EP2612343A1 - Sputtereinrichtung mit rohrförmigem target - Google Patents

Sputtereinrichtung mit rohrförmigem target

Info

Publication number
EP2612343A1
EP2612343A1 EP11748398.2A EP11748398A EP2612343A1 EP 2612343 A1 EP2612343 A1 EP 2612343A1 EP 11748398 A EP11748398 A EP 11748398A EP 2612343 A1 EP2612343 A1 EP 2612343A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
target tube
ring
shaft
target
spacer ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP11748398.2A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Armin HÜBNER
Hans-Jürgen Heinrich
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Original Assignee
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Von Ardenne Anlagentechnik GmbH filed Critical Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Publication of EP2612343A1 publication Critical patent/EP2612343A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3402—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering using supplementary magnetic fields
    • H01J37/3405—Magnetron sputtering
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
    • H01J37/3414—Targets
    • H01J37/342—Hollow targets
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
    • H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)

Definitions

  • the invention relates to a sputtering device with tubular target
  • pipe connections are common in order to connect assemblies together and seal at the same time by means of integrated seals.
  • Such holding devices may be formed, for example, as so-called end blocks.
  • the tubular target is commonly used in the
  • Vacuum chamber of a vacuum coating system cantilevered attached to one or between two end blocks, which are designed so that they each allow the rotatable mounting of the tubular target.
  • the two end blocks are assigned different functions.
  • One of the end blocks can be used as a supply end block for
  • the cooling medium inside the tube target must not be able to produce any process-damaging leakage to the vacuum. Due to the process, it must be ensured that over the
  • the target clamping must not have an electrically insulating effect.
  • the target tubes are to be precisely recorded and processes harmful vibrations and
  • the target pipe is consumed due to the process and must be renewed or replaced during maintenance work, while the front side is open when the vacuum chamber
  • Seal to receive a flange, for example, a belonging to a holding device support shaft.
  • the tube is centered over a centering collar of the flange, which is also supported on the inner diameter of the tube.
  • the pipe joint should also ensure better electrical contact between the target pipe and the support shaft.
  • a sputtering device with a tubular target which comprises a holding device with a support shaft having a shaft flange, which releasably and waterproof by a clamping device with a
  • Target tube is connected, wherein the shaft flange of the support shaft facing the end of the target tube is flangeless and on its outer side at a predetermined position, a spacer ring is detachably mounted, which is held by positive engagement at a minimum distance from the end of the target tube, wherein the clamping device is formed from the
  • the spacer ring on the end of the target tube is detachably arranged so that it at a
  • Target tube is too positively prevented. This can be achieved in various ways, as will be explained in more detail below. Due to the positive forced fixing of the minimum distance of the spacer ring to
  • End face of the target tube - and thus to the shaft flange of the support shaft - can be dispensed with a welded flange. Few parts are sufficient to ensure a highly accurate and tight connection between the target tube and the support shaft
  • Clamping device is firmly coupled to the support shaft, can be easily plugged and just as easily removed. At the same time an improved electrical contact between the target tube and the support shaft is achieved by the proposed solution.
  • Such a sealing surface on the shaft flange may for example be a flat surface, but also a groove, for example a groove into which the target tube can be inserted.
  • the sealing ring between the end face of the target tube and the groove bottom in the shaft flange or between a mounted on the outside of the target tube groove and the groove flank can be arranged in the shaft flange.
  • the spacer ring and / or the shaft flange may have a conical surface on the surfaces facing away from each other, which correspond with conical inner surfaces of the clamping ring, so that the spacer ring and the Shaft flange are pulled towards each other by the clamping ring.
  • the clamping ring serves the clamping ring, like the
  • Shaft flange and the spacer ring is made of a metallic material, as a current bridge to make a conductive connection.
  • the shaft of the support shaft facing the end of the target tube on its outer side at least one annular groove, wherein the
  • Distance ring consists of at least two sections and engages on its inside in the annular groove
  • Spacer ring is held by the annular groove at a minimum distance from the end of the target tube.
  • the spacer ring is fixed without further aids in the groove and thus in the predetermined position.
  • the spacer ring must be divided to make it on the
  • the end of the target tube facing the shaft flange of the support shaft has on its outer side at least one annular groove and a sealing ring arranged in the annular groove, whose outer diameter is greater than the outer diameter of the target tube, so that the spacer ring by the sealing ring at a minimum distance to End of the target tube is held.
  • the sealing ring serves for fixing the position of the same time
  • Sealing surface may have, which bear against the sealing ring.
  • the shaft flange of the support shaft facing the end of the target tube on its outer side at least one annular groove and arranged in the annular stop ring whose outer diameter is greater than the outer diameter of the target tube, so that the spacer ring through the stop ring in a
  • the stop ring which serves
  • it may be a snap ring, i. one
  • a separate groove on the outside of the target tube, or on the front side of the target tube may be attached.
  • Target tube is conical. This can be a
  • Shaft flange can be achieved with simple means, at the same time an enlarged sealing surface is available.
  • the target tube has on its end face a narrow area with a reduced outer diameter, in which the sealing ring is inserted.
  • a pressure ring can further be arranged on the region with a reduced outer diameter, which ensures a uniform pressure distribution on the sealing ring.
  • the invention is based on
  • Show 1 shows a first embodiment
  • FIG. 2 shows an overall view of the pipe connection with an identification of the area shown in FIG. 1, FIG.
  • Fig. 7 shows a sixth embodiment
  • Fig. 8 shows a seventh embodiment.
  • the shaft flange 3 of the support shaft facing the end of the target tube 1 has no flange.
  • a spacer ring 4 is detachably arranged at a predetermined position, which is held by positive engagement at a minimum distance from the end of the target tube.
  • Target pipe 1 on its outer side an annular groove and a stop ring arranged in the annular groove 5, in
  • Embodiment a snap ring made of spring steel, on, whose outer diameter is greater than the outer diameter of the target tube 1.
  • the spacer ring 4 is through the
  • Stop ring at a minimum distance from the end of the
  • Target tube held.
  • the spacer ring 4 and the shaft flange 3 are overlapped by a shaft flange 3 and the spacer ring 4, consisting of two sections clamping ring 2 connected to each other.
  • the spacer ring 4 and the shaft flange 3 have conical surfaces on their respective outer sides.
  • Clamping ring 2 has on its inside so
  • Embodiment is conical, and an opposite sealing surface of the shaft flange 3, which is formed here as a groove in a conical surface of the shaft flange 3, a sealing ring 6 is arranged.
  • a groove is arranged in a surface of the shaft flange 3 oriented perpendicular to the axis of the target tube 1, and this
  • This end of the target tube 1 is arranged in this groove.
  • This end of the target tube 1 has on its front side a narrow area with a reduced outer diameter, in which the sealing ring 6 is inserted.
  • a pressure ring 7 is arranged on the area with a reduced outer diameter, which ensures a uniform pressure distribution on the sealing ring 6.
  • the sealing ring 6 is arranged in front of the flat end face of the target tube 1.
  • a groove is arranged in a surface of the shaft flange 3 oriented perpendicular to the axis of the target tube 1, in which the end of the shaft flange 3
  • Target tube 1 is arranged. On the inside and the outside of the target tube 1 sealing rings 6 are arranged in each case a groove, which bear sealingly against the groove flanks in the shaft flange 3.
  • Sealing ring 6 is arranged, which at the groove flank in
  • Target pipe 1 on its outer side an annular groove and arranged in the annular groove sealing ring 6, whose
  • Outer diameter is greater than the outer diameter of the target tube.
  • Sealing ring 6 held at a minimum distance from the end of the target tube 1.
  • Target tube 1 on its outside an annular groove.
  • the spacer ring 4 consists of two sections and engages on its inside in the annular groove. The two sections of the spacer ring 4 are connected by a snap ring. 8
  • the spacer ring 4 is held by the annular groove at a minimum distance from the end of the target tube 1.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Sputtereinrichtung mit rohrförmigem Target, umfassend eine Halteeinrichtung mit einer Tragwelle, die einen Wellenflansch aufweist, welcher durch eine Klemmeinrichtung lösbar und wasserdicht mit einem Targetrohr verbunden ist, wobei das dem Wellenflansch der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs flanschlos ist und an seiner Aussenseite an einer vorbestimmten Position ein Distanzring lösbar angeordnet ist, der durch Formschluss in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs gehalten ist, wobei die Klemmeinrichtung gebildet ist aus dem Wellenflansch der Tragwelle, dem Distanzring sowie einem den Wellenflansch und den Distanzring übergreifenden, aus mindestens zwei Teilstücken bestehenden Spannring, und wobei mindestens ein Dichtelement zwischen der Aussenseite oder/und der Stirnseite des Targetrohrs einerseits und einer gegenüberliegenden Dichtfläche des Wellenflansches andererseits angeordnet ist.

Description

Sputtereinrichtung mit rohrformigem Target Die Erfindung betrifft eine Sputtereinrichtung mit
rohrformigem Target gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1, wie sie in Substratbehandlungsanlagen verwendet werden.
Innerhalb von Vakuumprozesskammern sind Rohrverbindungen üblich, um Baugruppen miteinander zu verbinden und mittels integrierter Dichtungen gleichzeitig abzudichten.
Grundsätzlich sind zwei Medien sicher voneinander zu
trennen, zum Beispiel Kühlwasser innerhalb des Rohres und das im Innenraum der Vakuumprozesskammer, d.h. außerhalb des Rohres, herrschende Vakuum. Ein Beispiel für derartige Rohrverbindungen ist die
Anbringung eines Rohrtargets an der Halteeinrichtung einer Sputtereinrichtung. Derartige Halteeinrichtungen können beispielsweise als sogenannte Endblöcke ausgebildet sein.
Das rohrförmige Target wird üblicherweise in der
Vakuumkammer einer Vakuumbeschichtungsanlage freitragend an einem oder zwischen zwei Endblöcken befestigt, die so konstruiert sind, dass sie jeweils die drehbare Lagerung des rohrförmigen Targets ermöglichen. Meist sind hierbei den beiden Endblöcken unterschiedliche Funktionen zugewiesen. Einer der Endblöcke kann als Versorgungsendblock zur
Versorgung des Magnetrons mit Kühlwasser und elektrischer Energie und der andere Endblock als Antriebsendblock für die Einleitung eines Drehmoments zur Erzeugung der Rotation des rohrförmigen Targets ausgeführt sein, jedoch sind auch kombinierte Versorgungs- und Antriebsendblöcke bekannt. Ein Beispiel für derartige Endblöcke sind aus den
Patentanmeldungen EP 1 365 436 A2 und DE 10 2007 049 735 AI bekannt .
Das im Inneren des Rohrtargets befindliche Kühlmedium darf keine prozessschädigende Leckage zum Vakuum erzeugen können. Prozessbedingt muss sichergestellt sein, dass über die
Rohrverbindung hinweg das Targetrohr sicher mit
Elektroenergie versorgt wird. Die Targetklemmung darf keine elektrisch isolierende Wirkung aufweisen. Um einen stabilen Vakuumprozess durchzuführen, sind die Targetrohre genau aufzunehmen und prozessschädliche Vibrationen und
Asymmetrien am Rundlauf der Rohre durch eine radiale
Zentrierung zu verhindern.
Das Targetrohr wird prozessbedingt verbraucht und muss bei Wartungsarbeiten erneuert oder gewechselt werden, dabei werden bei geöffneter Vakuumkammer die stirnseitigen
Rohrverbindungen geöffnet und nach dem Tausch wieder
geschlossen. Rohrverbindungen, die viele lose oder filigrane Bauteile erfordern, um diese Aufgabe zu erfüllen, sind bei einfach zu haltenden Montageabläufen kontraproduktiv.
Konstruktiv einfache Lösungen für kostengünstige
Verbindungen stehen hingegen im Zielkonflikt mit der
aufwendigen Fertigung von eng tolerierten Rohren, die hierfür nötig sind.
Bisherige Lösungen gehen bei Rohrklemmungen von geschützten Dichtflächen am Rohr aus, welche an der Innenseite der Rohre angeordnet sind. Stand der Technik ist es beispielsweise, eine Fase im Rohr zu platzieren und die dazu gehörige
Dichtung an einem Flansch, beispielsweise einer zu einer Halteeinrichtung gehörenden Tragwelle aufzunehmen. Zentriert wird das Rohr über einen Zentrierbund des Flansches, der sich auch auf den Innendurchmesser des Rohres abstützt.
Stand der Technik ist es weiterhin, Dichtungen unmittelbar in einen Flansch zu integrieren und diesen an das Rohr anzuschweißen. Außerdem ist es bekannt, dass die Rohrklemmung mit Überwurfflansch oder Klemmflansch beide Bauteile zusammenhält und darüber die Elektroenergie fließt. Eine solche Lösung ist beispielsweise in WO 2006/135528 AI beschrieben . Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
Rohrverbindung zu schaffen, die aus wenigen Bauteilen besteht sowie einfach zu handhaben, selbst zentrierend, kühlmitteldicht, vakuumdicht und unabhängig von
einschränkenden Fertigungstoleranzen der Rohr-Halbzeuge herstellbar und fügbar ist. Die Rohrverbindung soll außerdem einen besseren elektrischen Kontakt zwischen dem Targetrohr und der Tragwelle gewährleisten.
Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Sputtereinrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1. Vorteilhafte
Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen und der nachfolgenden Beschreibung offenbart.
Es wird eine Sputtereinrichtung mit rohrförmigem Target vorgeschlagen, die eine Halteeinrichtung mit einer Tragwelle umfasst, die einen Wellenflansch aufweist, welcher durch eine Klemmeinrichtung lösbar und wasserdicht mit einem
Targetrohr verbunden ist, wobei das dem Wellenflansch der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs flanschlos ist und an seiner Außenseite an einer vorbestimmten Position ein Distanzring lösbar angeordnet ist, der durch Formschluss in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs gehalten ist, wobei die Klemmeinrichtung gebildet ist aus dem
Wellenflansch der Tragwelle, dem Distanzring sowie einem den Wellenflansch und den Distanzring übergreifenden, aus mindestens zwei Teilstücken bestehenden Spannring, und wobei mindestens ein Dichtring zwischen der Außenseite oder/und der Stirnseite des Targetrohrs einerseits und einer
gegenüberliegenden Dichtfläche des Wellenflansches
andererseits angeordnet ist. Mit anderen Worten ist der Distanzring auf dem Ende des Targetrohrs lösbar so angeordnet, dass er an einer
Verschiebung aus der vorbestimmten Position in axialer
Richtung des Targetrohrs zumindest auf das Ende des
Targetrohrs zu formschlüssig gehindert ist. Dies kann auf verschiedenen Wegen erreicht werden, wie nachfolgend noch näher erläutert wird. Durch die formschlüssig erzwungene Fixierung des Mindestabstands des Distanzrings zur
Stirnseite des Targetrohrs - und damit zum Wellenflansch der Tragwelle - kann auf einen angeschweißten Flansch verzichtet werden. Wenige Einzelteile genügen, um eine hochgenaue und dichte Verbindung zwischen Targetrohr und Tragwelle
herzustellen. Der Distanzring, der durch die
Klemmeinrichtung fest an die Tragwelle gekoppelt wird, kann einfach aufgesteckt und ebenso einfach wieder entfernt werden. Gleichzeitig wird durch die vorgeschlagene Lösung eine verbesserte elektrische Kontaktierung zwischen dem Targetrohr und der Tragwelle erreicht.
Ein weiteres Merkmal der vorgeschlagenen Lösung besteht darin, dass die Dichtheit der Verbindung durch einen an der Außenseite oder der Stirnseite des Targetrohrs angeordneten Dichtring erreicht wird, der mit einer entsprechend
ausgebildeten Dichtfläche des Wellenflansches der Tragwelle zusammenwirkt. Eine solche Dichtfläche am Wellenflansch kann beispielsweise eine ebene Fläche, aber auch eine Nut sein, beispielsweise eine Nut, in die das Targetrohr einsteckbar ist. Dabei kann der Dichtring zwischen der Stirnseite des Targetrohrs und dem Nutgrund im Wellenflansch oder zwischen einer an der Außenseite des Targetrohrs angebrachten Nut und der Nutflanke im Wellenflansch angeordnet sein.
Der Distanzring oder/und der Wellenflansch können an den voneinander weg weisenden Flächen eine konische Fläche aufweisen, die mit konischen Innenflächen des Klemmrings korrespondieren, so dass der Distanzring und der Wellenflansch durch den Klemmring aufeinander zu gezogen werden. Gleichzeitig dient der Klemmring, der wie der
Wellenflansch und der Distanzring aus einem metallischen Werkstoff gefertigt ist, als Strombrücke, um eine leitende Verbindung herzustellen.
Wie oben bereits dargelegt, kann die formschlüssig
erzwungene Fixierung des Mindestabstands des Distanzrings zur Stirnseite des Targetrohrs auf verschiedenen Wegen erreicht werden, von denen nachfolgend einige beschrieben werden. Diese Ausgestaltungen sind jedoch rein beispielhaft und sollen in keiner Weise einschränkend aufgefasst werden.
In einer ersten Ausgestaltung weist das dem Wellenflansch der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs an seiner Außenseite mindestens eine Ringnut auf, wobei der
Distanzring aus mindestens zwei Teilstücken besteht und an seiner Innenseite in die Ringnut eingreift, und der
Distanzring durch die Ringnut in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs gehalten ist. In dieser Ausgestaltung wird der Distanzring ohne weitere Hilfsmittel in der Nut und damit in der vorbestimmten Position fixiert. Allerdings muss der Distanzring hierbei geteilt sein, um ihn auf dem
Targetrohr anbringen zu können.
In einer zweiten Ausgestaltung weist das dem Wellenflansch der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs an seiner Außenseite mindestens eine Ringnut und einen in der Ringnut angeordneten Dichtring auf, dessen Außendurchmesser größer ist als der Außendurchmesser des Targetrohrs, so dass der Distanzring durch den Dichtring in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs gehalten ist. In dieser Ausgestaltung dient der Dichtring gleichzeitig zur Lagefixierung des
Distanzrings, d.h. zur Sicherung des Mindestabstands
zwischen Distanzring und Wellenflansch, wobei der
Distanzring oder/und der Wellenflansch eine konische
Dichtfläche aufweisen können, die an dem Dichtring anliegen. In einer dritten Ausgestaltung weist das dem Wellenflansch der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs an seiner Außenseite mindestens eine Ringnut und einen in der Ringnut angeordneten Anschlagring auf, dessen Außendurchmesser größer ist als der Außendurchmesser des Targetrohrs, so dass der Distanzring durch den Anschlagring in einem
Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs gehalten ist. In dieser Ausgestaltung dient der Anschlagring, der
beispielsweise ein Sprengring sein kann, d.h. ein
elastischer Metallring mit einer Unterbrechung, zur
Lagefixierung des Distanzrings, d.h. zur Sicherung des
Mindestabstands zwischen Distanzring und Wellenflansch, wobei der Dichtring an einer anderen Position,
beispielsweise in einer eigenen Nut an der Außenseite des Targetrohrs, oder an der Stirnseite des Targetrohrs, angebracht sein kann.
Wie oben bereits angedeutet, kann weiter vorgesehen sein, dass mindestens eine von dem Dichtring berührte Fläche des Wellenflansches oder/und des Distanzrings oder/und des
Targetrohrs konisch ist. Hierdurch kann eine
Selbst Zentrierung des Targetrohrs gegenüber dem
Wellenflansch mit einfachen Mitteln erreicht werden, wobei gleichzeitig eine vergrößerte Dichtfläche zur Verfügung steht . Schließlich wird vorgeschlagen, dass das Targetrohr an seiner Stirnseite einen schmalen Bereich mit verringertem Außendurchmesser aufweist, in den der Dichtring eingelegt ist. Dabei kann weiterhin auf dem Bereich mit verringertem Außendurchmesser ein Druckring angeordnet sein, der für eine gleichmäßige Druckverteilung auf den Dichtring sorgt.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand von
Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen Fig. 1 ein erstes Ausführungsbeispiel,
Fig. 2 eine Gesamtansicht der Rohrverbindung mit einer Kennzeichnung des in Fig. 1 dargestellten Bereichs,
Fig. 3 ein zweites Ausführungsbeispiel,
Fig. 4 ein drittes Ausführungsbeispiel,
Fig. 5 ein viertes Ausführungsbeispiel,
Fig. 6 ein fünftes Ausführungsbeispiel,
Fig. 7 ein sechstes Ausführungsbeispiel, und
Fig. 8 ein siebentes Ausführungsbeispiel.
In dem Ausführungsbeispiel der Fig. 1 und 2 ist eine
Verbindung eines Targetrohrs 1 mit dem Wellenflansch 3 einer Tragwelle einer Halteeinrichtung dargestellt. Dabei zeigt Fig. 2 die gesamte Verbindungsstelle, während Fig. 1 eine Detaildarstellung enthält.
Das dem Wellenflansch 3 der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs 1 weist keinen Flansch auf. An seiner Außenseite ist an einer vorbestimmten Position ein Distanzring 4 lösbar angeordnet, der durch Formschluss in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs gehalten ist. Dazu weist das dem Wellenflansch 3 der Tragwelle zugewandte Ende des
Targetrohrs 1 an seiner Außenseite eine Ringnut und einen in der Ringnut angeordneten Anschlagring 5, im
Ausführungsbeispiel ein Sprengring aus Federstahl, auf, dessen Außendurchmesser größer ist als der Außendurchmesser des Targetrohrs 1. Der Distanzring 4 ist durch den
Anschlagring in einem Mindestabstand zum Ende des
Targetrohrs gehalten.
Der Distanzring 4 und der Wellenflansch 3 werden durch einen den Wellenflansch 3 und den Distanzring 4 übergreifenden, aus zwei Teilstücken bestehenden Spannring 2 miteinander verbunden. Der Distanzring 4 und der Wellenflansch 3 haben an ihren jeweiligen Außenseiten konische Flächen. Der
Spannring 2 weist an seiner Innenseite damit
korrespondierende konische Flächen auf, so dass der
Distanzring 4 und der Wellenflansch 3 durch den Spannring 2 aufeinander zu gezogen werden.
Zwischen der Außenseite des Targetrohrs 1, die im
Ausführungsbeispiel konisch ausgebildet ist, und einer gegenüberliegenden Dichtfläche des Wellenflansches 3, die hier als Nut in einer konischen Fläche des Wellenflansches 3 ausgebildet ist, ist ein Dichtring 6 angeordnet.
Beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 ist demgegenüber in einer senkrecht zur Achse des Targetrohrs 1 ausgerichteten Fläche des Wellenflansches 3 eine Nut angeordnet, und das
Ende des Targetrohrs 1 ist in dieser Nut angeordnet. Dieses Ende des Targetrohrs 1 weist an seiner Stirnseite einen schmalen Bereich mit verringertem Außendurchmesser auf, in den der Dichtring 6 eingelegt ist. Außerdem ist auf dem Bereich mit verringertem Außendurchmesser ein Druckring 7 angeordnet, der für eine gleichmäßige Druckverteilung auf den Dichtring 6 sorgt.
Beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4 ist der Dichtring 6 vor der ebenen Stirnseite des Targetrohrs 1 angeordnet. Beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 ist eine Nut in einer senkrecht zur Achse des Targetrohrs 1 ausgerichteten Fläche des Wellenflansches 3 angeordnet, in der das Ende des
Targetrohrs 1 angeordnet ist. An der Innenseite und der Außenseite des Targetrohrs 1 sind in je einer Nut Dichtringe 6 angeordnet, die an den Nutflanken im Wellenflansch 3 dichtend anliegen.
Beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6 ist demgegenüber nur an der Außenseite des Targetrohrs 1 in einer Nut ein
Dichtring 6 angeordnet, der an der Nutflanke im
Wellenflansch 3 dichtend anliegt.
Beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 7 weist das dem
Wellenflansch 3 der Tragwelle zugewandte Ende des
Targetrohrs 1 an seiner Außenseite eine Ringnut und einen in der Ringnut angeordneten Dichtring 6 auf, dessen
Außendurchmesser größer ist als der Außendurchmesser des Targetrohrs. Dadurch ist der Distanzring 4 durch den
Dichtring 6 in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs 1 gehalten.
Beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 8 weist das dem
Wellenflansch 3 der Tragwelle zugewandte Ende des
Targetrohrs 1 an seiner Außenseite eine Ringnut auf. Der Distanzring 4 besteht aus zwei Teilstücken und greift an seiner Innenseite in die Ringnut ein. Die beiden Teilstücke des Distanzrings 4 sind durch einen Sprengring 8
zusammengehalten. Der Distanzring 4 ist durch die Ringnut in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs 1 gehalten.
Bezugszeichenliste
Targetrohr
Klemmring
Wellenflansch
Distanzring
Anschlagring
Dichtring
Druckring
Sprengring

Claims

Patentansprüche
1. Sputtereinrichtung mit rohrförmigem Target, umfassend eine Halteeinrichtung mit einer Tragwelle, die einen Wellenflansch (3) aufweist, welcher durch eine
Klemmeinrichtung lösbar und wasserdicht mit einem
Targetrohr (1) verbunden ist,
• wobei das dem Wellenflansch (3) der Tragwelle
zugewandte Ende des Targetrohrs (1) flanschlos ist und an seiner Außenseite an einer vorbestimmten
Position ein Distanzring (4) lösbar angeordnet ist, der durch Formschluss in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs (1) gehalten ist,
• wobei die Klemmeinrichtung gebildet ist aus dem
Wellenflansch (3) der Tragwelle, dem Distanzring (4) sowie einem den Wellenflansch (3) und den Distanzring (4) übergreifenden, aus mindestens zwei Teilstücken bestehenden Spannring (2), und
• wobei mindestens ein Dichtring (6) zwischen der
Außenseite oder/und der Stirnseite des Targetrohrs (1) einerseits und einer gegenüberliegenden
Dichtfläche des Wellenflansches (3) andererseits angeordnet ist.
2. Sputtereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass das dem Wellenflansch (3) der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs (1) an seiner Außenseite mindestens eine Ringnut aufweist, der Distanzring (4) aus mindestens zwei Teilstücken besteht und an seiner Innenseite in die Ringnut eingreift, und der Distanzring (4) durch die Ringnut in einem
Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs (1) gehalten ist .
Sputtereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass das dem Wellenflansch (3) der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs (1) an seiner Außenseite mindestens eine Ringnut und einen in der Ringnut angeordneten Dichtring (6) aufweist, dessen Außendurchmesser größer ist als der Außendurchmesser des Targetrohrs (1), und dass der Distanzring (4) durch den Dichtring (4) in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs (1) gehalten ist.
Sputtereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass das dem Wellenflansch (3) der Tragwelle zugewandte Ende des Targetrohrs (1) an seiner Außenseite mindestens eine Ringnut und einen in der Ringnut angeordneten Anschlagring (5) aufweist, dessen Außendurchmesser größer ist als der Außendurchmesser des Targetrohrs (1) , und dass der Distanzring (4) durch den Anschlagring (5) in einem Mindestabstand zum Ende des Targetrohrs (1) gehalten ist.
Sputtereinrichtung nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine von dem Dichtring (6) berührte Fläche des
Wellenflansches (3) oder/und des Distanzrings (4) oder/und des Targetrohrs (1) konisch ist.
Sputtereinrichtung nach einem der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Targetrohr (1) an seiner Stirnseite einen schmalen Bereich mit verringertem Außendurchmesser aufweist, in den der Dichtring (6) eingelegt ist.
EP11748398.2A 2010-09-03 2011-08-24 Sputtereinrichtung mit rohrförmigem target Withdrawn EP2612343A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010040267.2A DE102010040267B4 (de) 2010-09-03 2010-09-03 Sputtereinrichtung mit rohrförmigem Target
PCT/EP2011/064559 WO2012028515A1 (de) 2010-09-03 2011-08-24 Sputtereinrichtung mit rohrförmigem target

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP2612343A1 true EP2612343A1 (de) 2013-07-10

Family

ID=44509381

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP11748398.2A Withdrawn EP2612343A1 (de) 2010-09-03 2011-08-24 Sputtereinrichtung mit rohrförmigem target

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20130299346A1 (de)
EP (1) EP2612343A1 (de)
DE (1) DE102010040267B4 (de)
WO (1) WO2012028515A1 (de)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107075664A (zh) * 2014-11-07 2017-08-18 应用材料公司 高性价比的整体式旋转靶材
EP3382206B1 (de) * 2017-03-31 2020-12-16 Grundfos Holding A/S Pumpenanordnung
PL3382207T3 (pl) * 2017-03-31 2022-01-24 Grundfos Holding A/S Zespół pompy
EP3667087B1 (de) * 2018-12-13 2022-12-07 Grundfos Holding A/S Pumpenanordnung
DE102019107542A1 (de) * 2019-03-25 2020-10-01 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Verfahren, Magnetron-Target, Magnetronanordnung und Vakuumanordnung

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5591314A (en) 1995-10-27 1997-01-07 Morgan; Steven V. Apparatus for affixing a rotating cylindrical magnetron target to a spindle
DE19958666C2 (de) 1999-12-06 2003-10-30 Heraeus Gmbh W C Vorrichtung zur lösbaren Verbindung eines zylinderrohrförmigen Targetteiles mit einem Aufnahmeteil
US6736948B2 (en) 2002-01-18 2004-05-18 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Cylindrical AC/DC magnetron with compliant drive system and improved electrical and thermal isolation
WO2004085902A1 (en) 2003-03-25 2004-10-07 Bekaert Advanced Coatings Universal vacuum coupling for cylindrical target
US20060278519A1 (en) 2005-06-10 2006-12-14 Leszek Malaszewski Adaptable fixation for cylindrical magnetrons
DE102007049735B4 (de) 2006-10-17 2012-03-29 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Versorgungsendblock für ein Rohrmagnetron
BE1018645A5 (fr) * 2007-09-24 2011-06-07 Ardenne Anlagentech Gmbh Systeme de magnetron avec support de cible blinde.
ES2375235T3 (es) * 2008-02-15 2012-02-28 Bekaert Advanced Coatings Nv. Acoplamiento a vacío con múltiples surcos.
US20100101948A1 (en) * 2008-10-24 2010-04-29 Applied Materials, Inc. Rotatable sputter target base, rotatable sputter target, coating installation, method of producing a rotatable sputter target, target base connection means, and method of connecting a rotatable target base device for sputtering installations to a target base support

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO2012028515A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE102010040267A1 (de) 2012-03-08
US20130299346A1 (en) 2013-11-14
DE102010040267B4 (de) 2014-07-17
WO2012028515A1 (de) 2012-03-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69428603T2 (de) Heizungssubstrathalter für eine halbleiterscheibe mit zwei-zonen rückwandheizung und segmentiertem klemmelement
WO2012028515A1 (de) Sputtereinrichtung mit rohrförmigem target
DE4301516C2 (de) Targetkühlung mit Wanne
EP3458760B1 (de) Fitting zur herstellung einer dichten verbindung umfassend ein halteelement mit kontaktflächen
EP1655762A1 (de) Katodenanordnung zur Zerstäubung eines drehbaren Targetrohres
DE3604677A1 (de) Verfahren und haltevorrichtung zur herstellung von aus ringelementen bestehenden baelgen
DE102009056241B4 (de) Stützeinrichtung für eine Magnetronanordnung mit einem rotierenden Target
DE102012200564A1 (de) Antriebs- und Versorgungseinrichtung für eine rotierende Elektrode, drehbare Anode und Vakuumprozessanlage
DE3835972C2 (de)
WO2010048931A1 (de) Vorrichtung zum partiellen abdecken einer bauteilzone
EP3175520A1 (de) Elektrodenelement
EP2168409A1 (de) Vorrichtung zur erzeugung eines plasma-jets
EP1273027B1 (de) Reaktionskammer mit wenigstens einer hf-durchführung
DE202006020832U1 (de) Rotor einer Dauermagnetmaschine, vorwiegend eines Synchrongenerators mit Dauermagneten
DE2840293C3 (de) Korrosionsschutz für einen Plattenwärmetauscher
DE102013106168B4 (de) Cantilever-Magnetron mit einem rotierenden Target
DE102010053536A1 (de) Gehäuse für ein Bauteil innerhalb einer hydraulischen Strecke
EP2501939A1 (de) Gleitringdichtungsanordnung für hohe umfangsgeschwindigkeiten
WO2016176696A1 (de) Rohrtarget
DE102009054425A1 (de) Abzieheinrichtung zum Abziehen von Elektrodenkappen von Schweißelektroden
DE102015215037B4 (de) Reaktor mit Opferanode
EP1544531B1 (de) Lösbare Verbindung für Rohre
DE102018202222B4 (de) Lenkvorrichtung mit Lenksensoreinheit
DE3420822C1 (de) Wassergekühltes Hochstromkabel II
EP1060827B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Innenoberflächenbehandlung von metallischen Rohren

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20130221

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

DAX Request for extension of the european patent (deleted)
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20170301