EP4121577A1 - Verfahren zum ermitteln des endes eines reinigungsprozesses der prozesskammer eines mocvd-reaktors - Google Patents

Verfahren zum ermitteln des endes eines reinigungsprozesses der prozesskammer eines mocvd-reaktors

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EP4121577A1
EP4121577A1 EP21712814.9A EP21712814A EP4121577A1 EP 4121577 A1 EP4121577 A1 EP 4121577A1 EP 21712814 A EP21712814 A EP 21712814A EP 4121577 A1 EP4121577 A1 EP 4121577A1
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EP
European Patent Office
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process chamber
temperature
measured
susceptor
measured values
Prior art date
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Pending
Application number
EP21712814.9A
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English (en)
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Inventor
Utz Herwig Hahn
Martin Eickelkamp
Dirk Fahle
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Aixtron SE
Original Assignee
Aixtron SE
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/301—AIII BV compounds, where A is Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
    • C23C16/4405—Cleaning of reactor or parts inside the reactor by using reactive gases
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/4401—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber
    • C23C16/4408—Means for minimising impurities, e.g. dust, moisture or residual gas, in the reaction chamber by purging residual gases from the reaction chamber or gas lines

Definitions

  • the invention relates to a method for removing parasitic deposits from surfaces of a process chamber of a susceptor having a heated susceptor having a CVD reactor, while an etching gas is fed into the heated to an elevated temperature process chamber by observing a thermal
  • measured values are obtained and the feeding of the etching gas is ended when the measured values reach a comparison value, with a temperature control element being regulated to a predetermined temperature or with a constant heating power during the feeding of the etching gas is heated.
  • the invention also relates to a device for the implementation of the method, comprising a CVD reactor with a process chamber arranged in a housing of the CVD reactor, which has a susceptor with a plurality of storage spaces each for storing at least one substrate , a heating device for heating the susceptor, a gas inlet element, with one or more surfaces on which when performing a coating process in which at least one organometallic compound of an element of the II or III main group and at least one hydride of an element of the V or VI main group is fed into the process chamber together with a carrier gas through the gas inlet element, parasitic deposits arise, with a measuring device for determining a thermal response of at least one object in or in the area near the process chamber and with a control device, the valves and mass Flussregier controls to generate a flow of an etching gas through the process chamber and switches off the flow of the etching gas into the process chamber when a measured value obtained from the thermal response reaches a comparison value.
  • a CVD reactor in particular a MOCVD reactor
  • a plurality of substrates which are simultaneously on a susceptor in a process chamber of the reactor, are deposited in successive deposition steps, in particular from a III-V layer. or a II-VI material deposited, including organometallic reaction gases and hydrides together with a carrier gas, for example hydrogen, are fed into the process chamber.
  • the process chamber is heated to a process temperature. Not only the substrates, but also the walls of the process chamber have a temperature at which a coating forms on the surfaces.
  • the desired layer forms on the substrates.
  • Parasitic deposits form on the surfaces. These parasitic deposits must be removed at regular intervals, in particular after the processed substrates have been removed from the process chamber.
  • an etching gas which may contain or be chlorine, is fed into the process chamber by means of a gas inlet element or some other gas supply line.
  • a first etching gas for example chlorine or HCl
  • a second etching gas for example ammonia
  • etching steps or phases are carried out for a predetermined time or a predetermined number of these etching cycles are carried out.
  • US Pat. No. 8,083,960 B2 describes a device and a method with which the luminescence is measured at a specific wavelength in a dry etching process of a semiconductor wafer in order to determine the end of the etching process Regression line is calculated.
  • US Pat. No. 6,919,279 B1 describes a method for plasma etching a surface. During the etching process, a spectral emission rate of two or more light-emitting reaction components is recorded.
  • WO 2007/041454 describes a cleaning process in which a thermal response of at least one object is observed and measured values are obtained therefrom, which are compared with comparison values. The cleaning process is ended when the measured values reach the comparison value.
  • a special sensor with a sensor body that is kept at a constant temperature is used.
  • WO 2018/035418 A1 describes a plasma coating device with a showerhead and a susceptor. The process chamber can be cleaned with the aid of a plasma by introducing a cleaning gas. Temperatures in the process chamber are measured with temperature sensors and the cleaning process is terminated when a threshold value is reached.
  • the invention is based on the object of optimizing the method for removing the parasitic deposits from surfaces of a process chamber of a CVD reactor.
  • the invention is also based on the object of specifying means with which it is ensured that the etching step or etching cycle has a sufficient length so that the parasitic deposits are removed to a sufficient extent and that the etching cycle is not carried out for too long, since the latter not only increases costs, but also reduces the service life of the components exposed to the etching gas.
  • the object is achieved by the invention specified in the claims, the subclaims not only representing advantageous developments of the independent claims but also independent solutions to the problem.
  • the thermal response of an object is observed in or in the area near the process chamber during the cleaning process.
  • At least one measured value is obtained which changes as a result of a decrease in the thickness of a parasitic coating on a surface of the process chamber.
  • This measured value is compared with a comparison value. If the measured value reaches the comparison value, the cleaning process is ended.
  • the comparison value can be a reference value to which a tolerance limit is applied, for example a window in a temperature range or a limit temperature.
  • a tempering body is regulated to a predetermined temperature while the etching body is being fed in.
  • the temperature control body is the sus- receptor. This is heated up with a heating device.
  • a temperature sensor is provided which, for example, measures a temperature of the side of the susceptor facing the heating device, this temperature being kept at a constant value by a control device. While the etching gas is being fed in, the thermal response of a surface of this or another component of the process chamber can be determined and measured values can be obtained therefrom. For example, the temperature of the other component, which has the parasitic coating to be removed, can be measured.
  • this other component is a process chamber ceiling.
  • the process chamber ceiling can extend parallel to the susceptor, so that the process chamber is located between the susceptor and the process chamber ceiling. It can be provided that the temperature is measured on the rear side of the process chamber ceiling facing away from the process chamber.
  • the surface on which the temperature is measured cannot have any parasitic deposits.
  • the body, the temperature of which is measured can, however, have a different surface that has the parasitic deposits.
  • the temperature of a coating-free surface, which is opposite a parasitically coated surface is preferably measured on a process chamber ceiling.
  • the process chamber ceiling or the other component whose thermal response is observed is preferably located in a heat transport path between a heat source, which forms the heating device of the susceptor or the susceptor surface, and a heat sink, which is formed by a housing wall or process chamber wall, which by means of a cooling device is cooled with a constant cooling capacity or is regulated to a constant temperature by means of a controller and the cooling device.
  • the parasitic coating affects the emissivity of the component whose thermal response is being observed. If the emissivity of the component changes, the heat flow between the heat source and the heat sink changes ke and the associated temperature of the component. By continuously measuring the temperature of the component lying in the heat transport path, it can also be determined when the coating has been removed to a sufficient extent.
  • the measured value which in the present case can be a temperature
  • the comparison value can be determined in preliminary tests, for example in that the process chamber is operated with the same process parameters that are set during the cleaning process, with components free of parasitic deposits and the temperatures are measured during this operation.
  • the comparison temperature can, for example, be a temperature determined in such a preliminary test to which a tolerance value is applied.
  • the cleaning process can be carried out until the measured temperature has approached the temperature determined in the preliminary tests up to, for example, 5K or 3K. If this state is reached, the cleaning step is ended.
  • a temperature of the component of the process chamber having the parasitic occupancy to be removed is kept at a constant temperature during the cleaning step.
  • a temperature control gas is fed into a gap between the rear side of the process chamber ceiling facing away from the process chamber and a cooled housing wall.
  • the gas composition of the temperature control gas can be varied by means of a mass flow controller.
  • the temperature control gas preferably consists of an adjustable mixture of a highly thermally conductive gas, for example hydrogen, and a weakly thermally conductive gas, for example nitrogen.
  • two noble gases that conduct heat to different degrees can also be used. In this variant, the mixing ratio or the mass flow of the temperature control gas is observed.
  • the comparison value is a mixing ratio or a mass flow of the tempering gas, which, however, in preliminary tests with otherwise the same process parameters the use of pure components is fed into the gap.
  • the process parameters are in particular at least one susceptor temperature that is kept constant, or a heating power with which the susceptor is tempered and that is kept constant, a carrier gas flow through the process chamber that is kept constant, and a total pressure within the pro process chamber that is kept constant.
  • the body to be cleaned is the susceptor or a holding device located on the susceptor, a substrate holder or the like carried by the susceptor (in particular a base module or a ring combination).
  • the temperature of the side of the susceptor facing the heating device is kept constant, for example by measuring the temperature there by means of a temperature measuring device, for example a pyrometer, a thermocouple or a light pipe
  • the temperature of the broad side surface of the susceptor facing the process chamber changes due to the changing emissivity of the surface during etching.
  • This temperature can be measured optically, for example with a pyrometer.
  • the comparison value is determined during the etching step.
  • the process gas formed by the reactive gases is fed into the process chamber through a gas inlet element.
  • the gas inlet element can be a central gas inlet element which is arranged in the middle of the process chamber.
  • the gas inlet member can also be a Be a showerhead, which to a certain extent forms the process chamber ceiling, and forms a gas outlet surface that has a large number of gas outlet openings that point towards the process chamber.
  • the gas inlet element can have first outlet openings through which a first reactive gas enters the process chamber and second outlet openings through which a second reactive gas is fed into the process chamber so that the two reactive gases only come into contact with one another in the process chamber .
  • the storage areas are shaded by the substrates so that no parasitic deposition occurs there. However, this takes place in the intermediate surfaces between the storage locations on the broad side surface of the susceptor that sends to the process chamber.
  • the temperatures there can be measured and the measured values treated as comparison values.
  • the etching step is ended when the temperatures measured on the coated intermediate surfaces have approached the comparison values to a sufficient extent. Not only a measured temperature can be used as a thermal answer.
  • the heating power of the heating device with which the susceptor is heated to a predetermined temperature can also be used.
  • a temperature measured, for example, on the broad side of the susceptor facing the heating device can also be used as a thermal response if the susceptor is heated with a constant heating power.
  • the optical properties of the surfaces that change in the course of removing the parasitic coatings influence the heat flow from a heat source, for example the heating device for heating the susceptor, to a heat sink, for example to a cooled process chamber wall.
  • the change in the heat flow causes temperature changes in the heat transport away.
  • the cleaning step can be a single cleaning step, which is ended when the measured value obtained by observing a thermal response reaches the comparison value.
  • the cleaning step reaches the comparison value after the measured value has, for security reasons, is continued for a specified time.
  • the comparison value is a temperature
  • it can be the temperature that has been determined under pure conditions with otherwise identical process parameters and has been modified by a safety margin or safety margin of, for example, 3K or 5K.
  • the cleaning step consists of a plurality of cycles, each cycle having an etching phase which can have a predetermined length.
  • the process chamber can be flushed with a flushing gas between two etching phases, so that each cycle has at least one etching phase and one flushing phase.
  • a second etching phase is carried out in which, for example, ammonia is fed into the process chamber in order to remove carbon compounds from the surfaces of the components to be cleaned.
  • the system learns permanently and, by means of machine learning, the comparison value is permanently adapted to the ambient conditions changing due to a drift or similar.
  • process results of subsequent deposition processes can be assessed and the assessment of these process results, for example properties of the layers deposited on the substrates, can be used to decide whether the cleaning process was carried out with sufficient intensity.
  • other optical properties for example the emissivity of the surfaces to be cleaned, are continuously measured and these measured values are also measured Comparison values are compared in order to terminate the feed of the etching gas when falling below or exceeding a threshold value.
  • the comparison value in the temperature measurement can be a reference temperature with a safety margin
  • the comparison value in the measurement of the emissivities can be a measured value of a reference emissivity with a security margin. It is considered advantageous if, in order to determine the point in time to end the feeding in of the etching gas or to end the etching step or the etching cycles, measured values are measured with an optical measuring device on a surface of a body that change because the body is in a heat transfer path between a heat source, which has a higher temperature than the body, and a heat sink, which has a lower temperature than the body, is arranged, and the heat radiation is an essential mechanism of heat transport between the heat source and the body or body and heat sink, wherein at least one surface of the body has an optical property that changes continuously during the etching step, where the body is a functional component of the process chamber.
  • a variant of the method according to a further aspect of the invention can be carried out, in which the comparison value changes during the feeding of the etching gas.
  • the comparison value can thus be either a specified or a variable comparison value.
  • the comparison value is dependent on the time course of a thermal response, for example a temperature of another object in the area near the process chamber or in the process chamber. It can be provided that the comparison value is a second temperature measured in the CVD reactor. It can further be provided that the second comparison value is a second temperature measured in the CVD reactor and provided with an additive constant. To determine the comparison value, a second thermal response of a second object can be continuously observed during the etching step.
  • first means can be provided with which the first thermal response is observed and second means with which the second thermal response is observed.
  • the first thermal response is measured on a susceptor and the second thermal response is measured on a ceiling of the process chamber.
  • the thermal response of a region of the susceptor that remains uncoated when the coating process is carried out can be measured with a temperature measuring device which, in particular, has an optical effect.
  • the thermal response of a location on the ceiling of the process chamber can be measured. It can be a location that remains uncoated during the coating process. However, it can also be a location at which a parasitic coating forms when the coating process is carried out.
  • the observation of the two thermal responses which are preferably measured temperature values or measured emission values, takes place continuously, quasi continuously or periodically during the etching process.
  • each of the two thermal responses is represented by a measured value and a relationship, for example a difference, is formed from the two measured values.
  • a relationship for example a difference between a temperature measured at a location on the susceptor and a temperature measured at a location on a process chamber ceiling, is formed. This relationship, for example difference, can be compared with a comparison value.
  • the etching process i.e.
  • the feeding in of the etching gas can be ended when the relationship For example, the difference between the two measured values falls within a window around a comparison value, that is, falls below a predetermined distance value from the comparison value.
  • the slope of a measurement curve obtained from the measured values is observed during the etching process.
  • Such a measurement curve can asymptotically approach an end value.
  • the absolute value of the time derivative of one of the measured values or the relationship for example the difference between two measured values or only one measured value, is observed.
  • a value can be specified which is a threshold value for the time derivative. If the absolute value of the time derivative of a measured value, both measured values or a relationship, for example the difference between two measured values, falls below the threshold value, the feeding in of the etching gas is terminated.
  • FIG. 2 shows the time course of a temperature measured at the measuring point 20 of a process chamber ceiling 7 in a device shown in FIG. 1 over the time of a first exemplary embodiment
  • FIG. 3 shows a representation according to Figure 2 of a second gamehimsbei
  • FIG. 4 shows a representation similar to FIG. 3 of a time profile of the change in a measured temperature value
  • FIG. 5 shows an illustration according to FIG. 3 of a further exemplary embodiment, in which the measured value of a temperature asymptotically approaches an end value during an etching step
  • FIG. 4 shows a representation similar to FIG. 3 of a time profile of the change in a measured temperature value
  • FIG. 5 shows an illustration according to FIG. 3 of a further exemplary embodiment, in which the measured value of a temperature asymptotically approaches an end value during an etching step
  • FIG. 5 shows an illustration according to FIG. 3 of a further exemplary embodiment, in which the measured value of a temperature asymptotically approaches an end value during an etching step
  • FIG. 6 shows a representation similar to FIG. 5 of a measurement curve for a temperature which asymptotically approaches an end value.
  • FIG. 1 shows roughly schematically an MOCVD reactor which has a housing 1 which seals the interior of the housing 1 in a gas-tight manner with respect to the housing environment.
  • a susceptor 2 made of graphite, for example coated graphite, which is formed by a circular disk-shaped disk.
  • the susceptor 2 has a downwardly facing broad side surface 4 on which a temperature can be measured with a temperature sensor 18 at the point indicated by the reference number 18.
  • the broad side surface 4 faces a heating device 5 with which the susceptor 2 can be heated.
  • the heating device 5 can be an IR heating device or an RF heating device.
  • Opposite the broad side surface 4 of the susceptor 2 is a broad side surface 3 which points to a process chamber 6.
  • a reactive gas can be an organometallic compound of an element of main group III.
  • a second reactive gas can be a hydride of a compound of an element of the main V group.
  • the layer can be a III-V layer.
  • Gaseous reaction products can be sucked off through a gas outlet element 15, which surrounds the process chamber 6 in an annular manner, with a pump (not shown).
  • the susceptor 2 is carried by a shaft 17 which can be rotated in order to rotate the susceptor 2 with respect to the process chamber ceiling 7.
  • the process chamber 6 is delimited at the bottom by the broad side surface 3 of the susceptor 2 and at the top by a broad side surface 9 of a process chamber ceiling 7 extending parallel to the susceptor 2.
  • the process chamber ceiling 7 is a thin, temperature-stable disk made of coated graphite, ceramic, quartz or another suitable material. It has a broad side surface 8 which is directed towards a gap 10.
  • the broad side surface 8 is directed away from the broad side surface 7 and the process chamber 6 and is directed towards a cooling device 11, so that the gap 10 extends between the cooling device and the process chamber ceiling 7.
  • the cooling device 11 has cooling channels 12 through which ademit tel can flow.
  • a temperature measuring device 19 which can be a pyrometer, is located above an opening 21 in the cooling device 11 or the wall formed by the cooling device 11. With the measuring device 19, a temperature of the product is measured at a measuring point 20 measuring chamber ceiling 7 measured.
  • a temperature control gas feed line 22 opens into the gap 10, into which a temperature control gas provided by a temperature control gas source 24 can be fed into the gap 10.
  • the temperature control gas consists of two gases that have different thermal conductivity properties, for example nitrogen and hydrogen or helium and argon. By varying the mixing ratio of the two gases, the heat transfer from the process chamber ceiling 7 to the process chamber wall, which in the exemplary embodiment is formed by the cooling device 11, can be varied.
  • a control device (not shown) of a control device 23 is used to keep a susceptor temperature measured by the temperature sensor 18 at a constant value.
  • the heat flow generated by the heating device 5 to the susceptor 2 is varied.
  • the temperature of the coolant flowing through the cooling channel 12 is also kept at a predetermined coolant temperature.
  • a temperature gas is provided, which is fed into the gap 10. The composition of the temperature control gas is varied in such a way that the temperature of the rear side of the process chamber ceiling 7 measured at the measuring point 20 remains at a constant value.
  • parasitic deposits are deposited on the broadside surface 9 of the process chamber ceiling facing the process chamber 6 and on the areas of the broadside surface 3 of the susceptor 2 facing the process chamber 6 that are not covered by the substrates 16. These parasitic coatings should be removed after the coating process.
  • An etching gas which has chlorine or a chlorine-containing compound, is fed into the process chamber through the gas inlet element 13 or through other feed lines not shown in the figures. This is done together with an inert gas, for example nitrogen.
  • the process chamber is heated to temperatures above 500, 600 or 700 ° C, at which in particular metal-containing parasitic deposits are removed from the broad side surface 9 of the process chamber ceiling 7 facing the process chamber 6 by a chemical reaction in which chlorides can form.
  • the parasitic coverings of the broad side surfaces 9, 3 lead to a change in the optical properties of the broad side surfaces 9, 3. Due to a temperature gradient between the broad side surface 3 and the broad side surface 9, a heat flow occurs during the etching process (but also during the growth process) from the susceptor 2 to the process chamber ceiling 7 instead.
  • the heat transport mechanism is on the one hand the heat conduction via the gas fed into the process chamber 6 at pressures that are below atmospheric pressure, to a certain extent also the convection, but essentially the heat radiation from the susceptor 2 to the process chamber cover 7.
  • the transferred by means of heat radiation Heat depends on the optical properties of the broadside surfaces 9, 3, which differ when the broadside surfaces 9, 3 are free of coating, i.e.
  • a temperature measured on the broadside surface 3 of the susceptor 2 in the area between the substrates 16 or a temperature measured on the broadside surface 8 facing the gap 10 is of the type and material thickness of a coating on the broadside surface 3 or one of the broadside surface 8 of the process chamber ceiling 7 opposite broad side surface 9 dependent.
  • the measured temperatures drop in the course of the removal of the coating from the broad sides 3 or 9 and it reaches a minimum when the coating is completely removed.
  • the invention makes use of this effect in order to define an event, the occurrence of which triggers the termination of an etching step.
  • certain process parameters such as the temperature measured with the temperature sensor 18, gas flows through the process chamber 6 and certain composition of the temperature gas flow fed into the gap 10, as well as the total pressure in the process chamber 6 with pure, uncoated surfaces of the broad side surfaces 3, 9 temperatures of the Broad side surfaces 3 or 8 set.
  • 20 reference temperatures are measured at selected points. Comparative values are formed from these reference temperatures.
  • the comparison values are in particular comparison temperatures that differ from the reference temperatures by a specified tolerance range of around 3K, 5K, 6K or 10K. It can be provided that the comparison temperature is a temperature range in the manner of a temperature window around the reference temperature.
  • the same process parameters are set and an etching gas is also fed into the process chamber.
  • the change in the temperature at the measuring point 20 of the broad side surface 8 of the process chamber cover 7 is continuously measured.
  • the measured temperature is compared with the comparison temperature obtained from the reference values or a temperature window around a reference temperature. If the measured temperature falls below or above the reference temperature or in the temperature window, this is called Event taken to end the etching step.
  • the etching step can be ended immediately by ending the flow of etching gas. However, it is also provided that after the occurrence of the event, the etching gas continues to flow for a predetermined time.
  • a temperature on the broad side surface 3 facing the process chamber 6 can also be measured. This temperature also changes due to the constant flow of heat from the heating device 5 through the susceptor 2 to the opposite wall of the process chamber 6.
  • the temperature measured at the measuring point 20 can be kept constant by varying the composition of the temperature gas fed into the gap 10 by means of the temperature gas feed line 22, and the cooling power with which the coolant flowing through the coolant channels 12 is observed can be observed Target temperature is cooled. If this cooling performance falls within a specified range of a comparison value, the etching step can be terminated.
  • the heating power fed into the heating device 5 can be kept constant and the temperature of the susceptor, which changes during the etching step, can be measured with the temperature sensor 18 and the etching step can be terminated when this temperature falls into a range a comparison value falls.
  • the surface temperature of a storage location 25 can also be measured on the broad side surface 3 of the susceptor 2 facing the process chamber 6, on which in the previous coating tion step, a substrate 25 is located and has shielded the surface against the formation of a parasitic coating.
  • This surface temperature can be compared with a surface temperature measured in the area next to the storage spaces 25. If the two temperatures approach each other up to a predetermined range, the etching step can be terminated.
  • FIG. 2 shows an exemplary embodiment in which, at the beginning of a cleaning process, in a first cleaning step E1, the susceptor temperature is increased until it has reached a predetermined value at a time t1 and this value has stabilized.
  • a first etching gas for example a chlorine-containing compound
  • A the emissivity of the broad side surfaces 3, 9 provided with parasitic coverings changes, so that a temperature T measured at measuring point 20 steadily drops.
  • the first cleaning phase A is carried out for a predetermined time.
  • the etching gas is switched off and a flushing gas is fed into the process chamber.
  • the susceptor temperature is increased.
  • another cleaning gas for example ammonia
  • another cleaning gas for example ammonia
  • the second cleaning gas is switched off and a flushing gas is fed into the process chamber.
  • the susceptor temperature drops again and stabilizes until time t5.
  • the second cleaning step E1 includes a further first cleaning phase A, a subsequent rinsing phase B, a second cleaning step C and a further rinsing phase D.
  • etching steps E1 and E2 consisting of different phases are carried out one after the other.
  • only two etching steps E1 and E2 are shown. Any number of etching steps can be can be carried out separately.
  • the etching steps are carried out one after the other until the temperature measured at measuring point 20 falls below the comparison temperature Tv. Then either the entire cleaning process is aborted or a final etching step E + is added.
  • FIG. 3 shows a simplified cleaning process in which a first etching step El is started at a time tl, in which the etching gas is fed into the process chamber.
  • the temperature T at the measuring point 20 is constantly observed.
  • the temperature T reaches the comparison temperature Tv at time t2 and thus triggers the event to end the cleaning process.
  • a supplementary etching step E + is carried out for a time up to t3.
  • the comparison value Tv can change over time. It can thus be provided that the comparison value depends on a further temperature measured within the CVD reactor.
  • a first temperature T1 can, for example, be a temperature measured on a susceptor and in particular on an area that remains free during the coating of parasitic deposits.
  • a second temperature T2 can, for example, be a temperature measured on a process chamber ceiling. The second temperature can be measured on the side of the process chamber ceiling 7 facing the process chamber 6. In this case, the second temperature is measured at a location where parasitic coatings form during the coating process. It can also be provided that the second temperature is measured on the side of the process chamber ceiling 7 facing away from the process chamber 6.
  • the second temperature is measured at a location that does not receive any parasitic deposits during the coating process.
  • a comparison can be made from the second temperature which is, for example, the value of the measured second temperature reduced by a constant value.
  • FIG. 4 shows a comparison value Tv which is a function of time. This is shown by the lower solid line in FIG. The two dashed lines next to the solid line indicate a window. As soon as the temperature measurement curve, which is shown by the upper solid line, enters the window, the supply of etching gas is terminated. In the exemplary embodiment shown in FIG. 4, the etching process E1 begins at time t1 and ends at time t2.
  • FIG. 5 shows a variant in which the observed temperature asymptotically approaches a constant value, which is shown in FIG. 5 by a horizontal line.
  • the two parallel dashed lines indicate a window.
  • the horizontal line labeled Tv can be a predetermined temperature.
  • the temperature curve can be the curve of a single measured temperature, for example measured at a location on the susceptor.
  • the temperature measurement curve can, however, also be a relationship between two measured temperatures, for example a difference between two temperatures, for example the first temperature can be a temperature measured at the susceptor 2 and the second temperature can be a temperature measured at a process chamber ceiling 7.
  • FIG. 6 shows a further variant in which the solid curve is a temperature measurement value of an individual temperature, for example an observed temperature which is measured on the susceptor 2.
  • the measurement curve can, however, also be a relationship between two measured temperatures, for example a difference between a first temperature t 1 measured at the susceptor 2 and a second temperature measured at the process chamber ceiling 7.
  • a computing device is used to calculate a difference quotient, which represents a derivative over time, from the measured values of the temperature or the relationship between several measured temperatures. This time derivative is compared with a predetermined value Z. If the absolute value of the calculated time derivative is less than the specified value Z, this is used as an opportunity to end the etching process.
  • the curve shown in FIG. 6 can also asymptotically approach an end value.
  • the method was previously described using a single temperature measurement curve or a curve that represents a relationship between two temperatures.
  • the method according to the invention and the device according to the invention also include exemplary embodiments in which more than two measured thermal responses are observed in order to find the point in time for ending the feeding in of the etching gas.
  • the thermal responses can be measured temperature values, measured emission values or heating or cooling outputs.
  • thermal response is a temperature or emissivity of a surface of the object 2, 2, 7, 8, 11 that has no coating.
  • a method which is characterized in that the thermal response is a heating or cooling output for controlling the temperature T.
  • a method which is characterized in that, prior to the removal of the parasitic deposits, simultaneously on a plurality of substrates 16 arranged on storage areas 25 on a susceptor 2 delimiting the process chamber 6 to one side by feeding at least one organometallic compound of an element of the II, III or IV main group and at least one hydride of an element of the IV, V or VI main group, one or more crystalline layers are deposited together with a carrier gas, during which the parasitic deposits to be removed have formed , and after the layers have been deposited, the sub strate 16 are removed from the process chamber 6 and the etching gas is or includes an element of main group VII.
  • a method which is characterized in that the thermal response is measured with an optical measuring device 19.
  • thermo response is a temperature T measured on a broad side 8, pointing away from the process chamber 6, of a process chamber ceiling 7 delimiting the process chamber 6 with process parameters otherwise kept constant.
  • comparison value Tv is a temperature T measured on the body 7 free of parasitic deposits in preliminary tests under the same parameters and / or that the window is a temperature range around a reference temperature that is at the body 7 free of parasitic deposits is measured in preliminary tests under the same process parameters.
  • the object is a heating device 5 and the thermal response is a heating power of the heating device 5 for reaching a predetermined temperature T of a functional component 2 of the process chamber 6.
  • comparison value Tv is a predetermined value and / or that the comparison value Tv is obtained at the same time as the measured values T and / or that the comparison value Tv is continuously adapted by machine learning will.
  • comparison values Tv temperature values of the surfaces of the storage spaces 25 of the substrates 16 and the measured values T are temperature values that are obtained on the surface 3 of the susceptor 6 outside the storage locations 25.
  • a method which is characterized in that the measured values T is the composition or a mass flow of a temperature gas 24 that covers 7 in an intermediate space 10 between a heat sink 11 and a body regulated to a predetermined temperature T and / or the process chamber is.
  • a last etching step E + is carried out for a predetermined time and / or that each of the etching steps E1, E2, E + or at least some of these etching steps E1, E2, E + have a first cleaning phase A, in which the etching gas is fed into the process chamber 6, which is followed by a first rinsing phase B, which is followed by a second cleaning phase C follows, in which a cleaning gas is fed into the process chamber 6, which is followed by a second flushing phase D.
  • a method which is characterized in that measured values (t) are obtained by observing a thermal response of at least one object (2, 3, 7, 8, 11) in or in the area near the process chamber (6) and that The feeding of the etching gas is ended when the absolute value of the time derivative of the course of the measured values (t) falls below a predetermined value (Z).
  • a method which is characterized in that by observing a first thermal response at least one first object 2, 3, 7,
  • first measured values tl are obtained that by observing a second thermal response to at least one second object 2, 3, 7, 8, 11 in or in the area near the process chamber 6, second measured values t2 can be obtained and that the feeding of the etching gas is ended when a relationship between the two measured values tl, t2 fall within a window around a comparison value Tv or when the absolute value of the time derivative of the relationship between the two measured values tl, t2 is specified Value Z falls below.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Entfernen von parasitären Abscheidungen von Oberflächen einer Prozesskammer (6) eines CVD-Reaktors, insbesondere eines MOCVD-Reaktors. Ein Suszeptor (2) des CVD-Reaktors wird von einer Heizeinrichtung (5) beheizt, wobei der Suszeptor (2) auf eine vorgegebene Temperatur (T) geregelt oder mit einer konstanten Heizleistung beheizt wird. Währenddessen wird ein Ätzgas in die aufgeheizte Prozesskammer (6) eingespeist. Es wird eine thermische Antwort zumindest eines Objektes (2, 3, 7, 8, 11) beobachtet, wobei die thermische Antwort insbesondere die Temperatur (T) einer von der Prozesskammer (6) abgewandten Breitseite einer Prozesskammerdecke (7) ist. Die parasitären Abscheidungen beeinflussen die Emissivität der Oberfläche der Prozesskammerdecke (7), die die Temperaturverteilung im Bereich der Prozesskammer (6) beeinflusst. Das Einspeisen des Ätzgases wird beendet, wenn die sich aufgrund der beim Reinigen ändernden Emissivität der Oberfläche ändernden Temperatur (T) einen Vergleichswert (Tv) erreicht.

Description

Beschreibung
Verfahren zum Ermiteln des Endes eines Reinigungsprozesses der Prozesskammer eines MOCVD-Reaktors
Gebiet der Technik
[0001] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Entfernen von parasitären Abscheidungen von Oberflächen einer Prozesskammer eines einen von einer Heizeinrichtung beheizbaren Suszeptor aufweisenden CVD-Reaktors, wäh renddessen ein Ätzgas in die auf eine erhöhte Temperatur aufgeheizte Prozess kammer eingespeist wird, wobei durch Beobachtung einer thermischen Ant wort zumindest eines Objektes in oder im Bereich nahe der Prozesskammer Messwerte gewonnen werden und das Einspeisen des Ätzgases beendet wird, wenn die Messwerte einen Vergleichswert erreichen, wobei während des Ein- speisens des Ätzgases ein Temperierkörper auf eine vorgegebene Temperatur geregelt oder mit einer konstanten Heizleistung beheizt wird.
[0002] Die Erfindung betrifft darüber hinaus eine Vorrichtung zur Durchfüh rung des Verfahrens, aufweisend einen CVD-Reaktor mit einer in einem Ge häuse des CVD-Reaktors angeordneten Prozesskammer, die einen Suszeptor mit einer Vielzahl von Lagerplätzen jeweils zur Lagerung zumindest eines Sub strates aufweist, einer Heizeinrichtung zum Aufheizen des Suszeptors, einem Gaseinlassorgan, mit ein oder mehreren Oberflächen, auf denen beim Durch führen eines Beschichtungsverfahrens, bei dem zumindest eine metallorgani sche Verbindung eines Elementes der II- oder III-Hauptgruppe und zumindest ein Hydrid eines Elementes der V- oder VI-Hauptgruppe zusammen mit einem Trägergas durch das Gaseinlassorgan in die Prozesskammer eingespeist wird, parasitäre Abscheidungen entstehen, mit einer Messeinrichtung zur Ermittlung einer thermischen Antwort zumindest eines Objektes in oder im Bereich nahe der Prozesskammer und mit einer Steuereinrichtung, die Ventile und Massen- flussregier zur Erzeugung eines Flusses eines Ätzgases durch die Prozesskam mer steuert und den Fluss des Ätzgases in die Prozesskammer abschaltet, wenn ein aus der thermischen Antwort gewonnener Messwert einen Vergleichswert erreicht.
Stand der Technik
[0003] Mit einem CVD-Reaktor, insbesondere einem MOCVD-Reaktor werden auf eine Mehrzahl von Substraten, die gleichzeitig auf einem Suszeptor in einer Prozesskammer des Reaktors liegen in zeitlich aufeinanderfolgenden Depositi- ons-Schritten mehrere Schichten, insbesondere aus einem III-V- oder einem II- VI-Material abgeschieden, wozu metallorganische Reaktionsgase und Hydride zusammen mit einem Trägergas, beispielsweise Wasserstoff, in die Prozess kammer eingespeist werden. Die Prozesskammer wird auf eine Prozesstempe ratur aufgeheizt. Nicht nur die Substrate, sondern auch die Wände der Prozess kammer besitzen dabei eine Temperatur, bei der sich an den Oberflächen eine Beschichtung bildet. Auf den Substraten bildet sich die gewünschte Schicht. An den Oberflächen bilden sich parasitäre Abscheidungen. Diese parasitären Ab scheidungen müssen in regelmäßigen Abständen, insbesondere jeweils nach dem die prozessierten Substrate aus der Prozesskammer herausgenommen worden sind, entfernt werden. Hierzu wird beispielsweise mittels eines Gasein lassorganes oder einer anderen Gaszuleitung ein Ätzgas in die Prozesskammer eingespeist, welches Chlor enthalten oder Chlor sein kann. Beim Stand der Technik ist insbesondere vorgesehen, dass in mehreren aufeinanderfolgenden Phasen oder Schritten für eine vorgegebene Zeit ein erstes Ätzgas, beispielswei se Chlor oder HCl, und nachfolgend ein zweites Ätzgas, beispielsweise Ammo niak, zum Entfernen von Kohlenstoffrückständen in die Prozesskammer einge speist wird. Diese Ätzschritte oder -phasen werden für eine vorgegebene Zeit durchgeführt oder es wird eine vorgegebene Anzahl dieser Ätz-Zyklen durch geführt. [0004] Die US 8,083,960 B2 beschreibt eine Vorrichtung und ein Verfahren, mit dem bei einem Trockenätzprozess eines Halbleiter-Wafers die Lumineszenz bei einer speziellen Wellenlänge gemessen wird, um das zeitliche Ende des Ätz prozesses zu ermitteln, wobei aus während des Trockenätzens gewonnenen Messwerten eine Regressionslinie berechnet wird.
[0005] Die US 6,919,279 Bl beschreibt ein Verfahren zum Plasma-Ätzen einer Oberfläche. Während des Ätzprozesses wird eine spektrale Emissionsrate von zwei oder mehr lichtemittierenden Reaktionskomponenten aufgenommen.
[0006] Die WO 2007/041454 beschreibt einen Reinigungsprozess, bei dem eine thermische Antwort zumindest eines Objektes beobachtet wird und daraus Messwerte gewonnen werden, die mit Vergleichs werten verglichen werden. Der Reinigungsprozess wird beendet, wenn die Messwerte den Vergleichs wert erreichen. Es wird ein spezieller Sensor mit einem Sensorkörper verwendet, der auf einer konstanten Temperatur gehalten wird. [0007] Die WO 2018/ 035418 Al beschreibt eine Plasmabeschichtungseinrich tung mit einem Showerhead und einem Suszeptor. Durch Einleiten eines Reini gungsgases kann mithilfe eines Plasmas die Prozesskammer gereinigt werden. Dabei werden mit Temperatur sensoren Temperaturen in der Prozesskammer gemessen und bei Erreichen eines Schwellwertes der Reinigungsprozess abge- brachen.
[0008] Reinigungsverfahren sind ferner bekannt aus der US 10,544,519 B2 oder der DE 102012101438 Al. Ein CVD-Reaktor wird beispielsweise in der DE 10043601 Al beschrieben. Zusammenfassung der Erfindung
[0009] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das Verfahren zur Entfer nung der parasitären Abscheidungen von Oberflächen einer Prozesskammer eines CVD Reaktors zu optimieren. Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zu grunde, Mittel anzugeben, mit denen sichergestellt ist, dass der Ätzschritt be- ziehungsweise Ätzzyklus eine ausreichende Länge besitzt, sodass die parasitä ren Abscheidungen in einem ausreichenden Maß entfernt werden und dass der Ätzzyklus nicht zu lange durchgeführt wird, da Letzteres nicht nur die Kosten erhöht, sondern auch die Lebensdauer der mit dem Ätzgas exponierten Bauteile reduziert. [0010] Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Er findung, wobei die Unteransprüche nicht nur vorteilhafte Weiterbildungen der nebengeordneten Ansprüche sondern auch eigenständige Lösungen der Auf gabe darstellen.
[0011] Erfindungsgemäß wird gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung vor- geschlagen, dass während des Reinigungsprozesses die thermische Antwort eines Objektes in oder im Bereich nahe der Prozesskammer beobachtet wird.
Bei der Beobachtung wird zumindest ein Messwert gewonnen, der sich als Fol ge einer Abnahme der Dicke einer parasitären Beschichtung einer Oberfläche der Prozesskammer ändert. Dieser Messwert wird mit einem Vergleichs wert verglichen. Erreicht der Messwert den Vergleichs wert, wird der Reinigungs prozess beendet. Der Vergleichs wert kann ein Referenzwert sein, der mit einer Toleranzgrenze beaufschlagt ist, beispielsweise ein Fenster in einem Tempera turbereich oder eine Grenztemperatur. Es ist insbesondere vorgesehen, dass während des Einspeisens des Ätzkörpers ein Temperier körper auf eine vorge- gebene Temperatur geregelt wird. Bei dem Temperierkörper handelt es sich erfindungsgemäß um den beim Abscheideprozess die Substrate tragenden Sus- zeptor. Dieser wird mit einer Heizeinrichtung aufgeheizt. Es ist ein Tempera tursensor vorgesehen, der beispielsweise eine Temperatur der zur Heizeinrich tung weisenden Seite des Suszeptors misst wobei diese Temperatur mit einer Regeleinrichtung auf einem konstanten Wert gehalten wird. Während des Ein- speisens des Ätzgases kann die thermische Antwort einer Oberfläche dieses oder eines anderen Bauteils der Prozesskammer ermittelt und daraus Messwer te gewonnen werden. Beispielsweise kann die Temperatur des anderen Bau teils, welches die zu entfernende parasitäre Beschichtung aufweist, gemessen werden. Gemäß einer Variante der Erfindung handelt es sich bei diesem ande ren Bauteil um eine Prozesskammerdecke. Die Prozesskammerdecke kann sich parallel zum Suszeptor erstrecken, sodass sich die Prozesskammer zwischen Suszeptor und Prozesskammerdecke befindet. Es kann vorgesehen sein, dass die Temperatur an der von der Prozesskammer wegweisenden Rückseite der Prozesskammerdecke gemessen wird. Dies kann mit einem Pyrometer oder einem Thermoelement oder anderweitig erfolgen. Die Oberfläche, an der die Temperatur gemessen wird, kann keine parasitären Ablagerungen aufweisen. Der Körper, dessen Temperatur gemessen wird, kann aber eine andere Oberflä che aufweisen, die die parasitären Ablagerungen aufweist. Bevorzugt wird an einer Prozesskammerdecke die Temperatur einer beschichtungsfreien Oberflä che gemessen, die einer parasitär beschichteten Oberfläche gegenüberliegt. Die Prozesskammerdecke beziehungsweise das andere Bauteil, dessen thermische Antwort beobachtet wird, liegt bevorzugt in einer Wärmetransportstrecke zwi schen einer Wärmequelle, die die Heizeinrichtung des Suszeptors oder die Sus- zeptoroberfläche bildet, und einer Wärmesenke, die von einer Gehäusewand oder Prozesskammerwand ausgebildet ist, die mittels einer Kühleinrichtung mit einer gleichbleibenden Kühlleistung gekühlt oder mittels einer Regelung und der Kühleinrichtung auf eine gleichbleibende Temperatur geregelt wird. Die parasitäre Beschichtung beeinflusst die Emissivität des Bauteils, dessen thermische Antwort beobachtet wird. Ändert sich die Emissivität des Bauteils, so ändert sich der Wärmefluss zwischen der Wärmequelle und der Wärmesen- ke und einhergehend damit die Temperatur des Bauteils. Durch stetiges Messen der Temperatur des in der Wärmetransportstrecke liegenden Bauteils kann so mit ermittelt werden, wann die Beschichtung in einem ausreichenden Maße entfernt worden ist. Hierzu wird der Messwert, der im vorliegenden Fall eine Temperatur sein kann, mit einem Vergleichs wert verglichen. Der Vergleichs wert kann in Vorversuchen ermittelt werden, beispielsweise dadurch, dass die Prozesskammer mit denselben Prozessparametern, die während des Reini gungsprozesses eingestellt sind, mit von parasitären Belegungen freien Bautei len betrieben wird und bei diesem Betrieb die Temperaturen gemessen werden. Die Vergleichstemperatur kann beispielsweise eine in einem derartigen Vorver such ermittelte Temperatur sein, die mit einem Toleranzwert beaufschlagt ist. Beispielsweise kann der Reinigungsprozess so lange durchgeführt werden, bis sich die dabei gemessene Temperatur der in den Vorversuchen ermittelten Temperatur bis auf beispielsweise 5K oder 3K angenähert hat. Wird dieser Zu stand erreicht, wird der Reinigungs schritt beendet. In einer Variante der Erfin dung kann vorgesehen sein, dass eine Temperatur des die zu entfernende para sitäre Belegung aufweisenden Bauteils der Prozesskammer, beispielsweise die Prozesskammerdecke, während des Reinigungsschrittes auf einer konstanten Temperatur gehalten wird. Dies erfolgt beispielsweise dadurch, dass in einen Spalt zwischen der von der Prozesskammer wegweisenden Rückseite der Pro zesskammerdecke und einer gekühlten Gehäusewand ein Temperiergas einge speist wird. Mittels eines Massenflussreglers kann die Gaszusammensetzung des Temperiergases variiert werden. Das Temperiergas besteht dabei bevorzugt aus einer einstellbaren Mischung eines stark wärmeleitenden Gases, beispiels weise Wasserstoff, und eines schwach wärmeleitenden Gases, beispielsweise Stickstoff. Es können aber auch zwei unterschiedlich stark wärmeleitende Edel gase verwendet werden. Bei dieser Variante wird das Mischungsverhältnis oder der Massenfluss des Temperiergases beobachtet. Der Vergleichs wert ist bei die ser Variante ein Mischungsverhältnis oder ein Massenfluss des Temperierga ses, welches in Vorversuchen bei ansonsten gleichen Prozessparametern aber der Verwendung reiner Bauteile in den Spalt eingespeist wird. Die Prozesspa rameter sind dabei insbesondere zumindest eine Suszeptortemperatur, die kon stant gehalten wird, oder eine Heizleistung, mit der der Suszeptor temperiert wird und die konstant gehalten wird, ein Trägergasfluss durch die Prozess kammer, der konstant gehalten wird, und ein Totaldruck innerhalb der Pro zesskammer, der konstant gehalten wird. In einer Variante der Erfindung kann vorgesehen sein, dass der zu reinigende Körper, dessen thermische Antwort beobachtet wird, der Suszeptor beziehungsweise eine sich auf dem Suszeptor befindliche Haltevorrichtung, ein vom Suszeptor getragener Substrathalter oder dergleichen (insbesondere ein Basismodul oder eine Ringkombination) ist. Es kommen somit insbesondere sämtliche vom Suszeptor ausgebildete Bereiche oder vom Suszeptor getragene Körper in Betracht. Während die Temperatur der zur Heizeinrichtung weisenden Seite des Suszeptors konstant gehalten wird, beispielsweise indem dort mittels eines Temperaturmessgerätes, bei spielsweise eines Pyrometers, eines Thermoelementes oder einer Lichtleitung die Temperatur gemessen wird, ändert sich die Temperatur der zur Prozess kammer weisenden Breitseitenfläche des Suszeptors aufgrund der sich beim Ätzen ändernden Emissivität der Oberfläche. Diese Temperatur kann optisch, beispielsweise mit einem Pyrometer, gemessen werden. In einer Variante kann vorgesehen sein, dass der Vergleichs wert während des Ätzschrittes ermittelt wird. Vor dem Entfernen der parasitären Belegung werden gleichzeitig auf ei ner Vielzahl von auf Lagerplätzen des Suszeptors angeordneten Subtraten durch Einspeisen zumindest einer metallorganischen Verbindung eines Ele mentes der II-, III- oder IV-Hauptgruppe und zumindest eines Hydrides eines Elementes der IV-, V- oder VI-Hauptgruppe zusammen mit einem Trägergas ein oder mehrere IV-IV-Schichten, III-V-Schichten oder II-VI-Schichten abge schieden. Das von den reaktiven Gasen gebildete Prozessgas wird durch ein Gaseinlassorgan in die Prozesskammer eingespeist. Bei dem Gaseinlassorgan kann es sich um ein zentrales Gaseinlassorgan handeln, welches in der Mitte der Prozesskammer angeordnet ist. Das Gaseinlassorgan kann aber auch ein Showerhead sein, der gewissermaßen die Prozesskammerdecke bildet, und eine Gasaustrittsfläche ausbildet, die eine Vielzahl von Gasaustrittsöffnungen auf weist, die zur Prozesskammer weisen. Das Gaseinlassorgan kann erste Aus trittsöffnungen aufweisen, durch die ein erstes reaktives Gas in die Prozess kammer und zweite Austritts Öffnungen aufweisen, durch die ein zweites reak tives Gas in die Prozesskammer eingespeist wird, sodass die beiden reaktiven Gase erst in der Prozesskammer in Kontakt miteinander treten. Während dieses Abscheideprozesses werden die Lagerplätze von den Substraten abgeschattet, sodass dort keine parasitäre Abscheidung erfolgt. Diese erfolgt aber in den Zwischenflächen zwischen den Lagerplätzen auf der zur Prozesskammer wei senden Breitseitenfläche des Suszeptors. Während des Reinigungsschrittes können die dortigen Temperaturen gemessen werden und die Messwerte als Vergleichs werte behandelt werden. Der Ätzschritt wird beendet, wenn die auf den beschichteten Zwischenflächen gemessenen Temperaturen sich den Ver gleichswerten in ausreichendem Maße angenähert haben. Als thermische Ant wort kann nicht nur eine gemessene Temperatur verwendet werden. Es kann auch die Heizleistung der Heizeinrichtung verwendet werden, mit der der Sus- zeptor auf eine vorgegebene Temperatur geheizt wird. Es kann aber auch eine beispielsweise auf der zur Heizeinrichtung weisenden Breitseite des Suszeptors gemessene Temperatur als thermische Antwort verwendet werden, wenn der Suszeptor mit einer konstanten Heizleistung beheizt wird. Die sich im Zuge des Entfernens der parasitären Beschichtungen ändernden optischen Eigenschaften der Oberflächen beeinflussen den Wärmefluss von einer Wärmequelle, bei spielsweise der Heizeinrichtung zur Beheizung des Suszeptors, zu einer Wär mesenke, beispielsweise zu einer gekühlten Prozesskammerwand. Die Ände rung des Wärmeflusses bewirkt Temperaturänderungen im Wärmetransport weg. Der Reinigungsschritt kann ein einziger Reinigungsschritt sein, der dann beendet wird, wenn der durch die Beobachtung einer thermischen Antwort gewonnene Messwert den Vergleichs wert erreicht. Es kann vorgesehen sein, dass der Reinigungsschritt nach dem der Messwert den Vergleichswert erreicht hat, aus Sicherheitsgründen noch um eine vorgegebene Zeit weitergeführt wird. Ist der Vergleichs wert eine Temperatur, so kann er die Temperatur sein, die unter reinen Bedingungen bei ansonsten gleichen Prozessparametern ermittelt worden ist und durch einen Sicherheitsaufschlag oder Sicherheitsabschlag von beispielsweise 3K oder 5K modifiziert worden ist. In einer Variante der Erfin dung wird vorgeschlagen, dass der Reinigungsschritt aus einer Vielzahl von Zyklen besteht, wobei jeder Zyklus eine Ätzphase aufweist, die eine vorgege bene Länge besitzen kann. Zwischen zwei Ätzphasen kann die Prozesskammer mit einem Spülgas gespült werden, sodass jeder Zyklus zumindest eine Ätz phase und eine Spülphase aufweist. Es kann aber auch vorgesehen sein, dass in einer ersten Ätzphase, bei der mit einem Ätzgas, das ein Element der VII- Hauptgruppe beinhaltet, Metalle oder metallhaltige Verbindungen von den Oberflächen entfernt werden und dass gegebenenfalls nach einer Zwischenpha se, in der ein Spülgas in die Prozesskammer eingespeist wird, eine zweite Ätz phase durchgeführt wird, bei der beispielsweise Ammoniak in die Prozess kammer eingespeist wird, um Kohlenstoffverbindungen von den Oberflächen der zu reinigenden Bauteile zu entfernen. Diese zwei oder mehr Phasen enthal tenden Zyklen werden so lange nacheinander durchgeführt, bis ein während dessen ermittelter Messwert, der eine thermische Antwort repräsentiert, einen vorgegebenen Wert erhält. In einer Weiterbildung der Erfindung kann vorgese hen sein, dass das System permanent lernt und im Wege des maschinellen Ler nens der Vergleichs wert permanent den sich aufgrund einer Drift oder ähnli chen ändernden Umgebungsbedingungen angepasst wird. Dabei können bei spielsweise Prozessergebnisse nachfolgender Abscheideprozesse beurteilt wer den und die Beurteilung dieser Prozessergebnisse, beispielsweise Eigenschaften der auf den Substraten abgeschiedenen Schichten, verwendet werden, um zu entscheiden, ob der Reinigungsprozess in einer ausreichenden Intensität durch geführt worden war. Anstelle einer Temperaturmessung kann aber auch vorge sehen sein, dass andere optische Eigenschaften, beispielsweise die Emissivität der zu reinigenden Oberflächen, stetig gemessen wird und diese Messwerte mit Vergleichs werten verglichen werden, um beim Unterschreiten oder Überschrei ten eines Schwellwertes die Einspeisung des Ätzgases zu beenden. Während der Vergleichswert bei der Temperaturmessung eine mit einem Sicherheitsauf schlag belegte Referenztemperatur sein kann, kann bei der Messung der Emis- sivitäten der Vergleichs wert ein mit einem Sicherheitsaufschlag belegter Mess wert einer Referenzemissivität sein. Es wird als vorteilhaft angesehen, wenn zur Ermittlung des Zeitpunktes zum Beenden des Einspeisens des Ätzgases oder zum Beenden des Ätzschrittes oder der Ätzzyklen mit einer optischen Messein richtung an einer Oberfläche eines Körpers Messwerte gemessen werden, die sich deshalb ändern, weil der Körper in einer Wärmeübertragungsstrecke zwi schen einer Wärmequelle, die eine höhere Temperatur als der Körper aufweist, und einer Wärmesenke, die eine geringere Temperatur als der Körper aufweist, angeordnet ist, und die Wärmestrahlung ein wesentlicher Mechanismus des Wärmetransportes zwischen Wärmequelle und Körper beziehungsweise Kör per und Wärmesenke ist, wobei zumindest eine Oberfläche des Körpers eine sich während des Ätzschrittes stetig ändernde optische Eigenschaft besitzt, wo bei der Körper funktioneller Bestandteil der Prozesskammer ist.
[0012] Mit einer Vorrichtung wie sie zuvor beschrieben worden ist, kann auch eine Variante des Verfahrens gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung durchgeführt werden, bei der sich der Vergleichs wert während des Einspeisens des Ätzgases ändert. Der Vergleichswert kann somit entweder ein vorgegebe ner oder variabler Vergleichs wert sein. In einer Variante der Erfindung kann vorgesehen sein, dass der Vergleichswert von dem zeitlichen Verlauf einer thermischen Antwort, bspw. einer Temperatur eines anderen Objektes im Be reich nahe der Prozesskammer oder in der Prozesskammer abhängig ist. Es kann vorgesehen sein, dass der Vergleichs wert eine zweite, im CVD-Reaktor gemessene Temperatur ist. Es kann ferner vorgesehen sein, dass der zweite Vergleichs wert eine mit einer additiven Konstante versehene zweite im CVD- Reaktor gemessene Temperatur ist. Zur Ermittlung des Vergleichs wertes kann permanent während des Ätzschrittes eine zweite thermische Antwort eines zweiten Objektes beobachtet werden. Dies kann mit den zuvor beschriebenen Mitteln erfolgen. Es können insbesondere erste Mittel vorgesehen sein, mit de nen die erste thermische Antwort beobachtet wird und zweite Mittel, mit denen die zweite thermische Antwort beobachtet wird. Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens oder eines Programms einer Steuereinrichtung wird die erste thermische Antwort an einem Suszeptor ge messen und die zweite thermische Antwort an einer Decke der Prozesskammer. Mit einem insbesondere optisch wirkenden Temperaturmessgerät kann die thermische Antwort eines beim Durchführen des Beschichtungsprozesses unbe schichtet bleibenden Bereichs des Suszeptors gemessen werden. Mit einem wei teren, insbesondere optisch wirkenden zweiten Temperaturmessgerät kann die thermische Antwort eines Orts der Decke der Prozesskammer gemessen wer den. Es kann sich dabei um einen Ort handeln, der beim Beschichtungsprozess unbeschichtet bleibt. Es kann sich aber auch um einen Ort handeln, an dem sich beim Durchführen des Beschichtungsprozesses eine parasitäre Beschichtung bildet. Die Beobachtung der beiden thermischen Antworten, bei denen es sich bevorzugt um Temperaturmesswerte oder Emissionsmesswerte handelt, erfolgt kontinuierlich, quasi kontinuierlich oder periodisch während des Ätzprozesses.
[0013] In einer Variante der Erfindung kann vorgesehen sein, dass jede der beiden thermischen Antworten durch einen Messwert repräsentiert ist und von den beiden Messwerten eine Beziehung, bspw. eine Differenz gebildet wird. Ganz allgemein kann vorgesehen sein, dass zwischen den Messwerten eine ma thematische Beziehung besteht. In einem Ausführungsbeispiel kann vorgesehen sein, dass eine Beziehung, bspw. eine Differenz einer an einem Ort auf dem Suszeptor gemessene Temperatur von einer an einem Ort an einer Prozess kammerdecke gemessenen Temperatur gebildet wird. Diese Beziehung bspw. Differenz kann mit einem Vergleichs wert verglichen werden. Der Ätzprozess, also das Einspeisen des Ätzgases kann beendet werden, wenn die Beziehung bspw. Differenz der beiden Messwerte in ein um einen Vergleichs wert gelegtes Fenster fällt, also einen vorgegebenen Abstandswert zum Vergleichs wert unter schreitet. Es kann aber auch vorgesehen sein, dass während des Ätzprozesses die Steigung einer aus den Messwerten gewonnenen Messkurve beobachtet wird. Eine derartige Messkurve kann sich asymptotisch einem Endwert annä hern. Es kann ferner vorgesehen sein, dass der Absolutwert der zeitlichen Ab leitung eines der Messwerte oder der Beziehung bspw. Differenz zweier Mess werte oder nur eines Messwertes beobachtet wird. Es kann ein Wert vorgege ben werden, der ein Schwellwert der zeitlichen Ableitung ist. Fällt der Abso- lutwert der zeitlichen Ableitung eines Messwertes, beider Messwerte oder einer eine Beziehung bspw. Differenz zweier Messwerte unter den Schwellwert, wird das Einspeisen des Ätzgases beendet.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
[0014] Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand bei gefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 schematisch als Querschnitt einen MOCVD-Reaktor,
Fig. 2 den zeitlichen Verlauf einer an der Messstelle 20 einer Prozess kammerdecke 7 in einer in Figur 1 dargestellten Vorrichtung gemessenen Temperatur über die Zeit eines ersten Ausfüh rungsbeispiels,
Fig. 3 eine Darstellung gemäß Figur 2 eines zweiten Ausführungsbei spiels,
Fig. 4 eine Darstellung ähnlich der Figur 3 eines zeitlichen Verlaufs der Änderung eines Temperaturmesswertes, Fig. 5 eine Darstellung gemäß Figur 3 eines weiteren Ausführungsbei spiels, bei dem sich der Messwert einer Temperatur während eines Ätzschrittes asymptotisch einem Endwert nähert und
Fig. 6 eine Darstellung ähnlich der Figur 5 einer Messkurve einer Temperatur, die sich asymptotisch einem Endwert nähert.
Beschreibung der Ausführungsformen
[0015] Die Figur 1 zeigt grob schematisch einen MOCVD-Reaktor, der ein Ge häuse 1 aufweist, welches das Innere des Gehäuses 1 gegenüber der Gehäuse umgebung gasdicht abschließt. Im Inneren des Gehäuses 1 befindet sich ein aus Graphit, beispielsweise beschichtetem Graphit bestehender Suszeptor 2, der von einer kreisscheibenförmigen Scheibe ausgebildet ist. Der Suszeptor 2 besitzt eine nach unten weisende Breitseitenfläche 4, an der mit einem Temperatur sensor 18 an der mit der Bezugsziffer 18 angedeuteten Stelle eine Temperatur gemessen werden kann. Die Breitseitenfläche 4 weist zu einer Heizeinrichtung 5, mit der der Suszeptor 2 beheizbar ist. Die Heizeinrichtung 5 kann eine IR- Heizeinrichtung oder eine RF-Heizeinrichtung sein. Der Breitseitenfläche 4 des Suszeptors 2 liegt eine Breitseitenfläche 3 gegenüber, die zu einer Prozesskam mer 6 weist. Auf der Breitseitenfläche 3 liegen ein oder mehrere Substrate 16, die aus einem III-V-Material, einem IV-Material oder aus Saphir oder derglei chen bestehen können. Im Zentrum der Prozesskammer 6 befindet sich ein Ga seinlassorgan 13, welches zwei Gaseinlasskanäle aufweist, durch die getrennt voneinander zwei verschiedene reaktive Gase in die Prozesskammer 6 einge speist werden können. Ein reaktives Gas kann eine metallorganische Verbin dung eines Elementes der III- Hauptgruppe sein. Ein zweites reaktives Gas kann ein Hydrid einer Verbindung eines Elementes der V-Hauptgruppe sein. Mit der Heizeinrichtung 5 werden die Oberflächen der Substrate 16 auf eine Temperatur aufgeheizt, bei der sich die reaktiven Gase zerlegen und die Reak- tionsprodukte miteinander derart reagieren, dass auf der Oberfläche des Sub strates 16 eine Schicht abgeschieden wird. Die Schicht kann eine kristalline Schicht sein. Sie kann auch amorph sein. Die Schicht kann eine III-V-Schicht sein. Es werden nacheinander getrennt durch Spülschritte, während derer auch die Temperatur des Suszeptors geändert werden kann, verschiedene Abschei deschritte durchgeführt, bei denen Schichten mit verschiedenen Schichtzu sammensetzungen und Schichtdicken auf den Substraten 16 abgeschieden wer den. Gasförmige Reaktionsprodukte können durch ein Gasauslassorgan 15, das die Prozesskammer 6 ringförmig umgibt, mit einer nicht dargestellten Pumpe abgesaugt werden. Der Suszeptor 2 wird von einem Schaft 17 getragen, der ge dreht werden kann, um den Suszeptor 2 gegenüber der Prozesskammerdecke 7 zu drehen.
[0016] Die Prozesskammer 6 wird nach untenhin durch die Breitseitenfläche 3 des Suszeptors 2 und nach obenhin durch eine Breitseitenfläche 9 einer sich pa rallel zum Suszeptor 2 erstreckenden Prozesskammerdecke 7 begrenzt. Die Prozesskammerdecke 7 ist beim Ausführungsbeispiel eine dünne temperatur stabile Scheibe aus beschichtetem Graphit, Keramik, Quarz oder einem anderen geeigneten Material. Sie weist eine Breitseitenfläche 8 auf, die zu einem Spalt 10 gerichtet ist. Die Breitseitenfläche 8 ist von der Breitseitenfläche 7 und der Pro zesskammer 6 weg gerichtet und hin gerichtet auf eine Kühleinrichtung 11, so- dass sich der Spalt 10 zwischen Kühleinrichtung und Prozesskammerdecke 7 erstreckt. Die Kühleinrichtung 11 besitzt Kühlkanäle 12, durch die ein Kühlmit tel strömen kann.
[0017] Oberhalb einer Öffnung 21 in der Kühleinrichtung 11 beziehungsweise der von der Kühleinrichtung 11 gebildeten Wand befindet sich eine Tempera turmesseinrichtung 19, bei der es sich um einen Pyrometer handeln kann. Mit der Messeinrichtung 19 wird an einem Messpunkt 20 eine Temperatur der Pro- zesskammerdecke 7 gemessen. In den Spalt 10 mündet eine Temperiergaszulei- tung 22, in die ein von einer Temperiergasquelle 24 bereitgestelltes Temperier gas in den Spalt 10 eingespeist werden kann. Das Temperiergas besteht aus zwei Gasen, die unterschiedliche Wärmeleiteigenschaften aufweisen, beispiels weise Stickstoff und Wasserstoff oder Helium und Argon. Durch eine Variation des Mischungsverhältnisses der beiden Gase kann der Wärmeübertrag von der Prozesskammerdecke 7 zur Prozesskammerwand, die beim Ausführungsbei spiel durch die Kühleinrichtung 11 gebildet ist, variiert werden.
[0018] Bei dem oben beschriebenen Abscheiden von Schichten auf den Ober flächen der Substrate 16 wird mittels einer nicht dargestellten Regeleinrichtung einer Steuereinrichtung 23 eine mit dem Temperatursensor 18 gemessene Sus- zeptortemperatur auf einem konstanten Wert gehalten. Hierzu wird der von der Heizeinrichtung 5 erzeugte Wärmefluss zum Suszeptor 2 variiert. Die Tem peratur des durch den Kühlkanal 12 fließenden Kühlmittels wird ebenfalls auf einer vorgegebenen Kühlmitteltemperatur gehalten. Mit der Temperiergasquel le 24 wird ein Temperiergas bereitgestellt, das in den Spalt 10 eingespeist wird. Die Zusammensetzung des Temperiergases wird derart variiert, dass die am Messpunkt 20 gemessene Temperatur der Rückseite der Prozesskammerdecke 7 auf einem konstanten Wert bleibt.
[0019] Während des Beschichtens der Substrate 16 scheiden sich an der zur Prozesskammer 6 weisenden Breitseitenfläche 9 der Prozesskammerdecke und an den Bereichen der zur Prozesskammer 6 weisenden Breitseitenfläche 3 des Suszeptors 2, die nicht von den Substraten 16 abgedeckt werden, parasitäre Be legungen ab. Diese parasitären Beschichtungen sollen nach dem Beschich tungsprozess entfernt werden. Hierzu schlägt die Erfindung mehrere Varianten vor, von denen einige nachfolgend im Detail erörtert werden. [0020] Durch das Gaseinlassorgan 13 oder durch anderweitige, in den Figuren nicht dargestellte Zuleitungen wird ein Ätzgas, welches Chlor oder eine chlor haltige Verbindung aufweist, in die Prozesskammer eingespeist. Dies erfolgt zusammen mit einem Inertgas, beispielsweise Stickstoff. Die Prozesskammer wird auf Temperaturen oberhalb von 500, 600 oder 700°C aufgeheizt, bei denen insbesondere metallhaltige parasitäre Belegungen von der zur Prozesskam mer 6 weisenden Breitseitenfläche 9 der Prozesskammerdecke 7 durch eine chemische Reaktion, bei der sich Chloride bilden können, entfernt.
[0021] Die parasitären Belegungen der Breitseitenflächen 9, 3 führen zu einer Änderung der optischen Eigenschaften der Breitseitenflächen 9, 3. Aufgrund eines Temperaturgradienten zwischen der Breitseitenfläche 3 und der Breitsei tenfläche 9 findet während des Ätzprozesses (aber auch während des Wachs tumsprozesses) ein Wärmefluss vom Suszeptor 2 zur Prozesskammerdecke 7 statt. Der Wärmetransportmechanismus ist zum einen die Wärmeleitung über das in die Prozesskammer 6 bei Drucken, die unterhalb des Atmosphären drucks liegen, eingespeisten Gases, in gewissem Maße auch die Konvektion, im Wesentlichen aber die Wärmestrahlung vom Suszeptor 2 zur Prozesskammer decke 7. Die mittels Wärmestrahlung übertragene Wärme hängt von den opti schen Eigenschaften der Breitseitenflächen 9, 3 ab, die sich unterscheiden, wenn die Breitseitenflächen 9, 3 beschichtungsfrei, also rein sind beziehungsweise, wenn die Breitseitenflächen 9, 3 eine parasitäre Beschichtung aufweisen. Als Folge dessen ist eine auf der Breitseitenfläche 3 des Suszeptor s 2 im Bereich zwischen den Substraten 16 gemessene Temperatur oder eine an der zum Spalt 10 weisenden Breitseitenfläche 8 gemessenen Temperatur von der Art und Ma terialstärke einer Beschichtung an der Breitseitenfläche 3 oder einer der Breitsei tenfläche 8 der Prozesskammerdecke 7 gegenüberliegenden Breitseitenfläche 9 abhängig. Beim Ausführungsbeispiel sinken die gemessenen Temperaturen im Zuge des Entfernens der Beschichtung von den Breitseiten 3 oder 9 ab und er reichen ein Minimum, wenn die Beschichtung vollständig entfernt ist. Ermittelt man unter den gleichen Prozessparametern, unter denen der Reinigungspro zess durchgeführt wird Referenztemperaturen dieser Breitseitenflächen 3 oder 8 und beobachtet man während des Reinigungsprozesses die stetige Änderung dieser Temperaturen, so kann bei einer genügenden Annäherung der beim Rei nigen gemessenen Temperaturen an die Referenztemperatur geschlossen wer den, dass die Reinigung beendet werden kann.
[0022] Diesen Effekt macht sich die Erfindung zunutze, um ein Ereignis zu definieren, dessen Eintritt die Beendigung eines Ätzschrittes auslöst. In Vorver suchen werden bestimmte Prozessparameter, wie mit dem Temperatur sensor 18 gemessene Temperatur, Gasflüssen durch die Prozesskammer 6 und bestimmte Zusammensetzung des in den Spalt 10 eingespeisten Temperiergas flusses sowie Totaldruck in der Prozesskammer 6 mit reinen, unbeschichteten Oberflächen der Breitseitenflächen 3, 9 Temperaturen der Breitseitenflächen 3 oder 8 eingestellt. Mit derart eingestellten Prozessparametern werden an ausge suchten Stellen 20 Referenztemperaturen gemessen. Aus diesen Referenztem peraturen werden Vergleichs werte gebildet. Die Vergleichs werte sind insbe sondere Ver gleiche temperaturen, die sich von den Referenztemperaturen um einen vorgegebenen Toleranzbereich von etwa 3K, 5K, 6K oder 10K unterschei den. Es kann vorgesehen sein, dass die Vergleichstemperatur ein Temperatur bereich ist in der Art eines Temperaturfensters um die Referenztemperatur.
[0023] Während des Ätzschrittes werden dieselben Prozessparameter einge stellt und zusätzlich ein Ätzgas in die Prozesskammer eingespeist. Es wird die Änderung der am Messpunkt 20 der Breitseitenfläche 8 der Prozesskammerde cke 7 stetig gemessen. Die gemessene Temperatur wird mit der aus den Refe renzwerten gewonnenen Vergleichstemperatur oder einem Temper aturfenster um eine Referenztemperatur verglichen. Fällt die gemessene Temperatur unter oder über die Referenztemperatur oder in das Temper aturfenster, wird dies als Ereignis zum Beenden des Ätzschrittes genommen. Der Ätzschritt kann sofort dadurch beendet werden, dass der Ätzgaszufluss beendet wird. Es ist aber auch vorgesehen, dass nach Eintritt des Ereignisses das Ätzgas noch für eine vorbe stimmte Zeit weiterfließt.
[0024] Gemäß einer Variante der Erfindung kann anstelle der Rückseitentem peratur der Prozesskammerdecke 7 auch eine Temperatur an der zur Prozess kammer 6 weisenden Breitseitenfläche 3 gemessen werden. Auch diese Tempe ratur ändert sich aufgrund des stetigen Wärmeflusses von der Heizeinrich tung 5 durch den Suszeptor 2 hindurch zur gegenüberliegenden Wandung der Prozesskammer 6.
[0025] Gemäß einer weiteren Variante kann aber auch die am Messpunkt 20 gemessene Temperatur durch Variation der Zusammensetzung des in den Spalt 10 mittels der Temperiergaszuleitung 22 eingespeisten Temperiergases konstant gehalten werden und die Kühlleistung beobachtet werden, mit der das durch die Kühlmittelkanäle 12 fließende Kühlmittel auf Solltemperatur gekühlt wird. Fällt diese Kühlleistung in einen vorgegebenen Bereich eines Vergleichs wertes, kann der Ätzschritt abgebrochen werden.
[0026] Gemäß einer Variante der Erfindung kann aber auch die in die Heizein richtung 5 eingespeiste Heizleistung konstant gehalten werden und mit dem Temperatursensor 18 die sich während des Ätzschrittes ändernde Temperatur des Suszeptors gemessen werden und der Ätzschritt abgebrochen werden, wenn diese Temperatur in einen Bereich eines Vergleichswertes fällt.
[0027] Gemäß einer Variante kann aber auch die Oberflächentemperatur eines Lagerplatzes 25 auf der zur Prozesskammer 6 weisenden Breitseitenfläche 3 des Suszeptors 2 gemessen werden, auf dem in dem vorangegangenen Beschich- tungs schritt ein Substrat 25 gelegen und die Oberfläche gegen die Ausbildung einer parasitären Beschichtung abgeschirmt hat. Diese Oberflächentemperatur kann mit einer im Bereich neben den Lagerplätzen 25 gemessenen Oberflächen temperatur verglichen werden. Nähern sich die beiden Temperaturen bis auf einen vorgegebenen Bereich an, kann der Ätzschritt abgebrochen werden.
[0028] Die Figur 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem zu Beginn eines Reinigungsvorgangs in einem ersten Reinigungs schritt El die Suszeptortempe- ratur erhöht wird, bis sie bei einer Zeit tl einen vorgegebenen Wert erreicht und sich dieser Wert stabilisiert hat. Zum Zeitpunkt tl wird ein erstes Ätzgas, bei spielsweise eine chlorhaltige Verbindung, in die Prozesskammer eingespeist. Einhergehend mit dem Wirken des Ätzgases in dieser mit A bezeichneten ers ten Reinigungsphase ändert sich die Emissivität der mit parasitären Belegungen versehenen Breitseitenflächen 3, 9, sodass eine am Messpunkt 20 gemessene Temperatur T stetig absinkt. Die erste Reinigungsphase A wird für eine vorge gebene Zeit durchgeführt. Zum Zeitpunkt t2 wird das Ätzgas abgeschaltet und ein Spülgas in die Prozesskammer eingespeist. Während dieser Spülphase B wird die Suszeptortemperatur erhöht. In einer zum Zeitpunkt t3 beginnenden zweiten Reinigungsphase C wird ein anderes Reinigungsgas in die Prozess kammer eingespeist, beispielsweise Ammoniak. Zum Zeitpunkt t4 wird das zweite Reinigungsgas abgeschaltet und ein Spülgas in die Prozesskammer ein gespeist. Während dieser Spülphase D sinkt die Suszeptortemperatur wieder ab und stabilisiert sich bis zum Zeitpunkt t5. Danach schließt sich ein zweiter Rei nigungsschritt E2 an, der im Wesentlichen mit dem ersten Reinigungs schritt El identisch ist. Zum zweiten Reinigungsschritt El gehört eine weitere erste Reini gungsphase A, eine sich daran anschließende Spülphase B, ein zweiter Reini gungsschritt C und eine weitere Spülphase D. Bei diesem Ausführungsbeispiel werden mehrere aus verschiedenen Phasen bestehende gleiche Ätzschritte El und E2 hintereinander durchgeführt. Im Ausführungsbeispiel sind nur zwei Ätzschritte El und E2 dargestellt. Es können beliebig viele Ätzschritte hinterei- nander durchgeführt werden. Die Ätzschritte werden so lange hintereinander durchgeführt, bis die am Messpunkt 20 gemessene Temperatur unter die Ver gleichstemperatur Tv sinkt. Dann wird entweder der gesamte Reinigungsvor gang abgebrochen oder es wird ein letzter Ätzschritt E + angefügt.
[0029] Das in der Figur 3 dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt einen verein fachten Reinigungsvorgang, bei dem zu einem Zeitpunkt tl ein erster Ätz schritt El begonnen wird, in dem das Ätzgas in die Prozesskammer eingespeist wird. Während des Ätzprozesses wird ständig die Temperatur T am Mess punkt 20 beobachtet. Beim Ausführungsbeispiel erreicht die Temperatur T zum Zeitpunkt t2 die Vergleichs temperatur Tv und löst damit das Ereignis zur Be endigung des Reinigungsvorgangs aus. Es wird für eine Zeit bis t3 ein Ergän zungs-Ätzschritt E + durchgeführt.
[0030] In einer Variante ist vorgesehen, dass sich der Vergleichs wert Tv zeit lich ändern kann. So kann vorgesehen sein, dass der Vergleichs wert von einer weiteren, innerhalb des CVD-Reaktors gemessenen Temperatur abhängt. Eine erste Temperatur Tl kann bspw. eine auf einem Suszeptor und insbesondere an einem beim Beschichten von parasitären Ablagerungen frei bleibenden Bereich gemessene Temperatur sein. Eine zweite Temperatur T2 kann bspw. eine an einer Prozesskammerdecke gemessene Temperatur sein. Die zweite Temperatur kann auf der zur Prozesskammer 6 weisenden Seite der Prozesskammerdecke 7 gemessene Temperatur sein. In diesem Fall wird die zweite Temperatur an ei nem Ort gemessen, an dem sich parasitäre Beschichtungen während des Be schichtungsprozesses bilden. Es kann auch vorgesehen sein, dass die zweite Temperatur auf der von der Prozesskammer 6 wegweisenden Seite der Pro zesskammerdecke 7 gemessen wird. In diesem Fall wird die zweite Temperatur an einem beim Beschichtungsverfahren keine parasitären Ablagerungen erhal tenden Ort gemessen. Aus der zweiten Temperatur kann ein Vergleichs wert abgeleitet werden, der bspw. der um einen konstanten Wert verminderte Wert der gemessenen zweiten Temperatur ist. Die Figur 4 zeigt einen Vergleichs wert Tv, der von der Zeit abhängt. Dieser ist durch die untere durchgezogene Linie in der Figur 4 dargestellt. Die beiden gestrichelten, neben der durchgezo genen Linie verlaufenden Linien kennzeichnen ein Fenster. Sobald die Tempe- raturmesskurve, die von der oberen durchgezogenen Linie dargestellt wird, in das Fenster tritt, wird die Ätzgaszufuhr beendet. Bei dem in der Figur 4 darge stellten Ausführungsbeispiel beginnt der Ätzprozess El zur Zeit tl und endet bei der Zeit t2.
[0031] Die Figur 5 zeigt eine Variante, bei der sich die beobachtete Temperatur asymptotisch einem konstanten Wert annähert, der in der Figur 5 durch eine horizontale Linie dargestellt ist. Die beiden parallel dazu verlaufenden gestri chelten Linien kennzeichnen ein Fenster. Sobald die gemessene Temperatur bei der Zeit t2 in das Fenster fällt, wird der Ätzprozess beendet. Die mit Tv be- zeichnete horizontale Linie kann eine vorgegebene Temperatur sein. Die Tem peraturkurve kann die Kurve einer einzelnen gemessenen, bspw. auf einem Ort des Suszeptors gemessenen Temperatur sein. Die Temperaturmesskurve kann aber auch eine Beziehung zwischen zwei gemessenen Temperaturen, bspw. eine Differenz zweier Temperaturen sein, so kann bspw. die erste Temperatur einer am Suszeptor 2 gemessene Temperatur sein und die zweite Temperatur eine an einer Prozesskammerdecke 7 gemessene Temperatur sein.
[0032] Die Figur 6 zeigt eine weitere Variante, bei der die durchgezogene Kur ve einen Temperaturmesswert einer einzelnen Temperatur ist, bspw. einer beo bachteten Temperatur, die auf dem Suszeptor 2 gemessen ist. Die Messkurve kann aber auch eine Beziehung zweier gemessener Temperaturen sein, bspw. eine Differenz einer am Suszeptor 2 gemessenen ersten Temperatur tl und einer an der Prozesskammerdecke 7 gemessenen zweiten Temperatur. Hinsichtlich der Orte der Temperaturmessungen wird auf die vorhergehenden Ausführun gen verwiesen.
[0033] Mit einer Recheneinrichtung wird aus den Messwerten der Temperatur oder der Beziehung mehrerer gemessener Temperaturen ein Differenzenquoti ent, der eine zeitliche Ableitung darstellt, berechnet. Diese zeitliche Ableitung wird mit einem vorgegebenen Wert Z verglichen. Ist der Absolutwert der be rechneten zeitlichen Ableitung geringer, als der vorgegebene Wert Z, so wird dies zum Anlass genommen, den Ätzprozess zu beenden. Auch die in der Fi gur 6 dargestellte Kurve kann sich asymptotisch einem Endwert nähern.
[0034] Das Verfahren wurde zuvor anhand von einer einzigen Temperatur messkurve oder einer Kurve die eine Beziehung zweiter Temperaturen darstellt beschrieben. Das erfindungsgemäße Verfahren bzw. die erfindungsgemäße Vorrichtung umfassen aber auch solche Ausführungsbeispiele, bei denen mehr als zwei gemessene thermische Antworten beobachtet werden, um den Zeit punkt zum Beenden des Einspeisen des Ätzgases zu finden. Bei den thermi schen Antworten kann es sich um Temperaturmesswerte, Emissionsmesswerte oder um Heizleistungen oder Kühlleistungen handeln.
[0035] Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zu mindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils auch eigenstän dig weiterbilden, wobei zwei, mehrere oder alle dieser Merkmalskombinatio nen auch kombiniert sein können, nämlich:
[0036] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die thermische Antwort eine Temperatur oder Emissivität einer Oberfläche des Objektes 2, 2, 7, 8, 11 ist, die keine Beschichtung aufweist. [0037] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die thermische Antwort eine Heiz- oder Kühlleistung zur Regelung der Temperatur T ist.
[0038] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass vor dem Entfernen der parasitären Abscheidungen gleichzeitig auf einer Vielzahl von auf einem die Prozesskammer 6 zu einer Seite begrenzenden Suszeptor 2 auf Lagerplät zen 25 angeordneten Substraten 16 durch Einspeisen zumindest einer metallor ganischen Verbindung eines Elementes der II-, III- oder IV-Hauptgruppe und zumindest eines Hydrides eines Elementes der IV-, V- oder VI-Hauptgruppe zusammen mit einem Trägergas ein oder mehrere kristalline Schichten abge- schieden werden, währenddessen sich die zu entfernenden parasitären Ab scheidungen gebildet haben, und nach dem Abscheiden der Schichten die Sub strate 16 aus der Prozesskammer 6 entnommen werden und das Ätzgas ein Element der VII-Hauptgruppe ist oder beinhaltet.
[0039] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass das beobachtete Objekt ein Bereich einer Oberfläche 3, 8 eines Körpers 2, 7 ist, der die zu entfer nenden parasitären Abscheidungen aufweisenden Oberfläche 3, 9 aufweist und/ oder dass das beobachtete Objekt funktioneller Bestandteil der Prozess kammer ist.
[0040] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die thermische Antwort mit einer optischen Messeinrichtung 19 gemessen wird.
[0041] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die thermische Antwort eine auf einer von der Prozesskammer 6 wegweisenden Breitseite 8 einer die Prozesskammer 6 begrenzenden Prozesskammerdecke 7 bei ansonsten konstant gehaltenen Prozessparametern gemessene Temperatur T ist. [0042] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass der Vergleichs wert Tv eine an dem von parasitären Abscheidungen freien Körper 7 in Vorver suchen unter denselben Parametern gemessene Temperatur T ist und/ oder dass das Fenster ein Temperaturbereich um eine Referenztemperatur ist, die an dem von parasitären Abscheidungen freien Körper 7 in Vorversuchen unter denselben Prozessparametern gemessen ist.
[0043] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass das beobachtete Objekt 2, 3, 7, 8, 11 zu einem vom aktiv beheizten Suszeptor 2 Wärme empfan genden und an eine Wärmesenke 11 Wärme abgebenden Körper 7 gehört. [0044] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass das beobachtete
Objekt eine Heizeinrichtung 5 und die thermische Antwort eine Heizleistung der Heizeinrichtung 5 zum Erreichen einer vorgegebenen Temperatur T eines funktionellen Bestandteils 2 der Prozesskammer 6 ist.
[0045] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass das beobachtete Objekt eine Kühleinrichtung 11 und die thermische Antwort eine Kühlleistung der Kühleinrichtung 11 zum Erreichen einer vorgegebenen Temperatur eines funktionellen Bestandteils 7 der Prozesskammer 6 ist.
[0046] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass der Vergleichs wert Tv ein vorgegebener Wert ist und/ oder dass der Vergleichs wert Tv zeit- gleich mit den Messwerten T gewonnen wird und/ oder dass der Vergleichs wert Tv durch maschinelles Lernen stetig angepasst wird.
[0047] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Vergleichs wer te Tv Temper aturwerte der Oberflächen der Lagerplätze 25 der Substrate 16 sind und die Messwerte T Temperaturwerte sind, die auf der Oberfläche 3 des Suszeptors 6 außerhalb der Lagerplätze 25 gewonnen sind.
[0048] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Messwerte T die Zusammensetzung oder ein Massenfluss eines Temperiergases 24 ist, dass in einem Zwischenraum 10 zwischen einem Kühlkörper 11 und einem auf eine vorgegebene Temperatur T geregelten Körper und/ oder der Prozesskammer decke 7 ist.
[0049] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass mehrfach hinterei nander Ätzschritte gleicher oder unterschiedlicher Dauer El, E2 durchgeführt werden und/ oder dass die Ätzschritte so lange durchgeführt werden, bis die
Messwerte T den Vergleichs wert Tv erreicht haben oder in einem Temperatur fenster um eine Referenztemperatur und/ oder dass nachdem die Messwerte T den Vergleichs wert Tv erreicht haben oder im Fenster liegen, ein letzter Ätz schritt E + für eine vorbestimmte Zeit durchgeführt wird und/ oder dass jeder der Ätzschritte El, E2, E + oder zumindest einige dieser Ätzschritte El, E2, E + eine erste Reinigungsphase A aufweisen, in der das Ätzgas in die Prozesskam mer 6 eingespeist wird, der eine erste Spülphase B folgt, welcher eine zweite Reinigungsphase C folgt, in der ein Reinigungsgas in die Prozesskammer 6 ein gespeist wird, der eine zweite Spülphase D folgt. [0050] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass der Vergleichs wert Tv während des Einspeisens des Ätzgases durch Beobachtung einer zwei ten thermischen Antwort zumindest eines zweiten Objektes 2, 3, 7, 8, 11 ermit telt wird. [0051] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass der Vergleichs wert Tv die Differenz zwischen einem vorgegebenen konstanten Wert und ei ner am zweiten Objekt 2, 3, 7, 8, 11 ermittelten thermischen Antwort ist.
[0052] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass durch Beobach tung einer thermischen Antwort zumindest eines Objektes (2, 3, 7, 8, 11) in oder im Bereich nahe der Prozesskammer (6) Messwerte (t) gewonnen werden und das Einspeisen des Ätzgases beendet wird, wenn der Absolutwert der zeitli chen Ableitung des Verlaufs der Messwerte (t) einen vorgegebenen Wert (Z) unterschreitet.
[0053] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass durch Beobach tung einer ersten thermischen Antwort zumindest eines ersten Objektes 2, 3, 7,
8, 11 in oder im Bereich nahe der Prozesskammer 6 erste Messwerte tl gewon nen werden, dass durch Beobachtung einer zweiten thermischen Antwort zu mindest eines zweiten Objektes 2, 3, 7, 8, 11 in oder im Bereich nahe der Pro zesskammer 6 zweite Messwerte t2 gewonnen werden und dass das Einspeisen des Ätzgases beendet wird, wenn eine Beziehung der beiden Messwerte tl, t2 in ein um einen Vergleichs wert Tv gelegtes Fenster fallen oder wenn der Abso lutwert der zeitlichen Ableitung der Beziehung der beiden Messwerte tl, t2 ei nen vorgegebenen Wert Z unterschreitet.
[0054] Ein Verfahren, das dadurch gekennzeichnet ist, dass die Beziehung der beiden Messwerte tl, t2 eine Differenz der beiden Messwerte tl, t2.
[0055] Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Steuerein richtung 23 derart programmiert ist, dass während des Einspeisens des Ätzga ses der Suszeptor 2 der zeitliche Verlauf einer ersten Temperatur T eines ersten Objektes 2, 3, 7, 8, 11 und/ oder der zeitliche Verlauf einer zweiten Tempera- tur T eines zweiten Objektes 2, 3, 7, 8, 11 gemäß den Ansprüchen 1, 2, 3 bis 6 oder 14 bis 18 beobachtet wird oder der zeitliche Verlauf der Messwerte t der Leistung einer Heizeinrichtung 5 oder einer Kühleinrichtung 11, einer Zusam mensetzung oder eines Massenflusses eines Temperiergases 4 gemäß einem der Ansprüche 11, 13 oder 14 beobachtet wird.
[0056] Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/ beigefügten Prioritäts unterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender An meldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren, auch ohne die Merkmale eines in Bezug genommenen Anspruchs, mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbe sondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen. Die in jedem Anspruch angegebene Erfindung kann zusätzlich ein oder mehrere der in der vorstehenden Beschreibung, insbesondere mit Bezugsziffern versehene und/ oder in der Bezugsziffernliste angegebene Merkmale aufweisen. Die Er findung betrifft auch Gestaltungsformen, bei denen einzelne der in der vorste henden Beschreibung genannten Merkmale nicht verwirklicht sind, insbeson- dere soweit sie erkennbar für den jeweiligen Verwendungszweck entbehrlich sind oder durch andere technisch gleichwirkende Mittel ersetzt werden kön- nen. Liste der Bezugszeichen
1 Reaktorgehäuse tl Zeit
2 Suszeptor t2 Zeit
3 Breitseitenfläche t3 Zeit
4 Breitseitenfläche t4 Zeit
5 Heizeinrichtung t5 Zeit
6 Prozesskammer t6 Zeit
7 Prozesskammerdecke t7 Zeit
8 Breitseitenfläche t8 Zeit
9 Breitseitenfläche
10 Spalt
11 Kühleinrichtung
12 Kühlkanal
13 Gaseinlassorgan A erste Reinigungsphase
14 Gasaustrittsöffnung B erste Spülphase
15 Gasauslassorgan C zweite Reinigungsphase
16 Substrat D zweite Spülphase
17 Schaft El Ätzschritt
18 Temperatursensor E2 Ätzschritt
19 Temperaturmesseinrichtung E + Ätzschritt
20 Messpunkt T Temperatur
21 Öffnung Tv Vergleichstemperatur
22 Temperiergaszuleitung Z zeitlicher Ablauf
23 Steuereinrichtung
24 Temperiergasquelle
25 Lagerplatz

Claims

Ansprüche
Verfahren zum Entfernen von parasitären Abscheidungen von Oberflä chen einer Prozesskammer (6) eines einen von einer Heizeinrichtung (5) beheizbaren Suszeptor (2) aufweisenden CVD-Reaktors, währenddessen ein Ätzgas in die auf eine erhöhte Temperatur aufgeheizte Prozesskam mer (6) eingespeist wird, wobei durch Beobachtung einer thermischen Antwort zumindest eines Objektes (2, 3, 7, 8, 11) in oder im Bereich nahe der Prozesskammer (6) Messwerte (T) gewonnen werden und das Ein speisen des Ätzgases beendet wird, wenn die Messwerte (T) einen Ver gleichswert (Tv) erreichen oder in ein um einen Vergleichs wert (Tv) geleg tes Fenster fallen, wobei während des Einspeisens des Ätzgases ein Tem perierkörper auf eine vorgegebene Temperatur (T) geregelt oder mit einer konstanten Heizleistung beheizt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die thermische Antwort eine Temperatur oder Emissivität einer Oberfläche des Objektes (2, 2, 7, 8, 11) ist, die keine Beschichtung aufweist.
Verfahren zum Entfernen von parasitären Abscheidungen von Oberflä chen einer Prozesskammer (6) eines einen von einer Heizeinrichtung (5) beheizbaren Suszeptor (2) aufweisenden CVD-Reaktors, währenddessen ein Ätzgas in die auf eine erhöhte Temperatur aufgeheizte Prozesskam mer (6) eingespeist wird, wobei durch Beobachtung einer thermischen Antwort zumindest eines Objektes (2, 3, 7, 8, 11) in oder im Bereich nahe der Prozesskammer (6) Messwerte (T) gewonnen werden und das Ein speisen des Ätzgases beendet wird, wenn die Messwerte (T) einen Ver gleichswert (Tv) erreichen oder in ein um einen Vergleichs wert (Tv) geleg tes Fenster fallen, wobei während des Einspeisens des Ätzgases ein Tem perierkörper auf eine vorgegebene Temperatur (T) geregelt, dadurch ge kennzeichnet, dass die thermische Antwort eine Heiz- oder Kühlleistung zur Regelung der Temperatur (T) ist. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Entfernen der parasitären Abscheidungen gleichzeitig auf einer Viel zahl von auf einem die Prozesskammer (6) zu einer Seite begrenzenden Suszeptor (2) auf Lagerplätzen (25) angeordneten Substraten (16) durch Einspeisen zumindest einer metallorganischen Verbindung eines Elemen tes der II-, III- oder IV-Hauptgruppe und zumindest eines Hydrides eines Elementes der IV-, V- oder VI-Hauptgruppe zusammen mit einem Trä gergas ein oder mehrere kristalline Schichten abgeschieden werden, wäh renddessen sich die zu entfernenden parasitären Abscheidungen gebildet haben, und nach dem Abscheiden der Schichten die Substrate (16) aus der Prozesskammer (6) entnommen werden und das Ätzgas ein Element der VII-Hauptgruppe ist oder beinhaltet.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass das beobachtete Objekt ein Bereich einer Oberfläche (3, 8) eines Kör pers (2, 7) ist, der die zu entfernenden parasitären Abscheidungen aufwei senden Oberfläche (3, 9) aufweist und/ oder dass das beobachtete Objekt funktioneller Bestandteil der Prozesskammer ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1, 3 oder 4, dadurch gekennzeich net, dass die thermische Antwort mit einer optischen Messeinrichtung (19) gemessen wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 3 bis 5, dadurch gekenn zeichnet, dass die thermische Antwort eine auf einer von der Prozess kammer (6) wegweisenden Breitseite (8) einer die Prozesskammer (6) be grenzenden Prozesskammerdecke (7) bei ansonsten konstant gehaltenen Prozessparametern gemessene Temperatur (T) ist.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 3 bis 6, dadurch gekenn zeichnet, dass der Vergleichs wert (Tv) eine an dem von parasitären Ab scheidungen freien Körper (7) in Vorversuchen unter denselben Parame tern gemessene Temperatur (T) ist und/ oder dass das Fenster ein Tempe raturbereich um eine Referenztemperatur ist, die an dem von parasitären Abscheidungen freien Körper ( 7) in Vorversuchen unter denselben Pro zessparametern gemessen ist.
8. Verfahren nach einem Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das be obachtete Objekt (2, 3, 7, 8, 11) zu einem vom aktiv beheizten Suszeptor (2) Wärme empfangenden und an eine Wärmesenke (11) Wärme abgebenden Körper (7) gehört.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass das beobachtete Objekt eine Heizeinrichtung (5) und die thermische Antwort eine Heizleistung der Heizeinrichtung (5) zum Erreichen einer vorgegebenen Temperatur (T) eines funktionellen Bestandteils (2) der Pro zesskammer (6) ist.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass das beobachtete Objekt eine Kühleinrichtung (11) und die thermische Antwort eine Kühlleistung der Kühleinrichtung (11) zum Erreichen einer vorgegebenen Temperatur eines funktionellen Bestandteils (7) der Pro zesskammer (6) ist.
11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn zeichnet, dass der Vergleichs wert (Tv) ein vorgegebener Wert ist und/ oder dass der Vergleichs wert (Tv) zeitgleich mit den Messwerten (T) gewonnen wird und/ oder dass der Vergleichs wert (Tv) durch maschinel les Lernen stetig angepasst wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 3 bis 7, dadurch gekenn zeichnet, dass die Vergleichs werte (Tv) Temper aturwerte der Oberflächen der Lagerplätze (25) der Substrate (16) sind und die Messwerte (T) Tempe raturwerte sind, die auf der Oberfläche (3) des Suszeptors (6) außerhalb der Lagerplätze (25) gewonnen sind.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 2, 8 oder 9, dadurch gekennzeich net, dass die Messwerte (T) die Zusammensetzung oder ein Massenfluss eines Temperiergases (24) ist, dass in einem Zwischenraum (10) zwischen einem Kühlkörper (11) und einem auf eine vorgegebene Temperatur (T) geregelten Körper und/ oder der Prozesskammerdecke (7) ist.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn zeichnet, dass mehrfach hintereinander Ätzschritte gleicher oder unter- schiedlicher Dauer (El, E2) durchgeführt werden und/ oder dass die Ätz schritte so lange durchgeführt werden, bis die Messwerte (T) den Ver gleichswert (Tv) erreicht haben oder in einem Temperaturfenster um eine Referenztemperatur liegen und/ oder dass nachdem die Messwerte (T) den Vergleichs wert (Tv) erreicht haben oder im Fenster liegen, ein letzter Ätzschritt (E +) für eine vorbestimmte Zeit durchgeführt wird und/ oder dass jeder der Ätzschritte (El, E2, E +) oder zumindest einige dieser Ätz schritte (El, E2, E +) eine erste Reinigungsphase (A) aufweisen, in der das Ätzgas in die Prozesskammer (6) eingespeist wird, der eine erste Spülpha se (B) folgt, welcher eine zweite Reinigungsphase (C) folgt, in der ein Rei- nigungsgas in die Prozesskammer (6) eingespeist wird, der eine zweite
Spülphase (D) folgt.
15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn zeichnet, dass der Vergleichs wert (Tv) während des Einspeisens des Ätz gases durch Beobachtung einer zweiten thermischen Antwort zumindest eines zweiten Objektes (2, 3, 7, 8, 11) ermittelt wird. 16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Ver gleichswert (Tv) die Differenz zwischen einem vorgegebenen konstanten Wert und einer am zweiten Objekt (2, 3, 7, 8, 11) ermittelten thermischen Antwort ist.
17. Verfahren zum Entfernen von parasitären Abscheidungen von Oberflä- chen einer Prozesskammer (6) eines einen von einer Heizeinrichtung (5) beheizbaren Suszeptor (2) aufweisenden CVD-Reaktor, währenddessen ein Ätzgas in die auf eine erhöhte Temperatur aufgeheizte Prozesskam mer (6) eingespeist wird, wobei durch Beobachtung einer thermischen Antwort zumindest eines Objektes (2, 3, 7, 8, 11) in oder im Bereich nahe der Prozesskammer (6) Messwerte (t) gewonnen werden und das Einspei sen des Ätzgases beendet wird, wenn der Absolutwert der zeitlichen Ab leitung des Verlaufs der Messwerte (t) einen vorgegebenen Wert (Z) un terschreitet.
18. Verfahren zum Entfernen von parasitären Abscheidungen von Oberflä- chen einer Prozesskammer (6) eines einen von einer Heizeinrichtung (5) beheizbaren Suszeptor (2) aufweisenden CVD-Reaktors, währenddessen ein Ätzgas in die auf eine erhöhte Temperatur aufgeheizte Prozesskam mer (6) eingespeist wird, wobei durch Beobachtung einer ersten thermi schen Antwort zumindest eines ersten Objektes (2, 3, 7, 8, 11) in oder im Bereich nahe der Prozesskammer (6) erste Messwerte (tl) gewonnen wer den, wobei durch Beobachtung einer zweiten thermischen Antwort zu- mindest eines zweiten Objektes (2, 3, 7, 8, 11) in oder im Bereich nahe der Prozesskammer (6) zweite Messwerte (t2) gewonnen werden und wobei das Einspeisen des Ätzgases beendet wird, wenn eine Beziehung der bei den Messwerte (tl, t2) in ein um einen Vergleichs wert (Tv) gelegtes Fens- ter fallen oder wenn der Absolutwert der zeitlichen Ableitung der Bezie hung der beiden Messwerte (tl, t2) einen vorgegebenen Wert (Z) unter schreitet.
19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Bezie hung der beiden Messwerte (tl, t2) eine Differenz der beiden Messwer te (tl, t2).
20. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens gemäß einem der vorher gehenden Ansprüche, aufweisend einen CVD-Reaktor mit einer in einem Gehäuse (1) des CVD-Reaktors angeordneten Prozesskammer (6), die ei nen Suszeptor (2) mit einer Vielzahl von Lagerplätzen (25) jeweils zur La- gerung zumindest eines Substrates (16) aufweist, eine Heizeinrichtung (5) zum Aufheizen des Suszeptors (2), ein Gaseinlassorgan (13), mit ein oder mehreren Oberflächen (3, 9), auf denen beim Durchführen eines Beschich tungsverfahrens, bei dem zumindest eine metallorganische Verbindung eines Elementes der II-, III- oder IV-Hauptgruppe und zumindest ein Hydrid eines Elementes der IV, V- oder VI-Hauptgruppe zusammen mit einem Trägergas durch das Gaseinlassorgan (13) in die Prozesskammer (6) eingespeist wird, parasitäre Abscheidungen entstehen, eine Messeinrich tung (19) zur Ermittlung einer thermischen Antwort zumindest eines Ob jektes (2, 3, 7, 8, 11) in oder im Bereich nahe der Prozesskammer (6) und eine Steuereinrichtung (23), die Ventile und Massenflussregler zur Erzeu gung eines Flusses eines Ätzgases durch die Prozesskammer (6) steuert und den Fluss des Ätzgases in die Prozesskammer (6) abschaltet, wenn ein aus der thermischen Antwort gewonnener Messwert (T) einen Vergleichs wert (Tv) erreicht, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrich tung (23) derart programmiert ist, dass während des Einspeisens des Ätz gases der Suszeptor (2) der zeitliche Verlauf einer ersten Temperatur (T) eines ersten Objektes (2, 3, 7, 8, 11) und/ oder der zeitliche Verlauf einer zweiten Temperatur (T) eines zweiten Objektes (2, 3, 7, 8, 11) gemäß den Ansprüchen 1, 2, 3 bis 6 oder 14 bis 18 beobachtet wird oder der zeitliche Verlauf der Messwerte (t) der Leistung einer Heizeinrichtung (5) oder ei ner Kühleinrichtung (11), einer Zusammensetzung oder eines Massenflus- ses eines Temperiergases (24) gemäß einem der Ansprüche 11, 13 oder 14 beobachtet wird.
21. Verfahren oder Vorrichtung, gekennzeichnet durch eines oder mehrere der kennzeichnenden Merkmale eines der vorhergehenden Ansprüche.
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