EP2175456A3 - Röntgenanalyseinstrument mit verfahrbarem Aperturfenster - Google Patents
Röntgenanalyseinstrument mit verfahrbarem Aperturfenster Download PDFInfo
- Publication number
- EP2175456A3 EP2175456A3 EP09000179A EP09000179A EP2175456A3 EP 2175456 A3 EP2175456 A3 EP 2175456A3 EP 09000179 A EP09000179 A EP 09000179A EP 09000179 A EP09000179 A EP 09000179A EP 2175456 A3 EP2175456 A3 EP 2175456A3
- Authority
- EP
- European Patent Office
- Prior art keywords
- ray
- aperture
- aperture window
- analysis instrument
- window
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
- eine Röntgenquelle (22), welche einen Röntgenstrahl (23) emittiert,
- eine Röntgenoptik (24), insbesondere einen Multischicht-Röntgenspiegel,
- und eine Blendenmechanik, wobei die Blendenmechanik ein Aperturfenster (2) mit einer Aperturöffnung (3) ausbildet, durch welche zumindest ein Teil (26) des Röntgenstrahls (23) tritt, ist dadurch gekennzeichnet, dass die Blendenmechanik Mittel zum stufenlosen Verfahren des Aperturfensters (2) in mindestens eine Richtung (x,y) quer zum Röntgenstrahl (23) umfasst,
dass die Aperturöffnung (3) wenigstens so groß ist wie der Querschnitt des Röntgenstrahls (23) am Ort des Aperturfensters (2),
und dass der durch die Blendenmechanik zugängliche Verfahrweg (VWx,VWy) des Aperturfensters (2) in der mindestens einen Richtung (x,y) wenigstens doppelt so groß ist wie die Ausdehnung (RSx,RSy) des Röntgenstrahls (23) am Ort des Aperturfensters (2) in dieser Richtung (x,y). Durch das erfindungsgemäße Röntgenanalyseinstrument besteht eine größere Breite an möglichen Strahlkonditionierungen.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/461,830 US7983388B2 (en) | 2008-10-08 | 2009-08-26 | X-ray analysis instrument with adjustable aperture window |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008050851A DE102008050851B4 (de) | 2008-10-08 | 2008-10-08 | Röntgenanalyseinstrument mit verfahrbarem Aperturfenster |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
EP2175456A2 EP2175456A2 (de) | 2010-04-14 |
EP2175456A3 true EP2175456A3 (de) | 2011-09-21 |
Family
ID=41507839
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
EP09000179A Withdrawn EP2175456A3 (de) | 2008-10-08 | 2009-01-09 | Röntgenanalyseinstrument mit verfahrbarem Aperturfenster |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7983388B2 (de) |
EP (1) | EP2175456A3 (de) |
DE (1) | DE102008050851B4 (de) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010062472A1 (de) | 2010-12-06 | 2012-06-06 | Bruker Axs Gmbh | Punkt-Strich-Konverter |
KR101864164B1 (ko) * | 2011-05-18 | 2018-06-04 | 삼성전자주식회사 | 노광 시스템과, 이 시스템으로 제조되는 포토마스크 및 웨이퍼 |
JP5931394B2 (ja) * | 2011-10-07 | 2016-06-08 | 株式会社東芝 | X線診断装置及び線量分布データ生成方法 |
JP2016518866A (ja) * | 2013-03-15 | 2016-06-30 | ズーマ デンタル, エルエルシー | イメージングシステム及び方法 |
JP6025211B2 (ja) * | 2013-11-28 | 2016-11-16 | 株式会社リガク | X線トポグラフィ装置 |
JP6202684B2 (ja) * | 2014-06-05 | 2017-09-27 | 株式会社リガク | X線回折装置 |
US9991014B1 (en) * | 2014-09-23 | 2018-06-05 | Daniel Gelbart | Fast positionable X-ray filter |
DE102015224143B3 (de) * | 2015-12-03 | 2017-02-23 | Incoatec Gmbh | Verfahren zur Justage der Primärseite eines Röntgendiffraktometers und zugehöriges Röntgendiffraktometer |
CN106226339A (zh) * | 2016-09-20 | 2016-12-14 | 清华大学 | 中子产生设备,中子成像设备以及成像方法 |
EP3364421B1 (de) * | 2017-02-17 | 2019-04-03 | Rigaku Corporation | Röntgenoptische vorrichtung |
US10839972B2 (en) * | 2017-03-14 | 2020-11-17 | Joseph T. Young | High resolution X-Ray imaging system |
CN107315022A (zh) * | 2017-07-21 | 2017-11-03 | 中国地质大学(武汉) | 一种x射线准直定位调节装置及系统 |
WO2019182097A1 (ja) * | 2018-03-22 | 2019-09-26 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 | 磁性体観察方法および磁性体観察装置 |
WO2021139088A1 (zh) * | 2020-06-10 | 2021-07-15 | 上海西门子医疗器械有限公司 | 确定单槽准直板的目标位置的方法、装置和准直器组件 |
US11879854B2 (en) * | 2020-09-23 | 2024-01-23 | Baker Hughes Oilfield Operations Llc | Positioning of x-ray imaging system using an optical camera |
US11984235B2 (en) * | 2021-10-15 | 2024-05-14 | Canon U.S.A., Inc. | Shutter mechanism |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61199700U (de) * | 1985-05-31 | 1986-12-13 | ||
US20030152192A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-14 | Kiyoshi Hasegawa | X-ray analyzer |
US20040066903A1 (en) * | 2002-09-03 | 2004-04-08 | Rigaku Corporation | X-ray optical system for small angle scattering |
US20040170250A1 (en) * | 2003-02-28 | 2004-09-02 | Osmic, Inc. | X-ray optical system with adjustable convergence |
US20060062350A1 (en) * | 2004-09-21 | 2006-03-23 | Boris Yokhin | Combined X-ray reflectometer and diffractometer |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3980407A (en) * | 1975-01-17 | 1976-09-14 | Electromask, Inc. | Shutter plate movement |
US5771270A (en) * | 1997-03-07 | 1998-06-23 | Archer; David W. | Collimator for producing an array of microbeams |
US6041099A (en) | 1998-02-19 | 2000-03-21 | Osmic, Inc. | Single corner kirkpatrick-baez beam conditioning optic assembly |
DE19833524B4 (de) * | 1998-07-25 | 2004-09-23 | Bruker Axs Gmbh | Röntgen-Analysegerät mit Gradienten-Vielfachschicht-Spiegel |
US6330301B1 (en) * | 1999-12-17 | 2001-12-11 | Osmic, Inc. | Optical scheme for high flux low-background two-dimensional small angle x-ray scattering |
ATE369556T1 (de) * | 2000-09-27 | 2007-08-15 | Euratom | Mikrostrahl-kollimator für hochauflösungs- röntgenstrahl-beugungsanalyse mittels konventionellen diffraktometern |
JP3548556B2 (ja) * | 2001-12-28 | 2004-07-28 | 株式会社リガク | X線回折装置 |
US6917667B2 (en) * | 2002-09-03 | 2005-07-12 | Rigaku Corporation | Method and apparatus for making parallel X-ray beam and X-ray diffraction apparatus |
DE102004052350B4 (de) * | 2004-10-28 | 2008-01-10 | Bruker Axs B.V. | Röntgendiffraktometer mit Wechselapertur |
CN100483564C (zh) * | 2005-09-22 | 2009-04-29 | 同方威视技术股份有限公司 | 一种用于调整x射线束流的准直器 |
DE102006015933B3 (de) * | 2006-04-05 | 2007-10-31 | Incoatec Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Justieren eines optischen Elements |
US7651270B2 (en) * | 2007-08-31 | 2010-01-26 | Rigaku Innovative Technologies, Inc. | Automated x-ray optic alignment with four-sector sensor |
US7706503B2 (en) * | 2007-11-20 | 2010-04-27 | Rigaku Innovative Technologies, Inc. | X-ray optic with varying focal points |
-
2008
- 2008-10-08 DE DE102008050851A patent/DE102008050851B4/de active Active
-
2009
- 2009-01-09 EP EP09000179A patent/EP2175456A3/de not_active Withdrawn
- 2009-08-26 US US12/461,830 patent/US7983388B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61199700U (de) * | 1985-05-31 | 1986-12-13 | ||
US20030152192A1 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-14 | Kiyoshi Hasegawa | X-ray analyzer |
US20040066903A1 (en) * | 2002-09-03 | 2004-04-08 | Rigaku Corporation | X-ray optical system for small angle scattering |
US20040170250A1 (en) * | 2003-02-28 | 2004-09-02 | Osmic, Inc. | X-ray optical system with adjustable convergence |
US20060062350A1 (en) * | 2004-09-21 | 2006-03-23 | Boris Yokhin | Combined X-ray reflectometer and diffractometer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102008050851A1 (de) | 2010-04-22 |
EP2175456A2 (de) | 2010-04-14 |
US20100086104A1 (en) | 2010-04-08 |
DE102008050851B4 (de) | 2010-11-11 |
US7983388B2 (en) | 2011-07-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2175456A3 (de) | Röntgenanalyseinstrument mit verfahrbarem Aperturfenster | |
DE102012014716A1 (de) | Verfahren zur Verbesserung der Ausleuchtung eines Ausleuchtbereichs | |
DE102016200109A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung von Gegenständen in einem Erfassungsbereich | |
EP2592333A3 (de) | Lichtleitelement für einen Kraftfahrzeugscheinwerfer | |
AT511557B1 (de) | Winkelmessvorrichtung für eine biegepresse | |
EP2127945A3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Steuern der Lichtabgabe eines Fahrzeugs | |
EP1946965A3 (de) | Beleuchtungsvorrichtung zur Erzeugung von zumindest einer Lichtfunktion für eine Lichteinheit oder einen Scheinwerfer eines Kraftfahrzeuges | |
DE102014105297A1 (de) | Verfahren zum Detektieren eines Objekts in einem Umgebungsbereich eines Kraftfahrzeugs mittels eines Kamerasystems des Kraftfahrzeugs, Kamerasystem und Kraftfahrzeug | |
EP3279135A1 (de) | Warnvorrichtung für ein flurförderzeug | |
EP2987670A3 (de) | Vorrichtung zur abstimmung eines luftdurchsatzes | |
WO2016041994A1 (de) | Leuchte und verfahren zum betrieb einer leuchte | |
EP2883658A3 (de) | Aufsatz für eine Pressvorrichtung | |
DE102016123587A1 (de) | Verfahren zum Visualisieren von Informationen für Fahrgäste eines Fahrzeugs | |
DE102013009567B4 (de) | Verfahren zum Betreiben einer Gestenerkennungseinrichtung sowie Kraftfahrzeug mit räumlich beschränkter Gestenerkennung | |
DE102015213039A1 (de) | Oszillationshandwerkzeugmaschine mit einer Beleuchtungsvorrichtung | |
EP1536287A3 (de) | Ein Shearing-Interferometer benutzendes Messverfahren und zugehöriger Apparat, ein den Apparat benutzendes Belichtungsverfahren und zugehöriger Apparat sowie Verfahren zur Herstellung eines Artikels | |
DE102009032210A1 (de) | Bearbeitungsanlage | |
DE102016006780A1 (de) | Anlage zur optischen Überprüfung von Oberflächenbereichen von Gegenständen | |
DE102015216748B4 (de) | Verfahren und System zur Kennzeichnung und Kontrolle von Aktionsbereichen in einem Fahrzeug | |
EP2159538A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Orts- und/oder Formbestimmung eines Objekts | |
EP2731831A1 (de) | Kamerasystem für den einsatz in einem fahrzeug sowie fahrzeug mit einem derartigen kamerasystem | |
EP2050619A3 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Ermitteln eines Betriebsparameters von zumindest einem Leuchtmittel einer Lichtquelle eines Kraftfahrzeuges | |
EP1843191A2 (de) | Zielaufheller für nachtsichttechnik | |
EP3040231A3 (de) | Anzeigeinstrument zur anzeige eines betriebszustands eines kraftfahrzeugs | |
DE102015112296A1 (de) | Optische Sensorvorrichtung für ein Kraftfahrzeug, Kraftfahrzeug sowie Verfahren |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PUAI | Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A2 Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR |
|
AX | Request for extension of the european patent |
Extension state: AL BA RS |
|
PUAL | Search report despatched |
Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013 |
|
AK | Designated contracting states |
Kind code of ref document: A3 Designated state(s): AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK TR |
|
AX | Request for extension of the european patent |
Extension state: AL BA RS |
|
RIC1 | Information provided on ipc code assigned before grant |
Ipc: G01N 23/00 20060101ALI20110817BHEP Ipc: G21K 1/04 20060101AFI20110817BHEP |
|
AKY | No designation fees paid | ||
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R108 |
|
REG | Reference to a national code |
Ref country code: DE Ref legal event code: R108 Effective date: 20120530 |
|
STAA | Information on the status of an ep patent application or granted ep patent |
Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN |
|
18D | Application deemed to be withdrawn |
Effective date: 20120322 |