EP4450817A2 - Vakuumgerät - Google Patents

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EP4450817A2
EP4450817A2 EP24194161.6A EP24194161A EP4450817A2 EP 4450817 A2 EP4450817 A2 EP 4450817A2 EP 24194161 A EP24194161 A EP 24194161A EP 4450817 A2 EP4450817 A2 EP 4450817A2
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EP
European Patent Office
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lubricant
vacuum
chambers
pump
pumps
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Application number
EP24194161.6A
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English (en)
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EP4450817A3 (de
Inventor
Kevin Schneider
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum Technology AG filed Critical Pfeiffer Vacuum Technology AG
Priority to EP24194161.6A priority Critical patent/EP4450817A3/de
Publication of EP4450817A2 publication Critical patent/EP4450817A2/de
Publication of EP4450817A3 publication Critical patent/EP4450817A3/de
Priority to CN202510626426.6A priority patent/CN121520198A/zh
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/02Lubrication; Lubricant separation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F04C25/02Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
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    • F04C18/12Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/126Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
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    • F04C18/16Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
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    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04C23/001Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F04C23/003Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle having complementary function
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    • F04C29/021Control systems for the circulation of the lubricant
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    • F04C2240/00Components
    • F04C2240/80Other components
    • F04C2240/809Lubricant sump

Definitions

  • the invention relates to a vacuum device with at least two vacuum pumps.
  • two vacuum pumps for example Roots or screw pumps, can be coupled in series to increase the overall suction capacity of such a pump unit.
  • the first vacuum pump serves as a "booster" for the downstream vacuum pump. This means that the overall suction capacity can be increased many times over compared to the suction capacity of the downstream pump.
  • Such pump systems with two pumps often include a common housing in which the two vacuum pumps are housed to form a compact unit.
  • the vacuum pumps for the range up to about 10 -4 mbar usually require an operating fluid or lubricant, for example to lubricate bearings on a pump shaft that carries the pump-active elements of the vacuum pump.
  • an operating fluid or lubricant for example to lubricate bearings on a pump shaft that carries the pump-active elements of the vacuum pump.
  • such vacuum pumps require regular changes of the operating fluid or lubricant to avoid damage to the vacuum pumps.
  • the respective inlet and outlet for the operating fluid or lubricant on the individual vacuum pumps are usually not accessible from outside the housing.
  • the housing In order to change the operating fluid or lubricant, the housing must be removed from such pump systems and, in some cases, the pump unit must be partially dismantled. This is associated with increased Even if the inlet and outlet for the operating fluid or lubricant on the respective vacuum pump are accessible from the outside, changing the operating fluid or lubricant in known pump systems must be carried out separately for each vacuum pump in the system.
  • An object of the invention is to provide a vacuum device with at least two vacuum pumps, which allows an easy change of a lubricant for components of the vacuum pumps.
  • the vacuum device comprises at least two vacuum pumps, each with at least one lubricant chamber, which is provided for a lubricant for lubricating at least one component of the respective vacuum pump.
  • the vacuum device also comprises a central inlet for the lubricant, which is connected to the respective lubricant chambers of the vacuum pumps, and a central outlet for the lubricant, which is also connected to the respective lubricant chambers of the vacuum pumps.
  • the at least two vacuum pumps thus have one or more components that require lubrication by means of the lubricant.
  • the vacuum pumps can, for example, comprise Roots pumps or screw pumps or any combination of these.
  • a shaft that carries pump-active elements can, for example, be mounted on rolling bearings.
  • Such a shaft and the corresponding bearings can thus represent the component of the vacuum pumps that require lubrication.
  • the lubricant can, for example, be oil.
  • the central inlet and the central outlet can have a respective fluid connection to all lubricant chambers of the at least two vacuum pumps. Since the vacuum device has a central inlet and a central outlet for the lubricant, the lubricant can be easily supplied to and removed from the respective lubricant chambers of the vacuum pumps, even if the respective inlet and outlet openings of the individual lubricant chambers are not accessible to a user from an outside, i.e. from an outside area of the vacuum device.
  • the vacuum device thus enables the lubricant to be changed easily without, for example, having to remove or dismantle a housing or other components of the vacuum device. This means that the lubricant can be changed regularly at a given time interval without difficulty. This can extend the service life of the vacuum device, as the user will not unnecessarily delay changing the lubricant due to the low effort involved, as is often the case with known systems in practice.
  • the vacuum device comprises a housing that surrounds the at least two vacuum pumps.
  • the lubricant spaces of the at least two vacuum pumps can have a respective inlet and a respective outlet for the lubricant, which are arranged within the housing.
  • Such respective inlets and outlets for the lubricant are usually not accessible from the outside due to the housing, which would make changing the lubricant difficult, as described above.
  • the respective inlets and outlets of the lubricant chambers can, however, be connected to the central inlet or the central outlet of the vacuum device in fluidically connected. This allows the lubricant chambers to be reliably filled via the central inlet and the lubricant to be reliably drained via the central outlet, even if the respective inlets and outlets of the lubricant chambers are hidden within the housing. Since the at least two vacuum pumps are arranged within the common housing and are surrounded by it, the vacuum device as a whole can be designed as a compact unit that requires little installation space.
  • the vacuum device further comprises a control device which is designed to adjust a respective proportion of the lubricant supplied via the central inlet, which is supplied to the respective lubricant chamber.
  • the control device can thus be provided for distributing the lubricant when it is filled into the respective lubricant chambers.
  • the control device can consequently adjust a respective amount of lubricant that can be supplied to the respective lubricant chamber when the lubricant is filled.
  • the control device can enable a defined distribution of the lubricant to the respective lubricant chambers so that they can accommodate a respective predefined amount of lubricant. Conversely, overfilling or underfilling of the respective lubricant chamber can be prevented by means of the control device.
  • the vacuum device can comprise valves that are connected to the control device, for example by means of signals, with at least one valve being assigned to one of the lubricant chambers of the vacuum pumps.
  • the valves can be arranged between a central filler neck or the central inlet and the respective lubricant chambers so that the filling of the lubricant chambers with the lubricant can be controlled in a defined manner by the control device.
  • the control device can also be designed to switch between the valves of the respective lubricant chambers in such a way that these are filled one after the other. By means of such successive filling, the required amount of lubricant can be supplied to the respective lubricant chambers in a direct and controlled manner.
  • the lubricant chambers can also each have a control device for the fill level of the lubricant in the respective lubricant chamber.
  • the respective control device for the fill level of the lubricant can be functionally and/or signal-wise connected to the control device provided for controlling the filling of the lubricant chambers, so that the control device receives a signal from the respective control device that indicates the respective fill level of the lubricant chamber to which the respective control device is assigned.
  • the respective control device for the fill level of the respective lubricant chamber can be used to prevent this lubricant chamber from being filled too much or too little.
  • the control device can thus ensure that the desired fill level for the lubricant in the respective lubricant chamber is maintained. This can be achieved, for example, by the control device using the signals from the level control devices to adjust the respective valves between the central inlet and the respective lubricant chamber in such a way that the desired fill level is neither exceeded nor undercut within predefined limits.
  • the control device for the fill level of the respective lubricant chamber can comprise a float switch, which can have a reed contact, for example. In this way, the control device for the fill level can be implemented in a cost-effective manner.
  • a signal from the Control device ie a signal from the float switch or reed contact, causes the control device to close the respective valve assigned to the corresponding lubricant chamber in order to stop further filling of the lubricant chamber.
  • the vacuum pumps each have a rotating shaft.
  • the respective shaft can carry pump-active elements that are arranged in a suction chamber of the respective vacuum pump.
  • At least two bearings can be assigned to the respective shaft, each of which can be connected to one of the lubricant chambers.
  • the vacuum device thus has at least four lubricant chambers, two of which are assigned to a vacuum pump in order to supply the at least two bearings of the respective shaft of the vacuum pump with lubricant.
  • the at least four lubricant chambers can in turn have separate inlets and outlets for the lubricant, so that a total of at least four inlets and four outlets of the respective lubricant chambers are connected to the central inlet or the central outlet.
  • the suction chambers of at least two of the vacuum pumps can be connected to one another.
  • the vacuum pumps can thus be coupled in series so that one pump provides a boost function for the subsequent pump.
  • the vacuum pumps may comprise a Roots pump and a screw pump, and the Roots pump may be upstream of the Screw pump.
  • the Roots pump can act as a booster pump for the screw pump.
  • the suction capacity of the pump system with Roots pump and screw pump can be increased by an order of magnitude, i.e. by a factor of around 10.
  • the suction capacity describes the volume throughput of the pump per unit of time and is therefore given in liters per second, for example.
  • one of the vacuum pumps can be designed to discharge into the atmosphere. In a series connection of several vacuum pumps, this can be the last of the vacuum pumps. In this embodiment, the vacuum device therefore no longer requires an additional backing pump and can instead serve as an efficient and compact backing pump for other pumps and pump systems, for example for one or more turbomolecular pumps.
  • the at least two vacuum pumps can be arranged one above the other in a vertical direction.
  • the vacuum device can have a particularly compact shape.
  • gravity can be used when changing the lubricant for the at least two vacuum pumps if the central inlet is arranged, for example, on an upper side and the central outlet is arranged, for example, on an underside of a common housing of the at least two vacuum pumps or the vacuum device.
  • a check valve can be arranged between at least one of the lubricant chambers and the central outlet.
  • a backflow of the lubricant into the lubricant chamber to which the check valve is assigned can be prevented when the lubricant is drained.
  • Such a backflow can occur, for example, when the lubricant is drained from a vacuum pump arranged higher in the vertical direction or from one of its lubricant chambers. and flows towards the central outlet, which can be arranged vertically below the vacuum pumps.
  • the check valve Without the check valve, the lubricant would only partially reach the central outlet and could instead flow into one of the lower lubricant chambers.
  • the check valve can therefore ensure that the lubricant can only flow towards the central outlet when draining and cannot reach other lubricant chambers.
  • a respective check valve can be assigned to the lubricant chambers of one or more vacuum pumps that are arranged vertically below at least one other of the vacuum pumps.
  • a respective check valve can thus only be arranged on the vacuum pump arranged in the lowest position in the vertical direction or on all vacuum pumps that are located below the topmost vacuum pump.
  • the respective check valves can be arranged upstream of the lubricant convergence at or in front of the common central outlet, i.e. between the respective outlet of the lubricant chambers and the central outlet.
  • Fig. 1 shows schematically a vacuum device 100 comprising a first vacuum pump 110 and a second vacuum pump 120.
  • the two vacuum pumps 110, 120 are arranged in a common housing 130, so that the housing 130 completely surrounds the first vacuum pump 110 and the second vacuum pump 120.
  • the first vacuum pump 110 is, for example, a Roots pump
  • the second vacuum pump 120 is, for example, a screw pump.
  • the first vacuum pump 110 has a first lubricant chamber 112 and a second lubricant chamber 114, which are arranged on opposite sides of a suction chamber 116 of the vacuum pump 110.
  • the second vacuum pump 120 has a first lubricant chamber 122 and a second lubricant chamber 124, which in turn are arranged on opposite sides of a suction chamber 126 of the second vacuum pump 120.
  • the respective lubricant chambers 112, 114, 122, 124 contain a lubricant 140 that is intended for lubricating bearings for a respective shaft (both not shown) of the vacuum pumps 110, 120.
  • the respective shaft of the vacuum pumps 110, 120 is driven by a motor (not shown) of the vacuum pumps 110, 120 during operation of the vacuum pump 110, 120.
  • Pump-active elements (not shown) of the respective vacuum pump 110, 120 are arranged in the respective suction chamber 116, 126 and connected to the respective shaft in order to be driven in rotation during operation of the vacuum pumps 110, 120.
  • the vacuum pumps 110, 120 are arranged vertically one above the other, so that the first vacuum pump 110 is located vertically above the second vacuum pump 120. Furthermore, the suction chambers 116, 126 of the two vacuum pumps 110, 120 are connected to one another, so that the two vacuum pumps 110, 120 are connected in series in terms of vacuum technology.
  • the first vacuum pump 110 therefore performs a boost function for the second vacuum pump 120. This allows the suction capacity of the pump arrangement with the two vacuum pumps 110, 120 or of the entire Vacuum device 100 can be significantly increased in comparison to the second vacuum pump 120 alone, for example by a factor of 10.
  • the suction capacity refers to the volume throughput of the vacuum pumps 110, 120 per unit of time and is given, for example, in liters per second.
  • the coupled vacuum pumps 110, 120 form a compact unit in which a pump inlet (not shown) of the first vacuum pump 110 can be connected to a recipient, while a pump outlet of the second vacuum pump 120 can discharge into the atmosphere.
  • a booster pump that can generate a vacuum in the recipient in a range of up to about 10 -4 mbar if the first vacuum pump 110 is designed as a roots pump and the second vacuum pump 120 as a screw pump.
  • the two vacuum pumps 110, 120 require a change of the lubricant 140 at predefined time intervals in order to ensure sufficient lubrication of the respective bearings of the vacuum pumps 110, 120 and thereby avoid damage to the respective shaft of the vacuum pumps 110, 120.
  • the lubricant 140 in the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 should be replaced at regular time intervals.
  • the respective inlets and outlets of the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 are not accessible.
  • the vacuum device 100 has a central inlet 150 for the lubricant 140 and a central outlet 160 for the lubricant 140.
  • the central inlet or filler neck 150 is fluidically connected to the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 of the first vacuum pump 110 and the second vacuum pump 120 via a line system 152.
  • the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 are fluidically connected to the central outlet via a further line system 162.
  • the line system 152 between the central inlet 150 and the respective lubricant chambers 112, 114, 122, 124 is in Fig. 1 with solid lines, while the line system 162 between the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 and the central outlet 160 is illustrated with dash-dotted lines.
  • the vacuum device 100 further comprises a control device 170, which is intended to control the inlet and outlet of the lubricant 140 into the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 or from these.
  • the control device 170 is connected to valves 172, 174, which are each arranged in the line system 152 or 162.
  • Each of the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 is assigned an inlet valve 172 and an outlet valve 174.
  • the inlet valves 172 are located between the central inlet 150 and a respective inlet of one of the lubricant chambers 112, 114, 122, 124, while the outlet valves 174 are located between a respective one of the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 and the central outlet 160.
  • the control device 170 sets the respective proportion of the lubricant 140 that enters the vacuum device 100 via the central inlet 150 and then flows into the respective lubricant chamber 112, 114, 122, 124.
  • the control device 170 switches between the valves 172 in such a way that only one of the inlet valves 172 is open at a given time.
  • the inlet valves 172 are thus opened successively for a predetermined period of time, so that during this period only one of the inlet valves is open and all other inlet valves 172 are closed.
  • the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 are filled successively one after the other.
  • Respective electrical connections or lines 176 are provided for controlling the respective valves 172, 174.
  • the lines 176 are Fig. 1 only for the lubricant chamber 114 of the vacuum pump 110.
  • all inlet valves 172 and all outlet valves 174 are connected to the control device 170 via the lines 176.
  • a control device 180 for a filling level of the lubricant 140 in the respective lubricant chamber 112, 114, 122, 124 is also arranged.
  • the respective control device 180 for the filling level of the lubricant is in Fig. 2 shown in detail and is described in more detail below.
  • the respective control device 180 is also communicatively connected to the control device 170 via the lines 176.
  • the control device 170 therefore receives a signal from the respective control device 180 which corresponds to the respective fill level of the lubricant 140 in the respective lubricant chamber 112, 114, 122, 124 Such a signal can indicate, for example, whether a predetermined fill level of the lubricant 140 in the respective lubricant chamber 112, 114, 122, 124 has been reached or not.
  • the control device 170 can suitably control the filling of the respective lubricant chambers 112, 114, 122, 124 by means of the inlet valves 172, so that at the end of a filling process in each of the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 the desired fill level of the lubricant 140 is reached.
  • the control device 170 By controlling the respective outlet valves 174, the control device 170 also controls the discharge of the lubricant 140 from the respective lubricant chambers 112, 114, 122, 124 via the line system 162 in the direction of the central outlet 160. Since the vacuum pumps 110, 120 in the present embodiment are arranged vertically one above the other, the lubricant 140 automatically flows from the respective lubricant chambers 112, 114, 122, 124 to the lower central outlet 160 due to gravity after one or more outlet valves 174 have been opened.
  • the draining of the lubricant 140 from the lubricant chambers 112, 114, 122, 124 can again be carried out successively by only one of the outlet valves 174 being open at a time. Alternatively, all outlet valves 174 or the outlet valves of a respective one of the vacuum pumps 110, 120 can be opened simultaneously.
  • a check valve 190 is provided between these lubricant chambers 122, 124 and the central outlet 160.
  • Fig. 2 shows an example of an enlarged section of the vacuum device 100 of Fig. 1 in the area of the lubricant chamber 112 of the first vacuum pump 110.
  • the control device 180 for the level of the lubricant 140 is in Fig. 2 shown in detail.
  • the control device 180 is designed as a float switch and comprises a float 210 which is ring-shaped and completely surrounds a reed contact 220. In the sectional view of Fig. 2 The float 210 is therefore shown on both sides of the reed contact 220.
  • the float 210 is also located on the surface of the lubricant 140 in the lubricant chamber 112, so that the position of the float 210 in the vertical direction represents a measure of the fill level of the lubricant 140 in the lubricant chamber 112.
  • the float 210 has a permanent magnet 212 which is provided for actuating a reed contact 220 of the control device 180. As soon as the float 210 reaches a desired fill level of the lubricant 140 in the lubricant chamber 112, the permanent magnet 212 of the float 210 closes the reed contact 220, which thereby outputs a corresponding electrical signal to the control device 170.
  • the control device 170 controls the inlet valve 172 within the line system 152 between the central inlet 150 (cf. Fig. 1 ) and the lubricant chamber 112.
  • the control of the inlet valve 172 by means of the control device 170 is carried out in such a way that the inlet valve 172 is closed when the desired fill level of the lubricant 140 in the lubricant chamber 112 is reached. This ensures that the lubricant chamber 112 is not filled excessively with the lubricant 140.
  • control device 170 can also suitably actuate the outlet valve 174, which is assigned to the lubricant chamber 112 and, like the inlet valve 172 and the reed contact 220, is connected to the control device 170.

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Abstract

Ein Vakuumgerät umfasst mindestens zwei Vakuumpumpen (110,120) mit jeweils mindestens einem Schmiermittelraum (112,114,122,124), der für ein Schmiermittel zur Schmierung mindestens einer Komponente der jeweiligen Vakuumpumpe vorgesehen ist. Ferner umfasst das Vakuumgerät einen zentralen Einlass (150) für das Schmiermittel, der mit den jeweiligen Schmiermittelräumen der Vakuumpumpen in Verbindung steht, und einen zentralen Auslass (160) für das Schmiermittel, der ebenfalls mit den jeweiligen Schmiermittelräumen der Vakuumpumpen in Verbindung steht.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Vakuumgerät mit mindestens zwei Vakuumpumpen.
  • Im Vakuumbereich bis etwa 10-4 mbar können zwei Vakuumpumpen, beispielsweise Wälzkolben- oder Schraubenpumpen, in Reihe miteinander gekoppelt werden, um das gesamte Saugvermögen einer solchen Pumpeneinheit zu steigern. Die erste Vakuumpumpe dient sozusagen als "Booster" für die nachgeschaltete Vakuumpumpe. Dadurch kann das gesamte Saugvermögen im Vergleich zum Saugvermögen der nachgeschalteten Pumpe um ein Vielfaches gesteigert werden.
  • Solche Pumpsysteme mit zwei Pumpen umfassen häufig ein gemeinsames Gehäuse, in welchem die zwei Vakuumpumpen untergebracht sind, um insgesamt eine kompakte Einheit zu bilden. Die Vakuumpumpen für den Bereich bis etwa 10-4 mbar benötigen jedoch meistens ein Betriebs- oder Schmiermittel, beispielsweise zur Schmierung von Lagern einer Pumpenwelle, die pumpaktive Elemente der Vakuumpumpe trägt. Im Betrieb der Pumpeneinheit erfordern solche Vakuumpumpen einen regelmäßigen Wechsel des Betriebs- oder Schmiermittels, um Beschädigungen der Vakuumpumpen zu vermeiden.
  • Wenn die Pumpen als kompakte Einheit von einem gemeinsamen Gehäuse umschlossen sind, ist der jeweilige Einlass und Auslass für das Betriebs- oder Schmiermittel an den einzelnen Vakuumpumpen von außerhalb des Gehäuses meist nicht zugänglich. Um einen Wechsel des Betriebs- oder Schmiermittels durchzuführen, muss bei solchen Pumpsystemen das Gehäuse entfernt und unter Umständen die Pumpeneinheit teilweise zerlegt werden. Dies ist mit erhöhtem Aufwand verbunden. Selbst wenn der Einlass und der Auslass für das Betriebs- oder Schmiermittel an der jeweiligen Vakuumpumpe von außen zugänglich ist, muss der Wechsel des Betriebs- oder Schmiermittels bei bekannten Pumpsystemen für jede Vakuumpumpe des Systems separat durchgeführt werden.
  • Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Vakuumgerät mit mindestens zwei Vakuumpumpen zu schaffen, das einen einfachen Wechsel eines Schmiermittels für Komponenten der Vakuumpumpen gestattet.
  • Diese Aufgabe wird durch ein Vakuumgerät mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen angegeben.
  • Das Vakuumgerät umfasst mindestens zwei Vakuumpumpen mit jeweils mindestens einem Schmiermittelraum, der für ein Schmiermittel zur Schmierung mindestens einer Komponente der jeweiligen Vakuumpumpe vorgesehen ist. Ferner umfasst das Vakuumgerät einen zentralen Einlass für das Schmiermittel, der mit den jeweiligen Schmiermittelräumen der Vakuumpumpen in Verbindung steht, und einen zentralen Auslass für das Schmiermittel, der ebenfalls mit den jeweiligen Schmiermittelräumen der Vakuumpumpen in Verbindung steht.
  • Die mindestens zwei Vakuumpumpen weisen somit eine oder mehrere Komponenten auf, die eine Schmierung mittels des Schmiermittels erfordern. Die Vakuumpumpen können beispielsweise Wälzkolbenpumpen oder Schraubenpumpen oder eine beliebige Kombination von diesen umfassen. Bei solchen Pumpen kann eine Welle, die pumpaktive Elemente trägt, beispielsweise an Wälzlagern gelagert sein. Eine solche Welle und die entsprechenden Lager können somit die Komponente der Vakuumpumpen darstellen, die eine Schmierung erfordern. Bei dem Schmiermittel kann es sich beispielsweise um Öl handeln.
  • Der zentrale Einlass und der zentrale Auslass können eine jeweilige fluidtechnische Verbindung mit sämtlichen Schmiermittelräumen der mindestens zwei Vakuumpumpen aufweisen. Da das Vakuumgerät einen zentralen Einlass und einen zentralen Auslass für das Schmiermittel aufweist, kann das Schmiermittel den jeweiligen Schmiermittelräumen der Vakuumpumpen auf einfache Weise zugeführt und aus diesen entfernt werden, selbst wenn jeweilige Einlass- und Auslassöffnungen der einzelnen Schmiermittelräume nicht von einer Außenseite, d.h. ausgehend von einem Außenbereich des Vakuumgeräts, für einen Benutzer zugänglich sind.
  • Das Vakuumgerät ermöglicht somit einen einfachen Wechsel des Schmiermittels, ohne dass beispielsweise ein Gehäuse oder andere Komponenten des Vakuumgeräts entfernt oder demontiert werden müssen. Dadurch kann ein regelmäßiger Wechsel des Schmiermittels nach einem jeweiligen vorgegebenen Zeitintervall ohne Schwierigkeiten durchgeführt werden. Dies kann die Lebensdauer des Vakuumgeräts verlängern, da ein Benutzer den Wechsel des Schmiermittels aufgrund des geringen Aufwands nicht unnötig hinauszögern wird, wie dies ansonsten bei bekannten Systemen in der Praxis häufig der Fall ist.
  • Gemäß einer Ausführungsform umfasst das Vakuumgerät ein Gehäuse, das die mindestens zwei Vakuumpumpen umgibt. Die Schmiermittelräume der mindestens zwei Vakuumpumpen können einen jeweiligen Einlass und einen jeweiligen Auslass für das Schmiermittel aufweisen, die innerhalb des Gehäuses angeordnet sind.
  • Solche jeweiligen Einlässe und Auslässe für das Schmiermittel sind aufgrund des Gehäuses üblicherweise nicht von außen zugänglich, wodurch ein Wechsel des Schmiermittels erschwert werden würde, wie vorstehend beschrieben ist. Die jeweiligen Einlässe und Auslässe der Schmiermittelräume können jedoch mit dem zentralen Einlass bzw. mit dem zentralen Auslass des Vakuumgeräts in fluidtechnischer Verbindung stehen. Dadurch kann eine zuverlässige Befüllung der Schmiermittelräume über den zentralen Einlass und ein zuverlässiges Ablassen des Schmiermittels über den zentralen Auslass erfolgen, selbst wenn die jeweiligen Einlässe und Auslässe der Schmiermittelräume innerhalb des Gehäuses verborgen sind. Da die mindestens zwei Vakuumpumpen innerhalb des gemeinsamen Gehäuses angeordnet und von diesem umgeben sind, kann das Vakuumgerät insgesamt als kompakte Einheit ausgebildet sein, die wenig Bauraum erfordert.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform umfasst das Vakuumgerät ferner eine Steuerungseinrichtung, die ausgebildet ist, einen jeweiligen Anteil des über den zentralen Einlass zugeführten Schmiermittels einzustellen, welcher dem jeweiligen Schmiermittelraum zugeführt wird. Die Steuerungseinrichtung kann somit zum Verteilen des Schmiermittels beim Einfüllen in die jeweiligen Schmiermittelräume vorgesehen sein. Die Steuerungseinrichtung kann folglich eine jeweilige Menge des Schmiermittels einstellen, die beim Einfüllen des Schmiermittels dem jeweiligen Schmiermittelraum zuführbar ist. Mit anderen Worten kann die Steuerungseinrichtung eine definierte Verteilung des Schmiermittels auf die jeweiligen Schmiermittelräume ermöglichen, so dass diese eine jeweilige vordefinierte Menge des Schmiermittels aufnehmen können. Eine zu starke oder zu geringe Befüllung des jeweiligen Schmiermittelraums kann umgekehrt mittels der Steuerungseinrichtung verhindert werden.
  • Das Vakuumgerät kann zu diesem Zweck Ventile umfassen, die mit der Steuerungseinrichtung beispielsweise signaltechnisch in Verbindung stehen, wobei mindestens ein Ventil jeweils einem der Schmiermittelräume der Vakuumpumpen zugeordnet ist. Die Ventile können zwischen einem zentralen Einfüllstutzen bzw. dem zentralen Einlass und den jeweiligen Schmiermittelräumen angeordnet sein, damit die Befüllung der Schmiermittelräume mit dem Schmiermittel durch die Steuerungseinrichtung definiert gesteuert werden kann.
  • Die Steuerungseinrichtung kann ferner ausgebildet sein, derart zwischen den Ventilen der jeweiligen Schmiermittelräume umzuschalten, dass diese nacheinander befüllt werden. Durch eine solche sukzessive Befüllung kann den jeweiligen Schmiermittelräumen die erforderliche Menge des Schmiermittels auf direkte und kontrollierte Weise zugeführt werden.
  • Die Schmiermittelräume können ferner jeweils eine Kontrolleinrichtung für den Füllstand des Schmiermittels in dem jeweiligen Schmiermittelraum aufweisen. Die jeweilige Kontrolleinrichtung für den Füllstand des Schmiermittels kann mit der Steuerungseinrichtung, die zur Steuerung der Befüllung der Schmiermittelräume vorgesehen ist, funktional und/oder signaltechnisch in Verbindung stehen, so dass die Steuerungseinrichtung von der jeweiligen Kontrolleinrichtung ein Signal empfängt, das den jeweiligen Füllstand des Schmiermittelraums angibt, dem die jeweilige Kontrolleinrichtung zugeordnet ist.
  • Mittels der jeweiligen Kontrolleinrichtung für den Füllstand des jeweiligen Schmiermittelraums kann verhindert werden, dass dieser Schmiermittelraum zu stark oder zu gering befüllt wird. Somit kann ein gewünschter Füllstand für das Schmiermittel in dem jeweiligen Schmiermittelraum durch die Kontrolleinrichtung sichergestellt werden. Dies kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass die Steuerungseinrichtung anhand der Signale der Kontrolleinrichtungen für den Füllstand jeweilige Ventile zwischen dem zentralen Einlass und dem jeweiligen Schmiermittelraum derart einstellt, dass der gewünschte Füllstand innerhalb von vordefinierten Grenzen weder überschritten noch unterschritten wird.
  • Die Kontrolleinrichtung für den Füllstand des jeweiligen Schmiermittelraums kann einen Schwimmerschalter umfassen, der beispielsweise einen Reed-Kontakt aufweisen kann. Auf diese Weise kann die Kontrolleinrichtung für den Füllstand auf kostengünstige Weise realisiert werden. Wenn beim Befüllen des jeweiligen Schmiermittelraums ein korrekter Füllstand erreicht ist, kann ein Signal der Kontrolleinrichtung, d.h. ein Signal des Schwimmerschalters bzw. Reed-Kontaktes, bewirken, dass die Steuerungseinrichtung das jeweilige Ventil schließt, das dem entsprechenden Schmiermittelraum zugeordnet ist, um dadurch eine weitere Befüllung des Schmiermittelraums zu stoppen.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform weisen die Vakuumpumpen jeweils eine rotierende Welle auf. Die jeweilige Welle kann pumpaktive Elemente tragen, die in einem Schöpfraum der jeweiligen Vakuumpumpe angeordnet sind. Der jeweiligen Welle können mindestens zwei Lager zugeordnet sein, die jeweils mit einem der Schmiermittelräume in Verbindung stehen können.
  • Bei dieser Ausführungsform weist das Vakuumgerät somit mindestens vier Schmiermittelräume auf, von denen jeweils zwei einer Vakuumpumpe zugeordnet sind, um die mindestens zwei Lager der jeweiligen Welle der Vakuumpumpe mit Schmiermittel zu versorgen. Die mindestens vier Schmiermittelräume können wiederum separate Einlässe und Auslässe für das Schmiermittel aufweisen, so dass insgesamt mindestens vier Einlässe und vier Auslässe der jeweiligen Schmiermittelräume mit dem zentralen Einlass bzw. dem zentralen Auslass in Verbindung stehen. Bei mindestens vier Schmiermittelräumen des Vakuumgeräts kann sich der Aufwand für einen Wechsel des Schmiermittels in besonderem Maße verringern, wenn dieser mittels des zentralen Einlasses und des zentralen Auslasses durchgeführt werden kann.
  • Die Schöpfräume mindestens zweier der Vakuumpumpen können miteinander verbunden sein. Die Vakuumpumpen können somit in Reihe miteinander gekoppelt sein, so dass eine Pumpe eine Boost-Funktion für die nachfolgende Pumpe bewirkt.
  • Beispielsweise können die Vakuumpumpen eine Wälzkolbenpumpe und eine Schraubenpumpe umfassen, und die Wälzkolbenpumpe kann stromaufwärts der Schraubenpumpe angeordnet sein. Bei diesem Beispiel kann die Wälzkolbenpumpe als Booster-Pumpe für die Schraubenpumpe wirken. Im Vergleich zur ausschließlichen Verwendung einer Schraubenpumpe kann dadurch das Saugvermögen des Pumpensystems mit Wälzkolbenpumpe und Schraubenpumpe insgesamt etwa um eine Größenordnung, d.h. ungefähr um einen Faktor 10, gesteigert werden. Das Saugvermögen bezeichnet den Volumendurchsatz der Pumpe pro Zeiteinheit und wird daher beispielsweise in Litern pro Sekunde angegeben.
  • Ferner kann eine der Vakuumpumpen ausgebildet sein, gegen Atmosphäre auszustoßen. Bei einer Reihenschaltung mehrerer Vakuumpumpen kann dies die letzte der Vakuumpumpen sein. Das Vakuumgerät benötigt daher bei dieser Ausführungsform keine weitere Vorpumpe mehr, und es kann stattdessen als effiziente und kompakte Vorpumpe für weitere Pumpen und Pumpsysteme dienen, beispielsweise für eine oder mehrere Turbomolekularpumpen.
  • Die mindestens zwei Vakuumpumpen können in einer vertikalen Richtung übereinander angeordnet sein. Das Vakuumgerät kann bei dieser Ausführungsform eine besonders kompakte Form aufweisen. Ferner kann die Schwerkraft bei einem Wechsel des Schmiermittels für die mindestens zwei Vakuumpumpen ausgenutzt werden, wenn sich der zentrale Einlass beispielsweise an einer Oberseite und der zentrale Auslass beispielsweise an einer Unterseite eines gemeinsamen Gehäuses der mindestens zwei Vakuumpumpen bzw. des Vakuumgeräts angeordnet ist.
  • Ferner kann eine Rückschlagklappe zwischen mindestens einem der Schmiermittelräume und dem zentralen Auslass angeordnet sein. Mittels einer solchen Rückschlagklappe kann eine Rückströmung des Schmiermittels in den Schmiermittelraum, dem die Rückschlagklappe zugeordnet ist, beim Ablassen des Schmiermittels verhindert werden. Eine solche Rückströmung kann beispielsweise auftreten, wenn das Schmiermittel aus einer in vertikaler Richtung höher angeordneten Vakuumpumpe bzw. aus einem von deren Schmiermittelräumen abgelassen wird und in Richtung des zentralen Auslasses strömt, der in vertikaler Richtung unterhalb der Vakuumpumpen angeordnet sein kann. Ohne das Vorhandensein der Rückschlagklappe würde das Schmiermittel unter Umständen nur teilweise zu dem zentralen Auslass gelangen und stattdessen auch in einen der tiefer gelegenen Schmiermittelräume hineinströmen können. Die Rückschlagklappe kann somit bewirken, dass das Schmiermittel beim Ablassen nur in Richtung des zentralen Auslasses strömen und nicht in andere Schmiermittelräume hineingelangen kann.
  • Eine jeweilige Rückschlagklappe kann in dem Fall, dass mindestens zwei Vakuumpumpen in vertikaler Richtung übereinander angeordnet sind, den Schmiermittelräumen einer oder mehrerer Vakuumpumpen zugeordnet sein, die in der vertikalen Richtung unterhalb mindestens einer anderen der Vakuumpumpen angeordnet sind. Eine jeweilige Rückschlagklappe kann somit lediglich an der in vertikaler Richtung an der untersten Position angeordneten Vakuumpumpe oder an allen Vakuumpumpen angeordnet sein, die sich unterhalb der obersten Vakuumpumpe befinden. Die jeweiligen Rückschlagklappen können dabei stromaufwärts der Zusammenführung des Schmiermittels an oder vor dem gemeinsamen zentralen Auslass angeordnet sein, d.h. jeweils zwischen dem jeweiligen Auslass der Schmiermittelräume und dem zentralen Auslass.
  • Nachfolgend wird die Erfindung beispielhaft anhand vorteilhafter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren beschrieben. Es zeigen, jeweils schematisch:
  • Fig. 1
    eine Seitenansicht eines Vakuumgeräts mit zwei Vakuumpumpen und
    Fig. 2
    eine Detailansicht eines Schmiermittelraums einer der Vakuumpumpen von Fig. 1.
  • Fig. 1 zeigt schematisch ein Vakuumgerät 100, das eine erste Vakuumpumpe 110 und eine zweite Vakuumpumpe 120 umfasst. Die beiden Vakuumpumpen 110, 120 sind in einem gemeinsamen Gehäuse 130 angeordnet, so dass das Gehäuse 130 die erste Vakuumpumpe 110 und die zweite Vakuumpumpe 120 vollständig umgibt. Die erste Vakuumpumpe 110 ist beispielsweise eine Wälzkolbenpumpe, während die zweite Vakuumpumpe 120 beispielsweise eine Schraubenpumpe ist.
  • Die erste Vakuumpumpe 110 weist einen ersten Schmiermittelraum 112 und einen zweiten Schmiermittelraum 114 auf, die auf entgegengesetzten Seiten eines Schöpfraums 116 der Vakuumpumpe 110 angeordnet sind. Auf ähnliche Weise weist die zweite Vakuumpumpe 120 einen ersten Schmiermittelraum 122 und einen zweiten Schmiermittelraum 124 auf, die wiederum auf entgegengesetzten Seiten eines Schöpfraums 126 der zweiten Vakuumpumpe 120 angeordnet sind.
  • Die jeweiligen Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 enthalten ein Schmiermittel 140, das zur Schmierung von Lagern für eine jeweilige Welle (beides nicht dargestellt) der Vakuumpumpen 110, 120 vorgesehen ist. Die jeweilige Welle der Vakuumpumpen 110, 120 wird im Betrieb der Vakuumpumpe 110, 120 jeweils von einem nicht dargestellten Motor der Vakuumpumpen 110, 120 angetrieben. Pumpaktive Elemente (nicht dargestellt) der jeweiligen Vakuumpumpe 110, 120 sind in dem jeweiligen Schöpfraum 116, 126 angeordnet und mit der jeweiligen Welle verbunden, um während des Betriebs der Vakuumpumpen 110, 120 drehend angetrieben zu werden.
  • Wie in Fig. 1 zu erkennen ist, sind die Vakuumpumpen 110, 120 in vertikaler Richtung übereinander angeordnet, so dass sich die erste Vakuumpumpe 110 in der vertikalen Richtung oberhalb der zweiten Vakuumpumpe 120 befindet. Ferner sind die Schöpfräume 116, 126 der beiden Vakuumpumpen 110, 120 miteinander verbunden, so dass die beiden Vakuumpumpen 110, 120 vakuumtechnisch in Reihe geschaltet sind. Die erste Vakuumpumpe 110 übt daher eine Boost-Funktion für die zweite Vakuumpumpe 120 aus. Dadurch lässt sich das Saugvermögen der Pumpenanordnung mit den beiden Vakuumpumpen 110, 120 bzw. des gesamten Vakuumgeräts 100 im Vergleich zur zweiten Vakuumpumpe 120 allein deutlich steigern, beispielsweise um einen Faktor 10. Das Saugvermögen bezieht sich auf den Volumendurchsatz der Vakuumpumpen 110, 120 pro Zeiteinheit und wird beispielsweise in Litern pro Sekunde angegeben.
  • Da die beiden Vakuumpumpen 110, 120 im Vakuumgerät 100 von dem gemeinsamen Gehäuse 130 umschlossen sind, bilden die miteinander gekoppelten Vakuumpumpen 110, 120 eine kompakte Einheit, bei der ein nicht dargestellter Pumpeneinlass der ersten Vakuumpumpe 110 mit einem Rezipienten verbunden werden kann, während ein Pumpenauslass der zweiten Vakuumpumpe 120 gegen Atmosphäre ausstoßen kann. Dadurch ergibt sich insgesamt eine Booster-Pumpe, die in dem Rezipienten ein Vakuum in einem Bereich bis etwa 10-4 mbar erzeugen kann, wenn die erste Vakuumpumpe 110 als Wälzkolbenpumpe und zweite Vakuumpumpe 120 als Schraubenpumpe ausgebildet ist.
  • Im Betrieb des Vakuumgeräts 100 erfordern die beiden Vakuumpumpen 110, 120 jedoch in vordefinierten Zeitintervallen einen Wechsel des Schmiermittels 140, um eine ausreichende Schmierung der jeweiligen Lager der Vakuumpumpen 110, 120 sicherzustellen und dadurch eine Beschädigung der jeweiligen Welle der Vakuumpumpen 110, 120 zu vermeiden. Konkret sollte das Schmiermittel 140 in den Schmiermittelräumen 112, 114, 122, 124 in regelmäßigen Zeitintervallen ausgetauscht werden. Aufgrund des gemeinsamen Gehäuses 130 sind die jeweiligen Einlässe und Auslässe der Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 jedoch nicht zugänglich.
  • Dies bedeutet, dass bei bekannten Pumpsystemen mit zwei Vakuumpumpen und gemeinsamem Gehäuse das Gehäuse zumindest teilweise entfernt bzw. demontiert werden muss, um an die jeweiligen Einlässe und Auslässe von Schmiermittelräumen zu gelangen und das Schmiermittel austauschen zu können. Da dies mit einem erhöhten Aufwand verbunden ist, wird im Betrieb einer solchen kompakten Pumpenanordnung mit zwei Vakuumpumpen und gemeinsamem Gehäuse ein Wechsel des Schmiermittels häufig hinausgezögert, bis ein Ausfall einer der beiden Vakuumpumpen auftritt. Ferner ist auch der Wechsel des Schmiermittels bei jeder einzelnen Vakuumpumpe mit erhöhtem Aufwand verbunden.
  • Um diese Schwierigkeiten zu umgehen, weist das erfindungsgemäße Vakuumgerät 100 einen zentralen Einlass 150 für das Schmiermittel 140 und einen zentralen Auslass 160 für das Schmiermittel 140 auf. Der zentrale Einlass bzw. Einfüllstutzen 150 ist über ein Leitungssystem 152 jeweils mit den Schmiermittelräumen 112, 114, 122, 124 der ersten Vakuumpumpe 110 und der zweiten Vakuumpumpe 120 strömungstechnisch verbunden. Auf ähnliche Weise sind die Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 über ein weiteres Leitungssystem 162 mit dem zentralen Auslass strömungstechnisch verbunden. Das Leitungssystem 152 zwischen dem zentralen Einlass 150 und den jeweiligen Schmiermittelräumen 112, 114, 122, 124 ist in Fig. 1 mit durchgezogenen Linien veranschaulicht, während das Leitungssystem 162 zwischen den Schmiermittelräumen 112, 114, 122, 124 und dem zentralen Auslass 160 mit strichpunktierten Linien veranschaulicht ist.
  • Das Vakuumgerät 100 umfasst ferner eine Steuerungseinrichtung 170, die dafür vorgesehen ist, das Einlassen und Auslassen des Schmiermittels 140 in die Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 bzw. aus diesen kontrolliert zu steuern. Dies umfasst, dass die Steuerungseinrichtung 170 das Schmiermittel 140 auf die Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 verteilt. Zu diesem Zweck steht die Steuerungseinrichtung 170 mit Ventilen 172, 174 in Verbindung, die jeweils in dem Leitungssystem 152 bzw. 162 angeordnet sind. Jedem der Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 ist jeweils ein Einlassventil 172 und ein Auslassventil 174 zugeordnet.
  • Die Einlassventile 172 befinden sich zwischen dem zentralen Einlass 150 und einem jeweiligen Einlass eines der Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124, während sich die Auslassventile 174 zwischen einem jeweiligen der Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 und dem zentralen Auslass 160 befinden. Mittels der Einlassventile 172 stellt die Steuerungseinrichtung 170 den jeweiligen Anteil des Schmiermittels 140 ein, der über den zentralen Einlass 150 in das Vakuumgerät 100 gelangt und anschließend in den jeweiligen Schmiermittelraum 112, 114, 122, 124 strömt. Beim Befüllen der Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 schaltet die Steuerungseinrichtung 170 derart zwischen den Ventilen 172 um, dass zu einem bestimmten Zeitpunkt jeweils nur ein einziges der Einlassventile 172 geöffnet ist. Die Einlassventile 172 werden also sukzessive für einen vorbestimmten Zeitraum nacheinander geöffnet, so dass während dieses Zeitraums jeweils nur eines der Einlassventile geöffnet ist und alle anderen Einlassventile 172 geschlossen sind. Dadurch werden die Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 sukzessive nacheinander befüllt.
  • Zur Steuerung der jeweiligen Ventile 172, 174 sind jeweilige elektrische Verbindungen oder Leitungen 176 vorgesehen. Der Übersichtlichkeit halber sind die Leitungen 176 in Fig. 1 nur für den Schmiermittelraum 114 der Vakuumpumpe 110 dargestellt. Es versteht sich jedoch, dass sämtliche Einlassventile 172 und sämtliche Auslassventile 174 über die Leitungen 176 mit der Steuerungseinrichtung 170 verbunden sind.
  • In den Schmiermittelräumen 112, 114, 122, 124 ist ferner jeweils eine Kontrolleinrichtung 180 für einen Füllstand des Schmiermittels 140 in dem jeweiligen Schmiermittelraum 112, 114, 122, 124 angeordnet. Die jeweilige Kontrolleinrichtung 180 für den Füllstand des Schmiermittels ist in Fig. 2 im Detail dargestellt und wird nachstehend genauer beschrieben. Die jeweilige Kontrolleinrichtung 180 steht jeweils ebenfalls über die Leitungen 176 mit der Steuerungseinrichtung 170 kommunikativ in Verbindung. Die Steuerungseinrichtung 170 empfängt daher von der jeweiligen Kontrolleinrichtung 180 ein Signal, das dem jeweiligen Füllstand des Schmiermittels 140 in dem jeweiligen Schmiermittelraum 112, 114, 122, 124 entspricht. Ein solches Signal kann beispielsweise angeben, ob ein vorbestimmter Füllstand des Schmiermittels 140 in dem jeweiligen Schmiermittelraum 112, 114, 122, 124 erreicht ist oder nicht. Anhand eines solchen Signals kann die Steuerungseinrichtung 170 die Befüllung der jeweiligen Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 mittels der Einlassventile 172 geeignet steuern, so dass am Ende eines Füllvorgangs in jedem der Schmiermittelräume 112, 114, 122, 124 der gewünschte Füllstand des Schmiermittels 140 erreicht ist.
  • Mittels einer Steuerung der jeweiligen Auslassventile 174 steuert die Steuerungseinrichtung 170 ferner das Ablassen des Schmiermittels 140 aus den jeweiligen Schmiermittelräumen 112, 114, 122, 124 über das Leitungssystem 162 in Richtung des zentralen Auslasses 160. Da die Vakuumpumpen 110, 120 bei der vorliegenden Ausführungsform in vertikaler Richtung übereinander angeordnet sind, strömt das Schmiermittel 140 nach dem Öffnen eines oder mehrerer Auslassventile 174 aufgrund der Schwerkraft automatisch aus den jeweiligen Schmiermittelräumen 112, 114, 122, 124 zu dem tiefer gelegenen zentralen Auslass 160.
  • Das Ablassen des Schmiermittels 140 aus den Schmiermittelräumen 112, 114, 122, 124 kann wiederum sukzessive erfolgen, indem jeweils nur eines der Auslassventile 174 gleichzeitig offen ist. Alternativ können auch sämtliche Auslassventile 174 oder die Auslassventile einer jeweiligen der Vakuumpumpen 110, 120 gleichzeitig geöffnet werden. Um eine Rückströmung des Schmiermittels 140 beispielsweise in die Schmiermittelräume 122, 124 der tiefer gelegenen zweiten Vakuumpumpe 120 zu vermeiden, ist eine Rückschlagklappe 190 zwischen diesen Schmiermittelräumen 122, 124 und dem zentralen Auslass 160 vorgesehen.
  • Fig. 2 zeigt beispielhaft einen vergrößerten Ausschnitt des Vakuumgeräts 100 von Fig. 1 im Bereich des Schmiermittelraums 112 der ersten Vakuumpumpe 110. Die Kontrolleinrichtung 180 für den Füllstand des Schmiermittels 140 ist in Fig. 2 im Detail dargestellt. Die Kontrolleinrichtung 180 ist als Schwimmerschalter ausgebildet und umfasst einen Schwimmer 210, der ringförmig ausgebildet ist und einen Reed-Kontakt 220 vollständig umgibt. In der Schnittansicht von Fig. 2 ist der Schwimmer 210 daher auf beiden Seiten des Reed-Kontaktes 220 dargestellt. Der Schwimmer 210 befindet sich ferner an der Oberfläche des Schmiermittels 140 in dem Schmiermittelraum 112, so dass die Position des Schwimmers 210 in vertikaler Richtung ein Maß für den Füllstand des Schmiermittels 140 in dem Schmiermittelraum 112 darstellt.
  • Der Schwimmer 210 weist einen Permanentmagneten 212 auf, der zum Betätigen eines Reed-Kontaktes 220 der Kontrolleinrichtung 180 vorgesehen ist. Sobald der Schwimmer 210 einen gewünschten Füllstand des Schmiermittels 140 in dem Schmiermittelraum 112 erreicht, schließt der Permanentmagnet 212 des Schwimmers 210 den Reed-Kontakt 220, der dadurch ein entsprechendes elektrisches Signal an die Steuerungseinrichtung 170 ausgibt.
  • Anhand dieses Signals, das den gewünschten Füllstand des Schmiermittels 140 in dem Schmiermittelraum 112 angibt, steuert die Steuerungseinrichtung 170 das Einlassventil 172 innerhalb des Leitungssystems 152 zwischen dem zentralen Einlass 150 (vgl. Fig. 1) und dem Schmiermittelraum 112. Die Steuerung des Einlassventils 172 mittels der Steuerungseinrichtung 170 erfolgt derart, dass das Einlassventil 172 bei Erreichen des gewünschten Füllstandes des Schmiermittels 140 in dem Schmiermittelraum 112 geschlossen wird. Dadurch wird sichergestellt, dass der Schmiermittelraum 112 nicht übermäßig mit dem Schmiermittel 140 befüllt wird. Um den Füllstand des Schmiermittels 140 in dem Schmiermittelraum 112 wie gewünscht einzustellen, kann die Steuerungseinrichtung 170 ferner auch das Auslassventil 174 geeignet betätigen, das dem Schmiermittelraum 112 zugeordnet ist und ebenso wie das Einlassventil 172 und der Reed-Kontakt 220 mit der Steuerungseinrichtung 170 in Verbindung steht.
  • Obwohl in Fig. 2 nur der Schmiermittelraum 112 der ersten Vakuumpumpe 110 dargestellt und ausführlich beschrieben ist, gilt diese Darstellung und die vorstehende Beschreibung sinngemäß auch für die weiteren Schmiermittelräume 114, 122 und 124 der ersten und der zweiten Vakuumpumpe 110, 120.
  • Bezugszeichenliste
  • 100
    Vakuumgerät
    110
    erste Vakuumpumpe
    112
    Schmiermittelraum
    114
    Schmiermittelraum
    116
    Schöpfraum
    120
    zweite Vakuumpumpe
    122
    Schmiermittelraum
    124
    Schmiermittelraum
    126
    Schöpfraum
    130
    Gehäuse
    140
    Schmiermittel
    150
    zentraler Einlass
    152
    Leitungssystem für das Einlassen des Schmiermittels
    160
    zentraler Auslass
    162
    Leitungssystem für das Auslassen des Schmiermittels
    170
    Steuerungseinrichtung
    172
    Einlassventil
    174
    Auslassventil
    176
    elektrische Leitung
    180
    Kontrolleinrichtung für den Füllstand des Schmiermittels
    190
    Rückschlagklappe
    210
    Schwimmer
    212
    Permanentmagnet
    220
    Reed-Kontakt

Claims (15)

  1. Vakuumgerät (100), umfassend
    mindestens zwei Vakuumpumpen (110, 120) mit jeweils mindestens einem Schmiermittelraum (112, 114, 122, 124), der für ein Schmiermittel (140) zur Schmierung mindestens einer Komponente der jeweiligen Vakuumpumpe (110, 120) vorgesehen ist,
    einen zentralen Einlass (150) für das Schmiermittel (140), der mit den jeweiligen Schmiermittelräumen (112, 114, 122, 124) der Vakuumpumpen (110, 120) in Verbindung steht, und
    einen zentralen Auslass (160) für das Schmiermittel (140), der mit den jeweiligen Schmiermittelräumen (112, 114, 122, 124) der Vakuumpumpen (110, 120) in Verbindung steht.
  2. Vakuumgerät (100) nach Anspruch 1, wobei
    das Vakuumgerät (100) ein Gehäuse (130) umfasst, dass die mindestens zwei Vakuumpumpen (110, 120) umgibt, und
    die Schmiermittelräume (112, 114, 122, 124) der Vakuumpumpen (110, 120) einen jeweiligen Einlass und einen jeweiligen Auslass für das Schmiermittel (140) aufweisen, die innerhalb des Gehäuses (130) angeordnet sind.
  3. Vakuumgerät (100) nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Vakuumgerät (100) ferner eine Steuerungseinrichtung (170) umfasst, die ausgebildet ist, einen jeweiligen Anteil des über den zentralen Einlass (150) zugeführten Schmiermittels (140) einzustellen, welcher dem jeweiligen Schmiermittelraum (112, 114, 122, 124) zugeführt wird.
  4. Vakuumgerät (100) nach Anspruch 3, wobei
    das Vakuumgerät (100) Ventile (172, 174) umfasst, die mit der Steuerungseinrichtung (170) signaltechnisch in Verbindung stehen, und mindestens ein Ventil (172, 174) jeweils einem der Schmiermittelräume (112, 114, 122, 124) der Vakuumpumpen (110, 120) zugeordnet ist.
  5. Vakuumgerät (100) nach Anspruch 4, wobei
    die Steuerungseinrichtung (170) ausgebildet ist, derart zwischen den Ventilen (172, 174) umzuschalten, dass die Schmiermittelräume (112, 114, 122, 124) nacheinander befüllt werden.
  6. Vakuumgerät (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Schmiermittelräume (112, 114, 122, 124) jeweils eine Kontrolleinrichtung (180) für einen Füllstand des Schmiermittels (140) in dem jeweiligen Schmiermittelraum (112, 114, 122, 124) aufweisen.
  7. Vakuumgerät (100) nach Anspruch 6, wobei
    die Kontrolleinrichtung (180) für den Füllstand einen Schwimmerschalter umfasst.
  8. Vakuumgerät (100) nach Anspruch 7, wobei
    der Schwimmerschalter einen Reed-Kontakt (220) aufweist.
  9. Vakuumgerät (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei
    die Vakuumpumpen (110, 120) jeweils eine rotierende Welle aufweisen,
    die jeweilige Welle pumpaktive Elemente trägt, die in einem Schöpfraum (116, 126) der jeweiligen Vakuumpumpe (110, 120) angeordnet sind, und
    der jeweiligen Welle mindestens zwei Lager zugeordnet sind, die jeweils mit einem der Schmiermittelräume (112, 114, 122, 124) in Verbindung stehen.
  10. Vakuumgerät (100) nach Anspruch 9, wobei
    die Schöpfräume (116, 126) mindestens zweier der Vakuumpumpen (110, 120) miteinander verbunden sind.
  11. Vakuumgerät (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei
    die Vakuumpumpen (110, 120) eine Wälzkolbenpumpe und eine Schraubenpumpe umfassen und
    die Wälzkolbenpumpe stromaufwärts der Schraubenpumpe angeordnet ist.
  12. Vakuumgerät (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei eine der Vakuumpumpen (110, 120) ausgebildet ist, gegen Atmosphäre auszustoßen.
  13. Vakuumgerät (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 12, wobei die mindestens zwei Vakuumpumpen (110, 120) in einer vertikalen Richtung übereinander angeordnet sind.
  14. Vakuumgerät (100) nach einem der Ansprüche 1 bis 13, wobei eine Rückschlagklappe (190) zwischen mindestens einem der Schmiermittelräume (112, 114, 122, 124) und dem zentralen Auslass (160) angeordnet ist.
  15. Vakuumgerät (100) nach Anspruch 13 und 14, wobei eine jeweilige Rückschlagklappe (190) den Schmiermittelräumen (112, 114, 122, 124) einer oder mehrerer Vakuumpumpen (110, 120) zugeordnet ist, die in der vertikalen Richtung unterhalb mindestens einer anderen der Vakuumpumpen (110, 120) angeordnet sind.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023280660A1 (en) * 2021-07-05 2023-01-12 Pfeiffer Vacuum Vacuum pump

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB848785A (en) * 1958-05-21 1960-09-21 Heraeus Gmbh W C Improvements in or relating to multi-stage oil-sealed rotary vacuum pumps
JPH0436091A (ja) * 1990-05-29 1992-02-06 Shimadzu Corp 油回転真空ポンプ
JP4218756B2 (ja) * 2003-10-17 2009-02-04 株式会社荏原製作所 真空排気装置
FR2869369B1 (fr) * 2004-04-21 2006-07-21 Alcatel Sa Pompe a vide multi-etagee, et installation de pompage comprenant une telle pompe
FR3112578B3 (fr) * 2020-07-20 2022-07-22 Pfeiffer Vacuum Pompe à vide à palettes, détecteur et installation de lyophilisation

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023280660A1 (en) * 2021-07-05 2023-01-12 Pfeiffer Vacuum Vacuum pump

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