EP1119888A1

EP1119888A1 - Gaslaser

Info

Publication number: EP1119888A1
Application number: EP00949463A
Authority: EP
Inventors: Thomas Zeller
Original assignee: Trumpf Lasertechnik GmbH
Current assignee: Trumpf Lasertechnik GmbH
Priority date: 1999-08-05
Filing date: 2000-08-05
Publication date: 2001-08-01
Also published as: JP2003506904A; DE19936955A1; US6473445B1; WO2001011734A1

Abstract

Ein Gaslaser (1) weist einen Entladungsraum (4) auf, der zwischen zwei Elektrodenrohren (2, 3) mit unterschiedlich grossen Querschnitten angeordnet ist und in dem wenigstens ein Laserstrahl in Strahlausbreitungsrichtung (12) verläuft. Dabei ist eines (2) der Elektrodenrohre (2, 3) in Gaszufuhrrichtung (5) quer zu der Strahlausbreitungsrichtung (12) und das andere Elektrodenrohr (3) in Gasabfuhrrichtung (6) quer zu der Strahlausbreitungsrichtung (12) lasergasdurchlässig. Der Entladungsraum (4) wird durch das erstgenannte Elektrodenrohr (2) hindurch mit Lasergas beschickt, durch das zweitgenannte Elektrodenrohr (3) hindurch wird Lasergas aus dem Entladungsraum (4) abgeführt.

Description

Gaslaser

Die Erfindung betrifft einen Gaslaser mit einem Entladungsraum, in welchem wenigstens ein Laserstrahl in Strahlausbreitungs- richtung verläuft, welcher unter Beschicken mit Lasergas in Gaszufuhrrichtung sowie unter Abfuhr von Lasergas in Gasabfuhrrichtung mit Lasergas geströmt ist und welcher vorgesehen ist als Zwischenraum zwischen zwei einander zugeordneten und zur Laserstrahlerzeugung dienenden Elektrodeneinheiten in Form zweier Elektrodenrohre, die jeweils eine sich in Strahlausbreitungsrichtung erstreckende Elektrodenfläche ausbilden und die unterschiedlich große Querschnitte aufweisen, wobei das Elektrodenrohr kleineren Querschnittes innerhalb des Elektrodenrohres größeren Querschnittes angeordnet ist und wobei die Elek- trodenflachen der Elektrodenrohre quer zu der Strahlausbreitungsrichtung voneinander beabstandet sind.

Ein derartiger Gaslaser ist bekannt aus EP-A-0 610 170.

Leistung und Wirkungsgrad der Gaslaser herkömmlicher Bauart zu erhöhen, hat sich die Erfindung zum Ziel gesetzt.

Erfindungsgemäß gelöst wird diese Aufgabe durch die ^•Merkmalskombination von Patentanspruch 1. Die anspruchsgemäße Erfindung setzt an der Erkenntnis an, dass Leistung und Wirkungsgrad eines Gaslasers in starkem Maße von der Temperatur des in dem Entladungsraum befindlichen Lasergases abhängig sind. Bei Überschreiten einer Grenztemperatur, die im Falle von C0₂-Lasern im Bereich von 200 bis 300° C liegt, ist die Laserstrahlerzeugung stark beeinträchtigt . Die Temperatur des Lasergases im Entladungsraum ist folglich unterhalb des genannten Grenzwertes zu halten. Zu diesem Zweck kann der Entladungsraum während des Gaslaserbetriebes permanent mit Lasergas verhältnismäßig niedriger Temperatur beschickt werden, mittels dessen die Temperatur des im Entladungsraum anstehenden Lasergases entsprechend eingestellt bzw. mittels dessen im Laufe des Laserprozesses erhitztes Lasergas aus dem Entladungsraum verdrängt wird. Das Ausmaß der erzielbaren Kühlung des Lasergases im Entladungsraum bzw. der Wärmeabfuhr aus dem Entladungsraum ist proportional zu dem den Entladungsraum durchsetzenden Lasergas-Volumenstrom. Dieser wiederum hängt ab von der Strömungsgeschwindigkeit des den Entladungsraum durchsetzenden Lasergases sowie von der Größe des für das Lasergas zur Verfügung stehenden Strόmungsquer- schnittes . Nachdem im Falle von Gaslasern der erfindungsgemäßen Art die Erstreckung des Entladungsräumes in Strahlausbreitungs- richtung die Erstreckung des Entladungsräumes quer dazu in der Regel erheblich übersteigt, hätte das aus dem Entladungsräum abzuführende Lasergas in Strahlausbreitungsrichtung einen verhältnismäßig langen, mit StrömungsVerlusten behafteten Weg zurückzulegen. Dementsprechend wäre das Lasergas dem Entladungs- räum mit einer verhältnismäßig hohen Strömungsgeschwindigkeit zuzuführen. Damit aber wären dann wiederum hohe Strömungsverluste verbunden, die ihrerseits negative Folgen für den Wirkungsgrad des gesamten Gaslasers hätten. Gemäß Patentanspruch 1 nun wird zum einen der Strömungsweg des den Entladungsräum erfindungsgemäßer Gaslaser durchsetzenden Lasergases im Interesse möglichst geringer Strömungsverluste minimiert. Zum anderen wird der Strömungsquerschnitt beim Beschicken des Entladungs- raumes mit Lasergas relativ niedriger Temperatur maximiert. Aufgrund der beschriebenen Ausbildung erfindungsgemäßer Gaslaser können für den Lasergasaustausch die gesamten Mantelflächen der sich in Strahlausbreitungsrichtung erstreckenden Elektrodenrohre zur Verfügung stehen. Der Lasergasaustausch erfolgt unter Durchströmen der Elektrodenrohre mit Lasergas.

Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Patentansprüchen. Das kennzeichnende Merkmal von Patentanspruch 2 dient der Erzeugung einer über das betreffende Elektrodenrohr gleichförmigen Lasergasströmung.

Ein wesentlicher Aspekt der Erfindung ist die Ausbildung der lasergasdurchlässigen Elektrodenrohre erfindungsgemäßer Gaslaser. Besonders zweckmäßig sind Elektrodenrohre, wie sie in Patentanspruch 3 beschrieben sind. Der gesinterte Werkstoff setzt nämlich dem Lasergas einen lediglich geringen Strömungswiderstand entgegen, sodass ein geringfügiger Druckunterschied an den Elektrodenrohren ausreicht, um das Lasergas durch diese hindurch strömen zu lassen. Die Vielzahl der Lasergasdurchlässe in dem gesinterten Material ergibt einen Strδmungsquerschnitt für das Lasergas, der an die Hälfte der sich quer zu der Gaszufuhrrichtung erstreckenden Fläche der Elektrodenrohre heranreicht. Aufgrund ihrer elektrisch leitenden Eigenschaften lassen sich die in Patentanspruch 3 beschriebenen Elektrodenrohre ohne weiteres zur Erzeugung des für die Lasergasentladung erforderlichen elektrischen Feldes verwenden. Von besonderem Vorteil ist der Umstand, dass die gesinterten Elektrodenrohre zugleich als Laminierungsgitter, d.h. als Einrichtungen zur Erzeugung einer gleichförmigen LasergasStrömung, dienen können.

Patentanspruch 4 betrifft einen erfindungsgemäßen Gaslaser, dessen Entladungsraum wenigstens eine von den Elektrodenrohren verschiedene und sich in Strahlausbreitungsrichtung erstreckende Entladungsraumwandung aufweist. Ein wirksames Durchsetzen des Entladungsräumes eines derartigen Gaslasers mit Lasergas ist gemäß Patentanspruch 4 gewährleistet.

Im Falle der Erfindungsbauart nach Patentanspruch 5 ist der Werkstoff der Elektrodenrohre als solcher nicht lasergasdurchlässig. Die Lasergasdurchlässigkeit der Elektrodenrohre der letztgenannten Erfindungsbauart wird bewirkt durch die Schlitzung der Elektrodenrohre.

Im Falle des Gaslasers nach Patentanspruch 6 lassen sich die Elektrodenrohre außer zur Erzeugung des elektrischen Feldes für die Lasergasentladung auch zur Kühlung des Lasergases nutzen.

Der Erläuterung der Erfindung dienen die nachstehenden Figuren 1 bis 5, welche schematisiert und beispielhaft Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Gaslasers zeigen. Alle vorgestellten Gaslaserbauarten stimmen dabei in Aufbau und Funktion grundsätzlich miteinander überein.

Mit einem Gaslaser 1 zeigt Figur 1 einen Gaslaser koaxialer Bauart mit Elektrodeneinheiten in Form konzentrischer Elektrodenrohre 2, 3. Letztere sind aus gelochtem Blech gefertigt und bilden einen ringartigen Zwischenraum aus, der als Entladungsraum 4 dient. Alternativ können die Elektrodenrohre 2, 3 aus gesintertem Metall bestehen. Das Elektrodenrohr 2 ist in Gaszufuhrrichtung 5, das Elektrodenrohr 3 in Gasabfuhrrichtung 6 lasergasdurchlässig. Mittels einer Lasergaspumpe 7 wird Lasergas in einen Lasergaseintritts- räum 8 aufgegeben, von wo aus es in Gaszufuhrrichtung 5 durch das äußere Elektrodenrohr 2 hindurch in den Entladungsraum 4 einströmt . Das dadurch aus dem Entladungsräum 4 verdrängte erhitzte Lasergas durchsetzt das innere Elektrodenrohr 3 in Gas- abfuhrrichtung 6 und gelangt dabei in einen kreiszylindrischen Lasergasaustrittsraum 9 im Innern des inneren Elektrodenrohres 3. Von dort aus wird das erhitzte Lasergas durch die Lasergaspumpe 7 angesaugt. Zur Aufbereitung des Lasergases benötigte Lasergaskühler 10, 11 sind in diejenigen Leitungen eingeschaltet, über welche die Lasergaspumpe 7 an den Lasergaseintritts- räum 8 sowie den Lasergasaustrittsraum 9 angeschlossen ist. Alternativ oder ergänzend können Lasergaskühler in dem Lasergas- eintrittsraum 8 sowie dem Lasergasaustrittsraum 9 vorgesehen sein. In den Lasergaseintrittsraum 8 gelangt der mittels der Lasergaspumpe 7 erzeugte Lasergasstrom nach Passieren des Lasergaskühlers 10 und damit verbundener Abkühlung, ehe er durch das in Gaszufuhrrichtung 5 lasergasdurchlässige Elektrodenrohr 2 in den Entladungsraum 4 eintritt . Das aus dem Entladungsraum 4 verdrängte erhitzte Lasergas passiert unter entsprechender Abkühlung den Lasergaskühler 11 und strömt schließlich der Lasergaspumpe 7 zu. Der in dem Entladungsräum 4 erzeugte Laserstrahl breitet sich in axialer Richtung des Entladungsraumes 4 und somit parallel zur Achse des kreiszylinderischen Lasergasaustrittsraumes 9 aus. Dementsprechend ist es gerechtfertigt, der Achse des Lasergasaustrittsraumes 9 sowie der Strahlausbreitungsrichtung ein und dasselbe Bezugszeichen, vorliegend das Bezugszeichen 12, zuzuordnen. In Strahlausbreitungsrichtung 12 erstrecken sich die quer zu dieser Richtung voneinander beabstandeten und den Entladungsraum 4 des Gaslasers 1 begrenzenden Elektrodenflächen. Ein Rückspiegel sowie ein Auskoppelspiegel herkömmlicher Bauart begrenzen den Entladungsräum 4 in dessen axialer Richtung. Ein Hochfrequenz (HF) -Generator ist wie üblich an die Elektrodenrohre 2 , 3 angeschlossen und legt an diese eine hochfrequente WechselSpannung zur Erzeugung des Laserstrahls an.

Aufgrund der beschriebenen Lasergasdurchlässigkeit der Elektrodenrohre 2, 3 in Gaszufuhrrichtung 5 bzw. in Gasabfuhrrichtung 6 kann der Entladungsräum 4 auf kürzestem Wege, mit geringem Strömungswiderstand und mit geringer Strömungsgeschwindigkeit wirksam mit Lasergas durchsetzt werden. Die Lasergastemperatur im Innern des Entladungsräumes 4 lässt sich folglich bei gutem Wirkungsgrad der Gesamtanordnung auf einem Niveau einstellen, bei welchem eine hohe Laserleistung gewährleistet ist.

Der besondere Nutzen von in Gaszufuhrrichtung bzw. in Gasabfuhrrichtung quer zu der Strahlausbreitungsrichtung lasergasdurchlässigen Elektrodenrohren im Falle koaxialer Gaslaser der in Figur 1 gezeigten Art resultiert daraus, dass der Entladungsraum derartiger Gaslaser, wie auch der Entladungsräum 4 gemäß Figur 1, bei relativ großer axialer Erstreckung in radialer Richtung häufig relativ eng ist. Infolgedessen würde im Innern des Entladungsräumes einer Lasergasströmung in Strahlausbreitungsrichtung ein erheblicher Strδmungswiderstand entgegengesetzt. Bei Querströmen koaxialer Gaslaser, wie es im Falle des Gaslasers 1 nach Figur 1 verwirklicht ist, steht dem Lasergas an beiden Elektrodenrohren ein großer Strδmungsquerschnitt zur Verfügung, wobei gleichzeitig der von dem Lasergas im Innern des Entladungsräumes zurückzulegende Strömungsweg sehr klein ist. Dementsprechend reicht beispielsweise im Falle des Gaslasers 1 ein geringer Unterschied zwischen dem in dem Laser- gaseintrittsraum 8 und dem in dem Lasergasaustrittsraum 9 herrschenden Druck aus, um ein wirksames Durchsetzen des Entladungsraumes 4 mit Lasergas zu gewährleisten. Nicht zuletzt aufgrund dieses Umstandes kann die LasergasStrömung von dem Laser- gaseintrittsraum 8 durch den Entladungsräum 4 in den Lasergasaustrittsraum 9 auch bewerkstelligt werden mittels eines in dem Lasergasaustrittsraum 9 in axialer Richtung strömenden Mediums, welches das Lasergas nach Art einer Wasserstrahlpumpe durch die Elektrodenrohre 2, 3 hindurch, in Figur 1 von außen nach innen, ansaugt .

Ebenfalls ein Gaslaser koaxialer Bauart, nämlich ein Gaslaser 21, ist in Figur 2 gezeigt. Dabei wird ein Entladungsräum 24 on einem ringraumartigen Zwischenraum zwischen Elektrodenein- heiten in Form koaxialer Elektrodenrohre 22, 23 gebildet. Bei diesen handelt es sich um gesinterte Metallrohre. Das äußere Elektrodenrohr 22 ist in Gaszufuhrrichtung 5, das innere Elektrodenrohr 23 in Gasabfuhrrichtung 6 lasergasdurchlässig. Auf der Außenwand des Elektrodenrohres 22 verläuft eine kühlmittelführende Kühl endel 33, entsprechend auf der Innenwand des Elektrodenrohres 23 eine kühlmittelführende Kühlwendel 34.

Die Lasergaszirkulation vollzieht sich wie vorstehend zu Figur 1 beschrieben. Mittels einer Lasergaspumpe 27 in Form eines Radiallüfters wird Lasergas in einen Lasergaseintrittsraum 28 im Innern eines Gaslasergehäuses 35 gedrückt. Nach Passieren der Kühlwendel 33 und damit verbundener Abkühlung durchsetzt das Lasergas das äußere Elektrodenrohr 22 in Gaszufuhrrichtung 5 und gelangt dadurch in den Entladungsräum 24. Erhitztes Lasergas strömt infolgedessen aus dem Entladungsräum 24 in Gasabfuhrrichtung 6 durch das innere Elektrodenrohr 23 in einen Lasergasaustrittsraum 29 und wird auf seinem Weg mittels der Kühlwendel 34 abgekühlt. Aus dem Lasergasaustrittsraum 29 wird das Lasergas schließlich mittels der Lasergaspumpe 27 in axialer Richtung des Lasergasaustrittsraumes 29 abgesaugt. Ein Laserstrahl ist in Figur 2 strichpunktiert angedeutet. Die Strahlausbreitungsrichtung 12 wird durch einen Rückspiegel 36 sowie einen Auskoppelspiegel 37 definiert. Der Gang des Laserstrahls im Innern des Entladungsräumes 24 ist im Einzelnen in Figur 2a gezeigt. Ermöglicht wird dieser Strahlengang durch die gewählte Ausbildung von Rückspiegel 36 und Auskoppelspiegel 37. So besitzt der Rückspiegel 36 in bekannter Weise eine konische Spiegelfläche; die Spiegelfläche des Aus- koppelspiegels 37 verläuft helixartig um die in Figur 2a strichpunktiert angedeutete gedachte Achse des Entladungsräumes 24 sowie in Richtung dieser Achse ansteigend.

Weitere Gaslaser koaxialer Bauart, nämlich ein Gaslaser 41 sowie ein Gaslaser 61, sind in den Figuren 3 und 4 teilweise dargestellt .

Gemäß Figur 3 wird ein ringraumartiger Entladungsräum 44 von Elektrodeneinheiten in Form von Elektrodenrohren 42, 43 begrenzt. Die aus gewalztem Metall bestehenden Elektrodenrohre 42, 43 sind wendelartig geschlitzt und aufgrund dieser Schlitzung in Gaszufuhrrichtung 5 bzw. in Gasabfuhrrichtung 6 lasergasdurchlässig. Anders als im Falle gesinterter Elektrodenrohre ist der Werkstoff der Elektrodenrohre 42, 43 als solcher nicht lasergasdurchlässig.

Gemäß Figur 4 wird ein Entladungsräum 64 des Gaslasers 61 begrenzt durch Elektrodeneinheiten in Form von konzentrischen, kühlmittelführenden Kühlwendeln, welche Elektrodeneinheiten nach Art von Elektrodenrohren 62, 63 bilden. Elektrodenflächen 78, 79 sind dabei in Form der zu dem Entladungsraum 64 hin lie- genden Wandungsteile der Elektrodenrohre 62, 63 vorgesehen. Die Lasergasdurchlässigkeit des äußeren Elektrodenrohres 62 in Gaszufuhrrichtung 5 sowie des inneren Elektrodenrohres 63 in Gas- abfuhrrichtung 6 stellt sich ein aufgrund der Abstände zwischen den einander benachbarten Wendelgängen der Elektrodenrohre 62, 63. Im Falle des Gaslasers 61 lassen sich die Elektrodenrohre 62, 63 außer zur Erzeugung des elektrischen Feldes für die Lasergasentladung auch zur Kühlung des Lasergases nutzen. Alternativ zu den im Einzelnen beschriebenen Elektrodenbauarten können auch aus Lochblech geformte Elektrodenrohre verwendet werden.

Figur 5 betrifft einen Gaslaser 81 mit einem Entladungsräum 84, welcher durch konzentrische, in Strahlausbreitungsrichtung 12 verlaufende Entladungsraumwandungen 100, 101 aus dielektrischem Material begrenzt ist. Die Entladungsraumwandungen 100, 101 sitzen auf Elektrodenrohren 82, 83 auf, die entsprechend den Elektrodenrohren 42, 43 gemäß Figur 3 ausgebildet sind. Dementsprechend sind auch die Elektrodenrohre 82, 83 wendelartig geschlitzt. Auf gleiche Art und Weise wendelartig geschlitzt sind die Entladungsraumwandungen 100, 101, die infolgedessen wendelartige Lasergasdurchtritte 102, 103 ausbilden.

Lasergas wird mittels einer Lasergaspumpe der vorstehend beschriebenen Art in den Entladungsräum 84 aufgegeben. Dabei strömt das Lasergas über ein stromaufwärts des Elektrodenrohres 82 angeordnetes Leitgitter 104, welches als Einrichtung zur gleichmäßigen Verteilung des in Gaszufuhrrichtung 5 strömenden Lasergases auf den wendelartigen Schlitz des Elektrodenrohres

82 bzw. auf den wendelartigen Lasergasdurchtritt 102 der Entladungsraumwandung 100 dient. Stromaufwärts des Leitgitters 104 befindet sich ein nicht dargestellter Lasergaskühler. Entsprechend ist ein Lasergaskühler stromabwärts des Elektrodenrohres

83 angeordnet. Anstelle des Leitgitters 104 kann als Einrichtung zur gleichmäßigen Verteilung des dem Entladungsräum 84 zugeführten Lasergases auch eine sich verzweigende Gaszufuhrleitung vorgesehen sein. Eine derartige verzweigte Gaszufuhrleitung bewirkt ebenso wie das in Figur 5 gezeigte Leitgitter 104 eine gleichförmige LasergasStrömung im Innern des Entladungsraumes 84 quer zu der Strahlausbreitungsrichtung 12. Den Entladungsraum 84 verlasst das verdrängte Lasergas durch den wendelartigen Lasergasdurchtritt 103 der Entladungsraumwandung 101 sowie durch das wendeiförmig geschlitzte Elektrodenrohr 83. Aus dem Innern des Elektrodenrohres 83 wird das erhitzte Lasergas schließlich mittels der nicht gezeigten Lasergaspumpe sowie unter Abkühlung an dem stromabwärts des Elektrodenrohres 83 vorgesehenen Lasergaskühler abgezogen.

Claims

Patentansprüche

1. Gaslaser mit einem Entladungsräum (4, 24, 44, 64, 84), in welchem wenigstens ein Laserstrahl in Strahlausbreitungsrichtung (12) verläuft, welcher unter Beschicken mit Lasergas in Gaszufuhrrichtung (5) sowie unter Abfuhr von Lasergas in Gasabfuhrrichtung (6) mit Lasergas geströmt ist und welcher vorgesehen ist als Zwischenraum zwischen zwei einander zugeordneten und zur Laserstrahlerzeugung dienenden Elektrodeneinheiten in Form zweier Elektrodenrohre (2, 3; 22, 23; 42, 43; 62, 63; 82, 83) , die jeweils eine sich in Strahlausbreitungsrichtung (12) erstreckende Elektrodenfläche ausbilden und die unterschiedlich große Querschnitte aufweisen, wobei das Elektrodenrohr (3, 23, 43, 63, 83) kleineren Querschnittes innerhalb des Elektrodenrohres (2, 22, 42, 62, 82) größeren Querschnittes angeordnet ist und wobei die Elektrodenflächen der Elektrodenrohre (2, 3; 22, 23; 42, 43, 62, 63; 82, 83) quer zu der Strahlausbreitungs- richtung (12) voneinander beabstandet sind, dadurch gekennzeichnet, dass eines (2, 22, 42, 62, 82) der Elektrodenrohre (2, 3; 22, 23; 42, 42; 62, 63; 82, 83) in Gaszufuhrrichtung (5) quer zu der Strahlausbreitungsrichtung (12) und das andere Elektrodenrohr (3, 23, 43, 63, 83) in Gasabfuhrrichtung (6) quer zu der Strahlausbreitungsrichtung (12) lasergasdurchlässig ist und dass der Entladungsräum (4, 24, 44, 64, 84) durch das erstgenannte Elektrodenrohr (2, 22, 42, 62, 82) hindurch mit Lasergas beschickt und dass durch das zweitgenannte Elektrodenrohr (3, 23, 43, 63, 83) hindurch Lasergas aus dem Entladungsraum (4, 24, 44, 64, 84) abgeführt wird.

2. Gaslaser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass stromaufwärts von entladungsraumseitigen Lasergasauslässen des in Gaszufuhrrichtung (5) lasergasdurchlässigen Elektrodenrohres (82) wenigstens eine Einrichtung (104) zur gleichmäßigen Verteilung des dem Entladungsräum (84) zugeführten Lasergases auf die Lasergasauslässe vorgesehen ist.

3. Gaslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das in Gaszufuhrrichtung (5) und/oder das in Gasabfuhrric tung (6) lasergasdurchlässige Elektrodenrohr (2, 3; 22, 23) durch einen gesinterten, elektrisch leitenden

Werkstoff gebildet ist bzw. sind.

4. Gaslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Entladungsräum (84) wenigstens eine sich in Strahlausbreitungsrichtung (12) erstreckende Entladungsraumwandung (100, 101) aufweist, an deren von dem Entladungsraum (84) in radialer Richtung abliegenden Seite das in Gaszufuhrrichtung (5) oder das in Gasabfuhrrichtung (6) lasergasdurchlässige Elektrodenrohr (82, 83) vorgesehen ist, wobei die Entladungsraumwandung (100, 101) wenigstens einen Lasergasdurchtritt (102, 103) aufweist, welcher mit dem zugeordneten Elektrodenrohr (82, 83) in Lasergas-Strömungsverbindung steht.

5. Gaslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrodenrohre (42, 43) aus einem an sich lasergasundurchlässigen Werkstoff bestehen und in Gaszufuhrrichtung (5) bzw. in Gasabfuhrrichtung (6) lasergasdurchlässig sind, indem sie wendelartig geschlitzt sind.

6. Gaslaser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Elektrodenrohre (62, 63) konzentrische, kühlmittelführende Kühlwendeln vorgesehen sind, deren einander benachbarte Wendelgänge in Strahlausbreitungsrichtung (12) voneinander beabstandet sind.