EP1276588A1 - Laserstrahl-schweissvorrichtung und verfahren zum laserstrahlschweissen - Google Patents

Laserstrahl-schweissvorrichtung und verfahren zum laserstrahlschweissen

Info

Publication number
EP1276588A1
EP1276588A1 EP01921300A EP01921300A EP1276588A1 EP 1276588 A1 EP1276588 A1 EP 1276588A1 EP 01921300 A EP01921300 A EP 01921300A EP 01921300 A EP01921300 A EP 01921300A EP 1276588 A1 EP1276588 A1 EP 1276588A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
laser beam
pressing
components
pressing element
welding device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP01921300A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Stefan Hierl
Peter Hluchy
Kai Lenfert
Gunter Küchler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Airbus DS GmbH
Original Assignee
Astrium GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Astrium GmbH filed Critical Astrium GmbH
Publication of EP1276588A1 publication Critical patent/EP1276588A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/03—Observing, e.g. monitoring, the workpiece
    • B23K26/034—Observing the temperature of the workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/009—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a non-absorbing, e.g. transparent, reflective or refractive, layer on the workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0643—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising mirrors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/18—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using absorbing layers on the workpiece, e.g. for marking or protecting purposes

Definitions

  • the present invention relates to a laser beam welding device with a pressing device for fixing the components to be welded, the pressing device including a pressing element that can be moved from a rest position into a pressing position.
  • the invention relates to a method for laser beam welding of components, wherein a pressing element, a pressing device for fixing the components to be welded, is moved from a rest position to a pressing position.
  • a laser beam welding device with a pressing device for fixing the components to be welded including a pressing element which can be moved from a rest position into a pressing position, the pressing element being designed to be elastically deformable and the pressing device is designed such that in the pressing position the components to be welded are fixed by a force resulting from a deformation of the pressing element.
  • the object of the present invention is therefore to provide an improved arrangement and an improved method for laser beam welding, which can be used in particular for components with a low degree of absorption of the corresponding laser radiation.
  • the pressing element is designed to be elastically deformable and the pressing device is designed in such a way that the components to be welded are fixed in the pressing position by a force resulting from a deformation of the pressing element.
  • a rigid, solid pressure element is therefore no longer provided, as in the prior art, which is the main cause of damage to the components.
  • the flexibility of the pressing element which results from its elastic deformability, enables the components to be fixed as gently as possible. According to the invention, it is now provided that at least one means for increasing the thermal energy absorbed by the components is provided due to an at least partial absorption of the laser beam.
  • the at least one means therefore ensures that additional radiation is absorbed from the laser beam and the corresponding, directly or indirectly generated thermal energy is supplied to the components in order to achieve a welding of the components by the resultant heating.
  • the at least one agent can either absorb additional portions of the radiation of the laser beam as a replacement for the components, or it can
  • BESTATIGUNGSKOPIE produce certain portions of the radiation-absorbing components in blocks for the components.
  • the agent can also increase the absorption of the radiation of the laser beam in the components themselves, for example by suitably influencing the radiation of the laser beam.
  • the degree of absorption achieved by the agent does not have to extend to complete absorption of the laser radiation. It is basically sufficient that the means supply the components with sufficient additional thermal energy, which results from the absorption of radiation components of the laser radiation, so that welding of the components is possible.
  • the at least one means contributes to the radiation absorption as a substitute for the components
  • the at least one means protrudes at least partially into the beam path of the laser beam at least in the pressing position and is designed such that an at least partial absorption of the laser beam through which at least one agent or secondary products of the at least one agent takes place.
  • the agent can therefore either remain unchanged under the influence of the laser radiation and can contribute to increasing the radiation absorption through the higher degree of absorption given by the agent itself.
  • an at least partial chemical or physical conversion of the agent can also take place, either the conversion being initiated by the absorption of radiation components of the laser radiation and the conversion itself providing additional thermal energy, or the subsequent products resulting from the conversion contributing to the absorption of the laser radiation and thereby additional thermal energy can be supplied.
  • an absorbent material for the sake of simplicity, reference is generally made to an absorbent material, but this basically means that either the material itself, its conversion or its secondary products contribute to absorption.
  • the at least one means can be formed, for example, by a partial area of the pressing element.
  • the pressing element in particular can consist of a material that absorbs the laser beam, that is to say it can have an absorbing effect over its entire extent in this partial area.
  • the pressing element has a coating that absorbs the laser beam in the partial area.
  • the pressure element in its remaining extent does not have to show the absorbing effect in this partial area.
  • the at least one means can also be formed by a component that is independent of the pressing element, in particular by an absorbent made of a material that absorbs the laser beam and is arranged at least in the pressing position between the pressing element and the components.
  • a temperature-stable material in particular a metallic or ceramic material
  • a material can be provided as the material which undergoes a chemical or physical conversion, such as an oxidation when it is irradiated by the laser beam, which releases thermal energy.
  • a material can be provided as the material which undergoes a chemical or physical conversion when irradiated by the laser beam (e.g. oxidation, evaporation or the like), the degree of absorption being increased due to the conversion, in particular by the resulting products being designed in such a way that they absorb the laser beam.
  • the at least one means can at least partially act at least in the pressing position as a beam trap for the laser beam and can be designed such that an at least partial back-reflection of the laser radiation of the laser beam reflected by the components onto the components is carried out by the at least one means.
  • the radiation that is just reflected by weakly absorbing components is thus directed onto the components again and the efficiency is increased without, for example, a stronger radiation source being necessary.
  • the beam trap can be formed, for example, by a suitable geometric design of the pressing element, but separate devices can also be provided on the pressing element, which form a beam trap.
  • the pressing element can in principle be arranged on the pressing device in any possible way in order to guarantee that the components to be welded are fixed relative to the laser beam welding device.
  • the pressing element is preferably arranged as close as possible to the beam path of the laser beam, ideally directly in the beam path of the laser beam.
  • the pressing element has an opening which is designed such that at least partial passage of the laser beam through the pressing element in the direction of the components to be welded is possible at least in the pressing position. Because of the flexibility of the pressing element, the opening does not have to be arranged in every position, that is to say, for example, not necessarily also in the rest position in the beam path of the laser beam.
  • the opening is only necessary for the opening to be arranged in the beam path of the laser beam after the components have been pressed on, that is to say after the pressing element has been deformed.
  • An arrangement of the pressing element in the beam path of the laser beam is particularly advantageous since it allows the components to be welded to be fixed directly in the area of the welding point.
  • the elastically deformable pressing element can be formed from any suitable material that has sufficient flexibility. Corresponding plastic materials are conceivable, for example. However, the boundary conditions given during the welding process, in particular regarding the temperature resistance of the pressing element, must be observed. Is preferred thus the pressing element is designed as a spring element made of metal, for example as a shaped metal strip. Such a metal strip is to be connected to the pressing device at least at one end. In order to have sufficient elastic deformability or spring action, the metal strip can be bent, preformed or bent by mounting on the pressing device. For example, the metal strip can either be pre-bent in a semicircular shape or a straight metal strip can be attached to the pressing device by bending at both ends.
  • a material should be selected for the pressure element that does not adhere to the components to be welded. If the pressing element is designed, for example, as a spring element made of metal, tungsten Cr-Ni steel or spring band steel is preferably chosen as the material for the pressing element.
  • a pyrometer In order to monitor the welding process as precisely as possible, a pyrometer can be provided, which is used to record the heat radiation emitted by the welding point.
  • the pyrometer must therefore be arranged so that the heat radiation emitted by the welding point reaches the pyrometer directly or through appropriate deflection devices.
  • a dichroic beam splitter is arranged in the beam path of the laser beam, which is designed such that the heat radiation emitted by the welding point is directed through the beam splitter to the pyrometer.
  • the existing optics for focusing the laser beam can also be used for the detection of heat radiation and the pyrometer does not have to be arranged in a direct line of sight to the welding point, but can be attached to the laser beam welding device at a suitable point.
  • an elastically deformable pressing element is connected to the pressing device in such a way that it is arranged in the beam path of the laser beam,
  • the pressing element is brought into the pressing position and is held in the pressing position under a defined contact pressure
  • At least one means for increasing the thermal energy absorbed by the components due to an at least partial absorption of the laser beam is arranged adjacent to the components and
  • the pressing element is held in the pressing position with the same defined contact pressure for fixing the components.
  • a laser beam welding device with a flexible pressing element is provided in a particularly simple manner and laser beam welding of components is carried out, damage to the components being avoided on the one hand by the elastic deformability of the pressing element and, on the other hand, damage being caused by introducing the opening with the aid of the laser beam elaborate adjustment of the device is dispensed with in that the opening in the pressing element is self-adjusted under the conditions given in the pressing position.
  • the provision of the at least one means for increasing the thermal energy absorbed by the components adjacent to the components to be welded ensures that the components themselves, even with only slight absorption of the laser radiation, sufficient thermal energy is supplied.
  • the agent is to be arranged adjacent to the components in such a way that there is sufficient thermal coupling between the agent and the components to reach the welding temperature of the components.
  • the power of the laser beam is regulated.
  • Such detection of the thermal radiation can take place, for example, with the aid of a pyrometer, as has already been explained above.
  • the thermal radiation can be detected particularly advantageously coaxially with the beam path of the laser beam.
  • the optics used to focus the laser beam can be used accordingly.
  • FIGS. 1 to 4. Show it:
  • Fig. 1 Schematic structure of the laser beam welding device with pressing device.
  • FIG. 6 shows a detail of a means for increasing the thermal energy absorbed by the components as a design of the pressing element as a beam trap
  • Laser beam heat conduction welding is used for laser beam welding in an overlap joint, for example for welding thin metal foils 3 with a thickness in the ⁇ m range, in particular with a thickness of less than 50 ⁇ m, onto a further metal foil 4 or onto a substrate 4 with a metallization 5.
  • an Nd: YAG laser (which can also be frequency-converted) or a CO2 laser can be used, for example.
  • the hold-down 2 essentially consists of an elastically deformable metal strip which is part of a pressing device 1. This can be attached directly to the focusing optics 8 or the housing 7 of the diode laser 13.
  • the metal strip 2 is bent in a semicircular shape or is already formed in a semicircular shape and, as shown in FIG. 1, is laterally fixed to a pressing device 1 located on the focusing optics 8. The hold-down device 2 is thus in the beam path of the laser beam 10.
  • this is moved, as shown in FIG. 2, from a rest position a) into a pressing position b) and thereby placed on a flat plate 14 until the hold-down device 2 assumes the same shape by elastic deformation how it is achieved during the actual welding process.
  • the hold-down device 2 is thus brought from an idle form 15 into an elastically deformed form 16.
  • the bore 6 is then made in the hold-down device by the laser beam 10.
  • the bore 6 thus produced has e.g. a diameter in the range of tenths of a millimeter.
  • a metal is used as the material for the hold-down device 2, in which the components to be welded, such as the metal foil 3, do not adhere to the Hold-down 2 occurs.
  • Suitable materials are, for example, tungsten, Cr-Ni steel or spring band steel.
  • the components 3, 4 are brought into their final position before welding, as shown in FIG. 3. They can be arranged on a carrier 9. The entire arrangement and thus the diode laser 13 and the pressing device 1 with the holding-down device 2 are lowered from a rest position a) into a pressing position b) onto the components 3, 4 until the holding-down device 2 touches the metal foil 3 lying on top and by further lowering Arrangement with the pressing device 1 is elastically deformed.
  • Typical travel speeds when lowering the arrangement are in the range from a few mm / s to a few hundred mm / s.
  • the contact pressure required for the welding process is applied.
  • the choice of the radius and the width and thickness of the metal strip for the hold-down device 2 determine the desired contact pressure at the desired distance of the focusing optics 8 from the surface of the metal foil 3. For example, metal strips with a thickness of a few tenths of a millimeter and a width of a few millimeters to a few centimeters are used.
  • the radius of the hold-down device 2 that is assembled is then preferably in the range of a few centimeters.
  • the metal foil 3 After the metal foil 3 has been pressed onto the underlying component 4, it is welded by a laser pulse.
  • the laser beam 10 hits the upper component 3 through the bore 6 in the holding-down device 2 and melts it.
  • the component underneath for example a metal foil 4 or a metallization 5 of a substrate 4, is likewise made by heat conduction melted.
  • the melts mix and there is permanent welding.
  • the process parameters laser power, focus position and pulse duration are set in such a way that damage to the components is avoided when welding is optimal.
  • Typical process times for welding silver foil with a thickness in the ⁇ m range on Si substrate with a metallization thickness also in the ⁇ m range are in the range from tenths of a millisecond to seconds, in particular from 10 to 500 milliseconds with a laser power in the range from 10 to 500 W.
  • a temperature control is necessary.
  • This temperature control is implemented in that the thermal radiation emitted by the welding point is detected by means of a pyrometer 11 (FIG. 4).
  • the pyrometer signal is used during the welding process to regulate the laser power so that a desired temperature profile is achieved over the duration of the process.
  • the pyrometer 11 used preferably works in a spectral range of wavelengths in the ⁇ m range and preferably has a measuring range up to approximately 2000 ° C., in particular from approximately 700 ° C. to 2000 ° C. Since the bore 6 in the hold-down device 2 through which the If heat radiation is emitted upwards from the welding point and has a very small diameter, heat radiation can only be directly measured from the welding point in a small solid angle. The heat radiation is therefore taken up coaxially with the laser radiation 10.
  • a dichroic beam splitter 12 is integrated into the beam path of the diode laser 13, which deflects the thermal radiation emitted by the welding point and collimated by the focusing optics 8 of the diode laser 13 by 90 ° into the pyrometer 11. If components 3, 4 are to be welded with the arrangement described, which have only a low degree of absorption for the laser radiation 10, additional means 17, 18, 19 can be provided to increase the thermal energy absorbed by the components 3, 4 Increase is based on an at least partial absorption of the laser beam. For this purpose, reference is made to the examples in FIGS. 5 to 7.
  • a partial region 17 of the pressing element 2 projects into the beam path of the laser beam 10 in the pressing position.
  • an absorption means 19 separate from the pressing means 2 the pressing position protrudes into the beam path of the laser beam 10, in which case the absorption means 19 is then ideally arranged in the pressing position between the pressing element 2 and the components 3, 4, so that the individual elements can be appropriately fixed to one another under the pressing pressure of the pressing element 2.
  • the elements 17, 19 projecting into the beam path of the laser beam 10 now make an additional contribution to the absorption of the radiation of the laser beam 10.
  • the elements 17, 19 in the areas which project into the beam path can either be made of a temperature-stable, for example metallic or ceramic material such as CrNi steel, which guarantees sufficient absorption of the laser radiation or the elements can have a corresponding coating such as graphite in these areas.
  • the material of the elements 17, 19 or their coating can also undergo chemical or physical conversion under the laser radiation 10.
  • additional thermal energy is generated either by the conversion itself, for example by oxidation or other combustion, for example of carbon, initiated by absorption of the laser radiation 10, or the conversion increases the degree of absorption of the agent 17, 19 or the components 3, 4 and thereby contributes to an improved total absorption.
  • the secondary products resulting from the conversion such as oxides, plasmas, melts or deposits of combustion products, can be on the components 3, 4 contribute to an increase in the absorption of the laser radiation 10 and thus the thermal energy supplied to the components 3, 4.
  • the laser radiation 10 itself can also be influenced in order to achieve increased absorption in the components 3, 4.
  • the laser radiation reflected by the components 3, 4 can be reflected back onto the components 3, 4, here with the aid of a beam trap 18.
  • FIG. 6 shows a possibility in which the beam trap 18 is formed by a suitable geometric configuration of the pressing element 2 or the area around the opening 6 in the pressing element 2. In Fig. 6 this area acts like a concave mirror, which reflects the reflected radiation back onto the components 3, 4.
  • the beam trap can also be formed by other suitable means in or on the pressing element 2 or independently of the pressing element 2.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laserstrahl-Schweißvorrichtung mit einer Anpressvorrichtung (1) zur Fixierung der zu schweißenden Bauteile (3, 4), wobei die Anpressvorrichtung (1) ein Anpresselement (2) beinhaltet, das von einer Ruheposition in eine Anpressposition bewegbar ist, wobei das Anpresselement (2) elastisch verformbar ausgebildet ist und die Anpressvorrichtung (1) derart ausgelegt ist, dass in der Anpressposition eine Fixierung der zu schweißenden Bauteile (3, 4) durch eine aus einer Verformung des Anpresselementes (2) resultierende Kraft erfolgt. Es ist außerdem mindestens ein Mittel (17, 18, 19) zur Erhöhung der von den Bauteilen (3, 4) aufgenommenen thermischen Energie aufgrund einer zumindest teilweisen Absorption des Laserstrahls (10) vorgesehen.

Description

Laserstrahl-Schweißvorrichtung und Verfahren zum Laserstrahlschweißen
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Laserstrahl-Schweißvorrichtung mit einer Anpressvorrichtung zur Fixierung der zu schweißenden Bauteile, wobei die Anpressvorrichtung ein Anpresselement beinhaltet, dass von einer Ruheposition in eine Anpressposition bewegbar ist. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Laserstrahlschweißen von Bauteilen, wobei ein Anpresselement eine Anpressvorrichtung zur Fixierung der zu schweißenden Bauteile von einer Ruheposition in eine Anpressposition bewegt wird.
Solche Anordnungen oder Verfahren sind aus dem Stand der Technik bereits aus EP 0 687 519 A1 und aus US 4,847,467 bekannt. Hierbei wird jeweils ein massives Anpresselement auf die zu verschweißenden Bauteile aufgepresst, wodurch die Bauteile zusammengehalten und teilweise deformiert werden. Solche Anordnungen oder Verfahren weisen jedoch den Nachteil auf, dass es zu Schädigungen der zu verschweißenden Bauteile kommen kann, insbesondere dann, wenn besonders empfindliche Bauteile verschweißt werden sollen.
Aus JP 5-77 071 A ist eine Laserstrahl-Schweißvorrichtung mit einer Anpressvorrichtung zur Fixierung der zu schweißenden Bauteile bekannt, wobei die Anpressvorrichtung ein Anpresselement beinhaltet, das von einer Ruheposition in eine Anpressposition bewegbar ist, wobei das Anpresselement elastisch verformbar ausgebildet ist und die Anpressvorrichtung derart ausgelegt ist, dass in der Anpressposition eine Fixierung der zu schweißenden Bauteile durch eine aus einer Verformung des Anpresselementes resultierende Kraft erfolgt.
Allerdings bietet keine dieser bekannten Lehren aus dem Stand der Technik eine Möglichkeit, eine sichere und effektive Verschweissung von Bauteilen zu realisieren, die nur einen geringen Absorptionsgrad für die Wellenlängenbereiche üblicher Materialbearbeitungslaser aufweisen. Mangels ausreichender Absorption kann in den zu verschweissenden Bauteilen nur dann eine ausreichende Temperatur erzeugt werden, um ein Verschweissen zu realisieren, wenn eine entsprechend hohe Laserleistung gewählt wird, wobei der Energieeintrag nur schwer zu dosieren ist und somit thermische Schädigungen verursacht werden können.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine verbesserte Anordnung und ein verbessertes Verfahren zum Laserstrahlschweißen bereit zu stellen, welches insbesondere für Bauteile mit geringem Absorptionsgrad der entsprechenden Laserstrahlung anwendbar ist.
Diese Aufgabe wird gelöst durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 18.
Bei der erfindungsgemäßen Laserstrahl-Schweißvorrichtung ist das Anpresselement elastisch verformbar ausgebildet und die Anpressvorrichtung derart ausgelegt, dass in der Anpressposition eine Fixierung der zu schweißenden Bauteile durch eine aus einer Verformung des Anpresselementes resultierende Kraft erfolgt. Es wird somit nicht mehr, wie im Stand der Technik, ein starres, massives Anpresselement vorgesehen, welches die hauptsächliche Ursache für Schädigungen der Bauteile ist. Durch die Flexibilität des Anpressele- mentes, die sich aus seiner elastischen Verformbarkeit ergibt, kann eine möglichst materialschonende Fixierung der Bauteile erreicht werden. Erfindungsgemäß ist nun vorgesehen, dass mindestens ein Mittel zur Erhöhung der von den Bauteilen aufgenommenen thermischen Energie aufgrund einer zumindest teilweisen Absorption des Laserstrahls vorgesehen ist. Das min- destens eine Mittel sorgt also dafür, dass zusätzliche Strahlung aus dem Laserstrahls absorbiert wird und die entsprechende, direkt oder indirekt entstehende thermische Energie den Bauteilen zugeführt wird, um durch eine dort resultierende Erwärmung eine Verschweissung der Bauteile zu erreichen. Das mindestens eine Mittel kann dabei entweder ersatzweise für die Bauteile zu- sätzliche Anteile der Strahlung des Laserstrahls absorbieren oder es kann er-
BESTATIGUNGSKOPIE satzweise für die Bauteile gewisse Anteile der Strahlung absorbierende Komponenten hervorbringen. Das Mittel kann aber auch die Absorption der Strahlung des Laserstrahls in den Bauteilen selbst erhöhen, beispielsweise durch eine geeignete Beeinflussung der Strahlung des Laserstrahls.
Der Grad der Absorption, der durch das Mittel erreicht wird, muss nicht bis zu einer vollständigen Absorption der Laserstrahlung reichen. Es genügt grundsätzlich, dass durch das Mittel den Bauteilen ausreichend zusätzliche thermische Energie zugeführt wird, die aus einer Absorption von Strahlungsanteilen der Laserstrahlung resultiert, damit ein Verschweissen der Bauteile möglich wird.
In einem ersten Fall, dass das mindestens eine Mittel ersatzweise für die Bauteile zur Strahlungsabsorption beiträgt, ist vorgesehen, dass das mindestens eine Mittel zumindest in der Anpressposition zumindest teilweise in den Strahlengang des Laserstrahls ragt und derart ausgebildet ist, dass eine zu- mindest teilweise Absorption des Laserstrahls durch das zumindest eine Mittel oder Folgeprodukte des mindestens einen Mittels erfolgt. Es kann also das Mittel entweder unter dem Einfluss der Laserstrahlung unverändert erhalten bleiben und durch den durch das Mittel selbst gegebenen höheren Absorptionsgrad zur Erhöhung der Strahlungsabsorption beitragen. Es kann aber auch eine zumindest teilweise chemische oder physikalische Umwandlung des Mittels erfolgen, wobei entweder die Umwandlung durch die Absorption von Strahlungsanteilen der Laserstrahlung initiiert wird und die Umwandlung selbst zusätzliche thermische Energie liefert oder die aus der Umwandlung entstehendnen Folgeprodukte zur Absorption der Laserstrahlung beitragen und dadurch zusätzliche thermische Energie geliefert werden kann. Im weiteren wird der Einfachheit halber in der Regel auf einen absorbierenden Werkstoff Bezug genommen, hiermit ist jedoch grundsätzlich gemeint, dass entweder der Werkstoff selbst, seine Umwandlung oder seine Folgeprodukte zur Absorption beitragen. Das zumindest eine Mittel kann beispielsweise durch einen Teilbereich des Anpresselements gebildet werden. Dabei kann insbesondere das Anpresselement in dem Teilbereich aus einem den Lasersträhl absorbierenden Werkstoff bestehen, also über seine gesamte Ausdehnung in diesem Teilbereich eine absorbierende Wirkung aufweisen. Es kann aber auch vorgesehen werden, dass das Anpresselement in dem Teilbereich eine den Laserstrahl absorbierende Beschichtung aufweist. Hierbei muss das Anpresselement in seiner übrigen Ausdehnung in diesem Teilbereich nicht die absorbierende Wirkung aufzeigen.
Das zumindest eine Mittel kann aber auch durch eine von dem Anpresselement unabhängige Komponente gebildet werden, insbesondere durch ein zumindest in der Anpressposition zwischen dem Anpresselement und den Bauteilen angeordnetes Absorptionsmittel aus einem den Laserstrahl absorbierenden Werkstoff gebildet wird.
Für den Fall, dass keine Umwandlung des mindestens einen Mittels erfolgt, kann als Werkstoff ein temperaturstabiler Werkstoff, insbesondere ein metallischer oder keramischer Werkstoff vorgesehen werden. Für den Fall einer Umwandlung des Werkstoffes kann, wie bereits erwähnt, als Werkstoff ein Werkstoff vorgesehen werden, der bei Bestrahlung durch den Laserstrahl eine chemische oder physikalische Umwandlung wie beispielsweise eine Oxidation erfährt, die thermische Energie freisetzt. Schließlich kann als Werkstoff ein Werkstoff vorgesehen werden, der bei Bestrahlung durch den Laserstrahl eine chemische oder physikalische Umwandlung erfährt (z.B. Oxidation, Verdampfen o.a.), wobei der Absorptionsgrad aufgrund der Umwandlung erhöht wird, insbesondere dadurch, dass die entstehenden Produkte derart ausgebildet sind, dass sie den Laserstrahl absorbieren.
Eine alternative Weiterbildung bewirkt, dass die Absorption in den zu ver- schweissenden Bauteilen selbst erhöht wird. Dazu kann insbesondere das mindestens eine Mittel zumindest in der Anpressposition zumindest teilweise als Strahlfalle für den Laserstrahl wirken und derart ausgebildet sein, dass eine zumindest teilweise Rückreflektion der von den Bauteilen reflektierten Laserstrahlung des Laserstrahls auf die Bauteile durch das zumindest eine Mittel erfolgt. Damit wird die gerade von schwach absorbierenden Bauteilen reflektierte Strahlung erneut auf die Bauteile gelenkt und somit der Wir- kungsgrad erhöht, ohne dass beispielsweise eine stärkere Strahlungsquelle nötig ist. Die Strahlfalle kann beispeilsweise durch eine geeignete geometrische Ausbildung des Anpresselements gebildet werden, es können aber auch an dem Anpresselement separate Einrichtungen vorgesehen werden, die eine Strahlfalle bilden.
Das Anpresselement kann grundsätzlich in jeder möglichen Art an der Anpressvorrichtung angeordnet sein, um eine Fixierung der zu verschweißenden Bauteile relativ zur Laserstrahl-Schweißvorrichtung zu garantieren. Bevorzugt ist jedoch das Anpresselement möglichst nahe am Strahlengang des Laserstrahls angeordnet, idealerweise direkt im Strahlengang des Laserstrahls. Im letzteren Fall weist das Anpresselement eine Öffnung auf, die so ausgebildet ist, dass ein zumindest teilweises Durchtreten des Laserstrahls durch das Anpresselement in Richtung der zu schweißenden Bauteile zumindest in der Anpressposition möglich ist. Aufgrund der Flexibilität des Anpresselements muss somit die Öffnung nicht in jeder Position, das heißt zum Beispiel nicht unbedingt auch in der Ruheposition im Strahlengang des Laserstrahls angeordnet sein. Es ist lediglich erforderlich, dass die Öffnung nach dem Anpressen der Bauteile, das heißt, nach der Verformung des Anpresselements, im Strahlengang des Laserstrahls angeordnet ist. Eine Anordnung des Anpresselements im Strahlengang des Laserstrahls ist besonders vorteilhaft, da damit eine Fixierung der zu schweißenden Bauteile direkt im Bereich der Schweißstelle erfolgen kann.
Das elastisch verformbare Anpresselement kann aus jedem geeigneten Material geformt sein, dass eine genügende Flexibilität aufweist. Es sind hierbei beispielsweise entsprechende Kunststoffmaterialien denkbar. Allerdings sind die beim Schweißvorgang gegebenen Randbedingungen, insbesondere an die Temperaturbeständigkeit des Anpresselements, zu beachten. Bevorzugt ist somit das Anpresselement als Federelement aus Metall, beispielsweise als geformter Metallstreifen, ausgebildet. Ein solcher Metallstreifen ist zumindest an einem Ende mit der Anpressvorrichtung zu verbinden. Um eine ausreichende elastische Verformbarkeit bzw. Federwirkung aufzuweisen, kann der Metallstreifen gebogen vorgeformt sein oder durch die Montage an die Anpressvorrichtung gebogen werden. So kann der Metallstreifen beispielsweise entweder halbkreisförmig vorgebogen sein oder ein gerader Metallstreifen unter Durchbiegung an beiden Enden an der Anpressvorrichtung befestigt werden.
Für das Anpresselement sollte in jedem Fall ein Material gewählt werden, bei dem möglichst kein Anhaften auf den zu verschweißenden Bauteilen auftritt. Ist das Anpresselement beispielsweise als Federelement aus Metall ausgebildet, so wird bevorzugt als Material für das Anpresselement Wolfram Cr-Ni- Stahl oder Federbandstahl gewählt.
Zu einer möglichst exakten Überwachung des Schweißvorganges kann ein Pyrometer vorgesehen sein, dass zur Erfassung der von der Schweißstelle emittierten Wärmestrahlung dient. Das Pyrometer ist folglich so anzuordnen, dass die von der Schweißstelle emittierte Wärmestrahlung das Pyrometer direkt oder durch entsprechende Umlenkeinrichtungen erreicht. Es kann bei- spielsweise hierzu vorgesehen sein, dass ein dichroitischer Strahlteiler im Strahlengang des Laserstrahls angeordnet ist, der so ausgebildet ist, dass die von der Schweißstelle emittierte Wärmestrahlung durch den Strahlteiler zu dem Pyrometer gelenkt wird. Somit kann einerseits die bereits vorhandene Optik zur Fokussierung des Laserstrahls auch für die Erfassung der Wärme- Strahlung genutzt werden und das Pyrometer muss nicht in direkter Sichtlinie zur Schweißstelle angeordnet werden, sondern kann an geeigneter Stelle an der Laserstrahl-Schweißvorrichtung angebracht werden.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Laserstrahlschweißen von Bauteilen ist vorgesehen, dass ein elastisch verformbares Anpresselement so mit der Anpressvorrichtung verbunden wird, dass es im Strahlengang des Laserstrahls angeordnet ist,
das Anpresselement in die Anpressposition gebracht wird und unter ei- nem definierten Anpressdruck in der Anpressposition gehalten wird,
den Bauteilen benachbart mindestens ein Mittel zur Erhöhung der von den Bauteilen aufgenommenen thermischen Energie aufgrund einer zumindest teilweisen Absorption des Laserstrahls angeordnet wird und
beim Schweißvorgang das Anpresselement mit demselben definierten Anpressdruck zur Fixierung der Bauelemente in der Anpressposition gehalten wird.
Es kann vorgesehen werden, dass entweder mit Hilfe des Laserstrahls eine Öffnung in das Anpresselement eingebracht wird, nachdem das Anpresselement in die Anpressposition gebracht wurde oder dass zu Beginn des Verfah- rens auf mechanische oder andere Weise eine Öffnung in das Anpresselement eingebracht wird. Durch dieses erfindungsgemäße Verfahren wird auf besonders einfache Weise eine Laserstrahl-Schweißvorrichtung mit einem flexiblen Anpresselement bereitgestellt und ein Laserstrahlschweißen von Bauteilen durchgeführt, wobei einerseits durch die elastische Verformbarkeit des Anpresselements eine Schädigung der Bauteile vermieden wird und andererseits bei Einbringen der Öffnung mit Hilfe des Laserstrahls eine aufwendige Justierung der Vorrichtung dadurch entbehrlich wird, dass die Öffnung im Anpresselement selbstjustiert unter den in der Anpressposition gegebenen Bedingungen eingebracht wird. Es ist damit sichergestellt, dass sich die Öffnung in der Anpressposition automatisch im Strahlengang des Laserstrahls befindet. Durch die Bereitstellung des mindestens einen Mittels zur Erhöhung der von den Bauteilen aufgenommenen thermischen Energie benachbart zu den zu verschweissenden Bauteilen wird sichergestellt, dass den Bauteilen auch bei nur geringer Absorption der Laserstrahlung durch die Bauteile selbst aus- reichend thermische Energie zugeführt wird. Das Mittel ist dabei derart den Bauteilen benachbart anzuordnen, dass eine ausreichende thermische Kopplung zwischen dem Mittel und den Bauteilen gegeben ist, um bei den Bauteilen die Schweisstemperatur zu erreichen.
Um außerdem während des Schweißvorgangs eine möglichst exakte Einstellung der Schweißparameter durchführen zu können, um beispielsweise die Schweißtemperatur möglichst exakt einstellen und konstant halten zu können, kann vorgesehen werden,
dass während des Schweißvorgangs eine Erfassung der Wärmestrahlung der Schweißstelle erfolgt und
in Abhängigkeit davon eine Regelung der Leistung des Laserstrahls erfolgt.
Eine solche Erfassung der Wärmestrahlung kann beispielsweise mit Hilfe eines Pyrometers erfolgen, wie bereits vorstehend ausgeführt wurde.
Besonders vorteilhaft kann die Erfassung der Wärmestrahlung koaxial zum Strahlengang des Laserstrahls erfolgen. Wie bereits ausgeführt, kann hierfür die zur Fokussierung des Laserstrahls dienende Optik entsprechend ausgenutzt werden.
Ein spezielles Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung wird nachfol- gend anhand der Figuren 1 bis 4 erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 Schematischer Aufbau der Laserstrahl-Schweißvorrichtung mit Anpressvorrichtung.
Fig. 2 selbstjustiertes Einbringen der Öffnung in das Anpresselement, Fig. 3 schematische Darstellung der Verfahrensschritte beim Laserstrahlschweißen von Bauteilen,
Fig. 4 schematische Darstellung der Laserstrahl-Schweißvorrichtung mit Pyrometer,
Fig. 5 Detaildarstellung eines Mittels zur Erhöhung der von den Bauteilen aufgenommenen thermischen Energie als teilweise Anordnung des Anpresselements im Strahlengang des Laserstrahls,
Fig. 6 Detaildarstellung eines Mittels zur Erhöhung der von den Bauteilen aufgenommenen thermischen Energie als Ausbildung des Anpress- elements als Strahlfalle,
Fig. 7 Detaildarstellung eines Mittels zur Erhöhung der von den Bauteilen aufgenommenen thermischen Energie als separates Absorptionsmittel
Zum Laserstrahlschweißen im Überlappstoß, wie beispielsweise zum Schweißen dünner Metallfolien 3 mit einer Dicke im μm-Bereich, insbesondere mit einer Dicke kleiner 50 μm, auf eine weitere Metallfolie 4 oder auf ein Substrat 4 mit einer Metallisierung 5 wird das Laserstrahl-Wärmeleitungsschweißen angewendet. Als Strahlquelle 13 dient ein Hochleistungs-Diodenlaser, der La- serstrahlung mit einer Wellenlänge von λ = 790 nm bis 980 nm emittiert. Es kann aber beispielsweise auch ein Nd:YAG-Laser (der auch frequenzkonvertiert sein kann) oder ein CO2-Laser verwendet werden.
Zur Erzeugung eines guten thermischen Kontakts zwischen den Bauteilen 3, 4 wird die Metallfolie 3 mittels eines speziellen Anpresselements oder Nieder- halters 2 während des Schweißprozesses auf das darunterliegende Bauteil 4 gedrückt. Dieses kann noch auf einem Träger 9 fixiert sein. Der Niederhalter 2 besteht im wesentlichen aus einem elastisch verformbaren Metallstreifen, der Teil einer Anpressvorrichtung 1 ist. Diese kann direkt an der Fokussierop- tik 8 oder dem Gehäuse 7 des Diodenlasers 13 befestigt sein. Der Metallstrei- fen 2 wird dazu halbkreisförmig gebogen oder ist bereits halbkreisförmig ge- bogen ausgeformt und, wie in Fig. 1 dargestellt, an einer an der Fokussierop- tik 8 befindlichen Anpressvorrichtung 1 seitlich fixiert. Der Niederhalter 2 befindet sich somit im Strahlengang des Laserstrahls 10.
Zur Vorbereitung des Niederhalters 2 für den Schweißprozess wird entweder zu Beginn des Verfahrens auf mechanische Weise oder während des Verfah- rens in der Anpressposition mit dem Diodenlaser 7 eine Bohrung 6, beispielsweise durch einzelne Laserpulse, in den Metallstreifen 2 eingebracht, durch welche beim späteren Schweißen der Bauteile 3, 4 die Laserstrahlung auf das obere Bauteil 3 trifft. Bei der Erzeugung der Bohrung 6 im Niederhalter 2 wird dieser, wie in Fig. 2 dargestellt, aus einer Ruheposition a) in eine Anpressposition b) bewegt und dabei auf eine ebene Platte 14 aufgesetzt, bis der Niederhalter 2 durch elastische Verformung die gleiche Form annimmt, wie sie auch beim eigentlichen Schweißprozess erreicht wird. Der Niederhalter 2 wird also von einer Ruheform 15 in eine elastisch verformte Form 16 gebracht. Durch den Laserstrahl 10 wird dann die Bohrung 6 im Niederhalter eingebracht. Die so erzeugte Bohrung 6 hat z.B. einen Durchmesser im Bereich von zehntel Millimeter.
Durch ein derartiges Einbringen der Bohrung 6 in den Niederhalter 2 ist sichergestellt, dass die Lage und die Form der Bohrung 6 exakt mit der Lage und Form der Strahlkaustik des verwendeten Diodenlasers 13 übereinstimmt. Dadurch wird garantiert, dass während des gesamten Schweißprozesses ein guter thermischer Kontakt der Bauteile 3, 4 gegeben ist. Eine Justierung des Niederhalters 2 relativ zum Laserstrahl 10 ist somit nicht erforderlich.
Als Werkstoff für den Niederhalter 2 wird ein Metall verwendet, bei dem kein Anhaften der zu verschweißenden Bauteile wie z.B. der Metallfolie 3 mit dem Niederhalter 2 auftritt. Geeignete Werkstoffe sind z.B. Wolfram, Cr-Ni-Stahl oder Federbandstahl.
Die Bauteile 3, 4 werden vor dem Verschweißen in ihre endgültige Position gebracht, wie in Figur 3 dargestellt. Sie können dabei auf einem Träger 9 an- geordnet werden. Die gesamte Anordnung und damit der Diodenlaser 13 und die Anpressvorrichtung 1 mit dem Niederhalter 2 werden aus einer Ruheposition a) in eine Anpressposition b) auf die Bauteile 3, 4 abgesenkt, bis der Niederhalter 2 die oben liegende Metallfolie 3 berührt und durch das weitere Absenken Anordnung mit der Anpressvorrichtung 1 elastisch verformt wird. Ty- pische Verfahrgeschwindigkeiten beim Absenken der Anordnung liegen im Bereich von einigen mm/s bis einigen hundert mm/s.
Durch die elastische Deformation des Niederhalters 2 wird der für den Schweißprozess erforderliche Anpressdruck aufgebracht. Die Wahl des Radius sowie die Breite und Dicke des Metallstreifens für den Niederhalter 2 bestimmen bei gewünschtem Abstand der Fokussieroptik 8 zur Oberfläche der Metallfolie 3 den gewünschten Anpressdruck. Beispielsweise werden Metallstreifen mit einer Dicke von einigen zehntel Millimetern und einer Breite von einigen Millimetern bis einigen Zentimetern verwendet. Der Radius des montierten Niederhalters 2 liegt dann bevorzugt im Bereich von einigen Zen- timetem.
Die Geometrie des Niederhalter-Metallstreifens und die Tatsache, dass die Bohrung 6 im Niederhalter 2 exakt mit der Lage und Form der Kaustik des Laserstrahls 10 übereinstimmt, ermöglichen bereits bei einer Anpresskraft von wenigen Newton einen optimalen thermischen Kontakt der Bauteile 3, 4.
Nach dem Anpressen der Metallfolie 3 auf das darunterliegende Bauteil 4 werden diese durch einen Laserpuls verschweißt. Der Laserstrahl 10 trifft dabei durch die Bohrung 6 im Niederhalter 2 auf das obere Bauteil 3 und schmilzt dieses auf. Durch Wärmeleitung wird das darunterliegende Bauteil, z.B. eine Metallfolie 4 bzw. eine Metallisierung 5 eines Substrats 4 ebenfalls aufgeschmolzen. Die Schmelzen vermischen sich, und es kommt zu einer dauerhaften Verschweißung. Die Prozessparameter Laserleistung, Fokuslage und Pulsdauer werden so eingestellt, dass bei einer optimalen Verschweißung eine Schädigung der Bauteile vermieden wird. Typische Prozesszeiten für das Verschweißen von Silberfolie mit einer Dicke im μm-Bereich auf Si-Substrat mit einer Metallisierungsdicke ebenfalls im μm-Bereich liegen im Bereich von zehntel Millisekunden bis zu Sekunden, insbesondere bei 10 bis 500 Millisekunden bei einer Laserleistung in Bereich von 10 bis 500 W. Nach dem Laserpuls wird die Anordnung mit dem Diodenlaser 13 und dem Niederhalter 2 vom Werkstück 3, 4 zurück in die Ruheposition c) abgehoben, und die Anordnung wird über die nächste Schweißstelle verfahren.
In bestimmten Fällen, wie z.B. bei starken Schwankungen der Absorption der Laserstrahlung, ist die Implementierung einer Temperaturregelung erforderlich. Diese Temperaturregelung wird dadurch realisiert, dass mittels eines Py- rometers 1 1 die von der Schweißstelle emittierte Wärmestrahlung erfasst wird (Fig. 4). Das Pyrometersignal dient während des Schweißprozesses dazu, die Laserleistung so zu regeln, dass ein gewünschter Temperaturverlauf über die Prozessdauer erreicht wird.
Das eingesetzte Pyrometer 1 1 arbeitet bevorzugt in einem Spektralbereich von Wellenlängen im μm-Bereich und besitzt bevorzugt einen Messbereich bis zu etwa 2000 ° C, insbesondere von etwa 700 ° C bis zu 2000°C Da die Bohrung 6 im Niederhalter 2, durch welche die Wärmestrahlung von der Schweißstelle nach oben emittiert wird, einen sehr geringen Durchmesser besitzt, kann Wärmestrahlung direkt von der Schweißstelle nur in einem ge- ringen Raumwinkel er asst werden. Deshalb wird die Wärmestrahlung koaxial zur Laserstrahlung 10 aufgenommen. Dazu ist in den Strahlengang des Diodenlaser 13 ein dichroitischer Strahlteiler 12 integriert, der die von der Schweißstelle emittierte und durch die Fokussieroptik 8 des Diodenlasers 13 kollimierte Wärmestrahlung um 90° in das Pyrometer 1 1 umlenkt. Sollen nun mit der beschriebenen Anordnung Bauteile 3, 4 verschweisst werden, die nur einen geringe Absorptionsgrad für die Laserstrahlung 10 aufweisen, so können zusätzliche Mittel 17, 18, 19 zur Erhöhung der von den Bauteilen 3, 4 aufgenommenen thermischen Energie vorgesehen werden, wobei diese Erhöhung auf einer zumindest teilweisen Absorption des Laserstrahls basiert. Hierzu wird auf die Beispiele der Figuren 5 bis 7 verwiesen.
Im Beispiel nach Fig. 5 ragt ein Teilbereich 17 des Anpresselements 2 in der Anpressposition in den Strahlengang des Laserstrahls 10. Alternativ kann a- ber auch vorgesehen werden, wie Fig. 7 zeigt, dass ein von dem Anpressmit- tel 2 separates Absorptionsmittel 19 in der Anpressposition in den Strahlengang des Laserstrahls 10 ragt, wobei dann idealerweise das Absorptionsmittel 19 in der Anpressposition zwischen dem Anpresselement 2 und den Bauteilen 3, 4 angeordnet ist, damit eine passende Fixierung der einzelnen Elemente zueinander unter dem Anpressdruck des Anpresselements 2 erfolgen kann. Die in den Strahlengang des Laserstrahls 10 ragenden Elemtene 17, 19 liefern nun einen zusätzlichen Beitrag zur Absorption der Strahlung des Laserstrahls 10. Dabei können die Elemente 17, 19 in den Bereichen, die in den Strahlengang ragen, entweder aus einem temperaturstabilen, beispielsweise metallischen oder keramischen Werkstoff wie z.B. CrNi-Stahl bestehen, der eine ausreichende Absorption der Laserstrahlung garantiert oder die Elemente können in diesen Bereichen eine entsprechende Beschichtung wie z.B. Graphit aufweisen. Der Werkstoff der Elemente 17, 19 oder deren Beschisch- tung kann aber auch unter der Laserstrahlung 10 eine chemische oder physikalische Umwandlung erfahren. Dabei entsteht entweder durch die Um- Wandlung selbst wie z.B durch eine Oxidation oder sonstige Verbrennung, beispielsweise von Kohlenstoff, initiiert durch eine Absorption der Laserstrahlung 10, zusätzliche thermische Energie, oder die Umwandlung erhöht den Absorptionsgrad des Mittels 17, 19 oder der Bauteile 3, 4 und trägt dadurch zu einer verbesserten Gesamtabsorption bei. Insbesondere können die bei der Umwandlung entstehenden Folgeprodukte wie z.B. Oxide, Plasmen, Schmelzen oder Ablagerungen von Abbrandprodukten auf den Bauteilen 3, 4 zu einer Erhöhung der Absorption der Laserstrahlung 10 und damit der den Bauteilen 3, 4 zugeführten thermischen Energie beitragen.
Es kann aber auch eine Beeinflussung der Laserstrahlung 10 selbst erfolgen, um eine erhöhte Absorption in den Bauteilen 3, 4 zu erreichen. Hierzu kann beispielsweise, wie in Fig. 6 dargestellt, die von den Bauteilen 3, 4 reflektierte Laserstrahlung wieder auf die Bauteile 3, 4 zurückreflektiert werden, hier mit Hilfe einer Strahlfalle 18. Fig. 6 zeigt hierfür eine Möglichkeit, bei der die Strahlfalle 18 durch eine geeignete geometrische Ausbildung des Anpresselements 2 bzw. des Bereiches um die Öffnung 6 in dem Anpresselement 2 gebildet wird. In Fig. 6 wirkt dieser Bereich wie ein Hohlspiegel, der die reflektierte Strahlung konzentriert auf die Bauteile 3, 4 zurückwirft. Die Strahlfalle kann aber auch durch andere geeignete Mittel in oder an dem Anpresselement 2 oder auch unabhängig vom Anpresselement 2 gebildet werden.

Claims

Ansprüche
1. Laserstrahl-Schweißvorrichtung mit einer Anpressvorrichtung (1) zur Fixierung der zu schweißenden Bauteile (3, 4), wobei die Anpressvorrichtung (1) ein Anpresselement (2) beinhaltet, das von einer Ruheposition in eine Anpressposition bewegbar ist, wobei das Anpresselement (2) elastisch verform- bar ausgebildet ist und die Anpressvorrichtung (1) derart ausgelegt ist, dass in der Anpressposition eine Fixierung der zu schweißenden Bauteile (3, 4) durch eine aus einer Verformung des Anpresselementes (2) resultierende Kraft erfolgt, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Mittel (17, 18, 19) zur Erhöhung der von den Bauteilen (3, 4) aufgenommenen thermischen Energie aufgrund einer zumindest teilweisen Absorption des Laserstrahls (10) vorgesehen ist.
2. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich- net, dass das mindestens eine Mittel (17, 18, 19) zumindest in der Anpressposition zumindest teilweise in den Strahlengang des Laserstrahls (10) ragt und derart ausgebildet ist, dass eine zumindest teilweise Absorption des Laserstrahls (10) durch das zumindest eine Mittel (17, 18, 19) oder Folgeprodukte des mindestens einen Mittels (17, 18, 19) erfolgt.
3. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest eine Mittel (17, 18, 19) durch einen Teilbereich (17) des Anpresselements (2) gebildet wird.
4. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Anpresselement (2) in dem Teilbereich (17) aus einem den La- serstrahl ( 10) absorbierenden Werkstoff besteht.
5. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Anpresselement in dem Teilbereich (17) eine den Laserstrahl (10) absorbierende Beschichtung aufweist.
6. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich- net, dass das zumindest eine Mittel (17, 18, 19) durch ein zumindest in der
Anpressposition zwischen dem Anpresselement (2) und den Bauteilen (3, 4) angeordnetes Absorptionsmittel (19) aus einem den Laserstrahl (10) absorbierenden Werkstoff gebildet wird.
7. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, da- durch gekennzeichnet, dass als Werkstoff temperaturstabiler Werkstoff, insbesondere ein metallischer oder keramischer Werkstoff vorgesehen ist.
8. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass als Werkstoff ein Werkstoff vorgesehen ist, der bei Bestrahlung durch den Laserstrahl (10) eine- chemische oder physikali- sehe Umwandlung erfährt, die thermische Energie freisetzt.
9. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass als Werkstoff ein Werkstoff vorgesehen ist, der bei Bestrahlung durch den Laserstrahl (10) eine chemische oder physikalische Umwandlung erfährt, wobei die entstehenden Produkte derart ausgebil- det sind, dass sie den Laserstrahl (10) absorbieren.
10. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Mittel (17, 18, 19) zumindest in der Anpressposition zumindest teilweise als Strahlfalle (18) für den Laserstrahl wirkt (10) und derart ausgebildet ist, dass eine zumindest teilweise Rückreflektion der von den Bauteilen (3, 4) reflektierten Laserstrahlung des Laserstrahls (10) auf die Bauteile (3, 4) durch das zumindest eine Mittel (17, 18, 19) erfolgt.
1 1. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlfalle (18) durch eine geeignete geometrische Ausbildung des Anpresselements (2) gebildet wird.
12. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, da- durch gekennzeichnet, dass das Anpresselement (2) im Strahlengang des
Laserstrahls ( 10) angeordnet ist, und eine Öffnung (6) aufweist, die so ausgebildet ist, dass ein zumindest teilweises Durchtreten des Laserstrahls (10) durch das Anpresselement (2) in Richtung der zu schweißenden Bauteile (3, 4) zumindest in der Anpressposition möglich ist.
13. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Anpresselement (2) aus flexiblem Kunststoff oder als Federelement aus Metall, insbesondere als geformter Metallstreifen, ausgebildet ist, der zumindest an einem Ende mit der Anpressvorrichtung (1) verbunden ist.
14. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Metallstreifen (2) halbkreisförmig gebogen ausgebildet ist und an beiden Enden mit der Anpressvorrichtung (1) verbunden ist.
15. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Metallstreifen (2) aus Wolfram, Cr-Ni-Stahl oder Fe- derbandstahl besteht.
16. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass ein Pyrometer (1 1) zur Erfassung der von der Schweißstelle emittierten Wärmestrahlung vorgesehen ist.
17. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekenn- zeichnet, dass ein dichroitischer Strahlteiler (12) im Strahlengang des Laserstrahls (10) angeordnet ist, der so ausgebildet ist, dass die von der Schweiß- stelle emittierte Wärmestrahlung durch den Strahlteiler (12) zu dem Pyrometer (1 1) gelenkt wird.
18. Verfahren zum Laserstrahlschweißen von Bauteilen, wobei ein Anpresselement (2) einer Anpressvorrichtung zur Fixierung der zu schweißenden Bau- teile (3, 4) von einer Ruheposition in eine Anpressposition bewegt wird, dadurch gekennzeichnet, dass
ein elastisch verformbares Anpresselement (2) so mit der Anpressvorrichtung (1) verbunden wird, dass es im Strahlengang des Laserstrahls (10) angeordnet ist,
- das Anpresselement (2) in die Anpressposition gebracht wird und unter einem definierten Anpressdruck in der Anpressposition gehalten wird,
den Bauteilen (3, 4) benachbart mindestens ein Mittel (17, 18, 19) zur Erhöhung der von den Bauteilen (3, 4) aufgenommenen thermischen E- nergie aufgrund einer zumindest teilweisen Absorption des Laserstrahls (10) angeordnet wird und
beim Schweißvorgang das Anpresselement (2) mit demselben definierten Anpressdruck zur Fixierung der Bauelemente (3, 4) in der Anpressposition gehalten wird.
19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass in der An- pressposition mit Hilfe des Laserstrahls (10) eine Öffnung (6) in das Anpresselement (2) eingebracht wird,
20. Verfahren nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, dass während des Schweißvorgangs eine Erfassung der Wärmestrahlung der Schweißstelle erfolgt und in Abhängigkeit davon eine Regelung der Leistung des Laserstrahls (10) erfolgt.
21. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassung der Wärmestrahlung koaxial zum Strahlengang des Laserstrahls (10) erfolgt.
GEÄNDERTE ANSPRUCHE
{beim Internationalen Büro am 09. Oktober 2001 (09.10.01) eingegangen ; ursprüngliche Ansprüche 1 bis 21 durch neven Ansprüche 1 bis 17 ersetzt ; ( 4 seiten )}
1. Laserstrahl-Schweißvorrichtung mit einer Anpressvorrichtung (1) zur Fixierung der zu schweißenden Bauteile (3, 4), wobei die Anpressvorrich- tung (1) ein Anpresselement (2) beinhaltet, das von einer Ruheposition in eine Anpressposition bewegbar ist, wobei das Anpresselement (2) elastisch verformbar ausgebildet ist und die Anpressvorrichtung (1) derart ausgelegt ist, dass in der Anpressposition eine Fixierung der zu schweißenden Bauteile (3, 4) durch eine aus einer Verformung des Anpresselementes (2) resultie- rende Kraft erfolgt, wobei weiterhin mindestens ein Mittel (17, 18, 19) zur Erhöhung der von den Bauteilen (3, 4) aufgenommenen thermischen Energie aufgrund einer zumindest teilweisen Absorption des Laserstrahls (10) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Mittel (17, 18, 19) zumindest in der Anpressposition zumindest teilweise in den Strahlengang des Laserstrahls (10) ragt und derart ausgebildet ist, dass durch den Laserstrahl (10) eine zumindest teilweise chemische oder physikalische Umwandlung des mindestens einen Mittels (17, 18, 19) erfolgt, wobei die Umwandlung oder die Folgeprodukte der Umwandlung derart ausgebildet sind, dass durch die Umwandlung oder durch eine Absorption von Laserstrahlung durch die Folgeprodukte zusätzliche thermische Energie geliefert wird.
2. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest eine Mittel (17, 18, 19) durch einen Teilbereich (17) des Anpresselements (2) gebildet wird.
3. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Anpresselement (2) in dem Teilbereich (17) aus einem den Laserstrahl (10) absorbierenden Werkstoff besteht.
4. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Anpresselement in dem Teilbereich (17) eine den Laserstrahl (10) absorbierende Beschichtung aufweist.
5. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch ge- 5 kennzeichnet, dass das zumindest eine Mittel (17, 18, 19) durch ein zumindest in der Anpressposition zwischen dem Anpresselement (2) und den Bauteilen (3, 4) angeordnetes Absorptionsmittel (19) aus einem den Laserstrahl (10) absorbierenden Werkstoff gebildet wird.
6. Laserstrahl-Schweißvorrichtung mit einer Anpressvorrichtung (1 ) zur 10 Fixierung der zu schweißenden Bauteile (3, 4), wobei die Anpressvorrichtung (1 ) ein Anpresselement (2) beinhaltet, das von einer Ruheposition in eine Anpressposition bewegbar ist, wobei das Anpresselement (2) elastisch verformbar ausgebildet ist und die Anpressvorrichtung (1) derart ausgelegt ist, dass in der Anpressposition eine Fixierung der zu schweißenden Bauteile
15 (3, 4) durch eine aus einer Verformung des Anpresselementes (2) resultierende Kraft erfolgt, wobei weiterhin mindestens ein Mittel (17, 18, 19) zur Erhöhung der von den Bauteilen (3, 4) aufgenommenen thermischen Energie aufgrund einer zumindest teilweisen Absorption des Laserstrahls (10) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine Mittel
20 (17, 18, 19) zumindest in der Anpressposition zumindest teilweise als Strahlfalle (18) für den Laserstrahl wirkt (10) und derart ausgebildet ist, dass eine zumindest teilweise Rückreflektion der von den Bauteilen (3, 4) reflektierten Laserstrahlung des Laserstrahls (10) auf die Bauteile (3, 4) durch das zumindest eine Mittel (17, 18, 19) erfolgt, wobei die Strahlfalle (18) durch
25 eine geeignete geometrische Ausbildung des Anpresselements (2) gebildet wird.
7. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlfalle (18) derart ausgebildet ist, dass die von den Bauteilen (3, 4) reflektierte Laserstrahlung konzentriert auf die Bauteile
30. (3, 4) zurückreflektiert wird.
8. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlfalle (18) Elemente eines Hohlspiegels aufweist.
9. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Anpresselement (2) im Strahlengang des Laserstrahls (10) angeordnet ist, und eine Öffnung (6) aufweist, die so ausgebildet ist, dass ein zumindest teilweises Durchtreten des Laserstrahls (10) durch das Anpresselement (2) in Richtung der zu schweißenden Bauteile (3, 4) zumindest in der Anpressposition möglich ist.
10. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Anpresselement (2) aus flexiblem Kunststoff oder als Federelement aus Metall, insbesondere als geformter Metallstreifen, ausgebildet ist, der zumindest an einem Ende mit der Anpressvorrichtung (1 ) verbunden ist.
11. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Metallstreifen (2) halbkreisförmig gebogen ausgebildet ist und an beiden Enden mit der Anpressvorrichtung (1 ) verbunden ist.
12. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 10 oder 11 , da- durch gekennzeichnet, dass der Metallstreifen (2) aus Wolfram, Cr-Ni-
Stahl oder Federbandstahl besteht.
13. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass ein Pyrometer (11 ) zur Erfassung der von der Schweißstelle emittierten Wärmestrahlung vorgesehen ist.
14. Laserstrahl-Schweißvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass ein dichroitischer Strahlteiler (12) im Strahlengang des Laserstrahls (10) angeordnet ist, der so ausgebildet ist, dass die von der Schweißstelle emittierte Wärmestrahlung durch den Strahlteiler (12) zu dem Pyrometer (11 ) gelenkt wird.
15. Verfahren zum Laserstrahlschweißen von Bauteilen, wobei ein Anpresselement (2) einer Anpressvorrichtung zur Fixierung der zu schweißenden Bauteile (3, 4) von einer Ruheposition in eine Anpressposition bewegt wird, dadurch gekennzeichnet, dass
- ein elastisch verformbares Anpresselement (2) so mit der Anpressvorrichtung (1 ) verbunden wird, dass es im Strahlengang des Laserstrahls (10) angeordnet ist,
das Anpresselement (2) in die Anpressposition gebracht wird und unter einem definierten Anpressdruck in der Anpressposition gehalten wird,
in der Anpressposition mit Hilfe des Laserstrahls (10) eine Öffnung (6) in das Anpresselement (2) eingebracht wird,
den Bauteilen (3, 4) benachbart mindestens ein Mittel (17, 18, 19) zur Erhöhung der von den Bauteilen (3, 4) aufgenommenen thermischen Energie aufgrund einer zumindest teilweisen Absorption des Laserstrahls (10) angeordnet wird und
beim Schweißvorgang das Anpresselement (2) mit demselben definierten Anpressdruck zur Fixierung der Bauelemente (3, 4) in der Anpressposition gehalten wird.
16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass während des Schweißvorgangs eine Erfassung der Wärmestrahlung der Schweißstelle erfolgt und in Abhängigkeit davon eine Regelung der Leistung des Laserstrahls (10) erfolgt.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassung der Wärmestrahlung koaxial zum Strahlengang des Laserstrahls (10) erfolgt.
EP01921300A 2000-04-28 2001-03-02 Laserstrahl-schweissvorrichtung und verfahren zum laserstrahlschweissen Withdrawn EP1276588A1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10020820A DE10020820C2 (de) 2000-04-28 2000-04-28 Laserstrahl-Schweißvorrichtung und Verfahren zum Laserstrahlschweißen
DE10020820 2000-04-28
PCT/EP2001/002350 WO2001083156A1 (de) 2000-04-28 2001-03-02 Laserstrahl-schweissvorrichtung und verfahren zum laserstrahlschweissen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1276588A1 true EP1276588A1 (de) 2003-01-22

Family

ID=7640193

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP01921300A Withdrawn EP1276588A1 (de) 2000-04-28 2001-03-02 Laserstrahl-schweissvorrichtung und verfahren zum laserstrahlschweissen

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20040016727A1 (de)
EP (1) EP1276588A1 (de)
JP (1) JP2003531730A (de)
AU (1) AU2001248326A1 (de)
DE (1) DE10020820C2 (de)
WO (1) WO2001083156A1 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004010483A1 (de) * 2004-01-16 2005-08-11 Daimlerchrysler Ag Vorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken mit Höhenversatz
DE102004015250B4 (de) * 2004-03-29 2007-03-15 Daimlerchrysler Ag Spannvorrichtung zum Bearbeiten von Werkstücken
WO2008076006A1 (en) * 2006-12-18 2008-06-26 Volvo Aero Corporation A method of joining pieces of metal material and a welding device
JP2008173657A (ja) * 2007-01-17 2008-07-31 Asmo Co Ltd 金属の接合方法、及び電機子の製造方法
DE102008041774B4 (de) 2008-09-03 2026-02-26 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Laserverschweißen
CN102240849B (zh) * 2010-05-13 2015-07-01 松下电器产业株式会社 接合方法以及电池
JP5602050B2 (ja) * 2010-05-13 2014-10-08 パナソニック株式会社 接合方法ならびに電池
CN111805154A (zh) * 2020-08-21 2020-10-23 中山汉通激光设备有限公司 一种激光水壶焊接工装夹具

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4461946A (en) * 1982-03-11 1984-07-24 Hull Corporation Apparatus for clamping an assembly of parts for laser welding
US4847467A (en) * 1988-08-19 1989-07-11 Colt 7 Inc. Laser welding clamp
US4978835A (en) * 1989-08-21 1990-12-18 Microelectronics And Computer Technology Corporation Method of clamping electrical contacts for laser bonding
GB2246733A (en) * 1990-08-09 1992-02-12 Cmb Foodcan Plc Apparatus and method for monitoring laser material processing
JP3087373B2 (ja) * 1991-09-18 2000-09-11 株式会社デンソー 金属箔の接合方法および接合装置
DE4234342C2 (de) * 1992-10-12 1998-05-14 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Materialbearbeitung mit Laserstrahlung
DE4308176A1 (de) * 1993-03-15 1994-09-22 Martinswerk Gmbh Kristallines Aluminiumhydroxid
EP0687519B1 (de) * 1994-06-15 1998-12-16 Inpro Innovationsgesellschaft Für Fortgeschrittene Produktionssysteme In Der Fahrzeugindustrie Mbh Verfahren und Vorrichtung zum Verschweissen von verzinkten Stahlblechen mittels Laserstrahlen
DE19516726A1 (de) * 1995-05-06 1996-11-07 Rovema Gmbh Verfahren zum Formen und Verschließen einer Faltschachtel
DE10007711C1 (de) * 2000-02-19 2001-08-16 Daimler Chrysler Ag Vorrichtung und Verfahren zum Sintern eines Pulvers mit einem Laserstrahl
ITTO20010185A1 (it) * 2001-03-02 2002-09-02 Comau Systems Spa Procedimento e sistema per la saldatura laser di due o piu' lamiere metalliche fra loro sovrappost, e dispositivo di bloccaggio delle lamier

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO0183156A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
DE10020820A1 (de) 2001-11-29
JP2003531730A (ja) 2003-10-28
US20040016727A1 (en) 2004-01-29
DE10020820C2 (de) 2002-03-28
AU2001248326A1 (en) 2001-11-12
WO2001083156A1 (de) 2001-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3926859C2 (de)
DE60111863T2 (de) Laserschweissverfahren
DE102014213775B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen, kristallinen Substraten, insbesondere von Halbleitersubstraten
DE4434409C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Materialbearbeiten mit Plasma induzierender Laserstrahlung
EP2448689B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum biegen eines werkstücks
EP3525975B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur bestimmung und zur regelung einer fokusposition eines bearbeitungsstrahls
EP3528992A2 (de) Verfahren und maschine zum schneidenden bearbeiten eines werkstücks
EP4017674B1 (de) Verfahren zum brennschneiden mittels eines laserstrahls
EP0993345A1 (de) Verfahren zum biegen mit laserunterstützung
EP0252268A2 (de) Verfahren zur Überwachung des Bearbeitungsprozesses mit einer Hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem Laser, und Bearbeitungsoptik zur Durchführung desselben
EP1276588A1 (de) Laserstrahl-schweissvorrichtung und verfahren zum laserstrahlschweissen
DE69721378T2 (de) Laserfokussierungssteuerung in Verarbeitungsoperationen von Materialien
DE4446289A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Mikroverbindung von Kontaktelementen
WO2009156505A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum verbinden von bauteilen mittels laserstrahlung
EP1750891A1 (de) Verfahren zur bestimmung der fokuslage eines laserstrahls
WO1991012923A1 (de) Vorrichtung zum überwachen von mit laserstrahlung bearbeiteten werkstücken
EP0999729B1 (de) Verfahren zum Laserlöten und zur Temperaturüberwachung von Halbleiterchips sowie nach diesem Verfahren hergestellte Chipkarte
EP0674965B1 (de) Verfahren zur Überwachung der Einschweisstiefe in Werkstücken beim Laserstrahlschweissen
EP1194260A2 (de) Vorrichtung zur bestimmung der position von emissionsbereichen eines thermischen prozesses mit lokal begrenzter energieeinbringung
DE102016218938A1 (de) Fügeeinrichtung und Fügeverfahren
DE4017286A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum loeten und entloeten
DE3390451C2 (de) Verfahren zum Laser-L¦ten
DE10140533A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Mikrobearbeitung eines Werkstücks mit Laserstrahlung
WO2019185528A1 (de) Laserschneidverfahren mit einer erhöhung des schneiddüsenabstands am schnittende sowie laserschneidmaschine und computerprogrammprodukt
DE10243147B4 (de) Verfahren zum Einbringen einer Lochkontur in ein Werkstück

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20020830

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): DE FR IT

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20041001