EP1422423A1 - Apparatus with evacuatable chamber - Google Patents

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EP1422423A1
EP1422423A1 EP03029746A EP03029746A EP1422423A1 EP 1422423 A1 EP1422423 A1 EP 1422423A1 EP 03029746 A EP03029746 A EP 03029746A EP 03029746 A EP03029746 A EP 03029746A EP 1422423 A1 EP1422423 A1 EP 1422423A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
pump
housing
vacuum
stator
friction
Prior art date
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Granted
Application number
EP03029746A
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German (de)
French (fr)
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EP1422423B1 (en
EP1422423B2 (en
Inventor
Ralf Adamietz
Christian Dr. Beyer
Günter Schütz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Leybold Vakuum GmbH
Leybold Vacuum GmbH
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Publication of EP1422423A1 publication Critical patent/EP1422423A1/en
Publication of EP1422423B1 publication Critical patent/EP1422423B1/en
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/602—Mounting in cavities
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D17/00—Radial-flow pumps, e.g. centrifugal pumps; Helico-centrifugal pumps
    • F04D17/08—Centrifugal pumps
    • F04D17/16—Centrifugal pumps for displacing without appreciable compression
    • F04D17/168—Pumps specially adapted to produce a vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps

Definitions

  • the invention relates to a device with a Housing in which there is at least one evacuable Chamber is located, as well as with a housing Friction vacuum pump, which with the to be evacuated Chamber is connected.
  • the associated friction vacuum pump is equipped with several connection openings. These each have a different pressure level.
  • Frictional vacuum pumps of this type are preferably used the evacuation of corpuscular beam devices (e.g. B. mass spectrometers) with by fading from each other separate chambers in which during the operation of the Corpuscular beam device generates different pressures and should be maintained.
  • corpuscular beam devices e.g. B. mass spectrometers
  • Such devices with the associated, to be evacuated chambers itself in an independent housing. With this housing are the connection openings of the friction vacuum pump a separate junction box with relatively long Connection lines (15, 26, 17) connected with the disadvantage relatively high conductance losses.
  • the present invention is based on the object an establishment of the type concerned here with an essential improved connection geometry between the chamber (s) to be evacuated and the friction vacuum pump to accomplish.
  • this object is achieved in that the housing of the device has a bore inside which is the friction vacuum pump.
  • a particular advantage of the invention is that a friction pump can be used where the initially described functions of the usual, one-piece housing divided into two components are.
  • An inner component ensures the assignment of Chassis, stator and rotor to each other. This creates a friction vacuum pump in the form of a slide-in, the already many functional tests, e.g. B. that of balancing, can be subjected.
  • the outer case has the task of being functional even without an outer housing Friction vacuum pump to the application of the Adapt to customers. It is no longer necessary to have one Manufacture or keep ready a variety of friction pump types but just one or a few universal, compact and functional pump units (Slots, cartridges).
  • FIG. 1 shows a friction vacuum pump 1 with a stator 3, Rotor 4 and chassis 5 shown.
  • chassis 5 Located in chassis 5 the motor drive 6, 7, the armature 7 over supports the bearings 8 in the chassis 5. With the anchor 7 the shaft 9 led out of the chassis 5 is connected, which carries the rotor 4.
  • the axis of rotation of the rotor system is designated 11.
  • the friction vacuum pump 1 according to the figure 1 three pump stages 12, 13, 14, two of which (12, 13) as turbomolecular vacuum pump stages and one (14) as Molecular (Holweck) pump stage are formed. To the Molecular pump stage 14 closes the outlet of the Pump 17 on.
  • the pump 1 has two housings 18, 19 equipped.
  • the inner housing 18 is essentially cylindrical and surrounds the stator 3. On its high-vacuum side, it is with an inside equipped edge 20 of the stator 3rd rests and in this case the upper one Stator ring forms.
  • the housing 18 is on the fore-vacuum side attached to the chassis 5, using the flange 21. Flange 21 and chassis 5 are vacuum tight connected with each other. For this purpose, between the flange 21 and the chassis 5 of the sealing ring 21 '.
  • the outer housing 19 has an inner bore 22 with an inward gradation 23, the height corresponds to the width of the edge 20 on the first housing 18.
  • a seal 24 which is expedient in the end face of the housing 18 is embedded. Also a radial one Sealing is possible.
  • Has fore-vacuum side also the housing 19 a device, e.g. the flange 25, with which it is attached to the chassis 5 or to the housing 18 is. After loosening this attachment, the of the inner housing 18 and the components therein unit formed as a whole from the bore 22 be taken out. It forms one of the second housing 19 independent insert 27.
  • the first pump stage 12 is located on the high vacuum side consisting of four pairs of rotor blade rows and stator blade rows. Your inlet, the effective gas passage area, is designated by 26. The edge 20 surrounds the gas passage surface 26 and forms a passage opening 28 for gases entering pump 1.
  • the second is connected to the first pump stage 12 Pump stage 13, which consists of three pairs of one stator blade row each and a row of rotor blades. Your entry is marked 29.
  • the second pump stage 13 is from the first pump stage 12 spaced.
  • the selected distance (height) a secures the free access to the gas molecules to be pumped Gas inlet 29.
  • the distance a is expediently greater than a quarter, preferably greater than a third, of Diameter of the rotor system 4.
  • the subsequent Holweck pump includes one rotating cylinder section 30, the outside and inside in a known manner, each with a thread groove 31, 32 equipped stator elements 33, 34 face each other.
  • Another opening formed by the inner housing 18 is arranged laterally and designated 35. she is used for the passage of gases that directly Inlet 29 of the second pump stage 13 are supplied.
  • the outer housing 19 has the task of pump 1 or two pump stages (12, 13) of this pump with the device to connect the customer.
  • the housing 19 is formed in the embodiment of Figure 1 such that the levels of all the connection openings 36, 37 are located on the side. This is special the distance of the opening 37 to the associated gas inlet 29 very small, so the pumping speed of the pump stage 13 impairing conductance losses negligible are. This would also apply to any other intermediate connection apply to the downstream of the intermediate connection 37/29. Otherwise the diameter exceeds the connection opening 37 the height a by about Double. This measure also serves the reduction the conductance losses between inlet 29 and connection opening 37.
  • the side connection openings can be equipped with one flange each. In the embodiment according to Figure 1 is a common one Flange 39 provided.
  • the pump 1 shown or its pump-effective elements are expediently designed such that a pressure of 10 -4 to 10 -7 , preferably 10 -5 to 10 -6 , and in the area of the connection opening 36 A pressure of approximately 10 -2 to 10 -4 mbar is generated in the area of the connection opening 37.
  • the second pumping stage is intended to generate a high pumping speed (eg 200 l / s).
  • the subsequent two-stage Holweck pump stage (29, 30; 29, 31) ensures high fore-vacuum resistance, so that the pumping speed of the second pump stage is usually independent of the fore-vacuum pressure.
  • FIG. 2 shows a single-flow friction vacuum pump 1, their pump-active surfaces exclusively from stator blades 41 and rotor blades 42 are formed (Turbomolecular vacuum pump).
  • the second, outer casing 19 carries on the face the flange 43, which is the face arranged connection opening 44 surrounds.
  • FIG 3 shows a device 51 according to the invention with chambers 52, 53, 54 to be evacuated and an insert-shaped one Unit 27, as described for Figure 1 has been.
  • the housing of the device - e.g. a corpuscular beam device - is essentially in one piece trained and designated 55.
  • Close of the chambers 53, 54 to be evacuated is the housing equipped with the bore 22 in which the insert 27 is located.
  • Via the passage openings 28, 35 in the housing 18 of the insert 27 and the connection openings 36, 37 are the chambers 53, 54 with the respective Inlets 26, 29 in connection.
  • connection means are omitted.
  • the distances between the chambers to be evacuated 53, 54 and Inlets 26, 29 are optimally small.
  • the two components are made of two concentric ones Housings formed, of which the interior of the centering, Assignment and mounting of chassis 5, stator 3 and rotor 4, which thereby serves the already operational, form a rack that is independent of the outer housing.
  • the outer housing 19, 55 seals the vacuum pump towards the outside and serves to connect with those to be evacuated Chambers, be it via connecting flanges or in that it is already part of the facility with the chambers to be evacuated.
  • the inner slide-in replace the inner housing with a tie rod system.
  • This enables a more compact design of the interior Slot.
  • the tie rod system Components are easier to manufacture.
  • the tie rods take over the centering of stator rings, so that these themselves no longer with Centering devices must be equipped.
  • FIGS. 4 and 5 show exemplary embodiments (FIG 4: longitudinal section through an insert 27; Figure 5: Cross section through an insert 27 at the level of the opening 35) for an inner insert 27 with a tie rod system 61.
  • This comprises three to six (or more) tie rods 62 as well as holes and threads in the components (chassis 5, stator 3), which from the tie rod system 61 to a Unit to be assembled.
  • Figures 4 and 5 show that the opening 35 extends over the entire circumference of the insert 27 and is only interrupted by the tie rods 62. Access of the gas molecules to the inlet 29 of the pump stage 13 (shown in plan view in FIG. 5) is thereby almost freely.
  • Figure 4 leaves the structure of a particularly advantageous design Recognize tie rods 62. They are formed in two parts.
  • the fore-vacuum tie rod sections 63 with their heads 64 penetrate the stator rings of the pump stage 13 and the outer stator element 33 of the pump stage 14. Their threaded ends are in the Flange 21 of the chassis 5 screwed in.
  • the length of the Heads 64 determine the axial extent of opening 35.
  • High vacuum side Heads 64 each have an internal thread, in the respective high-vacuum-side tie rod sections 65 are screwable.
  • Their heads 66 are on top Stator ring of pump stage 13. Assert in the rest they cause the stator rings of the pump stage 12 and thereby not only a connection when screwed in High vacuum level 12 with the other levels 13 and 14 but also a centering of the stator rings.

Abstract

The pump (1) has chassis (5), stator (3), rotor (4), and a two- part housing (18,19). The first inner part is mainly cylindrical and surrounds the stator. It has a passage (28,35) for gases entering the pump. The second housing part has connection apertures (36,37), and a bore (22) to accommodate the first housing part with pump components. It also has a connection flange (39) on the side. The second housing part is a component of a device, which has a chamber to be evacuated.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung mit einem Gehäuse, in dem sich mindestens eine evakuierbare Kammer befindet, sowie mit einer ein Gehäuse aufweisende Reibungsvakuumpumpe, welche mit der zu evakuierenden Kammer verbunden ist.The invention relates to a device with a Housing in which there is at least one evacuable Chamber is located, as well as with a housing Friction vacuum pump, which with the to be evacuated Chamber is connected.

Eine Einrichtung dieser Art ist aus der EP-A-0 603 694 (= DE 43 31 589) bekannt. Die zugehörige Reibungsvakuumpiunpe ist mit mehreren Anschlussöffnungen ausgerüstet. Diese haben jeweils ein unterschiedliches Druckniveau. Reibungsvakuumpumpen dieser Art dienen vorzugsweise der Evakuierung von Korpuskularstrahlgeräten (z. B. Massenspektrometern) mit durch Blenden voneinander getrennten Kammern, in denen während des Betriebs des Korpuskularstrahlgerätes unterschiedliche Drücke erzeugt und aufrecht erhalten werden soll. Solche Geräte mit den zugehörigen, zu evakuierbaren Kammern befinden sich in einem unabhängigen Gehäuse. Mit diesem Gehäuse sind die Anschlussöffnungen der Reibungsvakuumpumpe über ein separates Anschlussgehäuse mit relativ langen Anschlussleitungen (15, 26, 17) verbunden mit dem Nachteil relativ hoher Leitwertverluste.A device of this type is known from EP-A-0 603 694 (= DE 43 31 589) known. The associated friction vacuum pump is equipped with several connection openings. These each have a different pressure level. Frictional vacuum pumps of this type are preferably used the evacuation of corpuscular beam devices (e.g. B. mass spectrometers) with by fading from each other separate chambers in which during the operation of the Corpuscular beam device generates different pressures and should be maintained. Such devices with the associated, to be evacuated chambers itself in an independent housing. With this housing are the connection openings of the friction vacuum pump a separate junction box with relatively long Connection lines (15, 26, 17) connected with the disadvantage relatively high conductance losses.

Aus den Dokumenten 34 02 549 und DE-A-43 14 419 sind weitere Reibungsvakuumpumpen (Turbomolekularpumpen, Pumpen mit Turbomolekularpumpenstufen und anderen Reibungspumpenstufen) mit einer Bauart bekannt, wie sie z. Zt. üblich ist und auf dem Markt angeboten wird. Sie besitzen ein Chassis, das mit dem Antriebsmotor ausgerüstet ist und auf dem sich der Rotor abstützt. Außerdem stützt sich das Gehäuse der Pumpe auf dem Chassis ab. Es umgibt den Rotor und den Stator und auch mehr oder weniger das Chassis. Das Gehäuse sichert die Zuordnung der genannten Bauteile zueinander. Weiterhin hat es die Aufgabe, den aus Statorhalbring-Scheiben und Distanzringen bestehenden Stator exakt zu zentrieren, damit die bei Reibungsvakuumpumpen notwendigen kleinen Spalte eingehalten werden können. Das Gehäuse dichtet die Vakuumpumpe nach außen hin ab. Schließlich ist es mit dem stirnseitig angeordneten Anschlussflansch ausgerüstet, mit dem die Reibungsvakuumpumpen an Einrichtungen mit zu evakuierenden Kammern angeschlossen werden.From documents 34 02 549 and DE-A-43 14 419 are further friction vacuum pumps (turbomolecular pumps, Pumps with turbomolecular pump stages and other friction pump stages) known with a design such as z. Is currently common and is offered on the market. she have a chassis equipped with the drive motor and on which the rotor is supported. Moreover the pump housing rests on the chassis from. It surrounds the rotor and stator, and more or less the chassis. The housing ensures the assignment of the components mentioned to each other. Farther it has the task of being made of stator half washers and To center the spacer rings of the existing stator exactly, thus the small ones required for friction vacuum pumps Column can be met. The housing seals the vacuum pump towards the outside. After all it is equipped with the connecting flange on the front, with which the friction vacuum pumps on equipment with chambers to be evacuated.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung der hier betroffenen Art mit einer wesentlich verbesserten Anschluss-Geometrie zwischen der/den zu evakuierenden Kammern und der Reibungsvakuumpumpe zu schaffen.The present invention is based on the object an establishment of the type concerned here with an essential improved connection geometry between the chamber (s) to be evacuated and the friction vacuum pump to accomplish.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass das Gehäuse der Einrichtung eine Bohrung aufweist, innerhalb der sich die Reibungsvakuumpumpe befindet.According to the invention, this object is achieved in that the housing of the device has a bore inside which is the friction vacuum pump.

Durch diese Maßnahmen wird es möglich, auf ein separates, aufwendiges Anschlussgehäuse verzichten zu können. Außerdem werden Leitwertverluste durch die kammernahe Anbindung der Reibungsvakuumpumpe klein gehalten und damit die prozessabhängigen niedrigen Kammerdrücke technisch günstig realisiert. Eine optimale Leitwert-Situation wird erreicht.These measures make it possible to use a separate to be able to do without complex connection housings. In addition, conductance losses due to the proximity of the chamber Connection of the friction vacuum pump kept small and thus the process-dependent low chamber pressures technically cheap. An optimal conductance situation is achieved.

Ein besonderer Vorteil der Erfindung besteht darin, dass eine Reibungspumpe eingesetzt werden kann, bei der die eingangs beschriebenen Funktionen des bisher üblichen, einteiligen Gehäuses auf zwei Bauteile verteilt sind. Ein inneres Bauteil sichert die Zuordnung von Chassis, Stator und Rotor zueinander. Dadurch entsteht eine Reibungsvakuumpumpe in Form eines Einschubs, die bereits vielen Funktionsprüfungen, z. B. der des Auswuchtens, unterworfen werden kann. Das äußere Gehäuse hat die Aufgabe, die auch ohne äußeres Gehäuse funktionstüchtige Reibungsvakuumpumpe an die Applikation des Kunden anzupassen. Es ist nicht mehr erforderlich, eine Vielfalt von Reibungspumpentypen herzustellen oder bereitzuhalten, sondern lediglich eine oder wenige universelle, kompakte und funktionsfähige Pumpeinheiten (Einschübe, Kartuschen). Es reicht aus, den Kunden über die äußeren Abmessungen der einschubförmigen Reibungsvakuumpumpe zu informieren. Eine besonders einfache Lösung für ihn besteht darin, dass er in dem Gehäuse oder Gehäuseteil seiner mit der Bohrung versehenden Einrichtung (Anlage, Gerät oder dergleichen mit einer oder mehreren zu evakuierenden Kammern) lediglich eine einschubförmige Reibungsvakuumpumpe einsetzen kann. Im betriebsfertigen Zustand bildet dann das Gehäuse oder Gehäuseteil der Einrichtung des Kunden das zweite äußere Gehäuse der erfindungsgemäßen Reibungsvakuumpumpe. A particular advantage of the invention is that that a friction pump can be used where the initially described functions of the usual, one-piece housing divided into two components are. An inner component ensures the assignment of Chassis, stator and rotor to each other. This creates a friction vacuum pump in the form of a slide-in, the already many functional tests, e.g. B. that of balancing, can be subjected. The outer case has the task of being functional even without an outer housing Friction vacuum pump to the application of the Adapt to customers. It is no longer necessary to have one Manufacture or keep ready a variety of friction pump types but just one or a few universal, compact and functional pump units (Slots, cartridges). It is enough to tell the customer the external dimensions of the insert-type friction vacuum pump to inform. A particularly simple solution for him is that he is in the housing or Housing part of his device provided with the bore (System, device or the like with one or several chambers to be evacuated) only one insert-shaped one Friction vacuum pump can use. Im ready to use Condition then forms the housing or housing part the customer's second exterior Housing of the friction vacuum pump according to the invention.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von den Figuren 1 bis 5 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen

  • Figur 1 eine mit drei Pumpstufen ausgerüstete Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung,
  • Figur 2 eine Turbomolekularvakuumpumpe nach der Erfindung,
  • Figur 3 eine mit einer Reibungsvakuumpumpe nach der Erfindung ausgerüstete Einrichtung und
  • Figuren 4 und 5 Schnitte durch eine Ausführung des Einschubs mit Zugankern.
Further advantages and details of the invention will be explained with reference to the exemplary embodiments shown in FIGS. 1 to 5. Show it
  • FIG. 1 shows a friction vacuum pump according to the invention equipped with three pump stages,
  • FIG. 2 shows a turbomolecular vacuum pump according to the invention,
  • 3 shows a device equipped with a friction vacuum pump according to the invention and
  • Figures 4 and 5 sections through a design of the insert with tie rods.

In Figur 1 ist eine Reibungsvakuumpumpe 1 mit Stator 3, Rotor 4 und Chassis 5 dargestellt. Im Chassis 5 befindet sich der Motorantrieb 6, 7, dessen Anker 7 sich über die Lager 8 im Chassis 5 abstützt. Mit dem Anker 7 ist die aus dem Chassis 5 herausgeführte Welle 9 verbunden, die den Rotor 4 trägt. Die Drehachse des Rotorsystems ist mit 11 bezeichnet.1 shows a friction vacuum pump 1 with a stator 3, Rotor 4 and chassis 5 shown. Located in chassis 5 the motor drive 6, 7, the armature 7 over supports the bearings 8 in the chassis 5. With the anchor 7 the shaft 9 led out of the chassis 5 is connected, which carries the rotor 4. The axis of rotation of the rotor system is designated 11.

Insgesamt besitzt die Reibungsvakuumpumpe 1 nach Figur 1 drei Pumpstufen 12, 13, 14, von denen zwei (12, 13) als Turbomolekularvakuumpumpstufen und eine (14) als Molekular(Holweck)-Pumpstufe ausgebildet sind. An die Molekularpumpstufe 14 schließt sich der Auslass der Pumpe 17 an.Overall, the friction vacuum pump 1 according to the figure 1 three pump stages 12, 13, 14, two of which (12, 13) as turbomolecular vacuum pump stages and one (14) as Molecular (Holweck) pump stage are formed. To the Molecular pump stage 14 closes the outlet of the Pump 17 on.

Erfindungsgemäß ist die Pumpe 1 mit zwei Gehäusen 18, 19 ausgerüstet. Das innere Gehäuse 18 ist im wesentlichen zylindrisch und umgibt den Stator 3. Auf seiner hochvakuumseitigen Stirnseite ist es mit einem nach innen gerichteten Rand 20 ausgerüstet, der dem Stator 3 aufliegt und in diesem Falle gleichzeitig den oberen Statörring bildet. Vorvakuumseitig ist das Gehäuse 18 am Chassis 5 befestigt, und zwar mit Hilfe des Flansches 21. Flansch 21 und Chassis 5 sind vakuumdicht miteinander verbunden. Dazu ist zwischen dem Flansch 21 und dem Chassis 5 der Dichtring 21' angeordnet.According to the invention, the pump 1 has two housings 18, 19 equipped. The inner housing 18 is essentially cylindrical and surrounds the stator 3. On its high-vacuum side, it is with an inside equipped edge 20 of the stator 3rd rests and in this case the upper one Stator ring forms. The housing 18 is on the fore-vacuum side attached to the chassis 5, using the flange 21. Flange 21 and chassis 5 are vacuum tight connected with each other. For this purpose, between the flange 21 and the chassis 5 of the sealing ring 21 '.

Das äußere Gehäuse 19 besitzt eine innere Bohrung 22 mit einer einwärts gerichteten Stufung 23, deren Höhe der Breite des Randes 20 am ersten Gehäuse 18 entspricht. Zwecks Abdichtung des Spaltes zwischen den beiden Gehäusen 18, 19 zur Hochvakuumseite der Pumpe 1 hin befindet sich zwischen deren Rand 20 und der Stufung 23 eine Dichtung 24, die zweckmäßig in die Stirnseite des Gehäuses 18 eingelassen ist. Auch eine radiale Abdichtung ist möglich. Vorvakuumseitig besitzt auch das Gehäuse 19 eine Vorrichtung, z.B. den Flansch 25, mit dem es am Chassis 5 oder auch am Gehäuse 18 befestigt ist. Nach dem Lösen dieser Befestigung kann die vom inneren Gehäuse 18 und den darin befindlichen Bauteilen gebildete Einheit als Ganzes aus der Bohrung 22 herausgenommen werden. Sie bildet einen vom zweiten Gehäuse 19 unabhängigen Einschub 27.The outer housing 19 has an inner bore 22 with an inward gradation 23, the height corresponds to the width of the edge 20 on the first housing 18. To seal the gap between the two housings 18, 19 to the high vacuum side of the pump 1 is between the edge 20 and the gradation 23 a seal 24, which is expedient in the end face of the housing 18 is embedded. Also a radial one Sealing is possible. Has fore-vacuum side also the housing 19 a device, e.g. the flange 25, with which it is attached to the chassis 5 or to the housing 18 is. After loosening this attachment, the of the inner housing 18 and the components therein unit formed as a whole from the bore 22 be taken out. It forms one of the second housing 19 independent insert 27.

Die erste, hochvakuumseitig gelegene Pumpstufe 12 besteht aus vier Paaren von Rotorschaufelreihen und Statorschaufelreihen. Ihr Einlass, die wirksame Gasdurchtrittsfläche, ist mit 26 bezeichnet. Der Rand 20 umgibt die Gasdurchtrittsfläche 26 und bildet eine Durchtrittsöffnung 28 für in die Pumpe 1 eintretenden Gase. An die erste Pumpstufe 12 schließt sich die zweite Pumpstufe 13 an, die aus drei Paaren von je einer Statorschaufelreihe und einer Rotorschaufelreihe besteht. Ihr Einlass ist mit 29 bezeichnet.The first pump stage 12 is located on the high vacuum side consisting of four pairs of rotor blade rows and stator blade rows. Your inlet, the effective gas passage area, is designated by 26. The edge 20 surrounds the gas passage surface 26 and forms a passage opening 28 for gases entering pump 1. The second is connected to the first pump stage 12 Pump stage 13, which consists of three pairs of one stator blade row each and a row of rotor blades. Your entry is marked 29.

Die zweite Pumpstufe 13 ist von der ersten Pumpstufe 12 beabstandet. Der gewählte Abstand (Höhe) a sichert die freie Zugänglichkeit der zu fördernden Gasmoleküle zum Gaseinlass 29. Zweckmäßig ist der Abstand a größer als ein Viertel, vorzugsweise größer als ein Drittel des Durchmessers des Rotorsystems 4.The second pump stage 13 is from the first pump stage 12 spaced. The selected distance (height) a secures the free access to the gas molecules to be pumped Gas inlet 29. The distance a is expediently greater than a quarter, preferably greater than a third, of Diameter of the rotor system 4.

Die sich daran anschließende Holweck-Pumpe umfasst einen rotierenden Zylinderabschnitt 30, dem außen und innen in bekannter Weise mit jeweils einer Gewindenut 31, 32 ausgerüstete Statorelemente 33, 34 gegenüberstehen.The subsequent Holweck pump includes one rotating cylinder section 30, the outside and inside in a known manner, each with a thread groove 31, 32 equipped stator elements 33, 34 face each other.

Eine weitere, vom inneren Gehäuse 18 gebildete Öffnung ist seitlich angeordnet und mit 35 bezeichnet. Sie dient dem Durchtritt von Gasen, die unmittelbar dem Einlass 29 der zweiten Pumpstufe 13 zugeführt werden.Another opening formed by the inner housing 18 is arranged laterally and designated 35. she is used for the passage of gases that directly Inlet 29 of the second pump stage 13 are supplied.

Das äußere Gehäuse 19 hat die Aufgabe, die Pumpe 1 bzw. zwei Pumpenstufen (12, 13) dieser Pumpe mit der Einrichtung des Kunden zu verbinden. Das Gehäuse 19 ist beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 derart ausgebildet, dass sich die Ebenen sämtlicher Verbindungsöffnungen 36, 37 seitlich befinden. Dadurch ist insbesondere der Abstand der Öffnung 37 zum zugehörigen Gaseinlass 29 sehr klein, so dass das Saugvermögen der Pumpstufe 13 beeinträchtigende Leitwertverluste vernachlässigbar sind. Dieses würde auch für jeden weiteren Zwischenanschluss gelten, der stromabwärts vom Zwischenanschluss 37/29 gelegen wäre. Im übrigen überschreitet der Durchmesser der Anschlussöffnung 37 die Höhe a um etwa das Doppelte. Auch diese Maßnahme dient der Verringerung der Leitwertverluste zwischen Einlass 29 und Anschlussöffnung 37. Die seitlichen Verbindungsöffnungen können mit je einem Flansch ausgerüstet sein. Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 ist ein gemeinsamer Flansch 39 vorgesehen.The outer housing 19 has the task of pump 1 or two pump stages (12, 13) of this pump with the device to connect the customer. The housing 19 is formed in the embodiment of Figure 1 such that the levels of all the connection openings 36, 37 are located on the side. This is special the distance of the opening 37 to the associated gas inlet 29 very small, so the pumping speed of the pump stage 13 impairing conductance losses negligible are. This would also apply to any other intermediate connection apply to the downstream of the intermediate connection 37/29. Otherwise the diameter exceeds the connection opening 37 the height a by about Double. This measure also serves the reduction the conductance losses between inlet 29 and connection opening 37. The side connection openings can be equipped with one flange each. In the embodiment according to Figure 1 is a common one Flange 39 provided.

Die dargestellte Pumpe 1 bzw. ihre pumpwirksamen Elemente (Stator-, Rotorschaufeln, Gewiridestufen) sind zweckmäßig derart ausgebildet, dass im Bereich der Anschlussöffnung 36 ein Druck von 10-4 bis 10-7, vorzugsweise 10-5 bis 10-6, und im Bereich der Anschlussöffnung 37 ein Druck von etwa 10-2 bis 10-4 mbar erzeugt wird. Dadurch ergibt sich für die erste Pumpstufe 12 die Notwendigkeit, für ein Kompressionsverhältnis von 102 bis 104, vorzugsweise größer 100, zu sorgen. Mit der zweiten Pumpstufe soll ein hohes Saugvermögen erzeugt werden (z.B. 200 l/s). Die sich anschließende, zweistufige Holweck-Pumpstufe (29, 30; 29, 31) sichert eine hohe Vorvakuumbeständigkeit, so dass üblicherweise das Saugvermögen der zweiten Pumpstufe vom Vorvakuumdruck unabhängig ist.The pump 1 shown or its pump-effective elements (stator, rotor blades, Gewiridestufen) are expediently designed such that a pressure of 10 -4 to 10 -7 , preferably 10 -5 to 10 -6 , and in the area of the connection opening 36 A pressure of approximately 10 -2 to 10 -4 mbar is generated in the area of the connection opening 37. This results in the need for the first pump stage 12 to provide a compression ratio of 10 2 to 10 4 , preferably greater than 100. The second pumping stage is intended to generate a high pumping speed (eg 200 l / s). The subsequent two-stage Holweck pump stage (29, 30; 29, 31) ensures high fore-vacuum resistance, so that the pumping speed of the second pump stage is usually independent of the fore-vacuum pressure.

Für den Fall, dass im Bereich der Anschlussöffnung 36 ein besonders hohes Saugvermögen nicht gefordert wird, kann dieses Ziel durch entsprechende Gestaltung der Schaufeln der ersten Pumpstufe 12 erreicht werden. Eine andere Möglichkeit besteht darin, vor dem Einlass 26 der ersten Pumpstufe eine Blende 38 anzuordnen, deren Innendurchmesser das gewünschte Saugvermögen bestimmt.In the event that 36 a particularly high pumping speed is not required, can achieve this goal by designing the Buckets of the first pump stage 12 can be reached. A another possibility is in front of the inlet 26 the first pump stage to arrange an aperture 38, the Inner diameter determines the desired pumping speed.

Figur 2 zeigt eine einflutige Reibungsvakuumpumpe 1, deren pumpaktive Flächen ausschließlich von Statorschaufeln 41 und Rotorschaufeln 42 gebildet werden (Turbomolekularvakuumpumpe). Das zweite, äußere Gehäuse 19 trägt stirnseitig den Flansch 43, der die stirnseitig angeordnete Verbindungsöffnung 44 umgibt. Um eine Pumpe 1 dieser Art mit einer anderen Flanschart und/oder Flanschgröße auszurüsten, ist es lediglich erforderlich, das äußere Gehäuse 19 zu demontieren und durch ein Gehäuse 19 mit dem gewünschten Flansch zu ersetzen.FIG. 2 shows a single-flow friction vacuum pump 1, their pump-active surfaces exclusively from stator blades 41 and rotor blades 42 are formed (Turbomolecular vacuum pump). The second, outer casing 19 carries on the face the flange 43, which is the face arranged connection opening 44 surrounds. To one Pump 1 of this type with a different type of flange and / or flange size, it is only necessary to to disassemble the outer housing 19 and to be replaced by a housing 19 with the desired flange.

Figur 3 zeigt eine Einrichtung 51 nach der Erfindung mit zu evakuierenden Kammern 52, 53, 54 und einer einschubförmigen Einheit 27, wie sie zu Figur 1 beschrieben wurde. Das Gehäuse der Einrichtung - z.B. ein Korpuskularstrahlgerät - ist im wesentlichen einstückig ausgebildet und mit 55 bezeichnet. In unmittelbarer Nähe der zu evakuierenden Kammern 53, 54 ist das Gehäuse mit der Bohrung 22 ausgerüstet, in der sich der Einschub 27 befindet. Über die Durchtrittsöffnungen 28, 35 im Gehäuse 18 des Einschubs 27 und die Verbindungsöffnungen 36, 37 stehen die Kammern 53, 54 mit den jeweiligen Einlässen 26, 29 in Verbindung. Durch die Integration des Einschubs 27 im Gehäuse der Einrichtung 51 entfallen gesonderte Anschlussmittel. Die Abstände zwischen den zu evakuierenden Kammern 53,54 und den Einlässen 26, 29 sind optimal klein.Figure 3 shows a device 51 according to the invention with chambers 52, 53, 54 to be evacuated and an insert-shaped one Unit 27, as described for Figure 1 has been. The housing of the device - e.g. a corpuscular beam device - is essentially in one piece trained and designated 55. Close of the chambers 53, 54 to be evacuated is the housing equipped with the bore 22 in which the insert 27 is located. Via the passage openings 28, 35 in the housing 18 of the insert 27 and the connection openings 36, 37 are the chambers 53, 54 with the respective Inlets 26, 29 in connection. Through integration of the insert 27 in the housing of the device 51 separate connection means are omitted. The distances between the chambers to be evacuated 53, 54 and Inlets 26, 29 are optimally small.

Der Kern der vorliegenden Idee liegt darin, dass eine weitgehend funktionsfähige Einheit (Einschub, Kartusche) einer Reibungsvakuumpumpe in einem der Applikation angepassten Gehäuse lösbar gehaltert ist. Das bisher beschriebene innere Gehäuse 18 hat die Aufgabe, die Funktionselemente der Reibungsvakuumpumpe zu der gewünschten Einheit zusammenzufassen. Anstelle des Gehäuses können auch andere Bauteile - z.B. Zuganker, Klammern oder dgl. - vorhanden sein, die diese Aufgabe erfüllen. Wesentlich ist, dass für die Erfüllung der Funktionen des sonst üblichen Gehäuses beim Gegenstand der Erfindung zwei Bauelemente 18 bzw. 19,55 vorgesehen sind. Bei den Ausführungen nach den Figuren 1 bis 3 werden die beiden Bauelemente von zwei konzentrischen Gehäusen gebildet, von denen das innere der Zentrierung, Zuordnung und Halterung von Chassis 5, Stator 3 und Rotor 4 dient, welche dadurch den bereits betriebsfähigen, vom äußeren Gehäuse unabhängigen Einschub bilden. Das äußere Gehäuse 19, 55 dichtet die Vakuumpumpe nach außen ab und dient der Verbindung mit den zu evakuierenden Kammern, sei es über Anschlussflansche oder dadurch, dass es bereits Bestandteil der Einrichtung mit den zu evakuierenden Kammern ist. The essence of the present idea is that a largely functional unit (insert, cartridge) a friction vacuum pump in one of the application adapted housing is releasably supported. So far inner housing 18 has the task of Functional elements of the friction vacuum pump to the desired Summarize unity. Instead of the housing other components - e.g. Tie rods, brackets or the like - be present, which fulfill this task. It is essential that for the fulfillment of the Functions of the usual housing for the object the invention two components 18 and 19.55 provided are. In the embodiments according to FIGS. 1 to 3 the two components are made of two concentric ones Housings formed, of which the interior of the centering, Assignment and mounting of chassis 5, stator 3 and rotor 4, which thereby serves the already operational, form a rack that is independent of the outer housing. The outer housing 19, 55 seals the vacuum pump towards the outside and serves to connect with those to be evacuated Chambers, be it via connecting flanges or in that it is already part of the facility with the chambers to be evacuated.

Besonders zweckmäßig ist es, beim inneren Einschub das innere Gehäuse durch ein Zugankersystem zu ersetzen. Dieses ermöglicht eine kompaktere Gestaltung des inneren Einschubs. Außerdem können vom Zugankersystem zusammengehaltene Bauteile einfacher hergestellt werden. Beispielsweise übernehmen die Zuganker die Zentrierung von Statorringen, so dass diese selbst nicht mehr mit Zentriermitteln ausgerüstet sein müssen.It is particularly expedient for the inner slide-in replace the inner housing with a tie rod system. This enables a more compact design of the interior Slot. In addition, can be held together by the tie rod system Components are easier to manufacture. For example, the tie rods take over the centering of stator rings, so that these themselves no longer with Centering devices must be equipped.

Die Figuren 4 und 5 zeigen Ausführungsbeispiele (Figur 4: Längsschnitt durch einen Einschub 27; Figur 5: Querschnitt durch einen Einschub 27 in Höhe der Öffnung 35) für einen inneren Einschub 27 mit einem Zugankersystem 61. Dieses umfasst drei bis sechs (oder mehr) Zuganker 62 sowie Bohrungen und Gewinde in den Bauteilen (Chassis 5, Stator 3), die vom Zugankersystem 61 zu einer Baueinheit zusammengefügt werden sollen.FIGS. 4 and 5 show exemplary embodiments (FIG 4: longitudinal section through an insert 27; Figure 5: Cross section through an insert 27 at the level of the opening 35) for an inner insert 27 with a tie rod system 61. This comprises three to six (or more) tie rods 62 as well as holes and threads in the components (chassis 5, stator 3), which from the tie rod system 61 to a Unit to be assembled.

Die Figuren 4 und 5 lassen erkennen, dass sich die Öffnung 35 über den gesamten Umfang des Einschubs 27 erstreckt und nur durch die Zuganker 62 unterbrochen ist. Der Zugang der Gasmoleküle zum Einlass 29 der Pumpstufe 13 (in Figur 5 in Draufsicht dargestellt) ist dadurch nahezu ungehindert frei. Die Befestigung des äußeren Gehäuses - sei es das zweite Gehäuse 18, das weitere Funktionen eines Pumpgehäuses erfüllt, oder ein Gehäuse 55, das Bestandteil eines Gerätes mit zu evakuierenden Kammern ist - erfolgt am Flansch 21 des Chassis 5.Figures 4 and 5 show that the opening 35 extends over the entire circumference of the insert 27 and is only interrupted by the tie rods 62. Access of the gas molecules to the inlet 29 of the pump stage 13 (shown in plan view in FIG. 5) is thereby almost freely. The attachment of the outer Housing - be it the second housing 18, the further one Functions of a pump housing, or a housing 55, the component of a device to be evacuated Chambers is - takes place on the flange 21 of the chassis 5th

Figur 4 lässt den Aufbau besonders vorteilhaft gestalteter Zuganker 62 erkennen. Sie sind zweiteilig ausgebildet. Die vorvakuumseitigen Zugankerabschnitte 63 mit ihren Köpfen 64 durchsetzen die Statorringe der Pumpstufe 13 und das äußere Statorelement 33 der Pumpstufe 14. Ihre mit einem Gewinde versehenen Enden sind in den Flansch 21 des Chassis 5 eingeschraubt. Die Länge der Köpfe 64 bestimmt die axiale Ausdehnung der Öffnung 35. Figure 4 leaves the structure of a particularly advantageous design Recognize tie rods 62. They are formed in two parts. The fore-vacuum tie rod sections 63 with their heads 64 penetrate the stator rings of the pump stage 13 and the outer stator element 33 of the pump stage 14. Their threaded ends are in the Flange 21 of the chassis 5 screwed in. The length of the Heads 64 determine the axial extent of opening 35.

Im Bereich ihrer hochvakuumseitigen Stirnseite sind die Köpfe 64 jeweils mit einem Innengewinde versehen, in die jeweils hochvakuumseitige Zugankerabschnitte 65 einschraubbar sind. Ihre Köpfe 66 liegen dem obersten Statorring der Pumpstufe 13 auf. In übrigen durchsetzen sie die Statorringe der Pumpstufe 12 und bewirken dadurch im eingeschraubten Zustand nicht nur eine Verbindungder Hochvakuumstufe 12 mit den übrigen Stufen 13 und 14 sondern auch eine Zentrierung der Statorringe.They are in the area of their high vacuum side Heads 64 each have an internal thread, in the respective high-vacuum-side tie rod sections 65 are screwable. Their heads 66 are on top Stator ring of pump stage 13. Assert in the rest they cause the stator rings of the pump stage 12 and thereby not only a connection when screwed in High vacuum level 12 with the other levels 13 and 14 but also a centering of the stator rings.

Claims (21)

Einrichtung (51) mit einem Gehäuse (55), in dem sich mindestens eine evakuierbare Kammer (52, 53, 54) befindet, sowie mit einer ein Gehäuse aufweisende Reibungsvakuumpumpe, welche mit der zu evakuierenden Kammer verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (55) der Einrichtung (51) eine Bohrung (22) aufweist, innerhalb der sich die Reibungsvakuumpumpe befindet.Device (51) with a housing (55) in which there is at least one evacuable chamber (52, 53, 54), and with a friction vacuum pump having a housing, which is connected to the chamber to be evacuated, characterized in that the housing (55) of the device (51) has a bore (22) within which the friction vacuum pump is located. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Reibungsvakuumpumpe ein Gehäuse, ein Chassis (5), einen Stator (3) und einen Rotor (4) aufweist, dass für die Erfüllung der Funktionen des Gehäuses der Reibungsvakuumpumpe zwei Bauelemente (18, 61; 55) vorgesehen sind, von denen das erste, innere Bauelement (18, 61) der Zuordnung, Zentrierung und Halterung von Chassis (5), Stator (3) und Rotor (4) dient und mit diesen Bauteilen als Einheit montiert ist, und von denen das zweite Bauelement (55) der Abdichtung der Reibungsvakuumpumpe nach außen sowie der Verbindung mit der zu evakuierenden Kammer dient und vom Gehäuse (55) der Einrichtung (51) gebildet wird. Device according to claim 1, characterized in that the friction vacuum pump has a housing, a chassis (5), a stator (3) and a rotor (4), that for the fulfillment of the functions of the housing of the friction vacuum pump two components (18, 61; 55) are provided, of which the first, inner component (18, 61) serves to assign, center and hold the chassis (5), stator (3) and rotor (4) and is assembled with these components as a unit, and from which the second component (55) serves to seal the friction vacuum pump to the outside and to connect to the chamber to be evacuated and is formed by the housing (55) of the device (51). Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Reibungsvakuumpumpe mehrstufig ausgebildet ist, dass die Kammern (52, 53, 54) seitlich neben der Reibungsvakuumpumpe angeordnet sind und dass die Kammern über Durchtrittsöffnungen (28, 35) im inneren Bauelement (18, 61) der Pumpe sowie Verbindungsöffnungen (36, 37) im gemeinsamen Gehäuse (55) mit dem Einlass (26, 29) von Reibungspumpenstufen (12, 13, 14) verbunden sind.Device according to claim 2, characterized in that the friction vacuum pump is designed in several stages, that the chambers (52, 53, 54) are arranged laterally next to the friction vacuum pump and that the chambers via passage openings (28, 35) in the inner component (18, 61) the pump and connection openings (36, 37) in the common housing (55) are connected to the inlet (26, 29) of friction pump stages (12, 13, 14). Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Reibungsvakuumpumpe (1) zumindest abschnittsweise als Turbomolekularvakuumpumpe mit Rotorschaufelreihen und Statorschaufelreihen ausgebildet ist, dass der Stator mehrere Statorringe aufweist und dass das erste, innere Bauelement (18, 61) neben der Zuordnung und Halterung von Chassis (5), Stator (3) und Rotor (4) auch der Zentrierung der Statorringe dient und mit diesen Bauteilen eine Einheit bildet. Device according to claim 2 or 3, characterized in that the friction vacuum pump (1) is designed, at least in sections, as a turbomolecular vacuum pump with rows of rotor blades and rows of stator blades, that the stator has several stator rings and that the first, inner component (18, 61), in addition to assigning and holding the chassis (5), stator (3) and rotor (4), also serves to center the stator rings and forms a unit with these components. Einrichtung nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das erste innere Bauelement der Pumpe (1) ein inneres Gehäuse (18) ist.Device according to claim 2, 3 or 4, characterized in that the first inner component of the pump (1) is an inner housing (18). Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich im Bereich der Hochvakuumseite der Pumpe (1) zwischen innerem Gehäuse (18) und äußerem Gehäuse (19, 55) eine Dichtung (24) befindet.Device according to claim 5, characterized in that a seal (24) is located in the area of the high vacuum side of the pump (1) between the inner housing (18) and the outer housing (19, 55). Einrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass inneres und äußeres Gehäuse (18; 19, 55) im Bereich der Vorvakuumseite der Pumpe (1) mit Flanschen ausgerüstet sind, die am Chassis (5) lösbar befestigt sind.Device according to claim 5 or 6, characterized in that the inner and outer housing (18; 19, 55) in the region of the fore-vacuum side of the pump (1) are equipped with flanges which are detachably fastened to the chassis (5). Einrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das innere Gehäuse (18) der Pumpe (1) hochvakuumseitig mit einem nach innen gerichteten Rand (20) ausgerüstet ist.Device according to one of claims 5 to 7, characterized in that the inner housing (18) of the pump (1) is equipped on the high vacuum side with an inwardly directed edge (20). Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der nach innen gerichtete Rand (20) der Pumpe (1) einen ersten, hochvakuumseitig angeordneten Statorring bildet.Device according to claim 8, characterized in that the inward edge (20) of the pump (1) forms a first stator ring arranged on the high vacuum side. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, der hochvakuumseitigen Stirnseite des inneren Gehäuses (18) der Pumpe (1) eine stufenförmige Verjüngung (23) der Bohrung (22) des äußeren Gehäuses (19, 55) zugeordnet ist.Device according to one of the preceding claims 5 to 9, characterized in that a stepped taper (23) of the bore (22) of the outer housing (19, 55) is associated with the high-vacuum end of the inner housing (18) of the pump (1). Einrichtung nach den Ansprüchen 6 und 10, dadurch gekennzeichnet, dass sich zwischen der Stirnseite des inneren Gehäuses (18) und der von der Durchmesserverjüngung gebildeten Stufe (23) des äußeren Gehäuses (19, 55) der Pumpe (1) ein O-Ring (24) befindet.Device according to Claims 6 and 10, characterized in that an O-ring (between 24) is located. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 2 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass das hochvakuumseitig gelegene Ende des inneren Gehäuses (18) eine Durchtrittsöffnung (28) für die in die Pumpe (1) eintretenden Gase bildet.Device according to one of the preceding claims 2 to 11, characterized in that the end of the inner housing (18) on the high vacuum side forms a passage opening (28) for the gases entering the pump (1). Einrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das innere Gehäuse (18) der Pumpe (1) mit mindestens einer weiteren stromabwärts gelegenen Durchtrittsöffnung (35) für eintretende Gase ausgerüstet ist.Device according to claim 12, characterized in that the inner housing (18) of the pump (1) is equipped with at least one further downstream opening (35) for entering gases. Einrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlussflansch (39) der Pumpe (1) seitlich am zweiten Gehäuse (55) angeordnet ist.Device according to one of claims 2 to 13, characterized in that the connecting flange (39) of the pump (1) is arranged on the side of the second housing (55). Einrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass im äußeren Gehäuse (55) der Pumpe (1) ein oder mehrere Verbindungskanäle (36, 37) ausgebildet sind, die die Verbindung zwischen den Durchtrittsöffnungen (28, 35) und der oder den zu evakuierenden Kammern (52 bis 55) herstellen.Device according to claim 12 or 13, characterized in that in the outer housing (55) of the pump (1) one or more connecting channels (36, 37) are formed, which connect the through openings (28, 35) and the or Create evacuating chambers (52 to 55). Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das erste innere Bauelement der Pumpe (1) von einem Zugankersystem (61) gebildet wird.Device according to claim 2, characterized in that the first inner component of the pump (1) is formed by a tie rod system (61). Einrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass das Zugankersystem (61) mehrere Zuganker (62) umfasst, die den Stator (3) mit dem Chassis (5) verbinden.Device according to claim 16, characterized in that the tie rod system (61) comprises a plurality of tie rods (62) which connect the stator (3) to the chassis (5). Einrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuganker (62) die Statorringe durchsetzen.Device according to claim 17, characterized in that the tie rods (62) pass through the stator rings. Einrichtung nach einem der Ansprüche 16 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Zuganker (62) zweiteilig ausgebildet sind und jeweils aus einem vorvakuumseitigen Zugankerabschnitt (63) mit Kopf (64) und einem hochvakuumseitigen Zugankerabschnitt (65) mit Kopf (66) bestehen.Device according to one of claims 16 to 18, characterized in that the tie rods (62) are formed in two parts and each consist of a fore-vacuum tie rod section (63) with head (64) and a high-vacuum tie rod section (65) with head (66). Einrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge des Kopfes (64) des vorvakuumseitigen Zugankerabschnittes (63) die axiale Ausdehnung einer Durchtrittsöffnung (35) zwischen Hochvakuumstufe (12) und Vorvakuumstufe (13 bzw. 13, 14) bestimmt.Device according to claim 19, characterized in that the length of the head (64) of the fore-vacuum tie rod section (63) determines the axial extent of a passage opening (35) between the high-vacuum stage (12) and the forevacuum stage (13 or 13, 14). Pumpe nach einem der Ansprüche 19 oder 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Köpfe (64) der vorvakuumseitigen Zugstangenabschnitte (63) jeweils stirnseitig mit einem Gewinde ausgerüstet sind, in das die hochvakuumseitigen Zugankerabschnitte (65) einschraubbar sind.Pump according to one of Claims 19 or 20, characterized in that the heads (64) of the pull rod sections (63) on the fore-vacuum side are each provided on the end face with a thread into which the pull-rod sections (65) on the high-vacuum side can be screwed.
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