EP3386649A1 - Ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structurée et procédé de fabrication d'un ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structurée - Google Patents
Ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structurée et procédé de fabrication d'un ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structuréeInfo
- Publication number
- EP3386649A1 EP3386649A1 EP16782063.8A EP16782063A EP3386649A1 EP 3386649 A1 EP3386649 A1 EP 3386649A1 EP 16782063 A EP16782063 A EP 16782063A EP 3386649 A1 EP3386649 A1 EP 3386649A1
- Authority
- EP
- European Patent Office
- Prior art keywords
- layer
- recess
- plate carrier
- perforated plate
- sound transducer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 17
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 73
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 11
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/004—Mounting transducers, e.g. provided with mechanical moving or orienting device
Abstract
Ensemble transducteur acoustique (100) comprenant : un support en plaque perforée (101) présentant des premiers évidements (102) agencés de manière espacée horizontalement et des deuxièmes évidements agencés de manière espacée horizontalement, un premier évidement (102) et un deuxième évidement (103) étant dans chaque cas agencés de manière adjacente l'un au-dessus de l'autre, l'étendue horizontale du deuxième évidement (103) étant supérieure à l'étendue horizontale du premier évidement (102) de sorte que des surfaces d'appui (104) sont formées à l'intérieur du support en plaque perforée (101) ; plusieurs éléments piézoélectriques (105) ; et une couche de recouvrement (108). L'invention se caractérise en ce que chaque deuxième évidement (103) présente un élément piézoélectrique (105) et les éléments piézoélectriques (105) sont disposés en partie sur les surfaces d'appui (104), chaque élément piézoélectrique (105) présentant une étendue horizontale qui est supérieure à celle du premier évidement (102) et inférieure à celle du deuxième évidement (103) de sorte que des cavités sont formées entre le support en plaque perforée (101) et les éléments piézoélectriques (105) dans la direction horizontale. L'invention se caractérise par ailleurs en ce que la couche de recouvrement (108) est disposée sur le support en plaque perforée (101) et les éléments piézoélectriques (105), la couche de recouvrement (108) présentant une première couche métallique structurée (109) qui est disposée au-dessus des éléments piézoélectriques (105) et qui fait fonction de membrane.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102015224763.5A DE102015224763A1 (de) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | Schallwandleranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Schallwandleranordnung |
| PCT/EP2016/074858 WO2017097478A1 (fr) | 2015-12-10 | 2016-10-17 | Ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structurée et procédé de fabrication d'un ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structurée |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| EP3386649A1 true EP3386649A1 (fr) | 2018-10-17 |
Family
ID=57138072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| EP16782063.8A Withdrawn EP3386649A1 (fr) | 2015-12-10 | 2016-10-17 | Ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structurée et procédé de fabrication d'un ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structurée |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP3386649A1 (fr) |
| CN (1) | CN108290183A (fr) |
| DE (1) | DE102015224763A1 (fr) |
| WO (1) | WO2017097478A1 (fr) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10888084B2 (en) | 2015-07-15 | 2021-01-12 | Nrg Systems, Inc. | Ultrasonic bat deterrent system |
| WO2017079435A1 (fr) | 2015-11-03 | 2017-05-11 | Nrg Systems, Inc. | Techniques de fourniture d'un dispositif de transducteur ultrasonore à bande large à l'aide d'une pluralité de réseaux de transducteurs à bande étroite et procédé de dissuasion de faune les mettant en œuvre |
| CN114367431B (zh) * | 2022-01-10 | 2023-05-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种换能器及其制备方法 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6129596U (ja) * | 1984-07-24 | 1986-02-22 | 谷口 義晴 | 超音波送受信具の構造 |
| US4754440A (en) * | 1985-12-27 | 1988-06-28 | Aisin Seiki Kabushikikaisha | Ultrasonic transducer |
| US5174926A (en) * | 1988-04-07 | 1992-12-29 | Sahagen Armen N | Compositions for piezoresistive and superconductive application |
| DE3920872A1 (de) | 1989-06-26 | 1991-01-03 | Siemens Ag | Verfahren zur herstellung von ultraschall-wandlern, insbesondere von schichtwandlern, die ausser piezoelektrischem material auch kunststoffmaterial umfassen |
| US6058782A (en) * | 1998-09-25 | 2000-05-09 | Kulite Semiconductor Products | Hermetically sealed ultra high temperature silicon carbide pressure transducers and method for fabricating same |
| JP3770114B2 (ja) * | 2001-07-11 | 2006-04-26 | 株式会社村田製作所 | 圧電型電気音響変換器およびその製造方法 |
| US20050075572A1 (en) | 2003-10-01 | 2005-04-07 | Mills David M. | Focusing micromachined ultrasonic transducer arrays and related methods of manufacture |
| JP2008191007A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Denso Corp | センサ装置の取り付け構造 |
| DE102007027936B4 (de) * | 2007-06-18 | 2009-09-10 | Giesecke & Devrient Gmbh | Tragbarer Datenträger |
| JP4944159B2 (ja) * | 2009-06-02 | 2012-05-30 | Ｔｄｋ株式会社 | 圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの製造方法 |
| DE102011079646A1 (de) * | 2011-07-22 | 2013-02-07 | Robert Bosch Gmbh | Ultraschallsensorvorrichtung zum Erfassen und/oder Senden von Ultraschall |
| JP6135088B2 (ja) * | 2012-10-12 | 2017-05-31 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器及び超音波診断装置 |
| CN104022685B (zh) * | 2014-05-23 | 2017-03-08 | 厦门大学 | 运用于压电俘能器的调频阵列式压电悬臂梁俘能方法 |
| JP2016067585A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサーデバイス、超音波測定装置及び超音波測定システム |
-
2015
- 2015-12-10 DE DE102015224763.5A patent/DE102015224763A1/de not_active Withdrawn
-
2016
- 2016-10-17 CN CN201680071570.7A patent/CN108290183A/zh active Pending
- 2016-10-17 WO PCT/EP2016/074858 patent/WO2017097478A1/fr unknown
- 2016-10-17 EP EP16782063.8A patent/EP3386649A1/fr not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102015224763A1 (de) | 2017-06-14 |
| CN108290183A (zh) | 2018-07-17 |
| WO2017097478A1 (fr) | 2017-06-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3731196C2 (fr) | ||
| EP0935741B1 (fr) | Transducteur a ultrasons realise selon une technique de micro-usinage de surface avec circuit de controle integre, et matrice | |
| EP3320694B1 (fr) | Module à carte de circuit imprimé mems à structure piézoélectrique intégrée et ensemble transducteur acoustique | |
| DE19922148C2 (de) | Piezoelektrisches akustisches Bauteil | |
| DE102005008514B4 (de) | Mikrofonmembran und Mikrofon mit der Mikrofonmembran | |
| DE4006718A1 (de) | Piezoelektrischer wandler | |
| WO2017097478A1 (fr) | Ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structurée et procédé de fabrication d'un ensemble transducteur acoustique comprenant une couche métallique structurée | |
| DE102008041132A1 (de) | Biegewandler zum Erzeugen von elektrischer Energie aus mechanischen Verformungen | |
| DE102009000379A1 (de) | Ultraschalltransducer für einen Näherungssensor | |
| WO2011073414A2 (fr) | Ensemble oscillant pour transducteur ultrasonore et procédé de fabrication de cet ensemble oscillant | |
| DE4135369A1 (de) | Testbarer piezoelektrischer beschleunigungssensor | |
| DE10341730A1 (de) | Mehrfachmuster-Transducerarray und Verfahren zu deren Verwendung | |
| EP1378014B1 (fr) | Convertisseur electromecanique comprenant au moins un element piezo-electrique | |
| DE102011052767B4 (de) | Ultraschalltransducer für einen Näherungssensor | |
| DE102004057795B4 (de) | Kontaktierung von Vielschicht-Piezoaktoren bzw. -sensoren | |
| EP3386650B1 (fr) | Ensemble transducteur acoustique comprenant deux éléments de jonction disposés parallèlement et procédé de fabrication d'un ensemble transducteur acoustique comprenant deux éléments de jonction disposés parallèlement | |
| WO2017097472A1 (fr) | Ensemble transducteur acoustique comprenant des éléments flexibles et procédé de fabrication d'un ensemble transducteur acoustique comprenant des éléments flexibles | |
| WO2017097474A1 (fr) | Ensemble transducteur acoustique comprenant des zones de liaison annulaires et procédé de fabrication d'un ensemble transducteur acoustique comprenant des zones de liaison annulaires | |
| EP3386647A1 (fr) | Ensemble transducteur acoustique comprenant des éléments de jonction concentriques et procédé de fabrication d'un ensemble transducteur acoustique comprenant des éléments de jonction concentriques | |
| WO2016128090A1 (fr) | Système de transducteurs acoustiques | |
| DE19726355A1 (de) | Mikromechanische Resonanzstruktur | |
| EP0971557B1 (fr) | Transducteur à feuilles ultrasoniques | |
| WO2024056273A1 (fr) | Composant transducteur | |
| DE112019006369T5 (de) | Piezoelektrischer Wandler | |
| DE112021000854T5 (de) | Wandler und elektronische vorrichtung |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: UNKNOWN |
|
| STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE |
|
| PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
| STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE |
|
| 17P | Request for examination filed |
Effective date: 20180710 |
|
| AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
|
| AX | Request for extension of the european patent |
Extension state: BA ME |
|
| DAV | Request for validation of the european patent (deleted) | ||
| DAX | Request for extension of the european patent (deleted) | ||
| RAP1 | Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred) |
Owner name: ROBERT BOSCH GMBH |
|
| GRAP | Despatch of communication of intention to grant a patent |
Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1 |
|
| STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: GRANT OF PATENT IS INTENDED |
|
| INTG | Intention to grant announced |
Effective date: 20210104 |
|
| INTG | Intention to grant announced |
Effective date: 20210113 |
|
| STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN |
|
| 18D | Application deemed to be withdrawn |
Effective date: 20210501 |