EP1296536A2 - Elektroakustischer Wandler - Google Patents

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EP1296536A2
EP1296536A2 EP02450170A EP02450170A EP1296536A2 EP 1296536 A2 EP1296536 A2 EP 1296536A2 EP 02450170 A EP02450170 A EP 02450170A EP 02450170 A EP02450170 A EP 02450170A EP 1296536 A2 EP1296536 A2 EP 1296536A2
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EP
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electrode
membrane
electrostatic
principle
electrodes
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EP02450170A
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EP1296536A3 (de
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Richard Ing. Pribyl
Hugo Dipl.-Ing. Lenhard-Backhaus
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AKG Acoustics GmbH
Original Assignee
AKG Acoustics GmbH
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00Electrostatic transducers
    • H04R19/04Microphones
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; ELECTRIC HEARING AIDS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00Electrostatic transducers
    • H04R19/01Electrostatic transducers characterised by the use of electrets
    • H04R19/016Electrostatic transducers characterised by the use of electrets for microphones

Definitions

  • the invention relates to electro-acoustic transducers working on an electrostatic basis work as a sound pickup and are housed in a microphone capsule. Such Regardless of their physical mode of operation, transducers have a membrane, which is exposed to the sound field and is excited to vibrate by it.
  • the object of the invention is thus an electrostatic microphone.
  • the electrodes of the electrostatic converter are elastic, kept taut Membrane and a rigid electrode, which is usually only called the electrode. Together they form a capacitor, the electrical capacity of which changes due to pressure fluctuations Sound field, which cause a change in the geometry, is changed. Between an electric field is built up in the electrodes of the electrostatic converter, it is possible, the capacity changes of the converter with the help of a downstream amplifier convert into electrical voltage changes.
  • Electrostatic converters, or capsules can be used in relation to the type of Application of the electric field between their electrodes divided into two groups become:
  • Electrostatic converters in which the charges causing an electric field with the help of an externally applied voltage (polarization voltage): - Condenser capsules.
  • Electrostatic transducers where the electrical charge on the electrode or membrane is "frozen", making an externally applied voltage obsolete: - Electret.
  • the electroacoustic properties of the electrostatic microphone capsules (the sensitivity, the frequency response of the sensitivity and the directional characteristic) largely dependent on the vibration behavior of the membrane. Because the membrane at different frequencies experience different types of movement (vibration modes), and there the electrostatic converters convert the membrane movements into electrical Perform voltage, it is clear that the sensitivity of the microphone converter in Dependence on the frequency is a function that is difficult to keep smooth.
  • the intensity distribution of the electric field is on the one hand from the geometric distribution the charge carrier (electrons) on one of the electrodes, and on the other hand from The distance between the two electrodes depends, with a small change of the distance brings about a large change in the field intensity.
  • one of the electrodes is covered with a thin layer of electret.
  • the layer is in Usually made from a Teflon film, which has excellent electrical insulation properties has good storage properties for the electrical charge carriers.
  • the means that with such electrostatic capsules according to the electret principle, the distribution of the electric field between the electrodes from the distribution of the electrons is determined on the Teflon layer of the electrode.
  • the division was in the prior art the carrier of the electric charge - electrons - left to chance.
  • the electrical charge on the Teflon layer has been heavily dependent until now a targeted distribution of the electrons over the electrode surface is not feasible, yes distribution obtained was not even measurable.
  • electrostatic converters that work on the capacitor principle, one serves the Microphone capsule connected to external electrical voltage as a source for generating of the electric field between the electrodes of the capacitor. Because both electrodes The geometrical distribution is flat and smooth in the electrical sense of the electric field between the electrodes homogeneous and not controllable from the outside. This means that in electrostatic converters based on the capacitor principle uniform and practically unchangeable charge distribution was guaranteed.
  • WO 82/00745 A describes a concave or convex electrode which is made of metal and is used in electrostatic transducers based on the capacitor principle work, a different intensity of the electric field between different Placing the electrodes creates without affecting the effects of these changes is received.
  • the aim of the invention is a geometric distribution of the intensity of the electrical Field between the electrode and the membrane of electrostatic transducers, both those based on the electret principle as well as those based on the capacitor principle work, to create that can vary within wide limits, for example according to the wishes of the manufacturer or user.
  • this goal is achieved in that the electrode has at least two has different areas over a different charge carrier density feature.
  • the electrode in its edge area can be after the Electret principle and be built in their central area according to the capacitor principle. This makes it possible to "stick" the membrane in the edge area of the electrode there is no fear of applying a much higher charge density than in the central area of the electrode, which is sensitive to "sticking".
  • the membrane on the capacitor principle it is possible to use the membrane on the capacitor principle to build up, but at least two areas of the electrode, preferably one central circular area and at least one concentrically arranged ring area are electrically separated from each other and supplied with different voltages, so that different charge densities develop in the different areas.
  • FIG. 1 shows a section normal to the plane of an electrode 1 with a teflon layer 2 coated base substrate 3.
  • the density of the applied to the Teflon layer 2 According to the invention, electrons are not uniform over the surface but in the edge area 5 higher than in the central area 4. Because of this distribution there is between the shown electrode and the (not shown) membrane with an electric field an intensity distribution as shown in FIG. 2: In the edge area 5 is the intensity significantly higher than in central area 4, so there is a risk of "sticking" in it sensitive area is significantly reduced. It also becomes the characteristic of the microphone, favorably influenced.
  • Fig. 3 shows a variant of the invention, in which the electrode 1 'of an electrostatic Microphone converter, a combination of two sub-electrodes 6, 7, wherein the partial electrode 6 according to the electret principle and the partial electrode 7 according to the capacitor principle is working.
  • the annular partial electrode 6 lying on the peripheral area is as usual for electret electrodes, coated with a Teflon layer, which is known Way is charged with carriers.
  • the central, circular partial electrode 7 is as usual for capacitor electrodes, designed as a metal electrode. 4 shows the associated intensity distribution of the electric field between the electrode according to Fig. 3 and the membrane of the microphone transducer, not shown.
  • Fig. 5 shows the electrode 1 "of an electrostatic microphone converter according to the The capacitor principle works, which consists of two electrically insulated sub-electrodes 8, 9 exists. These two sub-electrodes, separated by an electrically insulating ring-shaped one Area 10, can now be charged with different densities, simply by applying different voltages accordingly. It is clear that the Level of these voltages, if necessary, also by the user himself, if desired can be regulated, making a simple and subtle adjustment to the respective Desires and areas of application can be achieved.
  • 6 shows the associated intensity distribution of the electric field between 5 and the membrane, also not shown in this example of the microphone converter.
  • the invention is not limited to the exemplary embodiments shown, but rather can be modified in various ways. So the distribution of the cargo can well also be different than (circular) ring-shaped, if this distribution is also due to the additional Effect of reducing the risk of sticking is particularly preferred. Since the Vibration modes of the membrane also have shapes that are not rotationally symmetrical with regard to the center of the membrane, it can be quite favorable to be star-shaped or choose other distributions to match those associated with these modes Particularly emphasize or attenuate sound frequencies.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine elektrostatische Mikrofonkapsel mit einer Membrane, die dem Schallfeld ausgesetzt ist und von diesem zu Schwingungen angeregt wird und mit einer im Abstand von der Membrane angeordneten Elektrode (1)
Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (1) zumindest zwei Bereiche (4,5) mit unterschiedlicher Ladungsdichte aufweist.
In einer bevorzugten Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die zumindest beiden Bereiche (5,6) aus einem zumindest im wesentlichen kreisförmigen (4) und zumindest einem im wesentlichen ringförmigen (5) Bereich bestehen.

Description

Die Erfindung betrifft auf elektrostatischer Basis arbeitende elektroakustische Wandler, die als Schallnehmer arbeiten und in einer Mikrofonkapsel untergebracht sind. Derartige Wandler weisen, unabhängig von ihrer physikalischen Arbeitsweise, eine Membrane auf, die dem Schallfeld ausgesetzt ist und von diesem zu Schwingungen angeregt wird.
Der Gegenstand der Erfindung ist somit ein elektrostatisches Mikrofon.
Die Elektroden des elektrostatischen Wandlers sind eine elastische, gespannt gehaltene Membrane und eine starre Elektrode, die meist nur Elektrode genannt wird. Gemeinsam bilden sie einen Kondensator, dessen elektrische Kapazität durch Druckschwankungen des Schallfeldes, die ja eine Änderung der Geometrie bewirken, verändert wird. Da zwischen den Elektroden des elektrostatischen Wandlers ein elektrisches Feld aufgebaut ist, ist es möglich, die Kapazitätsänderungen des Wandlers mit Hilfe eines nachgeschalteten Verstärkers in elektrische Spannungsänderungen umzuwandeln.
Aus der WO 97/39464 A ist es bekannt, die starre Elektrode auf einem elektrisch isolierenden Träger aufzubringen, der Vertiefungen aufweist, um das Luftvolumen "hinter" der Membrane zu vergrößern und so ihrem Schwingen weniger Widerstand entgegenzusetzen. Da die Elektrode auf den bereits ausgeformten Träger aufgebracht wird, weist sie den Vertiefungen entsprechende "Löcher" auf, die aber einen Durchmesser von nur wenigen Mikrometern haben, sodass die Elektrode in makroskopischer Hinsicht homogen ist.
Elektrostatische Wandler, oder auch Kapseln genannt, können in Bezug auf die Art der Aufbringung des elektrischen Feldes zwischen ihren Elektroden in zwei Gruppen aufgeteilt werden:
Elektrostatische Wandler, bei denen die ein elektrisches Feld verursachenden Ladungen mit Hilfe einer extern angelegten Spannung (Polarisationsspannung) aufgebracht werden: - Kondensatorkapseln.
Elektrostatische Wandler, bei denen die elektrische Ladung auf der Elektrode oder Membrane "eingefroren" ist, sodass dadurch eine extern angelegte Spannung obsolet wird: - Elektretkapsel.
Die elektroakustischen Eigenschaften der elektrostatischen Mikrofonkapseln (die Empfindlichkeit, der Frequenzverlauf der Empfindlichkeit und die Richtcharakteristik) sind maßgeblich vom Schwingungsverhalten der Membrane abhängig. Da die Membrane bei verschiedenen Frequenzen verschiedene Bewegungsarten erfährt (Schwingmoden), und da die elektrostatischen Wandler die Umwandlung der Membranbewegungen in elektrische Spannung durchführen, ist es klar, dass die Empfindlichkeit des Mikrofonwandlers in Abhängigkeit von der Frequenz eine nur schwer glatt zu haltende Funktion ist.
Im Stand der Technik ist es beiden Arten von elektrostatischen Wandlern gemeinsam, dass die Intensitätsverteilung des elektrischen Feldes zwischen den Elektroden des Kondensators, nach dem Aufbau der Mikrofonkapsel unveränderlich und homogen ist und nur von jeweiligen Fertigungstoleranzen abhängig ist.
Die Intensitätsverteilung des elektrischen Feldes ist einerseits von der geometrischen Verteilung der Ladungsträger (Elektronen) auf einer der Elektroden, und andererseits vom Abstand zwischen den beiden Elektroden abhängig, wobei bereits eine kleine Veränderung des Abstandes eine große Veränderung der Feldintensität mit sich bringt.
Bei elektrostatischen Kapseln, die nach dem oben erläuterten Elektretprinzip arbeiten, ist eine der Elektroden mit einer dünnen Elektretschicht überzogen. Die Schicht wird im Regelfall aus einer Teflonfolie hergestellt, die durch hervorragende elektrische Isolationseigenschaften gute Speichereigenschaften für die elektrischen Ladungsträger aufweist. Das bedeutet, dass bei solchen elektrostatischen Kapseln nach dem Elektretprinzip die Verteilung des elektrischen Feldes zwischen den Elektroden von der Aufteilung der Elektronen auf der Teflonschicht der Elektrode bestimmt wird. Im Stand der Technik war die Aufteilung der Träger der elektrischen Ladung - Elektronen - rein dem Zufall überlassen. Trotz der bekannten Tatsache, dass akustische Eigenschaften der Mikrofonkapseln von der Aufteilung der elektrischen Ladung auf der Teflonschicht stark abhängig sind, war bis jetzt eine gezielte Aufteilung der Elektronen über die Elektrodenfläche nicht machbar, ja die erhaltene Verteilung nicht einmal meßbar war.
Auf der einundzwanzigsten Tonmeistertagung in Hannover wurde ein Messverfahren vorgestellt, mit dem die Verteilung erfasst werden kann. Es hat sich bei Untersuchungen bestehender Elektretkapseln gezeigt, dass es beim Aufbringen der Ladungen, trotz aller Vorsichtsmaßnahmen oft zu einer ungleichmäßigen Verteilung der Ladung kommt.
Dabei wurde als Beispiel für die Auswirkung derartiger bei der Herstellung anscheinend unvermeidlicher Abweichungen, gezeigt, dass ein Fehlen von Ladungen im Zentrumsbereich einer Elektrode eine meßbare Änderung des Frequenzgangs einer Mikrofonkapsel zur Folge hat, ohne dass auf die Art dieser Änderung eingegangen wurde.
Diese ungleichmäßigen Ladungsverteilungen sind nun aber nicht durchgehend negativ für die gewünschte akkustisch-elektrische Umwandlung, sondern ermöglichen es beispielsweise, physikalische Randbedingungen voll auszunutzen. Es sei dazu nur darauf verwiesen, dass bei freischwingenden Membranen immer die Gefahr besteht, dass sie bei großen Schalldruckamplituden mit ihrem Zentrumsbereich der Elektrode so nahe kommen, dass die elektrostatischen Anziehungskräfte die elastischen Rückstellkräfte überwiegen und die Membrane mit ihrem zentralen Bereich an der Elektrode "festklebt". Diese Gefahr besteht nun im Randbereich, in dem ja die Membrane eingespannt ist, nicht, sodass eine Ladungsverteilung mit geringer Ladungsdichte im Zentrum und hoher Ladungsdichte im Randbereich vorteilhaft ist.
Bei elektrostatischen Wandlern, die auf dem Kondensatorprinzip arbeiten, dient eine an die Mikrofonkapsel angeschlossene externe elektrische Spannung als Quelle für das Generieren des elektrischen Feldes zwischen den Elektroden des Kondensators. Da beide Elektroden plane und im elektrischen Sinne glatte Flächen sind, ist die geometrische Verteilung des elektrischen Feldes zwischen den Elektroden homogen und von außen nicht steuerbar. Das bedeutet, dass bei elektrostatischen Wandlern nach dem Kondensatorprinzip eine gleichmäßige und praktisch unveränderliche Ladungsverteilung gewährleistet war.
Beiden Arten von elektrostatischen Kapseln ist es, wie eingangs ausgeführt, gemeinsam, dass eine Veränderung des Abstandes zwischen den Elektroden unweigerlich zu einer Veränderung der Intensität des elektrischen Feldes führt Dabei ist es aus dem Stand der Technik bekannt, die Lage der Elektroden so zu verändern, dass sie nicht zueinander parallel liegen. In der WO 82/00745 A ist eine konkave oder konvexe Elektrode beschrieben, die aus Metall hergestellt ist und die in elektrostatischen Wandlern, die nach dem Kondensatorprinzip arbeiten, eine unterschiedliche Intensität des elektrischen Feldes zwischen verschiedenen Stellen der Elektroden schafft, ohne dass auf die Auswirkungen dieser Änderungen eingegangen wird.
Die Erfindung hat das Ziel eine geometrische Verteilung der Intensität des elektrischen Feldes zwischen der Elektrode und der Membrane von elektrostatischen Wandlern, sowohl solchen, die nach dem Elektretprinzip als auch solchen, die nach dem Kondensatorprinzip arbeiten, zu schaffen, die in weiten Grenzen variieren kann, beispielsweise nach den Wünschen des Herstellers bzw. Benutzers.
Erfindungsgemäß wird dieses Ziel dadurch erreicht, dass die Elektrode zumindest zwei unterschiedliche Bereiche aufweist die über eine unterschiedliche Ladungsträgerdichte verfügen.
In einer Ausgestaltung kann beispielsweise die Elektrode in ihrem Randbereich nach dem Elektretprinzip aufgebaut sein und in ihrem Zentralbereich nach dem Kondensatorprinzip. Dadurch ist es möglich, im Randbereich der Elektrode in dem ein "Festkleben" der Membrane nicht zu befürchten ist, eine wesentlich höhere Ladungsdichte aufzubringen als in dem für das "Festkleben" empfindlichen zentralen Bereich der Elektrode.
Bei einer anderen Ausführungsform ist es möglich, die Membrane nach dem Kondensatorprinzip aufzubauen, wobei aber zumindest zwei Bereiche der Elektrode, bevorzugt ein zentraler Kreisbereich und zumindest ein konzentrisch dazu angeordneter Ringbereich elektrisch voneinander getrennt sind und mit unterschiedlicher Spannung versorgt werden, sodass sich unterschiedliche Ladungsdichten in den unterschiedlichen Bereichen ausbilden.
Bei wieder einer anderen Ausführungsform ist es möglich, am Randbereich einer nach dem Elektretprinzip arbeitenden Elektrode eine höhere Ladungsintensität aufzubringen als im Zentralbereich und so im Randbereich die Ladungsdichte zu erhöhen.
Die Erfindung wird an Hand der Zeichnung näher beschrieben, dabei zeigt
  • die Fig. 1 eine teflonisierte Elektrode eines elektrostatischen Mikrofonwandlers nach dem Elektretprinzip
  • die Fig. 2 die zugehörige Intensitätsverteilung des elektrischen Feldes,
  • die Fig. 3 eine Kombination von Elektret- und Kondensator-Elektrode,
  • die Fig. 4 die zugehörige Intensitätsverteilung des elektrischen Feldes,
  • die Fig. 5 eine aus zwei Bereichen aufgebaute Kondensator-Elektrode und
  • die Fig. 6 die zugehörige Intensitätsverteilung des elektrischen Feldes.
  • Fig. 1 zeigt im Schnitt normal zur Ebene einer Elektrode 1 ein mit einer Teflonschichte 2 beschichtetes Grundsubstrat 3. Die Dichte der auf die Teflonschichte 2 aufgebrachten Elektronen ist nun erfindungsgemäß über die Fläche nicht gleichmäßig sondern im Randbereich 5 höher als im Zentralbereich 4. Aufgrund dieser Verteilung herrscht zwischen der dargestellten Elektrode und der (nicht dargestellten) Membrane ein elektrisches Feld mit einer Intensitätsverteilung wie sie in Fig. 2 dargestellt ist: Im Randbereich 5 ist die Intensität deutlich höher als im Zentralbereich 4, sodass die Gefahr des "Festklebens" in diesem sensiblen Bereich deutlich reduziert wird. Es wird darüberhinaus auch die Charakteristik des Mikrofons, günstig beeinflußt.
    Die Fig. 3 zeigt eine Variante der Erfindung, bei der die Elektrode 1' eines elektrostatischen Mikrofonwandlers, eine Kombination von zwei Teilelektroden 6, 7 darstellt, wobei die Teilelektrode 6 nach dem Elektretprinzip und die Teilelektrode 7 nach dem Kondensatorprinzip arbeitet. Die am peripheren Bereich liegende, ringförmige Teilelektrode 6 ist, wie für Elektretelektroden üblich, mit einer Teflonschicht beschichtet, die auf bekannte Weise mit Ladungsträgern aufgeladen ist. Die zentrale, kreisförmige Teilelektrode 7 ist, wie für Kondensatorelektroden üblich, als Metallelektrode ausgeführt. Die Fig. 4 zeigt die dazugehörige Intensitätverteilung des elektrischen Feldes zwischen der Elektrode gemäß Fig. 3 und der nicht dargestellten Membrane des Mikrofonwandlers.
    Es ist selbstverständlich möglich, den zentralen Bereich mit einer nach dem Elektretprinzip arbeitenden Elektrode und den Randbereich mit einer nach dem Kondensatorprinzip arbeitenden Elektrode zu versehen, was insbesondere wegen der bei nach dem Kondensatorprinzip (im Vergleich zum Elektretprinzip) arbeitenden Elektroden erreichbaren höheren Ladungsdichte vorteilhaft sein kann.
    Die Fig. 5 zeigt die Elektrode 1" eines elektrostatischen Mikrofonwandlers der nach dem Kondensatorprinzip arbeitet, die aus zwei voneinander elektrisch isolierten Teilelektroden 8, 9 besteht. Diese beiden Teilelektroden, getrennt von einem elektrisch isolierenden ringförmigen Bereich 10, können nun unterschiedlich dicht mit Ladung versehen werden, einfach durch entsprechendes Anlegen unterschiedlicher Spannungen. Es ist klar, dass die Höhe dieser Spannungen gegebenenfalls auch durch den Benutzer selbst nach Wunsch geregelt werden kann, wodurch eine einfache und subtile Anpassung an die jeweiligen Wünsche und Einsatzgebiete erzielt werden kann.
    Die Fig. 6 zeigt die dazugehörige Intensitätsverteilung des elektrischen Feldes zwischen der Elektrode gemäß Fig. 5 und der auch in diesem Beispiel nicht dargestellten Membrane des Mikrofonwandlers.
    Die Erfindung ist nicht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt, sondern kann verschiedentlich abgewandelt werden. So kann die Verteilung der Ladung durchaus auch anders als (kreis-) ringförmig sein, wenn diese Verteilung auch wegen des zusätzlichen Effektes der Verringerung der Gefahr des Festklebens besonders bevorzugt ist. Da die Schwingungsmoden der Membrane auch durchaus Formen aufweisen, die nicht drehsymmetrisch bezüglich der Membranmitte sind, kann es durchaus günstig sein, sternförmige oder auch andere Verteilungen zu wählen, um die mit diesen Schwingungsformen verbundenen Schallfrequenzen besonders hervorzuheben oder abzuschwächen.
    Wenn mehr als zwei Bereiche mit unterschiedlicher Ladungsdichte vorgesehen werden, so ist es sinnvoll, auch mehr als zwei Ladungsdichten vorzusehen. Dies kann, insbesondere bei Ausbildung mehrerer nach dem Kondensatorprinzip arbeitender Bereiche, durch die dann mögliche individuelle Abstimmung der einzelnen Bereiche zu sehr fein abstimmbaren und doch leicht erreichbaren Kenngrößen der Kapsel führen.
    In Kenntnis der Erfindung ist es für den Fachmann ein Leichtes, die entsprechenden Formen und Ladungsdichten bzw. Ladungsdichtenverhältnisse zu bestimmen.

    Claims (5)

    1. Elektrostatische Mikrofonkapsel mit einer Membrane, die dem Schallfeld ausgesetzt ist und von diesem zu Schwingungen angeregt wird und mit einer im Abstand von der Membrane angeordneten Elektrode (1,1',1"), dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (1,1',1") zumindest zwei Bereiche (4,5;6,7;8,9) mit unterschiedlicher Ladungsdichte aufweist.
    2. Mikrofonkapsel nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest beiden Bereiche (4,5;6,7;8,9) aus einem zumindest im wesentlichen kreisförmigen und zumindest einem im wesentlichen ringförmigen Bereich bestehen.
    3. Mikrofonkapsel nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der Bereiche (6,7) der Elektrode (1,1',1") nach dem Elektretprinzip und ein weiterer nach dem Kondensatorprinzip arbeitet.
    4. Mikrofonkapsel nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest zwei der Bereiche (8,9) der Elektrode (1") nach dem Kondensatorprinzip arbeiten und mit unterschiedlicher Spannung beaufschlagt werden.
    5. Mikrofonkapsel nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die unterschiedlichen Spannungen bzw. die Spannungsverhältnisse vom Benutzer der Mikrofonkapsel einstellbar sind.
    EP02450170A 2001-09-20 2002-08-02 Elektroakustischer Wandler Withdrawn EP1296536A3 (de)

    Applications Claiming Priority (2)

    Application Number Priority Date Filing Date Title
    AT0150301A ATA15032001A (de) 2001-09-20 2001-09-20 Elektroakustischer wandler
    AT20011503 2001-09-20

    Publications (2)

    Publication Number Publication Date
    EP1296536A2 true EP1296536A2 (de) 2003-03-26
    EP1296536A3 EP1296536A3 (de) 2004-01-28

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    ID=3688290

    Family Applications (1)

    Application Number Title Priority Date Filing Date
    EP02450170A Withdrawn EP1296536A3 (de) 2001-09-20 2002-08-02 Elektroakustischer Wandler

    Country Status (5)

    Country Link
    US (1) US20030053649A1 (de)
    EP (1) EP1296536A3 (de)
    JP (1) JP2003153395A (de)
    CN (1) CN1409576A (de)
    AT (1) ATA15032001A (de)

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    JP2003153395A (ja) 2003-05-23
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    US20030053649A1 (en) 2003-03-20
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