EP1664684A2 - Schall- oder ultraschallwandler - Google Patents

Schall- oder ultraschallwandler

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Publication number
EP1664684A2
EP1664684A2 EP04765412A EP04765412A EP1664684A2 EP 1664684 A2 EP1664684 A2 EP 1664684A2 EP 04765412 A EP04765412 A EP 04765412A EP 04765412 A EP04765412 A EP 04765412A EP 1664684 A2 EP1664684 A2 EP 1664684A2
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EP
European Patent Office
Prior art keywords
matching layer
ultrasonic transducer
acoustic
piezoelectric unit
coupling ring
Prior art date
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EP04765412A
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English (en)
French (fr)
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Manfred Eckert
Frank Volz
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Endress and Hauser SE and Co KG
Original Assignee
Endress and Hauser SE and Co KG
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B06B1/0662—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
    • B06B1/067—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface which is used as, or combined with, an impedance matching layer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
    • B06B1/0662—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface

Definitions

  • the invention relates to a sound or ultrasound transducer with a disk-shaped piezo-electric unit, an annular coupling element which surrounds the piezo-electric unit in a form-fitting and non-positive manner, an adaptation layer which faces the piezo-electric in the radiation direction of the sound or ultrasound waves Unit is arranged, and a transmitting / receiving unit, which excites the piezoelectric unit to radial vibrations.
  • the piezoelectric unit is preferably a piezoceramic disk.
  • the ultrasonic transducer is preferably part of a sensor
  • the known transducer is characterized in that, with small dimensions of the piezoceramic disk, it has an operating frequency that is lower than the radial resonance frequency of the piezoceramic disk.
  • a metal ring surrounds the outer surface of the piezoceramic disk in a positive and non-positive manner.
  • the metal ring is preferably connected to the piezoceramic disk by shrinking on.
  • the combination of the piezoceramic disk and the coupling ring behaves like a radial oscillator; in particular, the surface of the radial oscillator formed from both sub-components acts as an emission surface for the sound or ultrasonic waves.
  • the object of the invention is, in particular, to design a sound or ultrasonic transducer designed as a radial oscillator for use in the high-temperature range.
  • the adaptation layer is made of a material which has a heat resistance up to a temperature, which lies above the temperature at the installation site of the sound or ultrasound transducer, that the material-specific expansion coefficient of the material of the adaptation layer is greater than the expansion coefficient of the materials of the piezoelectric unit and / or the coupling ring and that the modulus of elasticity of the material of the adaptation layer is at least one order of magnitude is lower than the modulus of elasticity of the piezoelectric unit and / or the coupling ring.
  • the adaptation layer is preferably made of rigid foam.
  • the PMI rigid foam Rohacell from Röhm can be used as the hard foam with low density.
  • This rigid foam is available with densities between 30 to 200 kg / m 3 .
  • an effective impedance matching to the air or to the atmosphere in which the acoustic AJ ultrasonic transducer is used can be achieved.
  • the matching layer helps to reduce the reverberation of the sound or ultrasound transducer.
  • the matching layer is composed of several layers with at least partially different densities.
  • the position of the adaptation layer with the highest density is arranged in the immediate vicinity of the radial oscillator, while the position of the adaptation layer with the lowest density is at the greatest distance from the radial oscillator.
  • the sound or ultrasonic transducer works evenly over a range from -40 ° C to 150 ° C. Since the material-specific expansion coefficient of the material of the matching layer is greater than the expansion coefficient of the Materials of the piezoelectric unit and / or the coupling ring and since the modulus of elasticity of the material of the matching layer is at least one order of magnitude lower than the modulus of elasticity of the piezoelectric unit and / or the coupling ring, a very good connection between the matching layer and the radial oscillator ensured over a wide temperature range.
  • the coupling ring is made of metal or ceramic. If the coupling ring is made of metal, it is possible to achieve the connection between the outer surface of the piezoceramic disk and the coupling ring using a shrinking process.
  • the required encapsulation is achieved by means of a combination: this consists of the aforementioned metal ring, which is arranged in the outer region of the piezoceramic disk, and a thin protective film which covers the matching layer in the direction of radiation.
  • the protective film is preferably a metal film which is made, for example, of stainless steel.
  • the protective film is preferably glued to the adaptation layer or firmly connected to it in another way and thus simultaneously increases its mechanical strength.
  • An advantageous embodiment of the device according to the invention proposes a housing in which the piezoelectric unit with the coupling ring and the matching layer is arranged. Furthermore, a potting compound is provided, which at least in some areas between the matching layer, the piezoelectric unit, the coupling ring and the inner wall of the
  • the casting compound completely or at least largely fills the rear space of the housing.
  • the Potting compound is, for example, an elastomer potting compound.
  • a diffusion barrier is provided, which is arranged on the sealing compound against the direction of radiation.
  • the diffusion barrier is again preferably a metal foil.
  • FIG. 1 shows a preferred embodiment of the sound or ultrasonic transducer according to the invention in cross section.
  • the acoustic or ultrasonic transducer 1 shown in FIG. 1 consists of a round piezoceramic disk 2, the outer surface of which is enclosed by the coupling ring 3 in a positive and non-positive manner.
  • the coupling ring 3 is, for example, a metal ring made of aluminum, it can be connected to the piezoelectric 2 unit, for example, by shrinking on.
  • the coupling ring 3 is placed around the piezo ceramic disk 2 in the heated state; when it cools, it contracts and encloses the piezoceramic disc 2 in a positive and non-positive manner.
  • the radial oscillator is thus formed from two components.
  • the radial oscillator could also simply be a piezoceramic disk.
  • the thickness of the adaptation layer 4, which is arranged in the radiation direction of the sound or ultrasound on the radial oscillator, formed from the piezoelectric unit 2 and coupling ring 3, is selected so that the sound or ultrasound waves are emitted essentially only in the desired radiation direction.
  • the matching layer 4 is designed such that the sound or ultrasound transducer 1 or the associated sensor is suitable for use in the high temperature range.
  • the adaptation layer 4 is made of a material that has a heat resistance up to a temperature that is above the temperature at the installation site of the sound or ultrasound transducer 1. Furthermore, the material-specific coefficient of expansion of the material of the adaptation layer 4 is greater than the coefficient of expansion of the materials of the piezoelectric unit 2 and / or the coupling ring 3. The modulus of elasticity of the material is also provided.
  • Matching layer 4 is at least one order of magnitude lower than the modulus of elasticity of the piezoelectric unit 2 and / or the coupling ring 3. As already mentioned, the matching layer 4 is preferably made of rigid foam.
  • the radial oscillator with piezoelectric unit 2, coupling ring 3 and matching layer 4 is arranged in a housing 8.
  • the area between the outer surface of the radial vibrator and the inner wall of the housing 8 and the area above the radial vibrator, which is oriented counter to the radiation direction of the sound or ultrasonic waves, is filled with a casting compound 7.
  • the sealing compound 7 has the task of optimizing the decay behavior of the radial oscillator.
  • the potting compound 7 is a silicone potting compound in which ceramic particles and / or air pockets are embedded. The inclusion of air serves to reduce the density of the potting compound 7, which leads to better damping behavior of the radial oscillator.
  • the protective film 5 which is preferably a stainless steel film, serves as a diffusion barrier in the radiation direction of the sound or ultrasonic waves.
  • the radial transducer is encapsulated in all directions and is thus effectively protected against moisture and dirt.
  • the invention is not limited to the shape of the radial oscillator described here, formed from the piezoceramic disk and coupling ring.
  • the matching layer according to the invention can be used in conjunction with any radial oscillator, that is to say, for example, with the sound or ultrasound transducer which is described in DE 25 41 492 B.

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Description

Schall- oder Ultraschallwandler
Die Erfindung bezieht sich auf einen Schall- oder Ultraschallwandler mit einer scheibenförmigen piezo-elektrischen Einheit, einem ringförmigen Koppel- element, das die piezo-elektrische Einheit form- und kraftschlüssig umgibt, einer Anpaßschicht, die in Abstrahlrichtung der Schall- oder Ultraschallwellen vor der piezoelektrischen Einheit angeordnet ist, und einer Sende-/Empfangs- einheit, die die piezoelektrische Einheit zu Radialschwingungen anregt. Bei der piezoelektrischen Einheit handelt es sich bevorzugt um eine Piezokera- mikscheibe. Der Ultraschallwandler ist bevorzugt Teil eines Sensors zur
Bestimmung und/oder Überwachung des Füllstands eines Prozeßmediums, welches in einem Behälter angeordnet ist.
Der zuvor beschriebenen Schall- oder Ultraschallwandler ist bereits aus der EP 0 615 471 B1 bekannt geworden. Insbesondere zeichnet sich der bekannte Wandler dadurch aus, daß er bei geringen Abmessungen der Piezokeramikscheibe eine gegenüber der Radialresonanzfrequenz der Piezokeramikscheibe verringerte Betriebsfrequenz aufweist. Erreicht wird dies dadurch, daß ein Metallring die Mantelfläche der Piezokeramikscheibe form- und kraftschlüssig umschließt. Hierzu ist der Metallring mit der Piezokeramikscheibe bevorzugt durch Aufschrumpfen verbunden. Aufgrund der Kopplung verhält sich die Kombination aus Piezokeramikscheibe und Koppelring wie ein Radialschwinger, insbesondere wirkt die aus beiden Teilkomponenten gebildete Fläche des Radialschwingers als Abstrahlfläche für die Schall- oder Ultraschallwellen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, insbesondere einen als Radialschwinger ausgebildeten Schall- oder Ultraschallwandler für den Einsatz im Hochtemperaturbereich auszulegen.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Anpaßschicht aus einem Material gefertigt ist, das eine Wärmeformfestigkeit bis zu einer Temperatur aufweist, die über der Temperatur am Einbauort des Schall- oder Ultraschallwandlers liegt, daß der materialspezifische Ausdehnungskoeffizient des Materials der Anpaßschicht größer ist als der Ausdehnungskoeffizient der Materialien der piezoelektrischen Einheit und/oder des Koppelrings und daß der E-Modul des Materials der Anpaßschicht um mindestens eine Größenordnung geringer ist als der E-Modul der piezoelektrischen Einheit und/oder des Koppelrings.
Bevorzugt ist die Anpaßschicht aus Hartschaumstoff gefertigt. Als Hartschaumstoff mit niedriger Dichte kann beispielsweise der PMI-Hartschaum- stoff Rohacell der Firma Röhm eingesetzt werden. Dieser Hartschaumstoff ist mit Dichten zwischen 30 bis 200 kg/m3 lieferbar. Durch die Verwendung eines Schaumstoffes mit geringer Dichte kann eine effektive Impedanzanpassung an die Luft bzw. an die Atmosphäre, in der der Schall-AJItraschallwandler eingesetzt wird, erzielt werden. Da der Schaumstoff eine relativ hohe Eigen- dämpfung besitzt, trägt die Anpaßschicht zur Verringerung des Nachschwingens des Schall- oder Ultraschallwandlers bei. Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Schall- oder Ultraschallwandlers ist vorgesehen, daß die Anpaßschicht sich aus mehreren Lagen mit zumindest teilweise unterschiedlichen Dichten zusammensetzt. Insbesondere ist in diesem Zusammenhang vorgesehen, daß die Lage der Anpaßschicht mit der höchsten Dichte in unmittelbarer Umgebung zum Radialschwinger angeordnet ist, während die Lage der Anpaßschicht mit der geringsten Dichte den größten Abstand zum Radialschwinger aufweist. Durch eine derartige Ausgestaltung läßt sich eine Verbesserung des Verhältnisses zwischen dem eigentlichen Echosignal und den durch das Nachschwingen hervorgerufenen Störsignalen erreichen.
Hat der Schaumstoff beispielsweise eine Wärmeformfestigkeit bis 180° C, so arbeitet der Schall- oder Ultraschallwandler über einen Bereich von -40° C bis 150° C gleichmäßig. Da der materialspezifische Ausdehnungskoeffizient des Materials der Anpaßschicht größer ist als der Ausdehnungskoeffizient der Materialien der piezoelektrischen Einheit und/oder des Koppelrings und da der E-Modul des Materials der Anpaßschicht um mindestens eine Größenordnung geringer ist als der E-Modul der piezoelektrischen Einheit und/oder des Koppelrings, wird eine sehr gute Verbindung zwischen der Anpaßschicht und dem Radialschwinger über einen großen Temperaturbereich sichergestellt.
Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist der Koppelring aus Metall oder aus Keramik gefertigt. Ist der Koppelring aus Metall gefertigt, so ist es möglich, die Verbindung zwischen der Mantel- fläche der Piezokeramikscheibe und dem Koppelring über einen Schrumpfprozeß zu realisieren.
Infolge der hohen Feuchteempfindlichkeit des Schaumstoffs, aus dem die Anpaßschicht bevorzugt gebildet ist, ist es erforderlich, diesen effektiv vor Umwelteinflüssen, insbesondere vor der Diffusion von Wasserdampf und vor Verschmutzungen zu schützen. Erreicht wird die erforderliche Kapselung gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung über eine Kombination: Diese besteht aus dem bereits zuvor erwähnten Metallring, der im Außenbereich der Piezokeramikscheibe angeordnet ist, und einer dünnen Schutzfolie, die die Anpaßschicht in Abstrahlrichtung abdeckt. Bevorzugt handelt es sich bei der Schutzfolie um eine Metallfolie, die beispielsweise aus Edelstahl gefertigt ist. Bevorzugt ist die Schutzfolie auf die Anpaßschicht geklebt bzw. in anderer Weise fest mit ihr verbunden und erhöht damit gleichzeitig deren mechanische Festigkeit.
Eine vorteilhafte Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung schlägt ein Gehäuse vor, in dem die piezoelektrische Einheit mit dem Koppelring und der Anpaßschicht angeordnet ist. Weiterhin ist eine Vergußmasse vorgesehen, die zumindest in einigen Teilbereichen zwischen der Anpaßschicht, der piezoelektrischen Einheit, dem Koppelring und der Innenwand des
Gehäuses angeordnet ist. Mit anderen Worten: Die Vergußmasse füllt den Rückraum des Gehäuses vollständig oder zumindest weitgehend aus. Bei der Vergußmasse handelt es sich beispielsweise um eine Elastomervergußmasse.
Um das Eindringen von Feuchtigkeit oder von Verschmutzungen durch den Rückraum des Sensors zu verhindern, ist eine Diffusionssperre vorgesehen, die entgegen der Abstrahlrichtung auf der Vergußmasse angeordnet ist. Bei der Diffusionssperre handelt es sich wiederum bevorzugt um eine Metallfolie.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Fig. 1 näher erläutert. Fig. 1 zeigt eine bevorzugte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Schall- oder Ultraschallwandlers im Querschnitt.
Der in Fig. 1 dargestellte Schall- oder Ultraschallwandler 1 besteht aus einer runden Piezokeramikscheibe 2, deren Mantelfläche form- und kraftschlüssig von dem Koppelring 3 umschlossen wird. Handelt es sich bei dem Koppelring 3 beispielsweise um einen Metallring aus Aluminium, so kann dieser mit der piezoelektrischen 2 Einheit beispielsweise über Aufschrumpfen verbunden sein. Hierzu wird der Koppelring 3 in erwärmtem Zustand um die Piezo- keramikscheibe 2 gelegt; beim Erkalten zieht er sich zusammen und umschließt die Piezokeramikscheibe 2 form- und kraftschlüssig.
Über die Verbindungsleitungen 10 wird eine Wechselspannung an die piezoelektrische Einheit 2 angelegt, wodurch diese und der mit ihr verbundene Koppelring 3 zu Radialschwingungen angeregt wird. Der Radialschwinger wird somit aus zwei Komponenten gebildet. Selbstverständlich könnte es sich bei dem Radialschwinger auch einfach um einen Piezokeramikscheibe handeln. Die Dicke der Anpaßschicht 4, die in Abstrahlrichtung der Schall- oder Ultraschallen auf dem Radialschwinger, gebildet aus piezoelektrischer Einheit 2 und Koppelring 3, angeordnet ist, ist so gewählt, daß die Schall- oder Ultraschallwellen im wesentlichen nur in die gewünschte Abstrahlrichtung abgestrahlt werden. Weiterhin ist die Anpaßschicht 4 so ausgelegt, daß der Schall- oder Ultraschallwandler 1 bzw. der zugehörige Sensor für den Einsatz im Hochtemperaturbereich geeignet ist. Hierzu ist die Anpaßschicht 4 aus einem Material gefertigt, das eine Wärmeformfestigkeit bis zu einer Temperatur aufweist, die über der Temperatur am Einbauort des Schall- oder Ultraschallwandlers 1 liegt. Weiterhin ist der materialspezifische Ausdehnungskoeffizient des Materials der Anpaßschicht 4 größer als der Ausdehnungskoeffizient der Materialien der piezoelektrischen Einheit 2 und/oder des Koppelrings 3. Auch ist der E-Modul des Materials der
Anpaßschicht 4 um mindestens eine Größenordnung geringer als der E-Modul der piezoelektrischen Einheit 2 und/oder des Koppelrings 3. Wie bereits gesagt, besteht die Anpaßschicht 4 bevorzugt aus Hartschaumstoff.
Der Radialschwinger mit piezoelektrischer Einheit 2, Koppelring 3 und Anpaßschicht 4 ist in einem Gehäuse 8 angeordnet. Der Bereich zwischen der Mantelfläche des Radialschwingers und der Innenwand des Gehäuses 8 sowie der Bereich über dem Radialschwinger, der entgegen der Abstrahlrichtung der Schall- oder Ultraschallwellen orientiert ist, ist mit einer Verguß- masse 7 aufgefüllt. Neben der Funktion, daß der Radialschwinger vor eindringender Feuchigkeit oder vor eindringendem Schmutz geschützt wird, kommt der Vergußmasse 7 die Aufgabe zu, das Abklingverhalten des Radialschwingers zu optimieren. Insbesondere handelt es sich bei der Vergußmasse 7 um einen Silikonverguß, in den Keramikteilchen und/oder Lufteinschlüsse eingebettet sind. Hierbei dient der Lufteinschluß der Verringerung der Dichte der Vergußmasse 7, was zu einem besseren Dämpfungsverhalten des Radialschwingers führt.
Als Diffusionssperre in Abstrahlrichtung der Schall- oder Ultraschallwellen dient die Schutzfolie 5, bei der es sich bevorzugt um eine Edelstahlfolie handelt. Durch eine weitere Diffusionssperre 6, die entgegen der Abstrahlrichtung der Schall- oder Ultraschallwellen angeordnet ist, wird eine optimale Kapselung des Radialschwingers gegen die Atmosphäre bzw. gegen den Prozeß erreicht. Der Radialschwinger ist nach allen Richtungen gekapselt und wird so effektiv vor Feuchtigkeit und Schmutz geschützt.
Es versteht sich von selbst, daß die Erfindung nicht auf die hier beschriebene Form des Radialschwingers, gebildet aus Piezokeramikscheibe und Koppelring beschränkt ist. Im Prinzip kann die erfindungsgemäße Anpaßschicht in Verbindung mit beliebigen Radialschwingern verwendet werden, also auch beispielweise mit dem Schall- oder Ultraschallwandler, der in der DE 25 41 492 B beschrieben ist.
Bezugszeichenliste
Schall- oder Ultraschallwandler Piezoelektrische Einheit Koppelelement / Koppelring Anpaßschicht Schutzfolie Diffusionssperre Vergußmasse / Dämpfungsverguß Gehäuse Kontaktierung Verbindungsleitung Sende-/Empfangseinheit Erdungsanschluß

Claims

Patentansprüche
1. Schall- oder Ultraschallwandler (1 ) mit einer scheibenförmigen piezoelektrischen Einheit (2), einem ringförmigen Koppelelement (3), das die piezo- elektrische Einheit (2) form- und kraftschlüssig umgibt, einer Anpaßschicht (4), die in Abstrahlrichtung der Schall- oder Ultraschallwellen vor der piezoelektrischen Einheit (2) angeordnet ist, und einer Sende-/Empfangs- einheit (11 ) , die die piezoelektrische Einheit (2) zu Radialschwingungen anregt, dadurch gekennzeichnet, daß die Anpaßschicht (4) aus einem Material gefertigt ist, das eine Wärmeformfestigkeit bis zu einer Temperatur aufweist, die über der Temperatur am Einbauort des Schall- oder Ultraschallwandlers (1 ) liegt, daß der materialspezifische Ausdehnungskoeffizient des Materials der Anpaß- schicht (4) größer ist als der Ausdehnungskoeffizient der Materialien der piezoelektrischen Einheit (2) und/oder des Koppelrings und daß der E-Modul des Materials der Anpaßschicht (4) um mindestens eine Größenordnung geringer ist als der E-Modul der piezoelektrischen Einheit (2) und/oder des Koppelrings (3).
2. Schall- oder Ultraschallwandler 1 , dadurch gekennzeichnet, daß die Anpaßschicht (4) aus Hartschaumstoff gefertigt ist.
3. Schall- oder Ultraschallwandler 1 , dadurch gekennzeichnet, daß der Koppelring (3) aus Metall oder aus Keramik gefertigt ist.
4. Schall- oder Ultraschallwandler 1 , 2 oder 3 , dadurch gekennzeichnet, daß in Abstrahlrichtung der Schall- oder Ultraschallwellen vor der Anpaßschicht (4) eine Schutzfolie (5) vorgesehen ist, die so angeordnet ist, daß sie die Anpaßschicht (4) in Abstrahlrichtung vor dem Eindringen von Feuchtigkeit und Verschmutzungen schützt.
5. Schall- oder Ultraschallwandler 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzfolie (5) aus Metall gefertigt ist.
6. Schall- oder Ultraschallwandler nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß ein Gehäuse (8) vorgesehen ist, in dem die Anpaßschicht (4) und die piezoelektrische Einheit (2) mit dem Koppelring (3) angeordnet sind und daß eine Vergußmasse (7) vorgesehen ist, die zumindest in einigen Teilbereichen zwischen der Anpaßschicht (4), der piezoelektrischen Einheit (2), dem Koppelring (3) und der Innenwand des Gehäuses (8) angeordnet ist.
7. Schall- oder Ultraschallwandler nach Anspruch 1 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der Vergußmasse (7) um eine Elastomervergußmasse handelt.
8. Schall- oder Ultraschallwandler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, eine Diffusionssperre (6) vorgesehen ist, die entgegen der Abstrahlrichtung auf der Vergußmasse (7) angeordnet ist.
EP04765412A 2003-09-25 2004-09-20 Schall- oder ultraschallwandler Not-in-force EP1664684B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10344741A DE10344741A1 (de) 2003-09-25 2003-09-25 Schall- oder Ultraschallwandler
PCT/EP2004/010526 WO2005031274A2 (de) 2003-09-25 2004-09-20 Schall- oder ultraschallwandler

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EP1664684A2 true EP1664684A2 (de) 2006-06-07
EP1664684B1 EP1664684B1 (de) 2010-02-17

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US (1) US7411335B2 (de)
EP (1) EP1664684B1 (de)
AT (1) ATE458181T1 (de)
DE (2) DE10344741A1 (de)
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