ES2232967T3 - Dispositivo de medicion interferometrica para la medicion de la forma en superficies rugosas. - Google Patents

Abstract

LA INVENCION SE REFIERE A UN DISPOSITIVO DE MEDICION INTERFEROMETRICA PARA LA MEDICION DE FORMAS EN SUPERFICIES RUGOSAS DE UN OBJETO QUE SE DESEA MEDIR (7). LA MEDICION SE EFECTUA POR MEDIO DE RADIACION COHERENTE-CORTA, CON LO QUE EL RECORRIDO DE LA LUZ O LA DURACION DE UN HAZ DE REFERENCIA (4) SE MODULAN PERIODICAMENTE Y SE COLOCAN EN INTERFERENCIA CON UN HAZ DE MEDICION (18) REFLEJADO POR LA SUPERFICIE DEL OBJETO MEDIDO (7), ANALIZANDOSE EN LA RADIACION INTERFERIDA EL MAXIMO DEL CONTRASTE DE INTERFERENCIA. AUNQUE DE SIMPLE CONSTRUCCION, EL DISPOSITIVO DE MEDICION CONSIGUE UNA ELEVADA PRECISION EN LA MEDICION, DADO QUE COMPRENDE UN SISTEMA DE INTERFEROMETRO DE MODULACION (IM) EN EL QUE EL RECORRIDO DE LA LUZ SE MODIFICA POR MEDIO DE DEFLECTORES OPTICOS-ACUSTICOS (8, 9) Y UN DISPOSITIVO DE COMPENSACION (C1, C2) PARA CORREGIR LA INCOHERENCIA Y DISPERSION ESPACIALES. EN UN SISTEMA DE INTERFEROMETRO DE DEMODULACION (DI) COLOCADO AGUAS ABAJO, EL HAZ DE MEDICION (18) SE INTERFIERE CON EL HAZ DEREFERENCIA (4) Y SE TRANSMITE A UN FOTODETECTOR (11).

Description

Dispositivo de medición interferométrica para la medición de la forma en superficies rugosas.

Estado de la técnica

La invención se refiere a un dispositivo de medición interferométrica para la medición de la forma en superficies rugosas de un objeto de medición con una unidad de generación de radiación, que emite una radiación de entrada coherente corta, con un dispositivo divisor del rayo, para la formación de un rayo de referencia, que está dirigido sobre un dispositivo con un elemento reflectante para la modificación periódica de la trayectoria de la luz, y de un rayo de medición, que está dirigido sobre el objeto de medición, con un elemento de superposición, en el que se lleva a interferencia el rayo de referencia que procede desde el objeto de medición y el rayo de referencia que procede desde el dispositivo, y con un fotodetector, que recibe la radiación interferida y que es alimentada a una instalación de evaluación.

Un dispositivo de medición interferométrica de este tipo se presenta como conocido en la publicación de T. Dresel, G. Häusler, H. Venzke "Three-dimensional sensing of rough surfaces by coherence radar", Appl. Opt., Vol. 3, Nº 7, del 1.3.1992. En esta publicación, se propone un interferómetro con fuente de luz coherente corta y con un espejo piezo-móvil para la medición de la forma en superficies rugosas. En el dispositivo de medición se superpone un primera rayo parcial en forma de una onda de referencia sobre otro rayo parcial en forma de un rayo de medición, que es irradiado de retorno desde un objeto de medición. Las dos ondas de luz tienen una longitud de coherencia muy corta (algunas \mum), de manera que el contraste de interferencia alcanza un máximo, cuando la diferencia de la trayectoria óptica es cero. Para la modificación de la trayectoria de la luz de la onda de referencia está previsto el elemento reflectante en forma del espejo piezo-móvil. Por medio de la comparación de la posición del espejo piezo-móvil con el tiempo de la aparición del máximo de interferencia, se puede determinar la distancia con respecto al objeto de medición. En este caso, pueden surgir dificultades en la detección exacta del máximo de interferencia y en su asociación a la trayectoria de la luz, puesto que la detección unívoca de la posición del espejo piezo-móvil es costosa.

La invención tiene el cometido de preparar un dispositivo de medición interferométrica del tipo mencionado al principio, con el que se simplifica la estructura y se consigue una exactitud de medición alta.

Este cometido se soluciona con las características de la reivindicación 1. Por lo tanto, de acuerdo con ello, está prevista una disposición de interferómetro de modulación, que está constituida de tal forma que con un primer divisor del rayo del dispositivo divisor del rayo se forma, además del rayo de referencia, un segundo rayo parcial, que el dispositivo para la modificación de la trayectoria de la luz es una disposición que se puede desplazar en paralelo y que está dispuesta al menos en la trayectoria del rayo de referencia y el elemento reflectante es una retro-rejilla, que en la trayectoria del rayo de referencia, delante de la disposición que se puede desplazar en paralelo, está dispuesta una rejilla de compensación, en la que es refractado el rayo de referencia tanto antes como también después de la transición a través de la disposición que se puede desplazar en paralelo, que en la trayectoria del segundo rayo parcial está dispuesta una pareja igual que en la trayectoria del rayo de referencia desde otra rejilla de compensación y desde otra retro-rejilla que está dispuesta a continuación de ésta, presentando las longitudes de la trayectoria óptica de los dos brazos formados de esta manera para el rayo de referencia y para el segundo rayo parcial de la disposición de interferómetro de modulación una diferencia mayor que la longitud de coherencia, y que el rayo de referencia reconducido a través de la rejilla de compensación y el segundo rayo parcial reconducido a través de la otra rejilla de compensación son reunidos para formar un rayo intermedio, y que está prevista una disposición de interferómetro de demodulación, que está constituida de tal forma que el rayo intermedio es dividido en otros dos brazos de la disposición de interferómetro de demodulación por medio de otro divisor del rayo, estando terminado un brazo por un espejo y el otro brazo por la superficie del objeto de medición y presentando los otros dos brazos la misma diferencia de la trayectoria que los brazos de la disposición de interferómetro de modulación, y que los rayos desviados de retorno en el espejo y en la superficie del objeto de medición son llevados a interferencia en el elemento de superposición.

Por medio de la disposición que se puede desplazar en paralelos y del elemento reflectante en forma de la retro-rejilla se consigue una modificación de la trayectoria de la luz sin partes mecánicas móviles, como en la solicitud de patente alemana no publicada anteriormente 197 21 842.3. Por medio de la rejilla de compensación en la trayectoria del rayo de referencia se consigue una compensación de la coherencia espacial de los frentes de las ondas y de las diferentes longitudes de las ondas para la consecución de la dispersión angular condicionada por la longitud de coherencia corta, como se indica en la solicitud de patente alemana n publicada tampoco anteriormente 197 21 884.9 o bien EP-A-0 983 483. La colocación de la rejilla de compensación en la trayectoria del rayo de referencia provoca por sí sola otra dispersión, que se incrementa con la distancia entre la retro-rejilla y la rejilla de compensación. Por medio del segundo brazo configurado en la disposición de interferómetro de modulación con una retro-rejilla y una rejilla de compensación iguales que en el brazo del rayo de referencia y la estructura indicada de la disposición de interferómetro de demodulación se compensa esta dispersión adicional y se realiza adicionalmente una separación entre la estructura relativamente grande de la disposición de interferómetro de modulación y la disposición de interferómetro de demodulación relativamente compacta, que se puede miniaturizar como sonda de medición, de manera que el dispositivo de medición se puede manipular también fácilmente.

Para una estructura sencilla y una activación sencilla del dispositivo de medición son favorables las medidas en el sentido de que la disposición que se puede desplazar en paralelo presenta una instalación de deflexión acusto-óptica que está dispuesta en la trayectoria de los rayos, y de que la instalación de deflexión está activada modulada en la frecuencia y está dispuesta con respecto al rayo de referencia entrante así como con respecto a la rejilla de reflexión de tal forma que el rayo de referencia conducido hacia el elemento de superposición experimenta una modificación de su trayectoria de la luz a través de su desviación en la instalación de deflexión. De esta manera se puede modificar fácilmente la trayectoria de la luz de una manera definida con exactitud y se puede determinar de una manera unívoca el máximo de la interferencia en función de la trayectoria de la luz.

Está previsto que la constante de la rejilla de compensación y de la segunda rejilla de compensación sea dos veces mayor que la constante de la retro-rejilla y de la otra retro-rejilla, respectivamente, de manera que se eliminan especialmente bien la dispersión angular y la falta de coherencia espacial de los frentes de las ondas.

Para la compensación de la falta de coherencia espacial es ventajosa, además, la medida en el sentido de que la rejilla de compensación y la retro-rejilla así como la otra rejilla de compensación y la otra retro-rejilla estén dispuestas en cada caso paralelas entre sí.

La estructura se simplifica, además, porque las rejillas de compensación están configuradas con efecto reflectante, porque en la trayectoria del rayo de referencia y del segundo rayo parcial entre el primer divisor del rayo y las rejillas de compensación está dispuesto en cada caso un espejo, con el que se dirige el rayo de referencia o bien el segundo rayo parcial en el camino de ida sobre la rejilla de compensación correspondiente y en su camino de vuelta sobre el divisor del rayo, que genera el rayo intermedio y porque el otro divisor del rayo forma al mismo tiempo el elemento de superposición.

Para conseguir una manipulación sencilla está previsto de una manera favorable que la disposición de interferómetro de demodulación esté acoplada por medio de un conductor de luz con la disposición de interferómetro de modulación.

Se posibilita una evaluación de la superficie porque el rayo intermedio se ensancha porque el rayo intermedio es ensanchado en la entrada de la disposición de interferómetro de demodulación a través de una disposición de telescopio para formar un rayo de luz ancho y el fotodetector está configurado como cámara CCD.

Para una detección del valor de medición y para la elevación de la exactitud de medición está previsto que esté presente una estructura para una evaluación heterodino-interferométrica conocida en sí, estando prevista una instalación para el desplazamiento de la frecuencia entre los rayos de interferencia.

Una estructura ventajosa sobre una disposición de medición sencilla consiste en que la disposición que se puede desplazar en paralelo solamente está dispuesta en el brazo de la dispositivo de interferómetro de modulación que conduce el rayo de referencia.

Para configurar de una manera compacta la disposición de interferómetro de modulación, otra estructura ventajosa consiste en que la disposición que se puede desplazar en paralelo está dispuesta en ambos brazos de la disposición de interferómetro de modulación de tal forma que es atravesada tanto en el camino de ida como también en el camino de vuelta por el rayo de referencia y por el segundo rayo parcial. Esta estructura se simplifica adicionalmente porque la retro-rejilla para el rayo de referencia y la otra retro-rejilla para el segundo rayo parcial están inclinadas de tal forma que el desplazamiento simultáneo del rayo de referencia y del segundo rayo parcial provoca una modulación dirigida en sentido opuesto de su tiempo de transición, y que las dos retro-rejillas están dispuestas de tal forma que se obtiene una diferencia de la trayectoria óptica para el rayo de referencia y para el segundo rayo parcial.

En este caso, una disposición favorable para una evaluación heterodino-interferométrica consiste en que entre las dos rejillas de compensación y la disposición que se puede desplazar en paralelo está dispuesto en cada caso un modulador acusto-óptico y en que los moduladores acusto-ópticos son activados para la generación de un desplazamiento de la frecuencia del rayo de referencia y del segundo rayo parcial con una frecuencia insignificantemente diferente por medio de excitadores de modulador asociados. En este caso, los dos moduladores acusto-ópticos se compensan mutuamente. De una manera alternativa a ello, se puede emplear también sólo un modulador acusto-óptico de tal forma que solamente está previsto un modulador acusto-óptico en uno de los dos brazos de la disposición de interferómetro de modulación sobre el lado de la disposición que se puede desplazar en paralelo que está alejado de las retro-rejillas.

Con respecto al modo de actuación de los procedimientos heterodino-interferométricos en sí se remite a la literatura a este respecto.

A continuación se explica en detalle la invención con la ayuda de ejemplos de realización con referencia a los dibujos. En este caso:

La figura 1 muestra un primer ejemplo de realización del dispositivo de medición interferométrica con una disposición de interferómetro de modulación y

La figura 2 muestra otro ejemplo de realización para una disposición de interferómetro de modulación del dispositivo de medición.

El dispositivo de medición interferométrica mostrado en la figura 1 presenta como otro componente una disposición de interferómetro de modulación MI, en la que se genera una diferente temporal de la trayectoria de un rayo de referencia 4, así como una disposición de interferómetro de demodulación DI, en la que se lleva un rayo de medición 18, reflejado en la superficie de un objeto de medición 7, a interferencia con el rayo de referencia 4 o bien con componentes del mismo y se conduce el rayo interferido hacia un fotodetector 11.

A la disposición de interferómetro de modulación MI se conduce desde una fuente de luz 1 a través de un colimador 2 un rayo de entrada, que es dividido con un primer divisor del rayo ST1 en el rayo de referencia 4 y en un segundo rayo parcial 3. El rayo de referencia 4 y el segundo rayo parcial 34 atraviesan dos brazos asociados de la disposición de interferómetro de modulación MI, presentando el brazo del rayo de referencia 4, dispuestos de forma consecutiva, un espejo SP1, una rejilla de compensación C1, una disposición que se puede desplazar en paralelo, que está constituida por un primer deflector y por un segundo deflector acusto-ópticos 8, 9 así como una retro-rejilla 10.

Los dos deflectores electro-acústicos 8, 9 son activados de forma modulada en la frecuencia por medio de excitadores de deflector 12.1, 12.2. A través de la modulación de la frecuencia se varía el ángulo de desviación del rayo de referencia 4 en el primer deflector acusto-óptico 8 en la medida de un ángulo \alpha. En el segundo deflector acusto-óptico 9 se desvía el rayo de referencia 4 a continuación de nuevo en una dirección, en la que incide sobre el primer deflector acusto-óptico 8. De esta manera se produce un desplazamiento paralelo del rayo de referencia 4 que sale a partir del segundo deflector acusto-óptico 9, que ilumina a continuación la retro-rejilla 10. La retro-rejilla 10 está inclinada bajo un ángulo determinado, de tal forma que el rayo de referencia 4 refractado retorna independientemente del desplazamiento paralelo sobre los dos deflectores acusto-ópticos 8, 9, la rejilla de compensación C1 y el espejo SP1 hacia el primer divisor del rayo ST1.

En el segundo brazo de la disposición de interferómetro de modulación MI, en la trayectoria de los rayos del segundo rayo parcial 3 están dispuestos de una manera sucesiva otro espejo SP2, otra rejilla de compensación C2 así como finalmente otra retro-rejilla 10'. La rejilla de compensación C1 y la otra rejilla de compensación C2, por una parte, así como la retro-rejilla 10 y la otra retro-rejilla 10', por otra parte, son iguales. Las longitudes ópticas de los dos brazos de la disposición de interferómetro de modulación MI son diferentes, con una diferencia que es esencialmente mayor que la longitud de coherencia de la fuente de luz 1 (por ejemplo, algunos mm).

Por medio de la rejilla de compensación C1 se consigue una cierta compensación de la falta de coherencia espacial de los frentes de las ondas y de la dispersión angular, que están condicionadas por las diferentes longitudes de ondas de la luz que es necesaria para la longitud de coherencia corta. La dispersión adicional provocada en este caso, que se incremente en una gran medida con la distancia entre la retro-rejilla 10 y la rejilla de compensación C1, es compensada a través de las rejillas correspondientes del otro brazo de la disposición de interferómetro de modulación MI. Puesto que las longitudes ópticas de los dos brazos son diferentes, el rayo de referencia periódico 4 y el segundo rayo parcial 3 no se interfieren en la salida de la disposición de interferómetro de modulación MI.

Después de que el rayo de referencia 4 y el segundo rayo parcial 3 han confluido en el primer divisor del rayo ST1, son conducidos como rayo intermedio 5 a través de una lente 14 a un conductor de luz 19, en cuya salida está conectada a través de otra lente 15 la disposición de interferómetro de demodulación DI. En la disposición de interferómetro de demodulación DI están formados de nuevo detrás de un segundo divisor del rayo ST2 dos brazos, en los que se conducen los dos rayos parciales formados a partir del rayo intermedio 5. Uno de los rayos parciales incide como rayo de medición 18 a través de una lente de enfoque 6 sobre la superficie del objeto de medición 7 y es reflejada allí sobre el segundo divisor del rayo. El otro rayo parcial incide sobre un tercer espejo SP3, desde el cual es retornado igualmente sobre el segundo divisor del rayo ST2. Los dos brazos de la disposición de interferómetro de demodulación DI, que está constituida, por ejemplo, como la disposición de interferómetro de modulación MI como interferómetro de Michelson, tienen la misma diferencia de la trayectoria óptica que los brazos de la disposición de interferómetro de modulación MI. Por este motivo, se interfieren los dos rayos parciales, que confluyen en el segundo divisor del rayo, en forma del rayo de medición 18 y del otro rayo parcial 20. El rayo interferido es alimentado al fotodetector 11, que detecta el máximo de la señal del contraste de interferencia, que resulta a través de la longitud de coherencia corta del rayo de entrada emitido por la fuente de luz 1, y es conducido a un circuito de evaluación 13. A través de la comparación del instante del máximo de la señal con la frecuencia momentánea de los excitadores del deflector se puede determinar la distancia con respecto al objeto de medición 7 y, por lo tanto, la forma de la superficie, como se indica, por ejemplo, en la solicitud de patente alemana 197 21 842.

En este caso, a través de las medidas de compensación descritas anteriormente, se pueden utilizar fuentes e luz con longitud de coherencia más corta, con lo que se obtiene un máximo de la señal más nítido o con la misma longitud de coherencia se puede conseguir un contraste mejorado.

En otra configuración, en la entrada de la disposición de interferómetro de demodulación DI se encuentra un telescopio, con el que se amplía el rayo intermedio 5 incidente, para realizar una medición superficial. En esta disposición, el fotodetector 11 está configurado como cámara CCD.

La figura 2 muestra otro ejemplo de realización, en el que la disposición de interferómetro de modulación MI está constituida de forma compacta y se consigue una duplicación de la amplitud de la modulación del tiempo de propagación.

En la disposición según la figura 2, la luz de la fuente de luz 1 de coherencia corta es colimada con el colimador 2 y es dividida con el primer divisor del rayo ST1 en dos rayos parciales, que corresponden al rayo de referencia 4 y al segundo rayo parcial 3 según la figura 1. Los dos rayos parciales 3, 4 son difractados por separado en las dos rejillas de compensación C1 y C2 y atraviesan dos moduladores acusto-ópticos 17.1 y 17.2. Los moduladores acusto-ópticos 17.1, 17.2 con activados por medio de excitadores de moduladores 16.1, 16.2 asociados don frecuencias diferentes en una medida insignificante (por ejemplo, 500 kHz), con lo que se fuerza un desplazamiento de la frecuencia de los dos rayos parciales para la evaluación heterodina-interferométrica. En otra forma de realización, solamente uno de los dos rayos parciales 3, 4 puede pasar a través de un modulador acusto-óptico. En el desarrollo posterior, los dos rayos parciales 3, 4 pasan a través de los dos deflectores acusto-ópticos 8, 9 desplazados en paralelo. Los dos deflectores acusto-ópticos 8, 9 son controlados en este caso con señal idéntica por medio de un excitador de deflector 12, y de esta manera se desplazan en cada caso en paralelo los dos rayos parciales 3, 4, en el punto de reloj de la señal de control, y son dirigidos sobre retro-rejillas 10, 10' asociadas en cada caso, desde las que son difractados hacia atrás. Las dos retro-rejillas están inclinadas de tal forma que el desplazamiento lineal simultáneo de los rayos parciales a través de los deflectores acusto-ópticos 8, 9 provoca una modulación en sentido opuesto del tiempo de propagación. Además, las retro-rejillas 10, 10' están dispuestas de tal forma que se obtiene para ambos rayos parciales 3, 4 la diferencia de la trayectoria óptica de acuerdo con el ejemplo de realización según la figura 1. También aquí se superponen los dos rayos parciales 3, 4 después del retorno a través de las rejillas de compensación C1, C2 en el primer divisor del rayo ST1, sin que se produzca ninguna interferencia debido a la diferencia de la trayectoria y se conduce como rayo intermedio 5 a la disposición de interferómetro de demodulación, que está configurada de una manera preferida como sonda de medición.

También en este caso la rejilla de compensación C1 y la retro-rejilla 10 asociada, por una parte, y la otra rejilla de compensación C2 y la otra retro-rejilla 10', por otra parte, están dispuestas paralelas entre sí, estando colocadas, sin embargo, opuestas las dos parejas, pero están inclinadas bajo el mismo ángulo con respecto a los rayos parciales 3, 4 salientes o bien incidentes.

Con las medidas descritas se consigue una alta exactitud de la medición sin partes mecánicas móviles, siendo la estructura extraordinariamente compacta con respecto a la sonda de medición a manipular, que presenta solamente los componentes de la disposición de interferómetro de demodulación.

Claims (14)

1. Dispositivo de medición interferométrica para la medición de la forma en superficies rugosas de un objeto de medición (7) con una unidad de generación de radiación (1), que emite una radiación de entrada coherente corta, con un dispositivo divisor del rayo (ST1, ST2), para la formación de un rayo de referencia (4), que está dirigido sobre un dispositivo (8, 9) con un elemento reflectante (10) para la modificación periódica de la trayectoria de la luz, y de un rayo de medición (18), que está dirigido sobre el objeto de medición (7), con un elemento de superposición (ST2), en el que se lleva a interferencia el rayo de referencia (4) que procede desde el objeto de medición (18) y el rayo de referencia que procede desde el dispositivo (8, 9, 10), y con un fotodetector (11), que recibe la radiación interferida y que es alimentada a una instalación de evaluación (13), en el que, además, está prevista una disposición de interferómetro de modulación (MI), que está constituida de tal forma que con un primer divisor del rayo (ST1) del dispositivo divisor del rayo se forma, además del rayo de referencia (4), un segundo rayo parcial (3), que el dispositivo (8, 9, 10) para la modificación de la trayectoria de la luz es una disposición (8, 9) que se puede desplazar en paralelo y que está dispuesta al menos en la trayectoria del rayo de referencia (4) y el elemento reflectante es una retro-rejilla (10), que en la trayectoria del rayo de referencia, delante de la disposición (8, 9) que se puede desplazar en paralelo, está dispuesta una rejilla de compensación (C1), en la que es refractado el rayo de referencia (4) tanto antes como también después de la transición a través de la disposición (8, 9) que se puede desplazar en paralelo, que en la trayectoria del segundo rayo parcial (3) está dispuesta una pareja igual que en la trayectoria del rayo de referencia (4) desde otra rejilla de compensación (C2) y desde otra retro-rejilla (10') que está dispuesta a continuación de ésta, presentando las longitudes de la trayectoria óptica de los dos brazos formados de esta manera para el rayo de referencia (4) y para el segundo rayo parcial (3) de la disposición de interferómetro de modulación (MI) una diferencia mayor que la longitud de coherencia, que el rayo de referencia (4) reconducido a través de la rejilla de compensación (C1) y el segundo rayo parcial (3) reconducido a través de la otra rejilla de compensación (C2) son reunidos para formar un rayo intermedio (5), y que está prevista una disposición de interferómetro de demodulación (DI), que está constituida de tal forma que el rayo intermedio (5) es dividido en otros dos brazos de la disposición de interferómetro de demodulación (DI) por medio de otro divisor del rayo (ST2), estando terminado un brazo por un espejo (SP3) y el otro brazo por la superficie del objeto de medición (7) y presentando los otros dos brazos la misma diferencia de la trayectoria que los brazos de la disposición de interferómetro de modulación (MI), y que los rayos desviados de retorno en el espejo (3) y en la superficie del objeto de medición (7) son llevados a interferencia en el elemento de superposición (ST2).

2. Dispositivo de medición según la reivindicación 1, en el que la disposición que se puede desplazar en paralelo presenta una instalación de deflector (8, 9) acusto-óptica que está dispuesta en la trayectoria de los rayos, y la instalación de deflector (8, 9) está activada de forma modulada en la frecuencia y está dispuesta con respecto al rayo de referencia entrante (4) así como con referencia a la rejilla de reflexión (10) de tal forma que el rayo de referencia (4), conducido hacia el elemento de superposición (ST2) experimenta una modificación de su trayectoria de la luz a través de su desviación en la instalación de deflector (8, 9).

3. Dispositivo de medición según la reivindicación 2, caracterizado porque la constante de la rejilla de compensación (C1) y de la segunda rejilla de compensación (C2) es dos veces mayor que la constante de la retro-rejilla (10) y de la otra retro-rejilla (10').

4. Dispositivo de medición según la reivindicación 2 ó 3, en el que la rejilla de compensación (C1) y la retro-rejilla (10) así como la otra rejilla de compensación (C2) y la otra retro-rejilla (10') están dispuestas en cada caso paralelas entre sí.

5. Dispositivo de medición según una de las reivindicaciones anteriores, en el que las rejillas de compensación (C1, C2) están configuradas de forma reflectante y en la trayectoria del rayo de referencia (4) entre el primer divisor del rayo (ST1) y las rejillas de compensación (C1, C2) está dispuesto en cada caso un espejo (SP1, SP2), con el que se dirige el rayo de referencia (4) o bien el segundo rayo parcial (3) en el camino de ida sobre la rejilla de compensación (C1, C2) correspondiente y en su camino de vuelta sobre el divisor del rayo (ST1), que genera el rayo intermedio (5).

6. Dispositivo de medición según una de las reivindicaciones anteriores, en el que el otro divisor del rayo (ST2) forma al mismo tiempo el elemento de superposición.

7. Dispositivo de medición según una de las reivindicaciones anteriores, en el que la disposición de interferómetro de demodulación (DI) está acoplada a través de un conductor de luz (129) con la disposición de interferómetro de modulación (MI).

8. Dispositivo de medición según una de las reivindicaciones anteriores, en el que el rayo intermedio (5) es ensanchado en la entrada de la disposición de interferómetro de demodulación (DI) a través de una disposición de telescopio para formar un rayo de luz ancho y el fotodetector (11) está configurado como cámara CCD.

9. Dispositivo de medición según una de las reivindicaciones anteriores, en el que está presente una estructura para una evaluación heterodino-interferométrica conocida, estando prevista una instalación para el desplazamiento de la frecuencia entre los rayos de interferencia.

10. Dispositivo de medición según una de las reivindicaciones anteriores, en el que la disposición (8, 9) que se puede desplazar en paralelo solamente está dispuesta en el brazo de la disposición de interferómetro de modulación (MI) que conduce el rayo de referencia (4).

11. Dispositivo de medición según una de las reivindicaciones 1 a 9, en el que la disposición (8, 9) que se puede desplazar en paralelo está dispuesta en ambos brazos de la disposición de interferómetro de modulación (MI) de tal forma que es atravesada tanto en el camino de ida como también en el camino de vuelta por el rayo de referencia (4) y por el segundo rayo parcial (3).

12. Dispositivo de medición según la reivindicación 11, caracterizado porque la retro-rejilla (10) para el rayo de referencia (4) y la otra retro-rejilla (10') para el segundo rayo parcial (3) están inclinadas de tal forma que el desplazamiento simultáneo del rayo de referencia (4) y del segundo rayo parcial (3) provoca una modulación dirigida en sentido opuesto de su tiempo de transición, y en el que las dos retro-rejillas (10, 10') están dispuestas de tal forma que se obtiene una diferencia de la trayectoria óptica para el rayo de referencia (4) y para el segundo rayo parcial (3).

13. Dispositivo de medición según la reivindicación 11 ó 12, en el que entre las dos rejillas de compensación (C1, C2) y la disposición que se puede desplazar en paralelo está dispuesto en cada caso un modulador acusto-óptico (17.1, 17.2) y en el que los moduladores acusto-ópticos son activados para la generación de un desplazamiento de la frecuencia del rayo de referencia (4) y del segundo rayo parcial (3) con una frecuencia insignificantemente diferente por medio de excitadores de modulador (16.1, 16.2) asociados.

14. Dispositivo de medición según la reivindicación 11 ó 12, en el que solamente está previsto un modulador acusto-óptico en uno de los dos brazos de la disposición de interferómetro de modulación (MI) sobre el lado de la disposición que se puede desplazar en paralelo, que está alejado de las retro-rejillas (10, 10').