EP1706210A1 - Vorrichtung zum haltern eines fluidischen bauteils - Google Patents

Vorrichtung zum haltern eines fluidischen bauteils

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EP1706210A1
EP1706210A1 EP04804353A EP04804353A EP1706210A1 EP 1706210 A1 EP1706210 A1 EP 1706210A1 EP 04804353 A EP04804353 A EP 04804353A EP 04804353 A EP04804353 A EP 04804353A EP 1706210 A1 EP1706210 A1 EP 1706210A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
elastomeric
holder
fluidic component
counterpart
molded part
Prior art date
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Granted
Application number
EP04804353A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP1706210B1 (de
Inventor
Johannes Geser
Matthias Hausmann
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Boehringer Ingelheim International GmbH
Original Assignee
Boehringer Ingelheim International GmbH
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Filing date
Publication date
Family has litigation
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Application filed by Boehringer Ingelheim International GmbH filed Critical Boehringer Ingelheim International GmbH
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Priority to SI200430625T priority patent/SI1706210T1/sl
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Application granted granted Critical
Publication of EP1706210B1 publication Critical patent/EP1706210B1/de
Priority to CY20081100249T priority patent/CY1107900T1/el
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/14—Arrangements for preventing or controlling structural damage to spraying apparatus or its outlets, e.g. for breaking at desired places; Arrangements for handling or replacing damaged parts
    • B05B15/18—Arrangements for preventing or controlling structural damage to spraying apparatus or its outlets, e.g. for breaking at desired places; Arrangements for handling or replacing damaged parts for improving resistance to wear, e.g. inserts or coatings; for indicating wear; for handling or replacing worn parts
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49826—Assembling or joining

Definitions

  • the invention relates to a device for holding a fluidic component, in particular of nozzles, especially in the high pressure region.
  • a fluidic component in particular of nozzles, especially in the high pressure region.
  • holders for microstructured components in particular of microstructured components
  • Nozzles made by microstructuring are used, for example, in nebulizers to produce propellant-free medical aerosols used for inhalation.
  • the invention aims to further improve the mounting of a fluidic component made of a wear-resistant, hard and thus generally brittle material and to increase the reliability of the holder.
  • Microstructured nozzles with for example a nozzle opening of less than 10 ⁇ m are described, for example, in WO 94/07607 and WO 99/16530.
  • the inhalable droplets thus produced have an average diameter of about 5 ⁇ m when the pressure of the liquid to be atomized is from 5 MPa (50 bar) to 40 MPa (400 bar).
  • the nozzles can be made of thin silicon plates and glass plates. The outer dimensions of the nozzles are in the millimeter range.
  • a typical nozzle for example, consists of a cuboid with the edge lengths 1.1 mm, 1.5 mm and 2.0 mm, which is composed of two plates.
  • Nebulizers for producing propellant-free aerosols in which the device according to the invention for holding a fluidic component can be used are known from WO 91/14468 or WO 97/12687.
  • a fluidic component a component is referred to, which is exposed to a pressurized fluid, and the pressure also within the component, for example in a
  • Nozzle hole pending.
  • Such a component can be kept pressure-tight, for example, by pressing into a holder made of hard material, if the material of the component can absorb mechanical forces without breaking or deforming to an unacceptable extent.
  • seals made of deformable material for example made of copper or hard material are used, which are pressed with great force.
  • components made of brittle material require the known methods for pressure-tight mounting of the component a considerable Effort and great care. Over the life of such salaried fluidic component only little reliable information is possible.
  • US-A-3 997 111 discloses a fluid jet cutting apparatus which produces a high velocity fluid jet used for cutting, drilling or abrading material.
  • the nozzle body is cylindrical and consists for example of sapphire or corundum.
  • the nozzle body is enclosed in a cylindrical ring, which consists of moderately yielding plastic material.
  • the Einfubbring is pressed into an annular recess of the nozzle carrier and seals the nozzle body against the nozzle carrier.
  • US-A-4 313 570 discloses a nozzle holder for a water jet cutting apparatus in which the nozzle body is surrounded by a ring of elastomeric material, which in turn is disposed in a recess of the holder.
  • the recess has the shape of a straight cylinder.
  • the cross section of the ring is rectangular.
  • the mantle surface of the recess and the outer and inner circumferential surface of the ring are arranged concentrically to the axis of the nozzle body and run parallel to each other and to the axis of the nozzle body.
  • the fluidic component is surrounded by an elastomeric molded part whose outer contour is adapted to the inner contour of the holder and whose inner contour is adapted to the outer contour of the fluidic component.
  • the elastomeric molded part surrounds the fluidic component over its entire circumference. At least one free surface of the elastomeric molding is exposed to the pressurized fluid.
  • the holder may have on its inside a projection under which the elastomeric molding is pushed. It has been found difficult to produce in the elastomeric molding an internal stress which is sufficiently large even at low fluid pressure, and which is distributed approximately spatially evenly in the elastomeric molding.
  • This known device has proved to be pressure-tight at approximately constant load with medium and high fluid pressure. With changing load With a fluid pressure that varies between a high peak and a very small value, the known device for long-term use needs improvement. This raises the task of a device for holding a fluidic
  • a device for holding a fluidic component, which is exposed to an alternating fluid pressure and which comprises a holder, within which the fluidic component is arranged.
  • the holder contacts the fluidic component on its low-pressure side.
  • the device comprises an elastomeric molding, which encloses the fluidic component on its entire circumference.
  • the outer contour of the elastomeric molding is connected to the inner contour of
  • the Holder and the inner contour of the elastomeric molding is adapted to the outer contour of the fluidic component.
  • the elastomeric molding has at least one free surface exposed to the pressurized fluid.
  • the holder is fixed on a high-pressure side to a counter-piece, and • the elastomeric molded part is beveled on the fluid pressure side facing the fluidic component before assembling the device, and
  • the counterpart is provided with an annular projection whose outer contour is adapted to the inner contour of the holder; after the assembly of the holder with the counterpart, the projection protrudes into the holder and deforms the elastomeric molded part, whereby a uniformly distributed internal stress is produced in the elastomeric molded part, and
  • the volume of the protrusion on the counterpart is adapted to the volume which is lacking on the elastomeric shaped part in the area of the bevel, and the elastomeric molded part, which after assembly of the holder with the counterpart is under internal tension and deformed, fills the volume up to its counterpart almost completely out.
  • the elastomeric molding is beveled at its high pressure end to the recess.
  • the chamfering begins in the high-pressure-side lid surface of the elastomeric molded article on a closed line, which may be, for example, circular, elliptical or rectangular.
  • the chamfer may have a constant inclination angle, or the inclination angle may be different in azimuthal direction. In the latter case, it is preferably smaller in the direction of the larger side of a cuboid-shaped fluidic component than in the direction of the smaller side of the cuboidal fluidic component.
  • the cutting curve of the taper with the recess in the elastomeric molding may be at a constant level, or the cutting curve may be curved.
  • the projection on the counterpart may preferably be annular and have a constant width.
  • the outer contour of the projection is preferably adapted to the inner contour of the holder.
  • the inner contour of the projection can be adapted to the outer contour of the fluidic component.
  • the protrusion on the counterpart can have a constant width and a constant height on its circumference, or the protrusion can be of different widths and / or heights. For example, in the two areas opposite the two larger sides of a parallelepipedic fluidic component, be higher than in the two areas, which are opposite to the two smaller sides of a cuboid fluidic component.
  • the elastomeric molded part is preferably produced as an injection-molded part.
  • the recuperelastomere is filled bubble-free in a shape that matches the contours of the holder and the fluidic component is adapted.
  • Such an elastomeric molded part behaves like an incompressible liquid. It is in register with the holder and the fluidic component.
  • the elastomeric molded part is exposed to the fluid pressure only on the pressure side, not on the sides against which it bears against the holder and the fluidic component.
  • the elastomeric molding allows the pressure compensation on the fluidic component.
  • the elastomeric molding has no free surface to the low pressure side.
  • the elastomeric molded part can be made, for example, of natural rubber or synthetic rubber such as silicone rubber, polyurethane, ethene-propene rubber (EPDM), fluorine rubber (FKM) or nitrile-butadiene rubber (NBR) or of a corresponding rubber.
  • the fluidic component may be made of a wear-resistant, hard and thus generally brittle material (such as silicon, glass, ceramic, gemstone, eg sapphire, ruby, diamond) or of ductile material with wear-resistant hard surface (such as plastic, plastic metallized (chemical), Copper, hard chrome-plated copper, brass, aluminum, steel, hardened steel, wear-resistant surfaces produced by physical vapor deposition (PVD) or chemical vapor deposition (CVD, eg titanium nitride (TiN) or polycrystalline diamond on metal and / or
  • the fluidic component can be made in one piece or composed of several parts, whereby the parts can be made of different materials
  • the fluidic component can contain cavities, recesses or channel structures
  • Microstructures may be arranged, for example, serve as a filter or as evaporation protection.
  • the channels may be nozzle channels for a spray nozzle.
  • An atomizer nozzle may include one or more nozzle channels whose axes may be parallel to each other or inclined relative to each other. For example, if there are two nozzle channels whose axes are in one plane and outside of the
  • the holder may be made of almost any material, preferably metal or plastic, and may be a rotary body or a body in any other shape.
  • the holder may be, for example, a cup-shaped rotary body which contains a - from its cover side outgoing - rotationally symmetrical recess whose axis coincides with the axis of the rotary body.
  • This recess can be cylindrical, or it may be frusto-conical, with the end of the truncated cone with the larger diameter in the lid side of the holder.
  • the lateral surface of the recess forms the inner contour of the holder. It can be produced as a formed part, as a casting or by machining (for example by machining, etching, eroding, Elysieren).
  • the counterpart can be made of metal or plastic.
  • the holder containing the elastomeric molding and the fluidic component is assembled with the counterpart.
  • the edge of the holder is supported on the
  • the fluidic component can be inserted into the elastomeric molded part, preferably before the elastomeric molded part is introduced into the recess in the holder.
  • the holder can be bolted to the counterpart, glued, welded, crimped, potted or fixed by means of press fit or snap on the counterpart.
  • the holder may preferably by means of a union nut on the
  • the counterpart in the region in which it is connected to the holder designed as a rotary body.
  • the high-pressure liquid is passed to the holder.
  • the liquid enters the channel structure in the fluidic component and leaves the fluidic component at its low-pressure side in the region of the holder bottom.
  • the fluid pressure acts within the dead volume on the elastomeric molding.
  • the stress inside the elastomeric molding is spatially more evenly distributed than the stress which, in the known design of the holder, can be created by an annular projection attached to the inside of the holder, under which the elastomeric molding is pushed during assembly.
  • the stress inside the elastomeric molded part can be determined by the ratio of the volume of the pre-formed part, as well as the material properties of the molded part itself. Jump on the counterpart to the volume, which lacks the tensionless elastomeric molded part by the bevel can be adjusted.
  • the fluidic component is enclosed in its full height by the stressed elastomeric molded part.
  • the device according to the invention is pressure-tight in long-term use at pressure swing load with a large difference between the maximum pressure (40 MPa and more) and the minimum pressure (about 0.1 MPa).
  • the dead volume between the deformed under internal stress elastomeric molding and the holder-facing side of the counterpart can be kept small. It also serves to compensate for tolerances in the assembly of the holder with the counterpart.
  • Controlled deformation of the elastomeric molded part during assembly of the holder with the counterpart avoids over-swelling of the elastomeric molded part via the opening in the fluidic component.
  • the device according to the invention for holding a fluidic component is used, for example, in a miniaturized high-pressure atomizer (for example according to WO91 / 12687), in a needleless injector (for example according to WO01 / 64268) or in an applicator for ophthalmic pharmaceutical formulations (for example according to WO03 / 002045).
  • a medical fluid administered with such a device may contain a drug dissolved in a solvent.
  • solvents for example, water, ethanol or mixtures thereof are suitable.
  • Berotec fenoterol hydrobromide, atrovent (ipratropium bromide), berodual (combination of fenoterol hydrobromide and ipratropium bromide), salbutamol (or albuterol), l- (3,5-dihydroxyphenyl) -2 - [[l- (4-hydroxybenzyl) ethyl] amino] ethanol hydrobromide), Combivent, Oxivent (oxitropium bromide), Ba 679 (tiotropium bromide), BEA 2180 (di (2-thienyl) glycolic acid tropenol ester), flunisolide , Budesonide and others used. Examples may be taken from WO97 / 01329 or WO98 / 27959. The device according to the invention will be explained further with reference to the figures
  • Figure la shows in cross-section and in an oblique view a cup-shaped holder (1), which is provided with a recess (2). In the bottom of the holder, an opening (3) is present.
  • Figure lb shows in cross section and in an oblique view an elastomeric molding (4) and a cuboidal fluidic component (5), which is composed of two parts, and which has been inserted into the elastomeric molding. In the contact surface of the two parts, a nozzle structure is present, which extends to the nozzle opening (6).
  • the high pressure side cover surface of the elastomeric molding (4) is in the annular
  • FIG. 1c shows, in cross-section and oblique view, a counterpart (9) with a bore (10) and an annular projection (11) on its elastomeric part
  • FIG. 2 shows a further embodiment of the projection (11) on the counterpart (21) is shown in an oblique view.
  • the projection (11) is higher in the two diametrically opposite regions (22 a, 22 b) than in the two diametrically opposite regions (23 a, 23 b).
  • Figures 3 a, 4 a and 5 a show the elastomeric molding in a vertical view.
  • FIGS. 3 b, 4 b and 5 b show cross sections of the elastomeric molded part.
  • the elastomeric molding contains a cuboid recess (31) for a cuboid fluidic component.
  • the cross section in FIG. 3 b runs along the line A - A in FIG. 3 a; the line A - A is perpendicular to the longer side of the recess (31).
  • the cross section in FIG. 4 b runs along the line B - B in FIG. 4 a; the line B - B is perpendicular to the shorter side of the recess (31).
  • the cross section in FIG. 5 b runs along the line C - C in FIG. 5 a; the line C - C runs diagonally to the Recess (31).
  • the cutting line (32) of the bevel (8) with the recess (31) is at a constant level.
  • the angle of inclination (measured from the main axis of the component) of the bevel (8) is largest in Figure 3 b and smallest in Figure 5 b, in Figure 4 b, the angle of inclination is at an intermediate value.
  • Figure 6 shows a cross-section through the assembled bracket attached to a container for a fluid.
  • the holder (1) contains in its recess an elastomeric molded part (4) with the fluidic component (5).
  • a counterpart (9) rests on the edge of the holder.
  • the projection (11) on the counterpart (9) protrudes into the recess of the holder (1) and has deformed the elastomeric molding (4).
  • the fluid-exposed side (61) of the elastomeric molded part is curved, but the deformed elastomer does not reach the nozzle structure in the fluidic component.
  • the contour of the chamfered molding (4) is indicated prior to assembly of the holder.
  • the dead volume (63) is used for tolerance compensation during assembly of the holder; it has been reduced to a minimum.
  • the holder is secured with a union nut (62) on the counterpart (9) and on the housing (65) for the fluid.
  • the direction of flow of the fluid is indicated by arrows.
  • the low pressure side of the holder is in the area containing the nozzle opening (6).
  • the high pressure in the fluid acts in the channel structure within the fluidic component (5), within the
  • Dead volume (63), within the bore (10) in the counterpart (9) and within the housing containing the fluid is a dead volume (63), within the bore (10) in the counterpart (9) and within the housing containing the fluid.
  • FIG. 7 a shows a bevelled elastomeric molded part (4 a) with an inserted fluidic component (5) before assembly of the holder according to the invention.
  • the elastomeric molding is at its outer edge almost as high as the fluidic component, but lower in the contact area with the fluidic component at the recess. The elastomeric molding is still undeformed and is not yet under internal tension.
  • Figure 7 b shows the state after the insertion of a ring (71), whereby the elastomeric molded part is deformed and an internal stress is generated in the elastomeric molded part.
  • the deformed elastomeric molded part extends on the fluidic component approximately to its upper edge. The bulge of the elastomeric molding barely protrudes beyond the height of the fluidic component.
  • FIG. 7 c shows the deformed elastomeric molded part after assembly of the holder. The inserted one
  • Projection (11) has deformed the elastomeric molding. There is a small dead volume (63) between the deformed elastomeric molding and the bottom of the counterpart.
  • Figure 8 a shows a (not bevelled) elastomeric molded part (74 a) with an inserted fluidic component (5) prior to assembly of the holder according to the prior art. The elastomeric molded part is lower than the fluidic component. The elastomeric molding is undeformed and is not under internal tension.
  • FIG. 8 b shows the state after the application of a ring (71) which prevents the elastomeric molded part from falling out of the holder or from being displaced within the holder, but which does not deform the elastomeric molded part.
  • Figure 8c shows the undeformed elastomeric molding after assembling the fixture using a counterpart (9) having an annular projection (11) thereon. The dead volume (75) in FIG. 8c is greater than the dead volume (63) in FIG. 7c.
  • the bottom of the holder contains a hole of 0.8 mm diameter.
  • the bottom of the holder is 0.4 mm thick around the hole.
  • the outer contour of the elastomeric molding of silicone rubber is cylindrical.
  • the cylinder has a diameter of 4.2 mm before insertion into the holder and is 2.1 mm high in its outer surface. It contains a symmetrically arranged
  • the fluidic component is designed as a spray nozzle.
  • the nozzle is a cuboid composed of two silicon plates, which is 1, 4 mm wide, 2.7 mm long and 2.1 mm high.
  • the nozzle contains a recess in the contact surface of the plates, which is provided with a microstructured filter and a microstructured evaporation device.
  • the recess merges into two channels, each 8 ⁇ m wide, 6 ⁇ m deep and about 200 ⁇ m long.
  • the axes of the two channels lie in one plane and are inclined by about 90 degrees to each other.
  • the two nozzle openings have a distance of approximately 100 ⁇ m from each other on the outside of the atomizer nozzle.
  • the substantially cylindrical counterpart is provided on its side facing the holder with an annular projection.
  • the projection has an outer diameter of 3.15 mm, an inner diameter of 2.9 mm and a constant height of 0.6 mm.
  • the counterpart contains an axial bore of 0.4 mm diameter.
  • the device is attached to the counterpart by means of a union nut.
  • the counterpart is part of a container containing the liquid to be atomized.
  • the liquid is delivered by means of a miniaturized high pressure piston pump in subsets of about 15 microliters from the container to the atomizer.
  • the peak liquid pressure within the nebulizer nozzle is about 65 MPa (650 bar) and, after the end of nebulization, practically drops to the normal barometric pressure (about 0.1 MPa).

Description

Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteils
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteils, insbesondere von Düsen, speziell im Hochdruckbereich. Non besonderem Interesse sind Halterungen für mikrostrukturierte Bauteile, insbesondere von mikrostrukturierten
Düsen, die durch Mikrostrukturieren hergestellt werden. Solche Düsen werden beispielsweise in Nerneblern zum Erzeugen von treibgasfreien medizinischen Aerosolen benutzt, die zum Inhalieren verwendet werden. Die Erfindung bezweckt, die Halterung eines fluidischen Bauteils aus einem ver- schleißfesten, harten und damit im allgemeinen spröden Material weiter zu verbessern und die Zuverlässigkeit der Halterung zu erhöhen.
Mikrostrukturierte Düsen mit zum Beispiel einer Düsenöffnung von weniger als 10 μm sind beispielsweise in WO 94/07607 und WO 99/16530 beschrieben. Die damit erzeugten inhalierbaren Tröpfchen haben einen mittleren Durchmesser von etwa 5 μm, wenn der Druck der zu vernebelnden Flüssigkeit von 5 MPa (50 bar) bis 40 MPa (400 bar) beträgt. Die Düsen können beispielsweise aus dünnen Siliziumplatten und Glasplatten hergestellt werden. Die äußeren Abmessungen der Düsen liegen im Millimeter-Bereich. Eine typische Düse besteht beispielsweise aus einem Quader mit den Kantenlängen 1,1 mm, 1,5 mm und 2,0 mm, der aus zwei Platten zusammengesetzt ist. Vernebler zum Erzeugen von treibgasfreien Aerosolen, in denen die erfindungs gemäße Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteils verwendet werden kann, sind aus WO 91/14468 oder WO 97/12687 bekannt. Als fluidisches Bauteil wird ein Bauteil bezeichnet, das einem unter Druck stehenden Fluid ausgesetzt ist, und der Druck auch innerhalb des Bauteils, zum Beispiel in einer
Düsenbohrung, ansteht. Ein derartiges Bauteil kann zum Beispiel durch Einpressen in eine Halterung aus hartem Material druckdicht gehalten werden, wenn das Material des Bauteils mechanische Kräfte aufnehmen kann, ohne zu zerbrechen oder sich in nicht annehmbaren Ausmaß zu verformen. Im Hochdruckbereich werden Dichtungen aus verformbarem Material, z.B. aus Kupfer oder aus Hartwerkstoff verwendet, die mit großer Kraft eingepresst werden. Bei Bauteilen aus sprödem Material erfordern die bekannten Verfahren zur druckdichten Halterung des Bauteils einen erheblichen Aufwand und große Sorgfalt. Über die Lebensdauer eines derartig gehalterten fluidischen Bauteils sind nur wenig zuverlässige Angaben möglich. In US - 3 997 111 ist eine Fluidstrahl-Schneidvorrichtung beschrieben, mit der ein Fluidstrahl mit hoher Geschwindigkeit erzeugt wird, der zum Schneiden, Bohren oder Abtragen von Material benutzt wird. Der Düsenkörper ist zylindrisch und besteht z.B. aus Saphir oder Korund. Der Düsenkörper ist in einem zylindrischen Ring eingefaßt, der aus mäßig nachgebendem Kunststoff-Material besteht. Der Einfaßring ist in eine ringförmige Aussparung des Düsenträgers eingepreßt und dichtet den Düsenkörper gegen den Düsenträger ab. In US - 4 313 570 ist ein Düsenhalter für eine Wasserstrahl-Schneidvorrichtung angegeben, bei der der Düsenkörper von einem Ring aus elastomerem Material umgeben ist, der seinerseits in einer Aussparung des Halters angeordnet ist. Die Aussparung hat die Form eines geraden Zylinders. Der Querschnitt des Ringes ist rechteckig. Die Mantel-fläche der Aussparung sowie die äußere und innere Mantelfläche des Ringes sind konzentrisch zur Achse des Düsenkörpers angeordnet und laufen zueinander und zur Achse des Düsenkörpers parallel. Aus WO 97/12683 ist eine Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteils, das einem Fluiddruck ausgesetzt ist, bekannt, die für Bauteile aus einem verschleißfesten, harten und damit im allgemeinen spröden Material geeignet ist, und die im Bauteil keine unzulässig großen punktuellen Materialspannungen erzeugt. Das fluidische Bauteil ist in einem Halter angeordnet, der das fluidische Bauteil auf dessen Niederdruckseite berührt. Das fluidische Bauteil ist von einem elastomeren Formteil umgeben, dessen Außenkontur an die Innenkontur des Halters und dessen Innenkontur an die Außenkontur des fluidischen Bauteils angepaßt ist. Das elastomere Formteil umgibt das fluidische Bauteil auf seinem ganzen Umfang. Mindestens eine freie Fläche des elastomeren Formteils ist dem unter Druck stehenden Fluid ausgesetzt. Der Halter kann auf seiner Innenseite einen Vorsprung haben, unter den das elastomere Formteil geschoben wird. Es hat sich als schwierig herausgestellt, in dem elastomeren Formteil eine innere Spannung zu erzeugen, die auch bei niedrigem Fluiddruck hinreichend groß ist, und die im elastomeren Formteil annähernd räumlich gleichmäßig verteilt ist. Diese bekannte Vorrichtung hat sich bei annähernd konstanter Belastung mit mittlerem und hohem Fluiddruck als druckdicht erwiesen. Bei wechselnder Belastung mit einem Fluiddruck, der zwischen einem hohem Spitzenwert und einem sehr kleinen Wert schwankt, ist die bekannte Vorrichtung für den Langzeitgebrauch verbesserungsbedürftig. Damit stellt sich die Aufgabe, eine Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen
Bauteils anzugeben, die auch bei wechselnder Belastung mit einem stark schwankenden Fluiddruck im Langzeitgebrauch zuverlässig dicht ist. Die benötigten Bauteile sollen wirtschaftlich herstellbar und mit vertretbarem Aufwand montierbar sein. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteils, das einem wechselnden Fluiddruck ausgesetzt ist, und die einen Halter umfaßt, innerhalb dessen das fluidische Bauteil angeordnet ist. Der Halter berührt das fluidische Bauteil auf dessen Niederdruckseite. Die Vorrichtung umfaßt ein elastomeres Formteil, welches das fluidische Bauteil auf dessen ganzem Umfang umschließt. Die Außenkontur des elastomeren Formteils ist an die Innenkontur des
Halters und die Innenkontur des elastomeren Formteils ist an die Außenkontur des fluidischen Bauteils angepaßt. Das elastomere Formteil hat mindestens eine freie Fläche, die dem unter Druck stehenden Fluid ausgesetzt ist. Der Halter ist auf der Hochdruckseite an einem Gegen-stück befestigt, und • das elastomere Formteil ist vor dem Zusammenbau der Vorrichtung auf seiner dem Fluiddruck zugewandten Seite zum fluidischen Bauteil hin abgeschrägt, und
• das Gegenstück ist mit einem ringförmigen Vorsprung versehen, dessen Außenkontur an die Innenkontur des Halters angepaßt ist; der Vorsprung ragt nach dem Zusam- menbau des Halters mit dem Gegenstück in den Halter hinein und verformt das elastomere Formteil, wodurch im elastomeren Formteil eine gleichmäßig verteilte innere Spannung erzeugt wird, und
• das Volumen des Vorsprungs am Gegenstück ist an das Volumen angepaßt, das am elastomeren Formteil im Bereich der Abschrägung fehlt, und • das nach dem Zusammenbau des Halters mit dem Gegenstück unter innerer Spannung stehende und verformte elastomere Formteil füllt das Volumen bis zum Gegenstück fast ganz aus.
Das elastomere Formteil ist an seinem hochdruckseitigen Ende zur Aussparung hin abgeschrägt. Die Abschrägung beginnt in der hochdruckseitigen Deckelfläche des elastomeren Formteils auf einer geschlossenen Linie, die zum Beispiel kreisförmig, elliptisch oder rechteckig sein kann. Die Abschrägung kann einen konstanten Neigungswinkel haben, oder der Neigungswinkel kann in azimutaler Richtung unterschiedlich groß sein. Im letzten Fall ist er in Richtung zur größeren Seite eines quader- förmigen fluidischen Bauteils bevorzugt kleiner als in Richtung zur kleineren Seite des quaderförmigen fluidischen Bauteils. Die Schnittkurve der Abschrägung mit der Aussparung im elastomeren Formteil kann auf einem konstanten Niveau verlaufen, oder die Schnittkurve kann gekrümmt sein. Der Vorsprung am Gegenstück kann bevorzugt ringförmig sein und eine konstante Breite haben. Die äußere Kontur des Vorsprungs ist bevorzugt an die innere Kontur des Halters angepaßt. Weiter kann die innere Kontur des Vorsprungs an die äußere Kontur des fluidischen Bauteils angepaßt sein. Der Vorsprung am Gegenstück kann eine konstante Breite und auf seinem Umfang eine konstante Höhe haben, oder der Vorsprung kann unterschiedlich breit und / oder hoch sein, er kann zum Beispiel in den beiden Bereichen, die den beiden größeren Seiten eines quaderförmigen fluidischen Bauteils gegenüber liegen, höher sein als in den beiden Bereichen, die den beiden kleineren Seiten eines quaderförmigen fluidischen Bauteils gegenüber liegen. Damit kann man das elasto-mere Formteil beim Zusammenbau des Halters mit dem Gegenstück bereichsweise unterschiedlich stark verformen und die räumliche Verteilung der inneren Spannung im elastomeren Formteil beeinflussen. Die innere Spannung im elastomeren Formteil ent-steht im Wesentlichen durch Verformen des elastomeren
Formteils, nicht durch dessen Kompression. Die Verformung des elastomeren Formteils und die Verteilung der Spannung im elastomeren Formteil kann nach der Methode der finiten Elemente (FEM) ermittelt werden. Das elastomere Formteil wird bevorzugt als Spritzgußteil hergestellt. Das Präelastomere wird blasenfrei in eine Form eingefüllt, die an die Konturen des Halters und des fluidischen Bauteils angepaßt ist. Ein derartiges elastomeres Formteil verhält sich etwa wie eine inkompressible Flüssigkeit. Es ist paßgenau zum Halter und zum fluidischen Bauteil. Das elastomere Formteil ist nur auf der Druckseite dem Fluiddruck ausgesetzt, nicht an den Seiten, an denen es am Halter und am fluidischen Bauteil anliegt. Das elastomere Formteil ermöglicht die Druckkompensation am fluidischen Bauteil. Das elastomere Formteil hat keine freie Fläche zur Niederdruckseite. Das elastomere Formteil kann z.B. aus Naturkautschuk oder Synthesekautschuk wie Silikonkautschuk, Polyurethan, Ethen-Propen-Kautschuk (EPDM), Fluor-Kautschuk (FKM) oder Nitril- Butadien-Kautschuk (NBR) oder aus einem entsprechenden Gummi bestehen. Das fluidische Bauteil kann aus einem verschleißfesten, harten und damit im allgemeinen spröden Material (wie Silizium, Glas, Keramik, Edelstein, z.B. Saphir, Rubin, Diamant) oder aus duktilem Material mit verschleißfester harte Oberfläche (wie Kunststoff, Kunststoff metallisiert (chemisch), Kupfer, Kupfer hartverchromt, Messing, Aluminium, Stahl, Stahl mit gehärteter Oberfläche, verschleißfeste Oberflächen hergestellt durch physikalische Abscheidung aus der Dampfphase (PVD) oder chemische Abscheidung aus der Dampfphase (CVD, zum Beispiel Titannitrid (TiN) oder polykristalliner Diamant auf Metall und / oder Kunststoff) bestehen. Das fluidische Bauteil kann einstückig gefertigt oder aus mehreren Teilen zusammengesetzt sein, wobei die Teile aus unterschiedlichem Material bestehen können. Das fluidische Bauteil kann Hohlräume, Aussparungen oder Kanalstrukturen enthalten. In den Hohlräumen können
MikroStrukturen angeordnet sein, die zum Beispiel als Filter oder als Verdunstungsschutz dienen. Die Kanäle können Düsenkanäle für eine Zerstäuberdüse sein. Eine Zerstäuberdüse kann einen oder mehrere Düsenkanäle enthalten, deren Achsen parallel zueinander oder gegeneinander geneigt verlaufen können. Sind beispielsweise zwei Düsenkanäle vorhanden, deren Achsen in einer Ebene liegen und die sich außerhalb der
Düse schneiden, treffen die beiden ausgetretenen Fluidstrahlen im Kreuzungspunkt der Achsen aufeinander und das Fluid wird zerstäubt. Der Halter kann aus einem fast beliebigen Material bestehen, bevorzugt aus Metall oder aus Kunststoff, und kann ein Drehkörper oder ein Körper in beliebiger anderer Form sein. Der Halter kann zum Beispiel ein topfförmiger Drehkörper sein, der eine - von seiner Deckelseite ausgehende - rotationssymmetrische Aussparung enthält, deren Achse mit der Achse des Drehkörpers zusammenfällt. Diese Aussparung kann zylinderförmig sein, oder sie kann kegelstumpfförmig sein, wobei das Ende des Kegelstumpfes mit dem größeren Durchmesser in der Deckelseite des Halters liegt. Die Mantelfläche der Aussparung bildet die Innenkontur des Halters. Er kann als Umformteil, als Gußteil oder durch abtragende Bearbeitung (zum Beispiel durch Spanen, Ätzen, Erodieren, Elysieren) hergestellt werden. Das Gegenstück kann aus Metall oder aus Kunststoff bestehen.
Der Halter, der das elastomere Formteil und das fluidische Bauteil enthält, wird mit dem Gegenstück zusammengebaut. Dabei ist die Seite des elastomeren Formteils, die die Abschrägung enthält, dem Gegenstück zugewandt. Der Rand des Halters stützt sich am
Gegenstück ab. Das fluidische Bauteil kann in das elastomere Formteil eingeschoben werden, bevorzugt bevor das elastomere Formteil in die Aussparung im Halter eingebracht wird. Der Halter kann mit dem Gegenstück verschraubt, verklebt, verschweißt, verkrimpt, vergossen oder mittels Preßpassung oder Schnappverschluß am Gegenstück befestigt werden. Der Halter kann bevorzugt mittels einer Überwurfmutter an dem
Gegenstück befestigt werden. In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Gegenstück in dem Bereich, in dem es mit dem Halter verbunden wird, als Drehkörper ausgeführt. Durch einen zum Beispiel koaxialen Kanal im Gegenstück wird die unter hohem Druck stehende Flüssigkeit zu dem Halter geleitet. Die Flüssigkeit tritt in die Kanalstruktur im fluidischen Bauteil ein und verläßt das fluidische Bauteil an dessen Niederdruckseite im Bereich des Halterbodens. Der Fluiddruck wirkt innerhalb des Totvolumens auf das elastomere Formteil. Die erfindungs gemäße Vorrichtung hat folgende Vorteile:
• Die Spannung innerhalb des elastomeren Formteils ist räumlich gleichmäßiger verteilt als die Spannung, die in der bekannten Ausführung des Halters durch einen an der Innenseite des Halters angebrachten ringförmigen Vorsprung erzeugt werden kann, unter den das elastomere Formteil beim Zusammenbau geschoben wird.
• Die Spannung innerhalb des elastomeren Formteils kann außer durch die Materialeigenschaften des Formteils selbst durch das Verhältnis des Volumens des Vor- Sprunges am Gegenstück zum Volumen, das am spannungslosen elastomeren Formteil durch die Abschrägung fehlt, eingestellt werden.
• Das fluidische Bauteil ist in seiner vollen Höhe von dem unter Spannung stehenden elastomeren Formteil umschlossen. • Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist im Langzeitgebrauch druckdicht bei Druckwechselbelastung mit einer großen Differenz zwischen dem maximalen Druck (40 MPa und mehr) und dem minimalen Druck (etwa 0,1 MPa).
• Das Totvolumen zwischen dem verformten unter innerer Spannung stehenden elastomeren Formteil und der dem Halter zugewandten Seite des Gegenstück kann klein gehaltenwerden. Es dient gleichzeitig zum Toleranzausgleich beim Zusammenbau des Halters mit dem Gegenstück.
• Durch das gesteuerte Verformen des elastomeren Formteils während des Zusammenbaus des Halters mit dem Gegenstück wird ein Überquellen des elastomeren Formteils über die Öffnung im fluidischen Bauteil vermieden.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Halterung eines fluidischen Bauteils wird beispielsweise in einem miniaturisierten Hochdruck-Zerstäuber (zum Beispiel gemäß WO91/12687), in einem nadellosen Injektor (zum Beispiel gemäß WO01/64268) oder in einem Applikator für ophthalmologische Arzneimittelformulierungen (zum Beispiel gemäß WO03/002045) benutzt. Eine mit einem derartigen Gerät verabreichte medizinische Flüssigkeit kann ein in einem Lösemittel gelöstes Arzneimittel enthalten. Als Lösemittel sind beispielsweise Wasser, Ethanol oder deren Mischungen geeignet. Als Arzneimittel werden beispielsweise Berotec (Fenoterol-Hydrobromid, Atrovent (Ipratropiumbromid), Berodual (Kombination aus Fenoterol-Hydrobromid und Ipratropiumbromid), Salbutamol (oder Albuterol), l-(3,5-dihydroxy-phenyl)-2-[[l-(4- hydroxy-benzyl)-ethyl]-amino]-ethanol-hydrobromid), Combivent, Oxivent (Oxitropium-bromid), Ba 679 (Tiotropiumbromid), BEA 2180 (Di-(2- thienyl)glykolsäure-tropenolester), Flunisolid, Budesonid und andere verwendet. Beispiele können der WO97/01329 oder der WO98/27959 entnommen werden. Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird an Hand der Figuren weiter erläutert
Figur la zeigt im Querschnitt und in Schrägansicht einen topfförmigen Halter (1), der mit einer Aussparung (2) versehen ist. Im Boden des Halters ist eine Öffnung (3) vorhanden. Figur lb zeigt im Querschnitt und in Schrägansicht ein elastomeres Formteil (4) und ein quaderförmiges fluidisches Bauteil (5), das aus zwei Teilen zusammengesetzt ist, und das in das elastomere Formteil eingeschoben worden ist. In der Berührungsfläche der beiden Teile ist eine Düsenstruktur vorhanden, die bis zur Düsenöffnung (6) reicht. Die hochdruckseitige Deckelfläche des elastomeren Formteils (4) steht im ringförmigen
Bereich (7) senkrecht zur Achse des elastomeren Formteils. Die Abschrägung (8) des elastomeren Formteils beginnt auf der Deckelfläche des elastomeren Formteils und erstreckt sich bis zur Außenfläche des fluidischen Bauteils. Figur lc zeigt im Querschnitt und in Schrägansicht ein Gegenstück (9) mit einer Bohrung (10) und einem ringförmigen Vorsprung (11) auf seiner dem elastomeren
Formteil zugewandten Seite.
In Figur 2 ist eine weitere Ausführung des Vorsprungs (11) am Gegenstück (21) in Schrägansicht dargestellt. Der Vorsprung (11) ist in den beiden einander diametral gegenüber liegenden Bereichen (22 a, 22 b) höher als in den beiden einander diametral gegenüber liegenden Bereichen (23 a, 23 b). Beim Zusammenbau der Halterung mit dem Gegenstück verformen die höheren Bereiche (22 a, 22 b) des Vorsprungs (11) das elastomere Formteil stärker als die Bereiche (23 a, 23 b). Die Figuren 3 a, 4 a und 5 a zeigen das elastomere Formteil in senkrechter Ansicht.
Die Figuren 3 b, 4 b und 5 b zeigen Querschnitte des elastomeren Formteils. Das elastomere Formteil enthält eine quaderförmige Aussparung (31) für ein quaderförmiges fluidisches Bauteil. Der Querschnitt in Figur 3 b verläuft entlang der Linie A - A in Figur 3 a; die Linie A - A verläuft senkrecht zur längeren Seite der Aussparung (31). Der Querschnitt in Figur 4 b verläuft entlang der Linie B - B in Figur 4 a; die Linie B - B verläuft senkrecht zur kürzeren Seite der Aussparung (31). Der Querschnitt in Figur 5 b verläuft entlang der Linie C - C in Figur 5 a; die Linie C - C verläuft diagonal zur Aussparung (31). Die Schnittlinie (32) der Abschrägung (8) mit der Aussparung (31) verläuft auf einem konstanten Niveau. Der Neigungswinkel (gemessen von der Hauptachse des Bauteils) der Abschrägung (8) ist in Figur 3 b am größten und in Figur 5 b am kleinsten, in Figur 4 b liegt der Neigungswinkel bei einem Zwischenwert.
Figur 6 zeigt einen Querschnitt durch die zusammengebaute Halterung, die an einem Behälter für ein Fluid angebracht ist. Der Halter (1) enthält in seiner Aussparung ein elastomeres Formteil (4) mit dem fluidischen Bauteil (5). Ein Gegenstück (9) liegt auf dem Rand des Halters auf. Der Vorsprung (11) am Gegenstück (9) ragt in die Aussparung des Halters (1) hinein und hat das elastomere Formteil (4) verformt. Die dem Fluid ausgesetzte Seite (61) des elastomeren Formteils ist gewölbt, das verformte Elastomer reicht jedoch nicht bis zur Düsenstruktur im fluidischen Bauteil. Mit den punktierten Linien (64 a) und (64 b) ist die Kontur des abgeschrägten Formteils (4) vor dem Zusammenbau der Halterung angedeutet. Das Totvolumen (63) dient zum Toleranz-ausgleich beim Zusammenbau der Halterung; es ist auf ein Minimum reduziert worden. Die Halterung ist mit einer Überwurfmutter (62) an dem Gegenstück (9) und am Gehäuse (65) für das Fluid befestigt. Die Strömungsrichtung des Fluids ist durch Pfeile angedeutet. Die Niederdruckseite des Halters liegt in der Fläche, die die Düsenöffnung (6) enthält. Der Hochdruck im Fluid wirkt in der Kanalstruktur innerhalb des fluidischen Bauteils (5), innerhalb des
Tot-volumens (63), innerhalb der Bohrung (10) im Gegenstück (9) sowie innerhalb des Gehäuses, das das Fluid enthält.
In den Figuren 7 a, 7 b und 7 c ist die erfindungsgemäße Halterung im gekreuzten Querschnitt dargestellt und in den Figuren 8 a, 8 b und 8 c der Ausführung im gekreuzten Querschnitt nach dem Stand der Technik gegenübergestellt. Figur 7 a zeigt ein abgeschrägtes elastomeres Formteil (4 a) mit einem eingeschobenen fluidischen Bauteil (5) vor dem Zusammenbau der erfindungsgemäßen Halterung. Das elastomere Formteil ist an seinem äußeren Rand fast so hoch wie das fluidische Bauteil, jedoch niedriger im Kontaktbereich mit dem fluidischen Bauteil an der Aussparung. Das elasto-mere Formteil ist noch unverformt und steht noch nicht unter innerer Spannung. Figur 7 b zeigt den Zustand nach dem Einschieben eines Ringes (71), wodurch das elastomere Formteil verformt wird und im elastomeren Formteil eine innere Spannung erzeugt wird. Das verformte elastomere Formteil reicht am fluidischen Bauteil etwa bis zu dessen Oberkante. Die Aufwölbung des elastomeren Formteils ragt kaum über die Höhe des fluidischen Bauteils hinaus. Figur 7 c zeigt das verformte elastomere Formteil nach dem Zusammenbau der Halterung. Der eingeschobene
Vorsprung (11) hat das elastomere Formteil verformt. Zwischen dem verformten elastomeren Formteil und dem Boden des Gegenstücks ist ein kleines Totvolumen (63) vorhanden. Figur 8 a zeigt ein (nicht abgeschrägtes) elastomeres Formteil (74 a) mit einem eingeschobenen fluidischen Bauteil (5) vor dem Zusammenbau der Halterung nach dem Stand der Technik. Das elastomere Formteil ist niedriger als das fluidische Bauteil. Das elastomere Formteil ist unverformt und steht nicht unter innerer Spannung. Figur 8 b zeigt den Zustand nach dem Auflegen eines Ringes (71), der das elastomere Formteil am Herausfallen aus dem Halter oder am Verschieben innerhalb des Halters hindert, der jedoch das elastomere Formteil nicht verformt. Figur 8 c zeigt das unverformte elastomere Formteil nach dem Zusammenbau der Halterung unter Verwendung eines Gegenstücks (9), an dem ein ringförmiger Vorsprung (11) vorhanden ist. Das Totvolumen (75) in Figur 8 c ist größer als das Totvolumen (63) in Figur 7 c.
Beispiel: Halterung für eine Zerstäuberdüse in Miniaturausführung Diese Vorrichtung besteht aus einem zylindrischen Halter aus Stahl mit einem
Außen-durchmesser von 6,0 mm und einer Höhe von 2,6 mm. Er enthält eine kegelstumpf-förmige Aussparung mit einem Innendurchmesser von 4,0 mm am Fuß des
Kegel-stumpfes. Der Boden des Halters enthält eine Bohrung von 0,8 mm Durchmesser.
Der Boden des Halters ist in der Umgebung der Bohrung 0,4 mm dick. Die Außenkontur des elastomeren Formteils aus Silikonkautschuk ist zylindrisch.
Der Zylinder hat vor dem Einsetzen in den Halter einen Durchmesser von 4,2 mm und ist in seiner Mantelfläche 2,1 mm hoch. Er enthält eine symmetrisch angeordnete
Aussparung mit 1,3 mm Breite und 2,8 mm Länge, die das elastomere Formteil in axialer Richtung durchsetzt. Das elastomere Formteil ist an seinem hochdruckseitigen Ende zur Aussparung hin abgeschrägt. Die Abschrägung beginnt in der Deckelfläche des Zylinders auf einem
Kreis mit einem Durchmesser von 3,2 mm. Die Abschrägung verläuft mit unterschiedlicher Neigung in Richtung der rechteckigen Aussparung bis zu einer konstanten Tiefe von 0,7 mm an der Schnittlinie mit der Aussparung. Das fluidische Bauteil ist als Zerstäuberdüse ausgebildet. Die Düse ist ein aus zwei Siliziumplatten zusammengesetzter Quader, der 1 ,4 mm breit, 2,7 mm lang und 2,1 mm hoch ist. Die Düse enthält in der Berührungsfläche der Platten eine Aussparung, die mit einem mikrostrukturierten Filter und einer mikrostrukturierten Verdunstungs- einrichtung versehen ist. Auf der Seite der Düse, an der das Fluid die Düse verläßt, geht die Aussparung in zwei Kanäle über, die jeweils 8 μm breit, 6 μm tief und etwa 200 μm lang sind. Die Achsen der beiden Kanäle liegen in einer Ebene und sind um etwa 90 Grad gegeneinander geneigt. Die beiden Düsenöffnungen haben auf der Außenseite der Zerstäuberdüse einen Abstand von etwa 100 μm voneinander. Das im wesentlichen zylindrische Gegenstück ist auf seiner dem Halter zugewandten Seite mit einem ringförmigen Vorsprung versehen. Der Vorsprung hat einen Außendurchmesser von 3,15 mm, einen Innendurchmesser von 2,9 mm und eine konstante Höhe von 0,6 mm. Das Gegenstück enthält eine axiale Bohrung mit 0,4 mm Durchmesser. Die Vorrichtung wird an dem Gegenstück mittels einer Überwurfmutter befestigt. Das Gegenstück ist Teil eines Behälters, der die zu zerstäubende Flüssigkeit enthält. Die Flüssigkeit wird mittels einer miniaturisierten Hochdruck-Kolbenpumpe in Teilmengen von jeweils etwa 15 Mikroliter aus dem Behälter zur Zerstäuberdüse gefördert.
Der Spitzenwert des Flüssigkeitsdrucks innerhalb der Zerstäuberdüse beträgt etwa 65 MPa (650 bar) und sinkt nach dem Ende der Zerstäubung praktisch auf den normalen Luftdruck (etwa 0,1 MPa) ab.

Claims

Patentansprüche Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteils, das einem wechselnden Fluiddruck ausgesetzt ist, und die einen Halter umfaßt, innerhalb dessen das fluidische Bauteil angeordnet ist und der das fluidische Bauteil auf dessen Niederdruckseite berührt, sowie ein elastomeres Formteil, welches das fluidische Bauteil auf dessen ganzem Umfang umschließt, und die Außenkontur des elastomeren Formteils an die Innenkontur des Halters und die Innenkontur des elastomeren Formteils an die Außenkontur des fluidischen Bauteils angepaßt ist, und das elastomere Formteil mindestens eine freie Fläche hat, die dem unter Druck stehenden Fluid ausgesetzt ist, und der Halter auf der Hochdruckseite an einem Gegenstück befestigt ist, wobei • das elastomere Formteil vor dem Zusammenbau der Vorrichtung auf seiner dem Fluiddruck zugewandten Seite zum fluidischen Bauteil hin abgeschrägt ist, und • das Gegenstück mit einem ringförmigen Vorsprung versehen ist, dessen Außenkontur an die Innenkontur des Halters angepaßt ist, und der Vorsprung nach dem Zusammenbau des Halters mit dem Gegenstück in den Halter hinein ragt und das elastomere Formteil verformt, und • das Volumen des Vorsprungs am Gegenstück an das Volumen angepaßt ist, das am elastomeren Formteil im Bereich der Abschrägung fehlt, und • das nach dem Zusammenbau des Halters mit dem Gegenstück verformte elastomere Formteil das Volumen bis zum Gegenstück fast ganz ausfüllt. Vorrichtung nach Anspruch 1 , wobei • die Schnittkurve der Abschrägung des elastomeren Formteils mit der Aussparung im elastomeren Formteil auf einem konstanten Niveau verläuft. Vorrichtung nach Anspruch 1 , wobei • die Kontur des Vorsprunges am Gegenstück an die innere Kontur des Halters angepaßt ist. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei • der Vorsprung am Gegenstück ringförmig ist und eine konstante Breite und konstante Höhe hat.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei • der Vorsprung am Gegenstück ringförmig ist und auf seinem Umfang eine wechselnde Breite hat.
Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei
• der Vorsprung am Gegenstück ringförmig ist und auf seinem Umfang eine wechselnde Höhe hat.
Verwenden einer Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteils, das als Zerstäuberdüse für einen miniaturisierten Hochdruckzerstäuber ausgebildet ist, und das auf seinem ganzen Umfang von einem elastomeren Formteil umschlossen ist, und das elastomere Formteil vor dem Zusammenbau der Vorrichtung auf seiner dem
Fluiddruck ausgesetzten Seite zum fluidischen Bauteil hin ' abgeschrägt ist, zum Zerstäuben einer Flüssigkeit, die eine medizinisch wirksamen Substanz enthält.
Verwenden einer Vorrichtung nach Anspruch 7 zum Zerstäuben einer Flüssigkeit in ein lungengängiges Aerosol.
Verwenden einer Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteils, das als Injektordüse für einen miniaturisierten nadellosen Injektor ausgebildet ist, und das auf seinem ganzen Umfang von einem elastomeren Formteil umschlossen ist, und das elastomere Formteil vor dem Zusammenbau der Vorrichtung auf seiner dem
Fluiddruck ausgesetzten Seite zum fluidischen Bauteil hin abgeschrägt ist, zum nadellosen subkutanen Injizieren einer Flüssigkeit, die eine medizinisch wirksamen Substanz enthält.
Verwenden einer Vorrichtung zum Haltern eines fluidischen Bauteils, das als Zerstäuberdüse für einen miniaturisierten Zerstäuber ausgebildet ist, und das auf seinem ganzen Umfang von einem elastomeren Formteil umschlossen ist, und das elastomere Formteil vor dem Zusammenbau der Vorrichtung auf seiner dem Fluiddruck ausgesetzten Seite zum fluidischen Bauteil hin abgeschrägt ist, zum Applizieren einer ophthalmologischen Arzneimittelformulierung.
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