EP2344282A1 - Verfahren zum reinigen einer vakuumpumpe - Google Patents

Verfahren zum reinigen einer vakuumpumpe

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EP2344282A1
EP2344282A1 EP09740158A EP09740158A EP2344282A1 EP 2344282 A1 EP2344282 A1 EP 2344282A1 EP 09740158 A EP09740158 A EP 09740158A EP 09740158 A EP09740158 A EP 09740158A EP 2344282 A1 EP2344282 A1 EP 2344282A1
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EP
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pump
cleaning liquid
cleaning
rotor
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    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto 
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    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
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    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
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    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
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    • F04C2280/00—Arrangements for preventing or removing deposits or corrosion
    • F04C2280/02—Preventing solid deposits in pumps, e.g. in vacuum pumps with chemical vapour deposition [CVD] processes

Definitions

  • the invention relates to a method for cleaning a vacuum pump having a pump chamber with at least one pump rotor.
  • TCO layers transparent conductive oxide layers
  • TCO layers are made by combining water and diethylzinc. Water and diethylzinc can react violently at atmospheric pressure. At low pressure of a few millibar, the reaction is much slower.
  • the two materials are therefore reacted in process chambers under vacuum in order to force a slow reaction.
  • the reaction of water with diethyl zinc as a by-product impurities in the form of dust particles which lead to deposits in the pump housing and on the rotor. These reactions can also take place in the pump. These deposits reduce the maximum operating life of the pump.
  • the cleaning of a vacuum pump is cumbersome and time consuming and usually requires a complete disassembly of the pump.
  • DE 10 2004 063 058 A1 discloses a rinsing method for cleaning a vacuum screw pump, in which the pump is purged with a cleaning fluid during operation at rated speed, the cleaning fluid being a mixture of a rinsing fluid and a rinsing gas.
  • the invention has for its object to provide a simple method for cleaning a vacuum pump without the pump has to be dismantled or removed from the plant.
  • a cleaning liquid for example in the form of an acid, a lye, a solvent or a plasticizer, is introduced into the pump chamber.
  • the cleaning solution is distributed in the pump chamber, so that the cleaning solution also reaches hard to reach areas in the pump chamber.
  • Moving the rotor creates a mixture of cleaning fluid and dissolved impurities. This mixture is then drained from the pump chamber.
  • a simple cleaning process is created with which the maximum operating time of the vacuum pump can be increased. Clogging the pump with the contaminant deposits and thus potentially damaging or even destroying the pump can be avoided by using the cleaning process.
  • the cleaning process is more efficient than traditional simple rinsing procedures.
  • the duration of the cleaning process is shortened compared to conventional methods, whereby the available usage time of the pump is increased.
  • the advantage is that by filling a cleaning fluid into the pump chamber and distributing the cleaning fluid within the pump chamber regardless of the actual rinsing process impurities can be solved better. This is especially the case if the cleaning process does not take place during pump operation at rated speed.
  • the pump chamber inlet and the pump chamber outlet should be closed and the pump chamber should be completely flooded with the cleaning fluid.
  • the vacuum pump may e.g. be rinsed by applying the known rinsing method.
  • the pump chamber is rinsed with a rinsing liquid, for example water, and then dried before the pump is put back into operation.
  • the Cleaning fluid may be an acidic cleaning solution.
  • the acidic cleaning solution dissolves zinc-containing deposits.
  • cleaning liquid is advantageously replenished into the pump chamber and distributed by moving the rotor again in the pump chamber, so that fresh cleaning liquid reaches the still remaining deposits for releasing the same. Since the dissolved deposits consume the cleaning liquid, a multiple refilling and moving the rotor may be necessary to increase the effectiveness.
  • a secondary gas is, for example, nitrogen, which is used as a seal shaft purge between the pump chamber and the adjacent gear housing of the pump rotor or as a gas ballast intended to prevent condensing of the compressed gas.
  • the supply of the gas ballast is stopped and the sealing gas flow is reduced.
  • a degassing opening can be produced in the upper region of the pump chamber, through which the secondary gas can escape upwards out of the pump chamber to the atmosphere. Secondary gases can prevent a uniform distribution of the cleaning liquid and thus reduce the effectiveness of the cleaning process.
  • the vent may be provided with a removable plug.
  • a degasification pipe can be placed on the degassing opening, through which the escaping secondary gas is led to the atmosphere.
  • the degassing pipe is connected to an exhaust pipe for the pump chamber outlet.
  • the acid content of the cleaning solution should be high enough for effective cleaning and low enough to avoid unnecessary attack on the pump components. These properties are fulfilled with an acid content of between 2% and 15%. A particularly advantageous acid content is about 10%.
  • a beneficial acid for the cleaning solution is citric acid.
  • FIG. 1 shows a section through a vacuum pump with a pump chamber and with a pump rotor
  • FIG. 2 shows an enlarged detail from FIG. 1.
  • the illustrated vacuum pump 10 has a pump chamber 12 (pump chamber), in which a rotor 14 is mounted axially compressing.
  • the rotor 14 is driven by a gear arranged outside the pump chamber 12, which is contained in a gear chamber 16.
  • the pump chamber 12 is surrounded by a housing 18.
  • the housing 18 has a pump chamber inlet 20 and a pump chamber outlet 22.
  • the shaft 15 of the rotor 14 is guided by a passage 17 between the housing 18 and the gear chamber 16 of the pump chamber 12 in the gear chamber 16.
  • the bushing 17 is shown in detail in FIG.
  • a degassing opening 24 is formed, on which a degassing pipe 26 is placed.
  • the degassing pipe 26 is connected to an exhaust pipe 30 connected to the pump chamber outlet 22.
  • the cleaning liquid 28 is evenly distributed and thereby reaches all internal surfaces in the pump chamber 12 and in particular in hard to reach areas of the pump chamber and rotors.
  • the cleaning fluid dissolves the deposits and forms a solution with them.
  • degassing opening 24 In order to prevent accumulations of secondary gas to keep the cleaning solution away from deposits, secondary gases are discharged through the degassing opening 24. Since the degassing opening 24 is formed in the upper region of the housing 18, secondary gas in the form of gas bubbles rising upwards in the cleaning solution can escape through the degassing opening 24. On the vent 24, a degassing 26 is placed, which dissipates the leaked secondary gas to the atmosphere. In the exemplary embodiment shown in FIG. 1, the degassing pipeline 26 is guided into the exhaust gas line 30 of the pump chamber outlet 22.
  • a typical secondary gas is nitrogen.
  • nitrogen is used as a gas ballast to prevent water vapor from condensing during pump operation.
  • Nitrogen is also used as D ⁇ chtgas to the Carrying out 17 seal the rotor shaft from the gear chamber 16 in the pump chamber 12, so that no impurities from the pump into the gear chamber and thus the cleaning fluid can not escape into the transmission.
  • the sealing gas is supplied via a Dichtgaszumoltechnisch 32 the gap 34 of the shaft seal 36 and flows from the gap 34 into the pump chamber 12.
  • a discharge is required. This discharge is created by the degassing opening 24 being formed above the outlet 38 of the passage 17, because the sealing gas emerging from the gap 34 rises in the cleaning liquid 28 within the pump chamber 12 and accumulates in the area above the passage outlet 38. Through the degassing opening 24, the sealing gas is discharged.
  • the cleaning liquid 28 is discharged from the pump chamber 12 along with the dissolved impurities. Subsequently, the pump chamber 12 is rinsed with clear water and then dried. In this case, in particular, a rinsing method known from the prior art can be used. After drying, the cleaning process is completed and the vacuum pump 10 can be put back into operation.

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Abstract

Ein effektives Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe (10), die eine Pumpenkammer (12) mit mindestens einem Pumpenrotor (14) aufweist, ist gekennzeichnet durch die Schritte: a) Einfüllen einer Reinigungsflüssigkeit (28) in die Pumpenkammer (12), b) Verteilen der Reinigungsflüssigkeit (28) in der Pumpenkammer (12), c) Lösen von Verunreinigungen mit der Reinigungsflüssigkeit (28) und d) Ablassen der Reinigungsflüssigkeit (28) aus der Pumpenkammer (12).

Description

Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe, die eine Pumpenkammer mit mindestens einem Pumpenrotor aufweist.
Bei verschiedenen Anwendungen derartiger Vakuumpumpen besteht das Problem von Verunreinigungen, die während des Betriebs entstehen und sich im Schöpfraum der Pumpe (Pumpenkammer) anreichem. Solche Anwendungen sind zum Beispiel MOCVD-Prozesse, LPCVD- Prozesse, PECVD-Prozesse, PVD-Prozesse oder Lamination von z.B. Photovoltaik Modulen. Es handelt sich um Prozesse, bei denen Prozess-Gase eingesetzt werden oder in der Prozesskammer Reaktionsprodukte entstehen, die sich in der Vakuumpumpe aufgrund der Druck- /Temperaturverhältnisse zersetzen oder miteinander reagieren. Als Folge entstehen Partikel, die als Schichten aufwachsen oder staubförmig anfallen.
Eine solche Anwendung einer Vakuumpumpe ist beispielsweise das Auftragen transparenter leitfähiger Oxidschichten (TCO-Schichten) für die Herstellung von Solarzellen mit Hilfe von Vakuumpumpen. TCO-Schichten werden beispielsweise durch Kombination von Wasser und Diethylzink hergestellt. Wasser und Diethylzink können bei atmosphärischem Druck heftig miteinander reagieren. Bei geringem Druck von wenigen Millibar ist die Reaktion deutlich langsamer. Zur Herstellung der TCO-Schichten werden die beiden Materialien daher in Prozesskammern unter Vakuum zur Reaktion gebracht, um eine langsame Reaktion zu erzwingen. Bei der Reaktion von Wasser mit Diethylzink entstehen als Nebenprodukt Verunreinigungen in Form von Staubpartikeln, die zu Ablagerungen in dem Pumpengehäuse und an dem Rotor führen. Diese Reaktionen können auch in der Pumpe erfolgen. Durch diese Ablagerungen ist die maximale Betriebsdauer der Pumpe reduziert. Das Reinigen einer Vakuumpumpe ist umständlich und zeitaufwändig und erfordert in der Regel eine komplette Demontage der Pumpe.
Aus DE 10 2004 063 058 Al ist ein Spülverfahren zum Reinigen einer Vakuumschraubenpumpe bekannt, bei dem die Pumpe während des Betriebs mit Nenndrehzahl mit einem Reinigungsfluid gespült wird, wobei das Reinϊgungsfluid ein Gemisch aus einer Spülflüssigkeit und einem Spülgas ist.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein einfaches Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe zu schaffen, ohne dass die Pumpe dazu demontiert oder aus der Anlage ausgebaut werden muss.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist definiert durch die Merkmale von Patentanspruch 1. In die Pumpenkammer wird eine Reinigungsflüssigkeit z.B. in Form einer Säure, einer Lauge, eines Lösungsmittels oder eines Weichmachers eingefüllt. Durch Bewegen des Rotors wird die Reinigungslösung in der Pumpenkammer verteilt, so dass die Reinigungslösung auch schwer zugängliche Bereiche in der Pumpenkammer erreicht. Durch Bewegen des Rotors entsteht ein Gemisch aus Reinigungsflüssigkeit und gelösten Verunreinigungen. Dieses Gemisch wird anschließend aus der Pumpenkammer abgelassen. Durch das Auflösen der Verunreinigungen mit der Reinigungsflüssigkeit wird ein einfaches Reinigungsverfahren geschaffen, mit dem die maximale Betriebsdauer der Vakuumpumpe erhöht werden kann. Ein Verstopfen der Pumpe mit den Verunreinigungsablagerungen und somit ein mögliches Beschädigen oder gar Zerstören der Pumpe ist durch Anwendung des Reinigungsverfahrens vermeidbar. Das Reinigungsverfahren ist effizienter als herkömmliche einfache Spülverfahren. Die Dauer des Reinigungsvorgangs ist gegenüber herkömmlichen Verfahren verkürzt, wodurch die verfügbare Nutzungszeit der Pumpe erhöht ist.
Gegenüber dem bekannten Spülverfahren unter Verwendung eines Spülfluids während des Pumpenbetriebs mit Nenndrehzahl besteht der Vorteil darin, dass durch Einfüllen einer Reinigungsflüssigkeit in die Pumpenkammer und Verteilen der Reinigungsflüssigkeit innerhalb der Pumpenkammer unabhängig von dem eigentlich Spülvorgang Verunreinigungen besser gelöst werden können. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn der Reinigungsvorgang nicht während des Pumpenbetriebs mit Nenndrehzahl erfolgt. Hierzu sollte der Pumpenkammer- Einlass und der Pumpenkammer-Auslass verschlossen werden und die Pumpenkammer vollständig mit der Reinigungsflüssigkeit geflutet werden. Nach dem Reinigungsvorgang kann die Vakuumpumpe z.B. durch Anwenden des bekannten Spülverfahrens gespült werden.
Vorzugsweise wird nach Ablassen der Reinigungsflüssigkeit die Pumpenkammer mit einer Spülflüssigkeit, beispielsweise Wasser, gespült und anschließend getrocknet, bevor die Pumpe wieder in Betrieb genommen wird. Die Reinigungsflüssigkeit kann eine säurehaltige Reinigungslösung sein. Die säurehaltige Reinigungslösung löst zinkhaltige Ablagerungen.
Zur Erhöhung der Effektivität des Reinigungsverfahrens wird vorteilhafterweise Reinigungsflüssigkeit in die Pumpenkammer nachgefüllt und durch erneutes Bewegen des Rotors in der Pumpenkammer verteilt, damit frische Reinigungsflüssigkeit an die noch verbliebenen Ablagerungen zum Lösen derselben gelangt. Da die gelösten Ablagerungen die Reinigungsflüssigkeit aufbrauchen, kann ein mehrmaliges Nachfüllen und Bewegen des Rotors zur Steigerung der Effektivität notwendig sein.
Bevor die Reinigungsflüssigkeit in die Pumpenkammer eingefüllt wird, sollte der Pumpenbetrieb gestoppt werden. Der Pumpenkammer-Einlass und der Pumpenkammer-Auslass werden dann verschlossen. Insbesondere ist es vorteilhaft, mögliche Sekundärgase während des Reinigungsvorgangs aus der Pumpenkammer entweichen zu lassen. Ein Sekundärgas ist zum Beispiel Stickstoff, der als Dichtgas ("seal shaft purge") zwischen Pumpenkammer und angrenzendem Getriebegehäuse des Pumpenrotors oder als Gasballast, der ein Kondensieren des komprimierten Gases verhindern soll, verwendet wird. So wird beispielsweise die Zufuhr des Gasballasts gestoppt und der Dichtgasstrom vermindert. Zur Ableitung kann im oberen Bereich der Pumpenkammer eine Entgasungsöffnung hergestellt werden, durch die das Sekundärgas nach oben aus der Pumpenkammer zur Atmosphäre hin entweichen kann. Sekundärgase können ein gleichmäßiges Verteilen der Reinigungsflüssigkeit verhindern und somit die Effektivität des Reinigungsvorganges senken. Die Entgasungsöffnung kann mit einem abnehmbaren Stopfen versehen sein. Zum Entweichenlassen der Sekundärgase kann auf die Entgasungsöffnung eine Entgasungsrohrleitung aufgesetzt werden, durch die das entweichende Sekundärgas zur Atmosphäre hin geführt wird. Vorzugsweise ist die Entgasungsrohrleitung mit einer Abgasleitung für den Pumpenkammer-Auslass verbunden. Bei Verwendung einer säurehaltigen Reinigungslösung sollte der Säureanteil der Reinigungslösung ausreichend hoch für eine effektive Reinigung und hierbei ausreichend gering sein, um die Pumpenkomponenten nicht unnötig anzugreifen. Diese Eigenschaften sind bei einem Säureanteil zwischen 2% und 15% erfüllt. Ein besonders vorteilhafter Säureanteil beträgt etwa 10%. Eine vorteilhafte Säure für die Reinigungslösung ist Zitronensäure.
Im Folgenden wird anhand der Figuren ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.
Es zeigen:
Figur 1 einen Schnitt durch eine Vakuumpumpe mit einer Pumpenkammer und mit einem Pumpenrotor und
Figur 2 einen vergrößerten Ausschnitt aus Figur 1.
Die dargestellte Vakuumpumpe 10 weist eine Pumpenkammer 12 (Schöpfraum) auf, in der ein Rotor 14 axial verdichtend gelagert ist. Der Rotor 14 wird von einem außerhalb der Pumpenkammer 12 angeordneten Getriebe angetrieben, das in einem Getrieberaum 16 enthalten ist. Die Pumpenkammer 12 ist von einem Gehäuse 18 umgeben. Das Gehäuse 18 weist einen Pumpenkammer- Einlass 20 und einen Pumpenkammer-Auslass 22 auf. Die Welle 15 des Rotors 14 ist durch eine Durchführung 17 zwischen Gehäuse 18 und Getrieberaum 16 von der Pumpenkammer 12 in den Getrieberaum 16 geführt. Die Durchführung 17 ist im Detail in Figur 2 gezeigt.
In der Oberseite des Gehäuses ist eine Entgasungsöffnung 24 ausgebildet, auf die eine Entgasungsrohrleitung 26 aufgesetzt ist. Die Entgasungsrohrleitung 26 ist mit einer Abgasleitung 30, die mit dem Pumpenkammer-Auslass 22 verbunden ist, verbunden. Beim Betrieb der Vakuumpumpe mit Wasserdampf und Diethylzink reagieren diese miteinander bei steigendem Druck und bilden metallische oder oxidische Ablagerungen in Form von Zink oder Zinkoxid in der Pumpenkammer. Zum Lösen dieser Verunreinigungen wird zunächst der Betrieb der Pumpe 10 gestoppt und Pumpenkammer-Einlass 20 und Pumpenkammer-Auslass 22 verschlossen. Anschließend wird die Pumpenkammer 12 mit einer Reinigungsflüssigkeit 28 in Form einer zitronensäurehaltigen Reinigungslösung geflutet. Durch anschließendes Bewegen des Rotors 14 wird die Reinigungsflüssigkeit 28 gleichmäßig verteilt und gelangt dadurch an alle innenliegenden Flächen in der Pumpenkammer 12 und insbesondere auch in schwer zugängliche Bereiche der Pumpenkammer und Rotore. Die Reinigungsflüssigkeit löst die Ablagerungen und bildet mit diesen eine Lösung. Durch mehrmaliges Nachfüllen frischer Reinigungsflüssigkeit 28 und Bewegen des Rotors 14 zum Verteilen der Reinigungsflüssigkeit kann noch frische Reinigungsflüssigkeit an verbliebene Verunreinigungen gelangen und auch diese lösen.
Um zu verhindern, dass Ansammlungen von Sekundärgas die Reinigungslösung von Ablagerungen fernhalten, werden Sekundärgase durch die Entgasungsöffnung 24 abgeführt. Da die Entgasungsöffnung 24 im oberen Bereich des Gehäuses 18 ausgebildet ist, kann Sekundärgas in Form von nach oben in der Reinigungslösung aufsteigenden Gasblasen durch die Entgasungsöffnung 24 entweichen. Auf die Entgasungsöffnung 24 ist eine Entgasungsrohrleitung 26 aufgesetzt, die das entwichene Sekundärgas zur Atmosphäre hin abführt. In dem in Figur 1 gezeigten Ausführungsbeispiel ist die Entgasungsrohrleitung 26 in die Abgasleitung 30 des Pumpenkammer-Auslasses 22 geführt.
Ein typisches Sekundärgas ist Stickstoff. Stickstoff wird beispielsweise als Gasballast eingesetzt, um zu vermeiden, dass der Wasserdampf beim Betrieb der Pumpe kondensiert. Stickstoff wird ferner als Dϊchtgas eingesetzt, um die Durchführung 17 der Rotorwelle vom Getrieberaum 16 in die Pumpenkammer 12 abzudichten, damit keine Verunreinigungen aus der Pumpe in den Getrieberaum gelangen und damit die Reinigungsflüssigkeit nicht in das Getriebe entweichen kann. Hierbei wird das Dichtgas über eine Dichtgaszuführleitung 32 dem Spalt 34 der Wellendichtung 36 zugeführt und strömt aus dem Spalt 34 in die Pumpenkammer 12. Dadurch wird mit Hilfe des Dichtgases Stickstoff im Bereich des Austritts 38 der Durchführung 17 eine dichtende Gasansammlung gebildet, die ein Eindringen der Reinigungsflüssigkeit 28 in den abzudichtenden Bereich verhindern kann. Um zu vermeiden, dass sich darüber hinaus Dichtgas ansammelt und die zu reinigende Oberfläche abschirmt, ist eine Ableitung erforderlich. Diese Ableitung wird dadurch geschaffen, dass die Entgasungsöffnung 24 oberhalb des Austritts 38 der Durchführung 17 ausgebildet wird, weil das aus dem Spalt 34 austretende Dichtgas in der Reinigungsflüssigkeit 28 innerhalb der Pumpenkammer 12 aufsteigt und sich in dem Bereich oberhalb des Durchführungsaustritts 38 ansammelt. Durch die Entgasungsöffnung 24 wird das Dichtgas abgeleitet.
Nachdem die Verunreinigungen von der Reinigungslösung gelöst wurden, wird die Reinigungsflüssigkeit 28 zusammen mit den gelösten Verunreinigungen aus der Pumpenkammer 12 abgelassen. Anschließend wird die Pumpenkammer 12 mit klarem Wasser gespült und danach getrocknet. Hierbei kann insbesondere ein aus dem Stand der Technik bekanntes Spülverfahren zum Einsatz kommen. Nach dem Trocknen ist der Reinigungsvorgang beendet und die Vakuumpumpe 10 kann wieder in Betrieb genommen werden.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Reinigen einer Vakuumpumpe (10), die eine Pumpenkammer (12) mit mindestens einem Pumpenrotor (14) aufweist,
g e k e n n z e i c h n e t d u r c h
die Schritte:
a) Einfüllen einer Reinigungsflüssigkeit (28) in die Pumpenkammer (12),
b) Verteilen der Reinigungsflüssigkeit (28) in der Pumpenkammer (12),
c) Lösen von Verunreinigungen mit der Reinigungsflüssigkeit (28),
d) Ablassen der Reinigungsflüssigkeit (28) aus der Pumpenkammer (12).
2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die weiteren Schritte:
e) Spülen der Pumpenkammer (12) mit einer Spülflüssigkeit,
f) Trocknen der Pumpenkammer (12).
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigungsflüssigkeit (28) eine säurehaltige Reinigungslösung ist, und/oder dass die Spülflüssigkeit Wasser ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigungsflüssigkeit durch Bewegen des Rotors (14) in der Pumpenkammer (12) verteilt wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, dass vor Durchführen des Schrittes a) der Pumpenbetrieb gestoppt wird und/oder der Pumpenkammer-Einlass (20) und der Pumpenkammer- Auslass (22) verschlossen werden.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, dass die Schritte a)-c) wiederholt werden.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, dass die Reinigungsflüssigkeit (28) Zitronensäure enthält und einen Säureanteil von etwa 2% bis 15% aufweist.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Säureanteil ca. 10% beträgt.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, dass die Zufuhr eines Gasballasts, der ein Kondensieren des komprimierten Gases verhindert, zu der Pumpenkammer (12) gestoppt wird.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, dass ein Dichtgas-Bereich zwischen Pumpenkammer (12) und angrenzendem Getriebegehäuse des Pumpenrotors (14) vermindert wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, dass in einem oberen Bereich der Pumpenkammer (12) eine Entgasungsöffnung (24) hergestellt wird, damit Gasansammlungen, welche ein Reagieren der Reinigungsflüssigkeit (28) mit zu entfernenden Verunreinigungen verhindern, durch die Entgasungsöffnung (24) aus der Pumpenkammer (12) entweichen können.
12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Entgasungsöffnung (24) in dem Bereich oberhalb des Austrittes (38) einer Rotorwellen-Durchführung (17) von der Getriebekammer (16) in die Pumpenkammer (12) hergestellt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass auf die Entgasungsöffnung (24) eine Entgasungsrohrleitung (26) aufgesetzt wird, wobei das entweichende Gas durch die Rohrleitung (26) zur Atmosphäre hin geführt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass auf die Entgasungsöffnung (24) eine Entgasungsrohrleitung (26) aufgesetzt wird, die in eine an den Pumpenkammer-Auslass (22) angeschlossene Abgasleitung (30) mündet.
EP09740158A 2008-10-28 2009-10-27 Verfahren zum reinigen einer vakuumpumpe Not-in-force EP2344282B1 (de)

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