EP3489516B1 - Vakuumpumpe - Google Patents

Vakuumpumpe Download PDF

Info

Publication number
EP3489516B1
EP3489516B1 EP17203509.9A EP17203509A EP3489516B1 EP 3489516 B1 EP3489516 B1 EP 3489516B1 EP 17203509 A EP17203509 A EP 17203509A EP 3489516 B1 EP3489516 B1 EP 3489516B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
vacuum pump
pump
working
accordance
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
EP17203509.9A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP3489516A1 (de
Inventor
Florian Schneider
Steffen Herrmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum GmbH filed Critical Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority to EP17203509.9A priority Critical patent/EP3489516B1/de
Priority to JP2018216103A priority patent/JP6796630B2/ja
Publication of EP3489516A1 publication Critical patent/EP3489516A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP3489516B1 publication Critical patent/EP3489516B1/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
    • F04B41/06—Combinations of two or more pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/06—Control using electricity
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
    • F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
    • F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/02—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for several pumps connected in series or in parallel
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
    • F04C28/06—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for stopping, starting, idling or no-load operation
    • F04C28/065—Capacity control using a multiplicity of units or pumping capacities, e.g. multiple chambers, individually switchable or controllable
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2210/00—Fluid
    • F04C2210/12—Fluid auxiliary
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/70—Use of multiplicity of similar components; Modular construction

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum pump having a first working pump section and at least one second working pump section.
  • a known vacuum pump of the type mentioned is designed in such a way that the working pump sections are connected in parallel. In this way, a relatively high pumping speed is achieved at the beginning of a pumping process.
  • the parallel connection of the working pump sections is disadvantageous with regard to the final pressure that can be achieved, that is to say the minimum pressure that can be achieved at the inlet of the vacuum pump.
  • Vacuum pumps of the type mentioned above that operate in parallel are therefore suitable for applications in which rapid pumping out has priority over a low achievable final pressure.
  • vacuum pumps working in series are particularly suitable for applications in which rapid pumping is less important, but a particularly low final pressure should be achievable.
  • the U.S. 3,837,764 A discloses a special type of vacuum pump with orbiting conveying elements, two working pump sections being provided and it being possible to switch between a parallel and a series connection of the working pump sections.
  • the EP 0 730 093 A1 discloses a further special type of vacuum pump with orbiting conveying elements, namely a dry-running scroll pump, with two working pump sections being provided and it being possible to switch between a parallel and a series connection of the working pump sections.
  • the DE 20 2015 004 596 U1 discloses switching between parallel and series connection of separate vacuum pumps.
  • the DE 42 43 793 A1 , the JP S57 157785 U and the DE 40 01 668 A1 disclose multi-stage rotary vane pumps with means for switching between parallel and series connection of two working pump sections.
  • the goal conflict described should be resolved.
  • a vacuum pump with the features of claim 1, and in particular in that a control device is provided with which the working pump sections can be switched between a series connection and a parallel connection.
  • the vacuum pump can therefore be used to For example, at the beginning of a pumping process, the working pumping sections can be operated in parallel in order to achieve a high pumping speed, and later, in particular as soon as the pumping speed in series operation exceeds that of parallel operation, switch to series operation in order to achieve further effective evacuation down to a particularly low one To ensure final pressure.
  • the vacuum pump according to the invention can be used flexibly for various applications.
  • the manufacturer can dispense with offering mechanically different vacuum pumps on the one hand with parallel connection and on the other hand with series connection. This can drastically reduce the number of parts and thus save costs.
  • the additional design effort for the control device, on the other hand, can be kept low.
  • high or low pressures relate to the specific vacuum application and are not to be understood as absolute.
  • high pressure refers in particular to values close to atmospheric pressure.
  • the following description refers primarily to vacuum pumps with exactly two working pump sections that work according to the same pumping principle.
  • the examples mentioned can, however, also be transferred to pumps with three or more working pump sections and, in particular, also to pumps with different types of working pump sections.
  • the vacuum pump is a rotary displacement vacuum pump, in particular a rotary vane pump.
  • both or all of the work pump sections operate according to the rotary displacement or rotary slide principle.
  • the work pumping sections are driven by a common shaft. This is a structurally simple and therefore inexpensive solution.
  • control device is designed to carry out the switchover when a predefined and / or predefinable switchover gas pressure is reached. This is advantageous because the pumping speed is dependent on the operating pressure prevailing at the time and the pumping speed can therefore be selected precisely.
  • the switching gas pressure can be, for example, a gas pressure prevailing at an inlet of the vacuum pump. This makes it possible to take advantage of the fact that the inlet pressure of a vacuum pump is usually monitored anyway, so that no additional pressure-determining devices are necessary.
  • Advantageous values for the switching gas pressure are below 1 hPa and / or above 0.01 hPa, preferably above 0.10 hPa.
  • control device is designed to switch over as a function of known pumping speed curves of the vacuum pump with series connection and with parallel connection in each case as a function of a gas pressure prevailing at an inlet of the vacuum pump.
  • switching between series and parallel connection can take place at or at an intersection of the pumping speed curves.
  • control device is designed to start a pumping process with a parallel connection of the working pumping sections and to switch to a series connection of the working pump sections as soon as the pumping speed of the vacuum pump connected in parallel is less than or at least substantially equal to a pumping speed of the vacuum pump connected in series. In this way, an advantageous pumping speed can be set in each case.
  • the control device comprises at least one switchover valve, in particular a solenoid valve.
  • switchover valve in particular a solenoid valve.
  • Such switching valves allow simple, reliable control or switching.
  • a three-way valve in particular with an operating voltage of 24V, can be provided.
  • the switching valve has two switching positions, one of which is assigned to the series connection and the other to the parallel connection.
  • the switching valve has at least one third switching position in which the working pump sections are separated from an inlet of the vacuum pump.
  • the working pump sections and an outlet of the vacuum pump can be securely separated from the inlet.
  • the function of an inlet or safety valve can also be taken over by the switchover valve.
  • the vacuum pump therefore in particular has no additional inlet or safety valve. This not only saves costs, but also avoids a disadvantage that is frequently encountered with inlet valves, namely that low differential pressures often lead to insufficient closure of the inlet in differential pressure inlet valves.
  • the switching valve can effectively close the inlet at any differential pressures.
  • a high level of operational reliability can be achieved, for example, if the switchover valve is de-energized in the third switching position or if the switchover valve is designed in such a way that it automatically switches to the third in the de-energized state Switch position assumes and holds. In the event of a power failure, this prevents the process gas from flowing back into the recipient and, in particular, prevents the pump shaft from rotating in the opposite direction.
  • the switching valve can be designed as a 5/3-way valve, for example. This allows a structurally simple design.
  • a drive for at least one of the, in particular both or all, of the working pump sections comprises a direct current motor which is electrically connected in series with the switching valve.
  • the motor can be controlled synchronously with the switchover valve in a simple manner.
  • the currentless state can lead to the switching of the switchover valve in a safety position or the third switching position.
  • control device comprises at least one further valve which, in order to implement the series connection, separates the first working pump section from an outlet of the vacuum pump.
  • a rotary displacement vacuum pump of the prior art designed as a rotary vane vacuum pump and hereinafter referred to as vacuum pump 10 is shown.
  • the vacuum pump 10 sucks in a working medium at an inlet 28 and conveys it to an outlet 30, which is open to the atmosphere, for example.
  • FIG. 11 shows a sectional view of the vacuum pump 10 along the section line AA according to FIG Fig. 1 .
  • the section runs parallel along an axis of rotation of a rotor 12 of the vacuum pump 10.
  • the vacuum pump 10 comprises a safety valve 20, which prevents the working medium from flowing back if the pump fails.
  • the safety valve 20 is pilot controlled by a pressure pilot control.
  • the vacuum pump 10 also includes a motor 26 for driving the rotor 12 of the vacuum pump 10.
  • a coupling 27 is provided between the motor 26 and the rotor 12, which coupling can in particular be designed as a magnetic coupling.
  • a first work pumping section is defined by a slide 14 and a delivery chamber 15.
  • a second work pumping section is defined by a slide 16 and a delivery chamber 17.
  • the rotor has a slide 18 which rotates in a delivery chamber 19 to a To promote control fluid for the pressure pilot control.
  • the vacuum pump 10 shown thus works in the first working pump section, in the second working pump section and in the control pump section, in each case according to the rotary vane pump principle.
  • a plurality of slides 14 and 18 can also be provided in a respective pumping section.
  • the rotor 12 is received with its control section 18, 19 in a receiving part 24 and is supported and rotatably mounted therein.
  • the receiving part 24 forms with an outer surface 32 a cylindrical basic shape which is aligned concentrically to the axis of rotation of the rotor 12.
  • FIG. 3 The diagram shown represents the abscissa an inlet pressure of a vacuum pump according to the invention in logarithmic scale graduation.
  • the ordinate shows the pumping speed of the pump on a simple scale.
  • the diagram shows two pumping speed curves depending on the inlet pressure, namely a first pumping speed curve SP, which shows the pumping speed curve when the work pump sections are connected in parallel, and a second pumping speed curve SR, which shows the pumping speed curve when the work pump sections are connected in series.
  • Fig. 3 impressively illustrates that the pumping speed at a high inlet pressure, i.e. especially at the beginning of a pumping process starting from atmospheric pressure, is significantly greater in parallel operation than in series operation. However, only a significantly higher final pressure is achieved in parallel operation.
  • the pumping speed curves intersect - in the example shown here - at an inlet pressure of 0.15 hPA.
  • the point of intersection and the courses themselves are, however, dependent on the structural design of the respective working pump sections and on their relative size to one another. The following applies that the smaller the size differences of the working pumping sections, the greater the gains in pumping speed.
  • the point of intersection can advantageously be used as a switching point for the control device of the vacuum pump to switch between parallel and series operation.
  • a switching gas pressure corresponding to the point of intersection is determined and used as a basis for the control.
  • the diagram is used to describe a pumping process Fig. 3 read from right to left.
  • An advantageous pumping process in particular starting from atmospheric pressure, proceeds in such a way that parallel operation is started and there the high pumping speed according to SP is used for rapid evacuation.
  • the system switches to series operation so that the higher pumping speed according to SR can be used in the lower pressure range and a lower final pressure can be achieved.
  • a switching valve 40 is shown, which is designed as a 5/3-way valve and controls a vacuum pump according to the invention.
  • the switching valve 40 has three switching positions (a), (b) and (c), in which two working pump sections 42 and 44 are connected in different ways.
  • the switching valve 40 is designed as a solenoid valve for the purpose of selecting the desired switching position, although a corresponding solenoid arrangement is not shown in more detail.
  • a number of fluid channels which connect an inlet 28 of the vacuum pump via the switchover valve 40 and the working pump sections 42, 44 to an outlet 30 of the vacuum pump. Furthermore, a switching valve 46 is provided, which can optionally be shut off.
  • switching position (a) all connections of the switching valve 40 are separated from one another. In this position, no fluid can consequently flow from inlet 28 to outlet 30 and vice versa.
  • This switch position corresponds in particular to the third switch position described above. In particular, it can be assumed when the switching valve 40 is de-energized.
  • switching position (b) of the switching valve 40 the working pump sections are connected in parallel.
  • the switching valve 46 is open. In this position, a high pumping speed can be achieved for high inlet pressures.
  • the switching valve 46 is closed, which is indicated by a cross line.
  • This switching position is preferably selected at low inlet pressures in order to be able to achieve a particularly low final pressure.
  • the changeover valve 40 thus realizes the changeover between series and parallel operation to increase performance on the one hand and at the same time a function as a safety valve on the other hand.
  • the diverse advantages described herein can be achieved. If the invention for the development of the vacuum pump 10 according to Fig. 1 and 2 should be used, the safety valve 20 and the control pump section 18, 19 for the pressure pilot control of the safety valve 20 can be saved in particular by the safety function of the switching valve.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem ersten Arbeitspumpabschnitt und wenigstens einem zweiten Arbeitspumpabschnitt.
  • Der Stand der Technik wird nachfolgend anhand des Beispiels von Drehschiebervakuumpumen mit zwei Arbeitspumpabschnitten beschrieben.
  • Eine bekannte Vakuumpumpe der genannten Art ist derart ausgebildet, dass die Arbeitspumpabschnitte parallel geschaltet sind. Hierdurch wird ein relativ großes Saugvermögen am Anfang eines Abpumpvorganges verwirklicht. Die Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte ist jedoch hinsichtlich des erreichbaren Enddrucks, also des minimal am Einlass der Vakuumpumpe erreichbaren Drucks, nachteilig.
  • Für Anwendungen, bei denen ein besonders niedriger Enddruck benötigt wird, ist es im Stand der Technik bekannt, zwei Arbeitspumpabschnitte in Reihe zu schalten. Hierdurch kann - bei ansonsten baugleichen Arbeitspumpabschnitten - ein deutlich niedrigerer Enddruck erreicht werden. Allerdings ist hierbei das Saugvermögen bei hohen Einlassdrücken, also insbesondere am Anfang eines Abpumpvorgangs, im Vergleich zum Parallelbetrieb stark reduziert.
  • Parallel arbeitende Vakuumpumpen der eingangs genannten Art eignen sich also für Anwendungen, bei denen ein schnelles Abpumpen Vorrang vor einem niedrigen erreichbaren Enddruck hat. Umgekehrt eignen sich in Reihe arbeitende Vakuumpumpen besonders für Anwendungen, bei denen ein schnelles Abpumpen weniger wichtig ist, dafür aber ein besonders niedriger Enddruck erreichbar sein soll.
  • Erreichbarer Enddruck und Saugvermögen bei hohen Einlassdrücken stehen insofern also in einem Zielkonflikt.
  • Die US 3,837,764 A offenbart eine spezielle Art einer Vakuumpumpe mit orbitierenden Förderelementen, wobei zwei Arbeitspumpabschnitte vorgesehen sind und zwischen einer Parallel- und einer Reihenschaltung der Arbeitspumpabschnitte umgeschaltet werden kann. Die EP 0 730 093 A1 offenbart eine weitere spezielle Art einer Vakuumpumpe mit orbitierenden Förderelementen, nämlich eine trocken laufende Scrollpumpe, wobei zwei Arbeitspumpabschnitte vorgesehen sind und zwischen einer Parallel- und einer Reihenschaltung der Arbeitspumpabschnitte umgeschaltet werden kann. Die DE 20 2015 004 596 U1 offenbart ein Umschalten zwischen einer Parallel- und einer Reihenschaltung von separaten Vakuumpumpen. Die DE 42 43 793 A1 , die JP S57 157785 U und die DE 40 01 668 A1 offenbaren mehrstufige Drehschieberpumpen mit Mitteln zur Umschaltung zwischen Parallel- und Reihenschaltung zweier Arbeitspumpabschnitte.
  • Es ist eine Aufgabe der Erfindung, die Leistung einer Vakuumpumpe der eingangs genannten Art zu verbessern, insbesondere sowohl ein hohes Saugvermögen bei hohen Drücken, insbesondere am Anfang eines Abpumpvorgangs, als auch einen niedrigen erreichbaren Enddruck zu verwirklichen. Es soll also insbesondere der beschriebene Zielkonflikt aufgelöst werden.
  • Diese Aufgabe wird durch eine Vakuumpumpe mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst, und insbesondere dadurch, dass eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, mit der zwischen einer Reihenschaltung und einer Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte umgeschaltet werden kann.
  • Hierdurch kann je nach Betriebszustand der Vakuumpumpe diejenige Betriebsart, also Reihen- bzw. Parallelschaltung, ausgewählt werden, welche eine in diesem Betriebszustand bessere Leistung erbringt. Die Vakuumpumpe kann also zum Beispiel am Anfang eines Abpumpvorgangs in Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte betrieben werden, um ein hohes Saugvermögen zu realisieren, und später, insbesondere sobald das Saugvermögen im Reihenbetrieb dasjenige des Parallelbetriebs übersteigt, auf den Reihenbetrieb umschalten, um so eine weitere effektive Evakuierung bis hin zu einem besonders niedrigen Enddruck zu gewährleisten.
  • Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe ist für verschiedene Anwendungsfälle flexibel einsetzbar. Außerdem kann herstellerseitig darauf verzichtet werden, mechanisch unterschiedliche Vakuumpumpen einerseits mit Parallelschaltung und andererseits mit Reihenschaltung anzubieten. Hierdurch lassen sich die Teilevielfalt drastisch reduzieren und somit Kosten sparen. Der konstruktive Mehraufwand für die Steuereinrichtung kann dagegen gering gehalten werden. Ferner ergibt sich ein Kostenvorteil daraus, dass nun kleinere Pumpen durch Parallelschaltung in Anwendungen eingesetzt werden können, in denen bisher größere Pumpen zum Einsatz kamen.
  • Soweit hierin auf hohe oder niedrige Drücke Bezug genommen wird, beziehen diese sich auf die konkrete Vakuumanwendung und sind nicht absolut zu verstehen. Für den einfachen Fall, dass im Ausgangszustand der Pumpe sowohl am Einlass als auch am Auslass atmosphärischer Druck herrscht, bezieht sich hoher Druck insbesondere auf Werte nahe dem atmosphärischen Druck.
  • Die folgende Beschreibung bezieht sich beispielhaft vornehmlich auf Vakuumpumpen mit genau zwei Arbeitspumpabschnitten, die nach demselben Pumpprinzip arbeiten. Die genannten Beispiele lassen sich aber auch auf Pumpen mit drei oder mehr Arbeitspumpabschnitten und insbesondere auch auf Pumpen mit verschiedenartigen Arbeitspumpabschnitten übertragen.
  • Gemäß einer Ausführungsform ist die Vakuumpumpe eine Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere eine Drehschieberpumpe. Insbesondere arbeiten beide oder alle Arbeitspumpabschnitte nach dem Rotationsverdränger- bzw. Drehschieberprinzip. Zum Beispiel sind die Arbeitspumpabschnitte durch eine gemeinsame Welle angetrieben. Dies stellt eine konstruktiv einfache und somit kostengünstige Lösung dar.
  • Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist die Steuereinrichtung dazu ausgebildet, die Umschaltung bei Erreichen eines vorgegebenen und/oder vorgebbaren Umschaltgasdrucks vorzunehmen. Dies ist deshalb vorteilhaft, da das Saugvermögen vom zum jeweiligen Zeitpunkt herrschenden Betriebsdruck abhängig ist und somit das Saugvermögen präzise gewählt werden kann.
  • Der Umschaltgasdruck kann z.B. ein an einem Einlass der Vakuumpumpe herrschender Gasdruck sein. Hierdurch lässt sich vorteilhaft nutzen, dass der Einlassdruck einer Vakuumpumpe meist ohnehin überwacht wird, sodass keine zusätzlichen Druckermittlungseinrichtungen nötig sind.
  • Vorteilhafte Werte für den Umschaltgasdruck liegen unterhalb von 1 hPa und/oder oberhalb von 0,01 hPa, bevorzugt oberhalb von 0,10 hPa.
  • Bei einer Weiterbildung ist die Steuereinrichtung dazu ausgebildet, die Umschaltung in Abhängigkeit von bekannten Saugvermögensverläufen der Vakuumpumpe bei Reihenschaltung und bei Parallelschaltung jeweils in Abhängigkeit von einem an einem Einlass der Vakuumpumpe herrschenden Gasdruck vorzunehmen. Insbesondere kann die Umschaltung zwischen Reihen- und Parallelschaltung an oder bei einem Schnittpunkt der Saugvermögensverläufe erfolgen.
  • Bei noch einer Weiterbildung ist die Steuereinrichtung dazu ausgebildet, einen Pumpvorgang mit einer Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte zu beginnen und auf eine Reihenschaltung der Arbeitspumpabschnitte umzuschalten, sobald das Saugvermögen der Vakuumpumpe in Parallelschaltung kleiner oder zumindest im Wesentlichen gleich einem Saugvermögen der Vakuumpumpe in Reihenschaltung ist. Hierdurch kann jeweils ein vorteilhaftes Saugvermögen eingestellt werden.
  • Erfindungsgemäß umfasst die Steuereinrichtung wenigstens ein Umschaltventil, insbesondere ein Magnetventil. Solche Umschaltventile erlauben eine einfache, zuverlässige Steuerung bzw. Umschaltung. Zum Beispiel kann ein Dreiwegeventil, insbesondere mit einer Betriebsspannung von 24V, vorgesehen sein.
  • Das Umschaltventil weist erfindungsgemäß zwei Schaltstellungen auf, von denen die eine der Reihenschaltung und die andere der Parallelschaltung zugeordnet ist.
  • Außerdem weist das Umschaltventil erfindungsgemäß wenigstens eine dritte Schaltstellung auf, in der die Arbeitspumpabschnitte von einem Einlass der Vakuumpumpe getrennt sind. Hierdurch können die Arbeitspumpabschnitte und ein Auslass der Vakuumpumpe sicher von dem Einlass getrennt werden. Somit kann insbesondere die Funktion eines Einlass- bzw. Sicherheitsventils von dem Umschaltventil mit übernommen werden. Die Vakuumpumpe weist also insbesondere kein zusätzliches Einlass- oder Sicherheitsventil auf. Hierdurch lassen sich nicht nur Kosten sparen, sondern es lässt sich auch ein bei Einlassventilen häufig anzutreffender Nachteil vermeiden, nämlich dass bei Differenzdruck-Einlassventilen niedrige Differenzdrücke häufig zu einem unzureichenden Verschluss des Einlasses führen. Das Umschaltventil kann hingegen bei beliebigen Differenzdrücken den Einlass wirksam verschließen.
  • Eine hohe Betriebssicherheit lässt sich beispielsweise erreichen, wenn das Umschaltventil in der dritten Schaltstellung stromlos ist bzw. wenn das Umschaltventil derart ausgebildet ist, dass es im stromlosen Zustand selbsttätig die dritte Schaltstellung einnimmt und hält. Hierdurch wird im Falle eines Stromausfalls ein Rückströmen des Prozessgases in den Rezipienten und insbesondere eine daraus resultierende umgekehrte Drehung der Pumpenwelle verhindert.
  • Das Umschaltventil kann z.B. als 5/3-Wegeventil ausgebildet sein. Dies erlaubt eine konstruktiv einfache Gestaltung.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform umfasst ein Antrieb für zumindest einen der, insbesondere beide oder alle, Arbeitspumpabschnitte einen Gleichstrommotor, der mit dem Umschaltventil elektrisch in Reihe geschaltet ist. Hierdurch kann in einfacher Weise der Motor synchron zum Umschaltventil gesteuert werden. Insbesondere kann hierbei der stromlose Zustand zum Schalten des Umschaltventils in eine Sicherheitsstellung bzw. die dritte Schaltstellung führen.
  • Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel umfasst die Steuereinrichtung wenigstens ein weiteres Ventil, welches zur Realisierung der Reihenschaltung den ersten Arbeitspumpabschnitt von einem Auslass der Vakuumpumpe trennt.
  • Weitere Ausführungsformen der Erfindung sind den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung und den Figuren zu entnehmen.
  • Die Erfindung wird nachfolgend lediglich beispielhaft anhand der schematischen Zeichnung erläutert.
    • Fig. 1
    zeigt eine Rotationsverdrängervakuumpumpe des Standes der Technik in einer Seitenansicht.
    Fig. 2
    zeigt die Vakuumpumpe der Fig. 1 in einer Schnittansicht entlang der Linie A-A von Fig. 1.
    Fig. 3
    zeigt für eine erfindungsgemäße Vakuumpumpe eine Auftragung des Saugvermögens in Abhängigkeit von einem Einlassdruck jeweils für eine Reihen- und eine Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte.
    Fig. 4
    zeigt ein Schaltbild eines 5/3-Wegeventils zur Umschaltung zwischen Reihen- und Parallelbetrieb zweier Arbeitspumpabschnitte.
  • In Fig. 1 ist eine als Drehschiebervakuumpumpe ausgeführte und nachstehend als Vakuumpumpe 10 bezeichnete Rotationsverdrängervakuumpumpe des Standes der Technik dargestellt. Die Vakuumpumpe 10 saugt ein Arbeitsmedium an einem Einlass 28 an und fördert dieses zu einem Auslass 30, der zum Beispiel gegen Atmosphäre offen ist.
  • Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht der Vakuumpumpe 10 entlang der Schnittlinie A-A gemäß Fig. 1. Der Schnitt verläuft dabei parallel entlang einer Drehachse eines Rotors 12 der Vakuumpumpe 10. Die Vakuumpumpe 10 umfasst ein Sicherheitsventil 20, welches ein Rückfließen von Arbeitsmedium bei Ausfall der Pumpe verhindert. Das Sicherheitsventil 20 ist durch eine Druckvorsteuerung vorgesteuert.
  • Die Vakuumpumpe 10 umfasst außerdem einen Motor 26 zum Antrieb des Rotors 12 der Vakuumpumpe 10. Zwischen Motor 26 und Rotor 12 ist eine Kupplung 27 vorgesehen, welche insbesondere als Magnetkupplung ausgeführt sein kann.
  • An dem Rotor 12 sind zwei Arbeitspumpabschnitte und ein Steuerpumpabschnitt ausgebildet. Ein erster Arbeitspumpabschnitt wird durch einen Schieber 14 und einen Förderraum 15 definiert. Ein zweiter Arbeitspumpabschnitt wird durch einen Schieber 16 und einen Förderraum 17 definiert. In dem Steuerpumpabschnitt weist der Rotor einen Schieber 18 auf, der in einem Förderraum 19 rotiert, um ein Steuerfluid für die Druckvorsteuerung zu fördern. Die gezeigte Vakuumpumpe 10 arbeitet also im ersten Arbeitspumpabschnitt, im zweiten Arbeitspumpabschnitt und im Steuerpumpabschnitt jeweils nach dem Drehschieberpumpprinzip. In einem jeweiligen Pumpabschnitt können auch mehrere Schieber 14 bzw. 18 vorgesehen sein.
  • Der Rotor 12 ist mit seinem Steuerabschnitt 18, 19 in einem Aufnahmeteil 24 aufgenommen und abgestützt und darin drehbar gelagert. Das Aufnahmeteil 24 bildet mit einer Außenfläche 32 eine zylindrische Grundform, welche konzentrisch zu der Drehachse des Rotors 12 ausgerichtet ist.
  • In dem in Fig. 3 gezeigten Diagramm repräsentiert die Abszisse einen Einlassdruck einer erfindungsgemäßen Vakuumpumpe in logarithmischer Skaleneinteilung. Die Ordinate zeigt das Saugvermögen der Pumpe in einfacher Skaleneinteilung. Das Diagramm zeigt zwei Saugvermögensverläufe in Abhängigkeit des Einlassdrucks, nämlich einen ersten Saugvermögensverlauf SP, der den Saugvermögensverlauf bei einer Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte darstellt, und einen zweiten Saugvermögensverlauf SR, der den Saugvermögensverlauf bei einer Reihenschaltung der Arbeitspumpabschnitte darstellt.
  • Fig. 3 veranschaulicht eindrücklich, dass das Saugvermögen bei einem hohen Einlassdruck, also insbesondere am Anfang eines Abpumpvorgangs ausgehend vom Atmosphärendruck, im Parallelbetrieb deutlich größer ist als im Reihenbetrieb. Allerdings wird im Parallelbetrieb nur ein deutlich höherer Enddruck erreicht.
  • Die Saugvermögensverläufe schneiden sich - in dem hier dargestellten Beispiel - etwa bei einem Einlassdruck von 0,15 hPA. Der Schnittpunkt sowie die Verläufe an sich sind jedoch abhängig von der konstruktiven Ausgestaltung der jeweiligen Arbeitspumpabschnitte sowie von deren Größenverhältnis zueinander. Dabei gilt, dass je geringer die Größenunterschiede der Arbeitspumpabschnitte sind, desto größer die Zugewinne beim Saugvermögen sind.
  • Der Schnittpunkt lässt sich vorteilhaft als Schaltpunkt für die Steuereinrichtung der Vakuumpumpe zum Umschalten zwischen Parallel- und Reihenbetrieb heranziehen. Insbesondere wird ein dem Schnittpunkt entsprechender Umschaltgasdruck ermittelt und der Steuerung zugrunde gelegt.
  • Zur Beschreibung eines Abpumpvorgangs ist das Diagramm der Fig. 3 von rechts nach links zu lesen. Ein vorteilhafter Abpumpvorgang, insbesondere ausgehend vom Atmosphärendruck, verläuft derart, dass im Parallelbetrieb begonnen wird und dort das hohe Saugvermögen gemäß SP zur schnellen Evakuierung genutzt wird. Sobald jedoch das Saugvermögen im Parallelbetrieb unter dasjenige fällt, welches im Reihenbetrieb möglich ist, wird in den Reihenbetrieb umgeschaltet, sodass im niedrigen Druckbereich das dann höhere Saugvermögen gemäß SR ausgenutzt und ein niedrigerer Enddruck erreicht werden kann.
  • In Fig. 4 ist ein Umschaltventil 40 gezeigt, welches als 5/3-Wegeventil ausgebildet ist und eine erfindungsgemäße Vakuumpumpe steuert. Das Umschaltventil 40 weist drei Schaltstellungen (a), (b) und (c) auf, in denen zwei Arbeitspumpabschnitt 42 und 44 in unterschiedlicher Weise beschaltet sind. Das Umschaltventil 40 ist zwecks Auswahl der gewünschten Schaltstellung als Magnetventil ausgebildet, wobei eine entsprechende Magnetanordnung jedoch nicht näher dargestellt ist.
  • Dargestellt sind außerdem eine Reihe von Fluidkanälen, die einen Einlass 28 der Vakuumpumpe über das Umschaltventil 40 und die Arbeitspumpabschnitte 42, 44 mit einem Auslass 30 der Vakuumpumpe verbinden. Des Weiteren ist ein Schaltventil 46 vorgesehen, welches wahlweise absperrbar ist.
  • In Schaltstellung (a) sind alle Anschlüsse des Umschaltventils 40 voneinander getrennt. In dieser Stellung kann folglich kein Fluid vom Einlass 28 zum Auslass 30 und umgekehrt strömen. Diese Schaltstellung entspricht insbesondere der zuvor beschriebenen dritten Schaltstellung. Sie kann insbesondere im stromlosen Zustand des Schaltventils 40 eingenommen werden.
  • In Schaltstellung (b) des Umschaltventils 40 sind die Arbeitspumpabschnitte parallel geschaltet. Dabei ist das Schaltventil 46 geöffnet. In dieser Stellung lässt sich also für hohe Einlassdrücke ein hohes Saugvermögen realisieren.
  • In Schaltstellung (c) sind die Arbeitspumpabschnitte 42 und 44 dagegen in Reihe geschaltet. Hierzu ist das Schaltventil 46 geschlossen, was durch einen Querstrich angedeutet ist. Diese Schaltstellung wird vorzugsweise bei niedrigen Einlassdrücken gewählt, um einen besonders niedrigen Enddruck erreichen zu können.
  • Das Umschaltventil 40 verwirklicht hier also die Umschaltung zwischen Reihen- und Parallelbetrieb zur Leistungssteigerung einerseits und gleichzeitig eine Funktion als Sicherheitsventil andererseits. Trotz des konstruktiv einfachen Aufbaus lassen sich also die vielfältigen, hierin beschriebenen Vorteile erreichen. Falls die Erfindung zur Weiterbildung der Vakuumpumpe 10 gemäß Fig. 1 und 2 herangezogen werden soll, lassen sich insbesondere durch die Sicherheitsfunktion des Umschaltventils das Sicherheitsventil 20 und der Steuerpumpabschnitt 18, 19 für die Druckvorsteuerung des Sicherheitsventils 20 einsparen.
    • Bezugszeichenliste
    • 10
    Vakuumpumpe
    12
    Rotor
    14
    Schieber des ersten Arbeitspumpabschnitts
    15
    Förderraum des ersten Arbeitspumpabschnitts
    16
    Schieber des zweiten Arbeitspumpabschnitts
    17
    Förderraum des zweiten Arbeitspumpabschnitts
    18
    Schieber des Steuerpumpabschnitts
    19
    Förderraum des Steuerpumpabschnitts
    20
    Sicherheitsventil
    24
    Aufnahmeteil
    26
    Motor
    27
    Kupplung
    28
    Einlass
    30
    Auslass
    32
    Außenfläche
    40
    Umschaltventil
    42
    Arbeitspumpabschnitt
    44
    Arbeitspumpabschnitt
    46
    Schaltventil
    SP
    Saugvermögensverlauf im Parallelbetrieb
    SR
    Saugvermögensverlauf im Reihenbetrieb

Claims (12)

  1. Vakuumpumpe umfassend
    einen ersten Arbeitspumpabschnitt (42),
    wenigstens einen zweiten Arbeitspumpabschnitt (44) und
    eine Steuereinrichtung (40, 46), mit der zwischen einer Reihenschaltung und einer Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte umgeschaltet werden kann,
    wobei die Steuereinrichtung wenigstens ein Umschaltventil (40) umfasst, welches zwei Schaltstellungen aufweist, von denen die eine der Reihenschaltung und die andere der Parallelschaltung zugeordnet ist, dadurch gekennzeichnet,
    dass das Umschaltventil (40) wenigstens eine dritte Schaltstellung aufweist, in der die Arbeitspumpabschnitte (42, 44) von einem Einlass (28) der Vakuumpumpe getrennt sind.
  2. Vakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Vakuumpumpe eine Rotationsverdrängervakuumpumpe ist, insbesondere eine Drehschieberpumpe.
  3. Vakuumpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (40, 46) dazu ausgebildet ist, die Umschaltung bei Erreichen eines vorgegebenen und/oder vorgebbaren Umschaltgasdrucks vorzunehmen.
  4. Vakuumpumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Umschaltgasdruck ein an einem Einlass (28) der Vakuumpumpe herrschender Gasdruck ist.
  5. Vakuumpumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Umschaltgasdruck unterhalb von 1 hPa und/oder oberhalb von 0,01 hPa, bevorzugt oberhalb von 0,10 hPa, liegt.
  6. Vakuumpumpe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (40, 46) dazu ausgebildet ist, die Umschaltung in Abhängigkeit von bekannten Saugvermögensverläufen der Vakuumpumpe bei Reihenschaltung und bei Parallelschaltung jeweils in Abhängigkeit von einem an einem Einlass (28) der Vakuumpumpe herrschenden Gasdruck vorzunehmen.
  7. Vakuumpumpe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung (40, 46) dazu ausgebildet ist, einen Pumpvorgang mit einer Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte (42, 44) zu beginnen und auf eine Reihenschaltung der Arbeitspumpabschnitte umzuschalten, sobald das Saugvermögen der Vakuumpumpe in Parallelschaltung kleiner oder zumindest im Wesentlichen gleich einem Saugvermögen der Vakuumpumpe in Reihenschaltung ist.
  8. Vakuumpumpe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltventil (40) ein Magnetventil ist.
  9. Vakuumpumpe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltventil (40) in der dritten Schaltstellung stromlos ist.
  10. Vakuumpumpe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Umschaltventil (40) als 5/3-Wegeventil ausgebildet ist.
  11. Vakuumpumpe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Antrieb für zumindest einen der Arbeitspumpabschnitte (42, 44) einen Gleichstrommotor umfasst, der mit dem Umschaltventil (40) elektrisch in Reihe geschaltet ist.
  12. Vakuumpumpe nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinrichtung wenigstens ein weiteres Ventil (46) umfasst, welches zur Realisierung der Reihenschaltung den ersten Arbeitspumpabschnitt (42) von einem Auslass (30) der Vakuumpumpe trennt.
EP17203509.9A 2017-11-24 2017-11-24 Vakuumpumpe Active EP3489516B1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP17203509.9A EP3489516B1 (de) 2017-11-24 2017-11-24 Vakuumpumpe
JP2018216103A JP6796630B2 (ja) 2017-11-24 2018-11-19 真空ポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP17203509.9A EP3489516B1 (de) 2017-11-24 2017-11-24 Vakuumpumpe

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP3489516A1 EP3489516A1 (de) 2019-05-29
EP3489516B1 true EP3489516B1 (de) 2021-09-01

Family

ID=60480181

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP17203509.9A Active EP3489516B1 (de) 2017-11-24 2017-11-24 Vakuumpumpe

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP3489516B1 (de)
JP (1) JP6796630B2 (de)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57157785U (de) * 1981-03-30 1982-10-04
DE4001668A1 (de) * 1989-05-09 1990-11-15 Medizin Labortechnik Veb K Mehrstufige vakuumpumpe
DE4243793A1 (de) * 1992-12-23 1994-06-30 Zwetko Zwetkow Stufenschmierung für mehrstufige Vakuumpumpen

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3837764A (en) * 1972-05-11 1974-09-24 Robinair Mfg Corp Multi-stage rotary vacuum pump with separate oil reservoir
US3791780A (en) * 1972-05-11 1974-02-12 Robinair Mfg Corp Vacuum pump
JPH06249187A (ja) * 1993-02-23 1994-09-06 Sony Corp 真空ポンプおよびその駆動方法
US5591014A (en) * 1993-11-29 1997-01-07 Copeland Corporation Scroll machine with reverse rotation protection
JP3580890B2 (ja) * 1995-02-28 2004-10-27 アネスト岩田株式会社 オイルレス真空ポンプ装置とその運転制御方法
DE69623516T2 (de) * 1995-02-28 2003-05-15 Anest Iwata Corp Kontrollsystem für zweistufige Vakuumpumpe
FR2883934B1 (fr) * 2005-04-05 2010-08-20 Cit Alcatel Pompage rapide d'enceinte avec limitation d'energie
JP6078748B2 (ja) * 2013-11-26 2017-02-15 オリオン機械株式会社 吸引システムおよび吸引方法
DE202015004596U1 (de) * 2015-06-26 2015-09-21 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Vakuumpumpensystem

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57157785U (de) * 1981-03-30 1982-10-04
DE4001668A1 (de) * 1989-05-09 1990-11-15 Medizin Labortechnik Veb K Mehrstufige vakuumpumpe
DE4243793A1 (de) * 1992-12-23 1994-06-30 Zwetko Zwetkow Stufenschmierung für mehrstufige Vakuumpumpen

Also Published As

Publication number Publication date
JP6796630B2 (ja) 2020-12-09
JP2019094896A (ja) 2019-06-20
EP3489516A1 (de) 2019-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2529331C2 (de) Schraubenkompressor
EP1780420B1 (de) Hydraulische Druckversorgungseinheit und elektrohydraulische Arbeitseinheit
EP2649354B1 (de) Gasventileinheit
EP2299156A2 (de) Rotorscheibe, Rotorscheibenventil und Ventileinrichtung
EP2771144B1 (de) Trommelschere
WO2004111396A1 (de) Nockenwellensteller für eine brennkraftmaschine
DE3814580A1 (de) Hydraulische steuereinrichtung fuer die antriebssteuerung eines doppelt-wirkenden hydrozylinders
EP3489516B1 (de) Vakuumpumpe
WO2010133270A1 (de) Hydraulischer antrieb und drehschieberventil für einen hydraulischen antrieb
DE102015213338B4 (de) Aktuatoreinheit
EP2188530A1 (de) Mehrstufige drehkolbenvakuumpumpe bzw. -verdichter
WO2008040354A1 (de) Hydraulische maschine
DE102005040702A1 (de) Rotationspumpe
DE4322614C2 (de) Innenachsige Zahnradpumpe mit umlaufenden Förderräumen, vorzugsweise mit Trochoidenverzahnung
DE102008014243A1 (de) Flügelzellenpumpe
WO2016206966A1 (de) Steuerungsvorrichtung für eine pneumatische kolben-zylinder-einheit zum verstellen eines verschlussgliedes eines vakuumventils
EP3091230B1 (de) Hydrostatische kolbenmaschine
WO2016096221A1 (de) Stellantrieb für ein regelventil, insbesondere dampfturbinenregelventil und verfahren zum betreiben desselben
EP0791772A2 (de) Dreiwegeventil für hydraulische Schnittstelle
WO2015086159A1 (de) Verdichter
DE102014117625A1 (de) Schaltgetriebe eines Kraftfahrzeugs
WO2019086424A1 (de) Ventil, hydrauliksystem und kraftfahrzeuggetriebe
WO2014023744A1 (de) Pumpeneinrichtung
EP2623796B1 (de) Ventilbaugruppe mit Vorsteuerpumpe
EP2795137B1 (de) Wegesitzventil

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION HAS BEEN PUBLISHED

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20190918

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: EXAMINATION IS IN PROGRESS

17Q First examination report despatched

Effective date: 20191114

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: EXAMINATION IS IN PROGRESS

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: GRANT OF PATENT IS INTENDED

INTG Intention to grant announced

Effective date: 20210407

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE PATENT HAS BEEN GRANTED

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 1426517

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20210915

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 502017011358

Country of ref document: DE

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG9D

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: MP

Effective date: 20210901

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: RS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: HR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20211201

Ref country code: NO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20211201

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20211202

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20220101

Ref country code: SM

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20220103

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: AL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 502017011358

Country of ref document: DE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20211124

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20211130

REG Reference to a national code

Ref country code: BE

Ref legal event code: MM

Effective date: 20211130

26N No opposition filed

Effective date: 20220602

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20211124

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20211130

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20220630

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO

Effective date: 20171124

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20220630

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MM01

Ref document number: 1426517

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20221124

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20231123

Year of fee payment: 7

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20221124

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Payment date: 20231124

Year of fee payment: 7

Ref country code: CZ

Payment date: 20231116

Year of fee payment: 7

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20210901

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20240129

Year of fee payment: 7