada en las interfases en las
que comienza y finaliza la ventana no se ve dirigida de vuelta a lo
largo de la guía de ondas. Resulta típicamente adecuado un ángulo de
unos pocos grados. La Figura 7 muestra una representación
esquemática de una ventana 16 con bordes 44 situados en ángulo de
esta manera con respecto a una guía 26 de ondas que contiene una
rejilla 14.
Además, resulta beneficiosa la optimización de
la estructura del guiado de ondas para permitir un funcionamiento
unimodal de la rejilla. En general, las guías de onda unimodales
(que permiten posiblemente dos polarizaciones ortogonales)
proporcionarán picos de reflexión o descensos de transmisión más
claramente definidos en las respuestas de las longitudes de onda de
una rejilla. Por lo tanto, es preferible que las guías de ondas del
sensor soporten un funcionamiento unimodal, particularmente cuando
las guías de ondas entran en las ventanas de muestras. La muestra de
fluido en la ventana puede tener un índice de refracción
considerablemente menor que el material de revestimiento que se ha
eliminado para formar la ventana, lo cual puede permitir que la guía
de ondas se convierta en multimodal en la región de la ventana.
Se puede usar cualquier configuración de guía de
ondas que ofrezca un funcionamiento unimodal. En la Figura 8 se
ilustra un sistema de diseño para hacer frente a esta cuestión. La
misma muestra una representación esquemática de parte de un sensor,
en sección transversal a través de la longitud de una rejilla con
una ventana de muestras. El sensor se forma a partir de un sustrato
12 que comprende una capa 50 de base que sustenta una capa 52 de
revestimiento inferior por debajo de una capa 54 de núcleo por
debajo de una capa 56 de revestimiento superior. La rejilla 14 se
define en la capa 54 de núcleo. La ventana 16 de muestras se sitúa
sobre la rejilla 14, y se forma mediante eliminación parcial de la
capa 56 de revestimiento superior superpuesta sobre la rejilla 14 de
manera que la capa de revestimiento es más delgada en esta región
que partes adyacentes de la capa de revestimiento. A la ventana 16
de muestras se le ha aplicado una muestra de fluido 58. No obstante,
la parte de revestimiento en la ventana de muestras se ha dejado
relativamente gruesa de manera que el fluido se mantenga
relativamente alejado del núcleo. Esto significa que solamente una
parte pequeña del campo evanescente 60 de la luz que se propaga
penetra en el fluido 58, de manera que el fluido tiene un impacto
reducido sobre el perfil modal y se mantiene el funcionamiento
unimodal.
En la Figura 9, se muestra un sistema de diseño
alternativo. Dicha figura muestra nuevamente una representación
esquemática de un sensor en sección transversal a través de la
dimensión longitudinal de una rejilla con una ventana, formándose el
sensor en un sustrato 12 que tiene la misma estructura que la
mostrada en la Figura 8. No obstante, en este caso, la ventana 16 de
muestras se forma mediante la eliminación total de la capa 56 de
revestimiento superior en la región de la ventana y también mediante
eliminación parcial del núcleo 54, de manera que el núcleo 54 tiene
un espesor reducido en la región de la ventana en comparación con
partes adyacentes del núcleo. Este cambio en el espesor del núcleo
mantiene un funcionamiento unimodal, y proporciona un dispositivo
más sensible que el de la Figura 8. No obstante, las pérdidas
superiores por absorción y dispersión son debidas probablemente a la
mayor proparte del campo evanescente 60 que se extiende hacia el
fluido 58.
En otras formas de realización, se puede formar
una ventana de muestras mediante eliminación completa solamente de
la capa de revestimiento superior, dejando intacto el núcleo y con
un espesor uniforme.
La cantidad de penetración del campo óptico en
el fluido también se puede modificar mediante el uso de una o más
capas adicionales en la estructura de la guía de ondas con el fin de
personalizar las propiedades modales de las guías de ondas. Por
ejemplo, se puede usar una capa de índice elevado añadida al
revestimiento para acercar el campo óptico al líquido con el fin de
mejorar la sensibilidad. Para esto el óxido de indio estaño es un
material adecuado [8], aunque no se excluyen otros materiales de
índice elevado. La Figura 10 muestra una representación esquemática
de un sensor de ejemplo diseñado de esta manera, representado
nuevamente en forma de una sección transversal a través de la
dimensión longitudinal de una rejilla con una ventana superpuesta.
El sensor se fabrica sobre un sustrato que tiene una estructura por
capas tal como se ha descrito previamente en referencia a la Figura
8, con una ventana 16 de muestras formada mediante eliminación
parcial de la capa 56 de revestimiento superior, aunque incluyendo
además una capa 62 de revestimiento superior, adicional, que
distorsiona el campo evanescente 60 hacia el fluido 58.
Se pueden usar sensores según la presente
invención tal como se ha descrito anteriormente para medir el índice
de refracción en masa de muestras de fluido, o bien como un
parámetro relevante por sí mismo o bien como un indicador de otra
característica, tal como la concentración. No obstante, en otras
formas de realización no pertenecientes a la invención, se puede
usar un tratamiento superficial para permitir una especificidad con
respecto a una molécula particular de un agente biológico. Para
lograr esto, a una ventana de muestras se le aplica un recubrimiento
superficial de un material químicamente selectivo. El material
químicamente selectivo es tal que contiene receptores que se unen a
especies moleculares específicas que puedan estar presentes en una
muestra de fluido. El proceso de unión provoca un cambio específico
en el índice modal efectivo, que se puede medir según se ha descrito
anteriormente. De este modo, una muestra que contenga las especies
moleculares proporcionará una salida particular desde la rejilla,
mientras que una muestra que carezca de las especies moleculares no
se unirá al material químicamente selectivo y, por lo tanto, no
modificará el índice según la manera requerida, proporcionando de
este modo una salida diferente. Esta técnica se puede usar para
pruebas y detección químicas y bioquímicas de muestras. Por ejemplo,
los receptores pueden ser moléculas que unan ligandos presentes en
la muestra, o los receptores pueden ser anticuerpos que unan
antígenos de la muestra, o viceversa [9]. Según varios ejemplos,
una, algunas o la totalidad de las ventanas de muestras asociadas a
rejillas de detección en un sensor pueden estar provistas de una
capa de material químicamente selectivo. Además, varias ventanas de
muestras pueden tener diferentes materiales químicamente
selectivos.
En otra forma de realización, a una ventana de
muestras se le puede aplicar una película metálica en forma de una
capa o recubrimiento superficial. Esto proporciona una rejilla que
funciona como sensor de plasmón de superficie, en el que la capa
metálica sustenta un plasmón de superficie que es modificado por la
presencia de un fluido en la ventana de muestras. Esta modificación
produce un cambio correspondiente en el índice modal efectivo, que
se puede medir según se ha descrito anteriormente debido al cambio
resultante en la longitud de onda de Bragg de la rejilla de
detección. Se puede usar cualquier metal que sustente plasmones de
superficie, tal como oro, plata, aluminio y platino. El oro resulta
particularmente adecuado para realizar pruebas de muestras de fluido
biológicas ya que es biológicamente compatible. Además, se espera
que el oro incremente la sensibilidad de la rejilla. Según varias
formas de realización de la invención, una, algunas o la totalidad
de las ventanas de muestras asociadas a rejillas de detección en un
sensor pueden estar provistas de una capa metálica, y ventanas de
muestras diferentes pueden tener metales diferentes.
La Figura 11 muestra una representación
esquemática de parte de un sensor de ejemplo que tiene una
estructura para detección químicamente selectiva o detección de
plasmón de superficie, representada nuevamente en forma de una
sección transversal a través de la dimensión longitudinal de una
rejilla de detección. El sensor se fabrica sobre un sustrato que
tiene una estructura por capas tal como se ha descrito previamente
en referencia a la Figura 8. No obstante, en este caso, sobre la
ventana de muestras se aplica un recubrimiento o capa superficial
64, de manera que, encima del recubrimiento, se asienta una muestra
58 de fluido. El recubrimiento 64 es un material químicamente
selectivo capaz de unirse con moléculas en la muestra 58 de fluido
en el caso de un sensor químicamente selectivo, o una película
metálica en el caso de un sensor de plasmón de superficie. En el
primer caso, la onda evanescente 60A queda sustancialmente no
distorsionada en comparación con la no presencia de recubrimiento.
En el último caso, la onda 60B tiene un pico secundario en la
película metálica debido al plasmón de superficie; esto hace que
aumente la sensibilidad debido a una mayor proparte del campo óptico
que está muy próximo al fluido.
Existen muchas configuraciones posibles para un
sensor de múltiples longitudes de onda según la presente invención.
Cualquiera o la totalidad de las formas de realización anteriores se
puede integrar en un único sensor. Se puede proporcionar una gama de
combinaciones de diferentes longitudes de onda de rejilla y ventanas
de muestras, por ejemplo, configuraciones con sensibilidades
diferentes, o ventanas con recubrimientos químicamente selectivos
diferentes (para realizar pruebas de una única muestra biológica,
por ejemplo, para compuestos diferentes), o ventanas con películas
metálicas de plasmón de superficie diferentes, o cualquier
combinación de las mismas. Además, se puede obtener información
analizando los cambios de las respuestas de las rejillas a partir de
moléculas en las muestras, ya que la capacidad de registrar
información en múltiples longitudes de onda se puede usar para
obtener información de especies moleculares presentes en un fluido.
Por ejemplo, la adición de agua a otro líquido puede provocar
cambios mayores de los enlaces OH a 1.400 nm y 1.500 nm que a 1.100
nm y 1.200 nm. De forma similar, se podría detectar la presencia de
enlaces C-H y enlaces dobles C=C a longitudes de
onda diferentes para generar información sobre líquidos multifásicos
y multicomponente. Estos cambios son típicamente el resultado tanto
de la absorción adicional como del índice de refracción modificado
en regiones espectrales en las que se producen resonancias
moleculares fuertes. Dicha información encuentra aplicación en la
detección de contaminación en sistemas industriales.
La sensibilidad se puede variar de una rejilla a
otra cambiando el espesor de la capa de revestimiento en las
ventanas de muestras para proporcionar profundidades de penetración
diferentes del campo óptico en la muestra del fluido. Al mismo
tiempo que se obtienen sensibilidades diferentes, las profundidades
de penetración diferentes permiten indagar sobre profundidades
diferentes en una muestra de fluido para investigar capas dentro de
una muestra. Por ejemplo, puede suceder que el fluido se adhiera a
la superficie de la ventana (tal vez si se incluye un recubrimiento
químicamente selectivo) y proporcione un índice diferente a la masa
de la muestra de fluido. Las rejillas podrían tener longitudes de
onda ampliamente separadas, o alternativamente, se podría usar una
selección de rejillas diferentes de longitud de onda con muy poca
separación (por ejemplo, una separación de 2 nm), cada una con un
espesor de revestimiento diferente, para obtener información sobre
la acumulación de especies moleculares. Las longitudes de onda con
poca separación presentan sustancialmente el mismo confinamiento
modal y, por lo tanto, profundidad de penetración del campo y pueden
"ver" las mismas especies moleculares, pero se pueden
diferenciar en la detección para permitir analizar por separado cada
rejilla. Se pueden proporcionar otros grupos de rejillas con
longitudes de onda poco separadas en torno a una longitud de onda
más ampliamente separada con respecto al primer grupo para
proporcionar una dimensión espectral a las mediciones.
La Figura 12 muestra una sección transversal
esquemática a través de parte de un sensor que tiene rejillas con
ventanas de diferente espesor de revestimiento. El sensor se forma
sobre un sustrato organizado por capas que tiene la misma estructura
que el descrito en referencia a la Figura 8. En este ejemplo, se
proporcionan tres rejillas 14A a 14C, grabadas secuencialmente a lo
largo del núcleo 54 de una única guía 26 de ondas. Cada rejilla
tiene una longitud de onda de Bragg diferente, seleccionada para
proporcionar respuestas apropiadamente independientes, en particular
de manera que la propagación a través de las primeras rejillas no
afecte materialmente a las respuestas de las rejillas. Cada rejilla
14 tiene una ventana 16 de muestras; la ventana 16A de la izquierda
está formada mediante eliminación total de la capa 56 de
revestimiento superior, y las ventanas 16B y 16C están formadas
mediante eliminación parcial de la capa 56 de revestimiento
superior, usándose una parte más delgada de revestimiento para la
ventana central 16B que para la ventana 16C de la derecha. Esto
significa que la onda evanescente de luz que se propaga en la guía
de ondas y las rejillas penetra en el fluido 58 recibido en la
ventana correspondiente a la rejilla 14A de la derecha más que para
la rejilla central 14B, que a su vez presenta una profundidad de
penetración mayor que para la rejilla 14C de la derecha. La mayor
profundidad de penetración del campo da como resultado una mayor
sensibilidad al índice del fluido, y, si la capa de fluido en el
fondo de las ventanas es diferente a la de la masa del fluido (por
ejemplo, si una capa biológica se adhiere preferentemente a las
superficies de la ventana), se puede obtener información adicional
sobre la estructura del fluido.
En todas las formas de realización, se puede
medir, detectar o monitorizar una amplia gama de fluidos. Medios
adecuados incluyen líquidos, líquidos bifásicos, coloides,
transiciones de fase líquida-sólida, gases
supercríticos, emulsiones y muestras biológicas. Por ejemplo, una
aplicación potencial de las mediciones de múltiples longitudes de
onda que se puede obtener se encuentra en un sensor de formación de
hielo en el que se puede monitorizar la transición de fase de agua a
hielo para revelar la acumulación de hielo en un avión.
De forma adicional, o alternativa, a la medición
de las longitudes de onda de Bragg centrales de las rejillas, se
pueden medir los anchos de banda de las rejillas (posiblemente en
anchos diferentes, tales como 3 dB y 10 dB) y la forma de la línea
de las respuestas de las rejillas para obtener información adicional
sobre muestras de fluidos. Por ejemplo, un fluido fuertemente
absorbente limitará la longitud efectiva de la rejilla provocando un
pico espectral más ancho en la respuesta de la rejilla. La variación
del fluido a lo largo de la dimensión longitudinal de la rejilla
(tal como ocurriría si moléculas grandes se fijaran a la superficie
de la ventana, o si hubiera presente un líquido bifásico) provocará
un índice variable de la guía de ondas a lo largo de la rejilla,
observado como una modificación en la forma de la línea de la
rejilla. Un análisis más complejo puede incluir el ajuste de un
modelo a la salida espectral medida reflejada por una rejilla que
incluye la pérdida y la variación aleatoria del índice a lo largo de
la rejilla, y posiblemente en otras ubicaciones dentro del sensor a
través de las cuales se ha propagado la luz detectada.
Se pueden usar sensores ópticos según la
presente invención en cualquier situación en la que sea necesario
determinar el índice de refracción de uno o más fluidos o muestras
del fluido, o para determinar propiedades características de un
fluido que varíen con el índice de refracción, o para identificar un
fluido o diferenciar entre fluidos. Son posibles, en su totalidad,
aplicaciones en campos que incluyen física, química, biología,
medicina, farmacia y ciencia de la alimentación. Como aplicación de
ejemplo, se puede usar un sensor en el control de un proceso
industrial o de fabricación. Un fluido o fluidos usados en o
realizados por el proceso se pueden someter a prueba repetidamente
usando uno o más sensores, y los resultados se pueden usar para
controlar fases posteriores del proceso, quizás enviando órdenes de
software al aparato del proceso. Por ejemplo, se puede determinar el
punto final de un proceso, o se pueden detectar acontecimientos no
deseados tales como una contaminación. Las mediciones pueden
comprender parte de un bucle de realimentación, por ejemplo, para
proporcionar una monitorización constante de una composición
fluídica en un proceso de fabricación. Se pueden usar sensores de
esta manera para automatizar un proceso, o mejorar la precisión.
En el caso de que se use más de un sensor, los
sensores se pueden combinar en una red para proporcionar un sistema
de control para el proceso. Se pueden desplegar remotamente varios
sensores por todo el aparato del proceso, y los mismos se pueden
conectar a un concentrador de control central. El concentrador
contiene una o más fuentes ópticas para generar luz que contiene
longitudes de onda que abarcan los anchos de banda de cada rejilla
del sensor en el sistema de control, y un detector tal como un OSA
para recibir y analizar espectralmente luz reflejada de las
rejillas. Además, se incluye un dispositivo de encaminamiento óptico
para captar luz de la(s) fuente(s) óptica(s) y
dirigir la misma hacia los sensores, y para recibir luz reflejada de
los sensores y dirigirla hacia el OSA. Se pueden usar fibras ópticas
para conectar los diversos componentes al concentrador de control
central. El OSA, tal vez en combinación con una unidad de procesado
central o un dispositivo de procesado equivalente, analiza la luz
reflejada, determina la propiedad del fluido que se está
monitorizando, y da salida a una o más señales de control hacia el
aparato del proceso basándose en el valor de la propiedad del fluido
que se ha determinado.
El dispositivo de encaminamiento óptico se puede
configurar de cualquier manera apropiada para gestionar las diversas
longitudes de onda de luz y la serie de sensores. Un primer ejemplo
es un conmutador óptico de fibra configurado para direccionar
individualmente cada uno de los sensores (secuencialmente o,
alternativamente, según se requiera) realizando una conexión óptica
entre la fuente óptica y un sensor en particular. En este caso, cada
uno de los sensores puede ser idéntico con respecto a sus longitudes
de onda de Bragg de la rejilla ya que el conmutador proporciona un
direccionamiento exclusivo. Un segundo ejemplo es una serie de
divisores ópticos que dividen la luz proveniente de la fuente de luz
según la longitud de onda y la dirigen hacia los sensores
apropiados, en los que los sensores tienen cada uno de ellos
rejillas con longitudes de onda de Bragg diferentes. Los divisores
funcionan de manera inversa para volver a combinar la luz reflejada.
No obstante, la división y recombinación dará como resultado una
pérdida de potencia óptica. Si la misma no es aceptable, un
planteamiento alternativo para sensores con longitudes de onda de
Bragg diferentes es usar un componente de demultiplexado de
longitudes de onda tal como una rejilla de agrupación de guías de
ondas para adaptar de forma exclusiva longitudes de onda a
sensores.
La Figura 13 muestra una representación
esquemática simplificada de un sistema de control de procesos según
una forma de realización de la presente invención. El sistema 70 de
control comprende cuatro sensores 72A a 72D según cualquiera de las
formas de realización previamente descritas de la invención,
desplegados, según resulte apropiado, por todo el aparato que puede
funcionar para llevar a cabo el proceso. Cada sensor está conectado
a un único concentrador 74 de control central mediante una fibra
óptica 76A a 76D. El concentrador comprende una fuente óptica 78, un
detector óptico 80 de resolución espectral, y un dispositivo 82 de
encaminamiento óptico. El concentrador 74 de control central está
representado mediante una línea de trazos, y puede comprender o no
una caja o receptáculo para agrupar los diversos componentes. El
dispositivo 82 de encaminamiento óptico recibe luz de la fuente
óptica 78, la dirige hacia los sensores 72 a través de las fibras
ópticas 76 (o bien mediante conmutación para conectarse a un sensor
particular o bien dividiendo la luz según la longitud de onda, de
acuerdo con los ejemplos del párrafo anterior), recibe luz devuelta
de los sensores 72 a través de las fibras ópticas 76, y la dirige
hacia el detector 80. El detector analiza la luz devuelta para
determinar una propiedad de muestras de fluido sometidas a prueba
por uno o más de los sensores y genera una señal de control
correspondiente, que se suministra al aparato a través de una línea
84 de control.
Aunque se puede poner en práctica un sistema de
control de procesos usando un único sensor, se puede aplicar
ampliamente el concepto de conexión de varios sensores a través de
un dispositivo de encaminamiento óptico. De este modo, la presente
invención se amplía adicionalmente a redes de sensores ópticos, en
las que una pluralidad de sensores (que pueden ser idénticos o
diferentes) se conecta a un dispositivo de encaminamiento óptico que
recibe luz de una fuente óptica y la distribuye hacia los sensores
relevantes y capta luz reflejada de las rejillas de los sensores y
la entrega para su análisis espectral. Los resultados del análisis
se pueden proporcionar a un procesador, tal como un procesador de
ordenador, que esté programado para determinar propiedades de
fluidos sometidos a prueba por los sensores a partir de los
desplazamientos de longitudes de onda de Bragg que se ponen de
manifiesto por el análisis espectral. Una red de este tipo se puede
usar para integrar un número elevado de rejillas con longitudes de
onda diferentes y tipos de ventana diferentes en el caso de que no
resulte práctico alojar todas las rejillas en un sustrato sensor,
y/o para proporcionar un funcionamiento centralizado de varios
sensores que necesiten ser desplegados en posiciones diversas.
Se pueden utilizar cualesquiera técnicas de
fabricación adecuadas para realizar rejillas y guías de ondas y
conectarlas según la manera requerida, con el fin de fabricar
sensores ópticos según la invención descrita hasta el momento. Por
ejemplo, se puede usar la litografía y el ataque químico. Una
técnica particularmente adecuada es la de la grabación ultravioleta
(UV) directa, usando radiación láser UV para incrementar el índice
de refracción de la sílice con el fin de grabar tanto guías de ondas
de canales como rejillas en un único sustrato [10].
La técnica de fabricación por grabación UV
directa resulta particularmente ventajosa ya que permite la
grabación de rejillas planas y largas de alta calidad. Esto
proporciona rejillas con una anchura de línea muy estrecha, lo cual
conduce a sensores con una alta sensibilidad. El ancho de banda
\Delta\lambda de una rejilla de Bragg de longitud de onda de
Bragg \lambda_{Bragg} viene dado por [11]:
\Delta\lambda =
\lambda^{2}_{Bragg}/2n_{ef}L(\pi^{2} +
(\kappaL)^{2})^{1/2}
en la que \kappa es el
coeficiente de acoplamiento definido
por
\kappa =
\pin\deltan\eta/\lambda_{Bragg}n_{ef}
y n es el índice de refracción del
revestimiento de la guía de ondas, n_{ef} es el índice modal
efectivo, \deltan es la magnitud de la modulación del índice en
las rejillas, \eta es la integral de solapamiento entre modos de
propagación de avance y retroceso, y L es la longitud de la rejilla.
De este modo, el ancho de banda depende de la longitud de la rejilla
para rejillas débiles y de la modulación del índice para rejillas
más fuertes. La resolución del sensor óptico al cambio del índice de
refracción del fluido está relacionada con el mínimo desplazamiento
de longitud de onda resoluble, y, por lo tanto, es deseable usar
rejillas largas con anchos de banda espectrales estrechos (respuesta
de la filtración de longitudes de
onda).
Por ejemplo, se pueden fabricar sensores usando
la técnica de grabación UV directa para grabar guías de ondas de
canales y rejillas en una oblea de tres capas de sílice sobre
silicio. La misma tiene una base de oblea de silicio subyacente que
proporciona un soporte robusto para la posterior deposición de óxido
de silicio dopado (sílice dopada) con el fin de formar las diversas
capas de guiado de las ondas. El silicio es compatible con el
procesado para el crecimiento y el recocido de capas de óxido.
Adicionalmente, es posible incorporar otros elementos en la oblea de
silicio, tales como estructuras MEMS para el control de flujos, la
dosificación y el calentamiento de muestras de fluido, y para
mediciones integradas adicionales tales como mediciones térmicas
in situ. Además, una oblea de silicio tiene un coeficiente de
dilatación térmica menor que la sílice, de manera que, después del
recocido, las capas de sílice se encuentran bajo un esfuerzo de
compresión a temperatura ambiente, lo cual ayuda a conseguir que las
capas sean robustas. No obstante, es posible desarrollar las capas
de sílice sobre materiales que no sean silicio, incluyendo, entre
otros, sílice.
Las capas se pueden desarrollar mediante varias
técnicas. El punto de partida es la base de silicio que se oxida
térmicamente de forma convencional en un entorno con vapor para
desarrollar una capa de óxido de estaño sobre su superficie. Esta
primera capa ayuda al crecimiento y consolidación de las últimas
capas de óxido, más gruesas. Estas capas se pueden depositar usando
técnicas tales como deposición por hidrólisis con llama (FHD),
deposición química en fase de vapor a baja presión (LPCVD),
deposición química en fase de vapor asistida por plasma (PECVD),
enlaces directos o intercambio iónico. Para la grabación UV directa,
se requiere una capa fotosensible. Esta se puede lograr con una
estructura de tres capas en la que las capas superior e inferior son
capas de revestimiento y la capa central es una capa del núcleo que
se dopa con un material para fomentar la sensibilidad tal como óxido
de germanio. Cualquiera de las capas también puede incluir dopantes
adicionales para controlar el índice de refracción, la temperatura
de fabricación, etcétera. Comúnmente, en la sílice se dopan fósforo,
boro, estaño y titanio. Además, se puede usar el dopaje de las capas
con deuterio a presión elevada durante varios días para incrementar
la respuesta fotosensible. El hidrógeno es un fotosensibilizador
alternativo. Alternativamente, se puede utilizar un procesado
térmico rápido para incrementar la fotosensibilidad.
A continuación, en el sustrato por capas se
graban unas guías de onda de canales. Para la grabación UV directa,
un sustrato se traslada bajo un punto enfocado de radiación láser
UV, presentando el punto unas dimensiones aproximadamente
relacionadas con las dimensiones deseadas del canal.
Preferentemente, los canales se diseñan para ser unimodales con el
fin de proporcionar una respuesta de rejilla de Bragg fuerte. Las
rejillas se definen usando un punto con un patrón de interferencia
intrínseco. La intensidad del láser se modula en posiciones
controladas de forma precisa, permitiendo que una rejilla se grabe
simultáneamente con la guía de ondas que la contiene. El control por
ordenador del aparato de grabación permite un control preciso del
periodo de la longitud de la rejilla (y, por lo tanto, la longitud
de onda de Bragg y el ancho de banda) y de la forma de la guía de
ondas óptica. De este modo, con un único proceso de fabricación se
pueden grabar sensores ópticos de un solo sustrato que comprendan
dos o más rejillas conectadas mediante guías de ondas de canales
tales como las descritas anteriormente.
Después de la formación de las guías de ondas y
las rejillas, el sustrato se procesa para formar la ventana o
ventanas de muestras. Se puede usar un ataque químico con ácido
fluorhídrico para eliminar el material de revestimiento. La región
de la ventana se define enmascarando con resina fotorresístente las
partes que no son ventana del sustrato, antes del ataque químico. La
resina fotorresistente se puede definir usando procesos litográficos
que estén en relación con el posicionamiento de las guías de ondas
para colocar las ventanas en alineación correcta con las posiciones
de las rejillas. Si se requieren varias ventanas con diferentes
profundidades de revestimiento, las regiones de las ventanas se
pueden atacar químicamente hasta diferentes profundidades usando
técnicas tales como la deposición, antes del ataque químico, de
capas diferentemente resistentes a este último, la interrupción del
ataque químico en periodos de tiempo apropiados y el cubrimiento,
con material resistente al ataque químico, de ventanas atacadas
químicamente de forma suficiente, la inmersión del sustrato en un
líquido de ataque químico por etapas, o el arrastre de una placa de
máscara a través del sustrato por etapas en el caso de ataque
químico en fase gaseosa.
[1] J Bowen, LJ Noe, BP
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[11] R Kashyap, "Photosensitive optical
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Claims (22)
1. Aparato que comprende:
una fuente de luz (18); y
un sensor óptico (10) que comprende:
un sustrato (12);
por lo menos dos rejillas (14) de Bragg planas
definidas dentro de una o más guías de ondas (26) ópticas en el
sustrato, presentando cada rejilla de Bragg una respuesta de
filtración de longitudes de onda que varía con un índice modal
efectivo experimentado por la luz que se propaga en la rejilla de
Bragg y que tiene una longitud de onda de Bragg característica
diferente a las longitudes de onda de Bragg de las otras rejillas de
Bragg; y
una ventana (16) de muestras común superpuesta
sobre y asociada a las rejillas de Bragg y dispuesta para recibir
una muestra de fluido (58) de tal manera que la presencia de una
muestra de fluido afecta al índice modal efectivo experimentado por
luz que se propaga en las rejillas de Bragg asociadas y, por lo
tanto, modifica la respuesta de filtración de longitudes de onda de
las rejillas de Bragg;
estando dispuestas las rejillas de Bragg para
recibir luz de la fuente de luz (18), filtrar la luz, y dar salida a
la luz filtrada para su detección por parte de un detector óptico de
resolución espectral o un detector de potencia óptica;
comprendiendo además el aparato un detector
óptico (32) de resolución espectral o un detector de potencia óptica
dispuesto para detectar luz reflejada de las rejillas de Bragg, y un
procesador que se puede hacer funcionar para recibir resultados de
un análisis espectral del detector óptico y para determinar la
dispersión de una muestra a partir del mismo.
2. Aparato según la reivindicación 1, en el que
el sensor óptico comprende además unas rejillas (34) de referencia
con el fin de proporcionar por lo menos dos pares de rejillas de
Bragg, comprendiendo cada par de rejillas de Bragg una rejilla (14)
de detección que tiene una ventana (16) de muestras asociada y una
rejilla de referencia, presentando la rejilla de detección y la
rejilla de referencia longitudes de onda de Bragg con una separación
suficientemente reducida de manera que las rejillas presentan
sustancialmente el mismo confinamiento modal.
3. Aparato según la reivindicación 2, en el que,
para cada par de rejillas, la rejilla de detección y la rejilla de
referencia tienen longitudes de onda de Bragg separadas por una
magnitud en el intervalo comprendido entre 2 y 10 nm.
4. Aparato según la reivindicación 2 ó la
reivindicación 3, en el que, para cada par de rejillas, la rejilla
de referencia tiene una ventana (36) de muestras asociada,
independiente de la ventana de muestras asociada a la rejilla de
detección.
5. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones 2 a 4, en el que, para cada par de rejillas, la
rejilla de referencia y la rejilla de detección están definidas en
una única guía (26) de ondas.
6. Aparato según la reivindicación 1, en el que
dichas por lo menos dos rejillas de Bragg comprenden una pluralidad
de rejillas de Bragg divididas en grupos de rejillas de Bragg,
presentando las rejillas de Bragg dentro de cada grupo longitudes de
onda de Bragg separadas por una primera separación, y presentando
cada grupo una longitud de onda de Bragg media separada con respecto
a longitudes de onda de Bragg medias de otros grupos por una segunda
separación mayor que la primera separación.
7. Aparato según la reivindicación 6, en el que
la segunda separación es por lo menos diez veces mayor que la
primera separación.
8. Aparato según la reivindicación 6 ó la
reivindicación 7, en el que la primera separación está en el
intervalo comprendido entre 2 y 10 nm.
9. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, en el que una o más guías de ondas
ópticas están configuradas para una propagación unimodal de la
luz.
10. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 9, en el que la ventana de muestras comprende
una parte de una capa (56) de revestimiento superpuesta sobre un
núcleo (54) de la guía de ondas óptica en la que está definida la
rejilla de Bragg asociada, de tal manera que una muestra de fluido
(58) recibida por la ventana de muestras está en contacto con la
capa de revestimiento.
11. Aparato según la reivindicación 10, en el
que el sensor óptico comprende dos o más ventanas de muestras en
cada una de las cuales la parte de la capa de revestimiento tiene un
espesor diferente.
\global\parskip0.930000\baselineskip
12. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 9, en el que la ventana de muestras comprende
una parte al descubierto de un núcleo (54) de la guía de ondas
óptica en la que está definida la rejilla de Bragg asociada, de tal
manera que una muestra de fluido (58) recibida por la ventana de
muestras está en contacto con el núcleo.
13. Aparato según la reivindicación 12, en el
que la parte al descubierto del núcleo tiene un espesor menor que un
espesor del núcleo en partes adyacentes de la guía de ondas óptica
en la que está definida la rejilla de Bragg asociada.
14. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, en el que las rejillas de Bragg que
tienen una ventana de muestras asociada están definidas en una guía
de ondas óptica que tiene un núcleo que presenta una variación de
reducción progresiva en el índice de refracción a lo largo del
mismo, para reducir cambios bruscos en el índice modal efectivo en
bordes de la ventana de muestras.
15. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, en el que la ventana de muestras tiene
uno o más bordes (44) que están en ángulo con respecto a una
dirección de propagación de la luz en la(s) guía(s) de
ondas óptica(s)
en la(s) que están definidas las rejillas de Bragg asociadas, para reducir reflexiones de luz que se propaga en las rejillas de Bragg.
en la(s) que están definidas las rejillas de Bragg asociadas, para reducir reflexiones de luz que se propaga en las rejillas de Bragg.
16. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, en el que una o más guías de ondas
ópticas comprenden una o más capas (62) que modifican propiedades de
guiado de una o más guías de ondas ópticas.
17. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 16, en el que la ventana de muestras está
provista de una capa superficial de un metal (64) que tiene un
plasmón de superficie que se puede modificar por medio de una
muestra de fluido que será recibida por la ventana de muestras,
provocando la modificación en el plasmón de superficie una
modificación del índice modal efectivo de luz que se propaga en las
rejillas de Bragg asociadas.
18. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones anteriores, y comprendiendo además el sensor óptico
un dispositivo (40) de calentamiento o enfriamiento que se puede
hacer funcionar para modificar la temperatura del sustrato de tal
manera que cada una de dichas por lo menos dos rejillas de Bragg
tiene sustancialmente la misma temperatura.
19. Aparato según cualquiera de las
reivindicaciones anteriores y comprendiendo además el sensor óptico
una o más fuentes (18) de luz que se pueden hacer funcionar para
entregar luz a dichas por lo menos dos rejillas de Bragg, de tal
manera que cada rejilla de Bragg recibe luz que tiene un ancho de
banda espectral que abarca por lo menos parte de su respuesta de
filtración de longitudes de onda.
20. Sistema (70) de control de procesos que se
puede hacer funcionar con el fin de controlar un aparato para
realizar un proceso, que comprende:
un aparato según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 19, en el que el detector óptico (32) de
resolución espectral se puede hacer funcionar para recibir y
realizar un análisis espectral de luz proveniente de dicho por lo
menos un sensor óptico y para
generar una o más señales de control para
controlar el aparato con el fin de realizar un proceso en respuesta
al análisis; y que comprende además
un dispositivo (82) de encaminamiento óptico
conectado a dicho por lo menos un sensor óptico (10), la fuente (18,
78) de luz y el detector óptico (32), y que se puede hacer funcionar
para recibir luz de la fuente de luz, distribuir la luz hacia dicho
por lo menos un sensor óptico, recibir luz obtenida a la salida de
dicho por lo menos un sensor óptico tras la reflexión de las
rejillas de Bragg del sensor óptico, y entregar la luz de salida al
detector óptico.
21. Red de sensores ópticos, que comprende:
un aparato según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 19, y que comprende además
una pluralidad de sensores ópticos (72) de un
aparato según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 19;
un dispositivo (82) de encaminamiento óptico
conectado a cada uno de la pluralidad de sensores ópticos y que se
puede hacer funcionar para recibir luz de la fuente (18, 78) de luz,
distribuir la luz hacia la pluralidad de sensores ópticos, recibir
luz obtenida a la salida de la pluralidad de sensores ópticos, tras
la reflexión de las rejillas de Bragg de los sensores ópticos y dar
salida a la luz recibida para su análisis espectral.
22. Red de sensores ópticos según la
reivindicación 22,
en la que la fuente (78) de luz se puede hacer
funcionar para generar luz que abarca las respuestas de filtración
de longitudes de onda de las rejillas de Bragg de la pluralidad de
sensores ópticos y dispuesta para entregar la luz al dispositivo de
encaminamiento óptico; y que comprende además:
un detector óptico (80) de resolución espectral
dispuesto para recibir luz obtenida a la salida del dispositivo de
encaminamiento óptico, y que se puede hacer funcionar para realizar
un análisis espectral de la luz.
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