ES2093618T3 - Sistema de capa protectora revelable en seco. - Google Patents

Sistema de capa protectora revelable en seco.

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ES2093618T3
ES2093618T3 ES90106831T ES90106831T ES2093618T3 ES 2093618 T3 ES2093618 T3 ES 2093618T3 ES 90106831 T ES90106831 T ES 90106831T ES 90106831 T ES90106831 T ES 90106831T ES 2093618 T3 ES2093618 T3 ES 2093618T3
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ES
Spain
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revelable
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coat system
treatment
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ES90106831T
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English (en)
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Recai Dr-Ing Sezi
Rainer Dr Rer Nat Leuschner
Michael Dr Rer Nat Sebald
Siegfried Dr Rer Nat Birkle
Hellmut Dr Ahne
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Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/265—Selective reaction with inorganic or organometallic reagents after image-wise exposure, e.g. silylation

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Silicon Polymers (AREA)

Abstract

SE PROPONE UN SISTEMA RESISTENTE ESTRUCTURABLE PARA UN PROCEDIMIENTO DE REVELADO EN SECO EN EL QUE UNA CAPA FOTOSENSIBLE GENERA UN IMAGEN LATENTE, QUE SE REFUERZA CON UN TRATAMIENTO, POR EJEMPLO, CON UN COMPUESTO ORGANICO DE SILICIO, AL MISMO TIEMPO QUE SE INCREMENTA SU RESISTENCIA A UN PLASMA DE OXIGENO. LA CAPA FOTOSENSIBLE POSEE CON PREFERENCIA GRUPOS ANHIDRIDO O EPOXIDO, QUE SE PRESTEN PARA REACCIONAR CON LOS GRUPOS FUNCIONALES DE LOS COMPUESTOS ORGANICOS DE SILICIO. EL TRATAMIENTO SE PUEDE REALIZAR CON UNA SOLUCION O EMULSION EN APARATOS SENCILLOS O EN FASE GASEOSA.
ES90106831T 1989-04-24 1990-04-10 Sistema de capa protectora revelable en seco. Expired - Lifetime ES2093618T3 (es)

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