EP0914587B1 - Dünnschichtanzündelement für pyrotechnische wirkmassen und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Dünnschichtanzündelement für pyrotechnische wirkmassen und verfahren zu dessen herstellung Download PDF

Info

Publication number
EP0914587B1
EP0914587B1 EP98929356A EP98929356A EP0914587B1 EP 0914587 B1 EP0914587 B1 EP 0914587B1 EP 98929356 A EP98929356 A EP 98929356A EP 98929356 A EP98929356 A EP 98929356A EP 0914587 B1 EP0914587 B1 EP 0914587B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
ignition
layer
accordance
thin
hafnium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP98929356A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0914587A1 (de
Inventor
Horst Laucht
Heinz-Wilhelm Ehlbeck
Horst Reichardt
Viktor Tiederle
Uwe Weiss
Markus Scholz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nico Pyrotechnik Hanns Juergen Diederichs GmbH and Co KG
Conti Temic Microelectronic GmbH
ZF Airbag Germany GmbH
Original Assignee
Nico Pyrotechnik Hanns Juergen Diederichs GmbH and Co KG
Conti Temic Microelectronic GmbH
TRW Airbag Systems GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE1997121929 external-priority patent/DE19721929C1/de
Priority claimed from DE1997132380 external-priority patent/DE19732380B4/de
Application filed by Nico Pyrotechnik Hanns Juergen Diederichs GmbH and Co KG, Conti Temic Microelectronic GmbH, TRW Airbag Systems GmbH filed Critical Nico Pyrotechnik Hanns Juergen Diederichs GmbH and Co KG
Publication of EP0914587A1 publication Critical patent/EP0914587A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0914587B1 publication Critical patent/EP0914587B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F42—AMMUNITION; BLASTING
    • F42B—EXPLOSIVE CHARGES, e.g. FOR BLASTING, FIREWORKS, AMMUNITION
    • F42B3/00—Blasting cartridges, i.e. case and explosive
    • F42B3/10—Initiators therefor
    • F42B3/195—Manufacture
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F42—AMMUNITION; BLASTING
    • F42B—EXPLOSIVE CHARGES, e.g. FOR BLASTING, FIREWORKS, AMMUNITION
    • F42B3/00—Blasting cartridges, i.e. case and explosive
    • F42B3/10—Initiators therefor
    • F42B3/12—Bridge initiators
    • F42B3/13—Bridge initiators with semiconductive bridge

Definitions

  • the invention relates to a thin-layer ignition element for pyrotechnic active materials according to the preamble of claim 1 and method for its production according to the preamble of claim 11.
  • a thin wire bridge is reduced Resistor (2 ⁇ ) heated and evaporated by a current pulse. Through this one thermal impulse is then ignited the pyrotechnic active mass.
  • Resistor (2 ⁇ ) heated and evaporated by a current pulse Through this one thermal impulse is then ignited the pyrotechnic active mass.
  • DE 42 22. 223 C1 becomes a thin-film ignition bridge made of titanium, titanium nitride or one Alloy containing predominantly titanium is proposed as titanium or titanium nitride due to their high thermal conductivity and their compared to conventional ignition bridge materials higher electrical resistance when melting one Ensure large and uniform heating of the pyrotechnic active mass.
  • the ignition energy required for this is very high because titanium has a melting point over 1660 ° Celsius; Titanium nitride over 2900 ° Celsius and common titanium alloys are still above.
  • the object of the present invention is to develop a thin-layer ignition element, which can be ignited by a low initialization energy and this with the lowest possible loss of efficiency passes on to the pyrotechnic ignition compound.
  • the thin-layer ignition element should also be simple and in large numbers be producible.
  • Characteristic of the present invention is the coupling of physical, chemical and thermal energy input from the hafnium hydride directly into the pyrotechnic active mass with significantly smaller amounts of initialization energy.
  • a mixture with titanium is also available Linking their positive properties.
  • hafnium hydride or hafnium / titanium hydride mixture is decomposed atomic hydrogen released, resulting in a significant increase in pressure between Ignition bridge layer and pyrotechnic active mass leads.
  • the atomic also works Hydrogen itself as an igniter (chemical reaction with oxygen and Constituents of the pyrotechnic active mass). It can also be used for training of a plasma.
  • the metallic component titanium which is preferably used in a supplementary manner, can be used easy to master in terms of process technology and has the basic mode of operation, so that in addition to the effect of the reactive hydrogen released during the decomposition as well as the effect of the resulting plasma and the energy input by the heated metal atoms is high, which accelerates the ignition process.
  • the metallic component hafnium used is characterized by a higher specific atomic weight, so that in addition to the effect of the decomposition released reactive hydrogen as well as the effect of the resulting plasma also the energy input through the heavy metal atoms is particularly high, which Ignition process accelerated. More advantageous compared to other metal hydride layers is the high thermal stability with regard to the out diffusion of the hafnium hydride Hydrogen and the even higher compared to the already quite good titanium Decomposition temperature of the metal hydride layer, which has a favorable effect on the stability against thermal environmental influences and on the overall service life of the Ignition element affects.
  • the thermal insulation layer under the ignition bridge layer reduces energy losses through the heat dissipation into the carrier substrate and thus increases the direction of the pyrotechnic active mass flowing and thus effective amount of energy.
  • Variation of the structure geometry and in particular thickness of the thermal Insulation layer can therefore also the ignition time and the minimum required Ignition voltage can be influenced.
  • the ignition bridge layer In order to minimize the contact resistance between the ignition bridge and the Ensuring contacts are first across from the ignition bridge layer the ignition bridge formed large-area contact surfaces and these as completely as possible touch the metallization layers of the contacts. In addition to the separation of the Metallization layer on the ignition bridge layer is also a face-down contact possible from interconnect areas integrated in the carrier substrate, the ignition bridge layer to contact from the opposite side. The ignition bridge layer can then on the carrier substrate surface or optionally also on the interposed structured metallization layer is deposited.
  • a spark plug layer between 0.2 and 2 ⁇ m allows for a specific one Resistance of the titanium hydride of approx. 0.50 ⁇ m is a quite large surface area of the Ignition bridge and good variation possibilities by length and width of the ignition bridge in the preferred range of total electrical resistance of the ignition bridge layer of 0.5 to approx. 200 ⁇ .
  • the further training according to claim 13 should also be considered, after which the ignition bridge layer is cooled when the metallization layer is deposited so that the local temperature does not exceed 350 ° Celsius.
  • FIG. 1 shows an ignition element with a deposited, structured and hydrogenated ignition bridge layer 2 made of hafnium hydride HfH x; (0.025 ⁇ x ⁇ 2) or a mixture of hafnium hydride with TiH x; (0.2 ⁇ x ⁇ 2) on a carrier substrate 4 with a thermal insulation layer 3.
  • the thermal insulation layer 3 is designed as a closed epitaxially deposited SiO 2 layer. In principle, however, this can also be produced by oxidation of a silicon substrate surface. In addition, other materials for thermal insulation are also suitable. It is essential for the function, however, that it is neither electrically short-circuited by the thermal insulation layer 3 nor by the carrier substrate 4, if the thermal insulation layer 3 is dispensed with.
  • the contact surfaces 21 (see FIG. 1a) of the ignition bridge layer are widened designed to have the lowest possible contact resistance to the To reach contacts 1. Accordingly, the contacts 1 as an Al layer or another layer made of a highly conductive material realized (see Fig.1b and Fig.1c) to facilitate contacting.
  • the Dimensions of the contact surfaces 21 depend on the respective required contacting conditions.
  • the Sequence of layers on average clearly, the variable thickness d of thermal insulation layer 3 the ignition timing and the at least required ignition voltage affects. Namely, the ignition bridge layer 2 flowed through by the current, so is the time to reach the critical decomposition temperature essentially from the thermal conductivity the insulation layer 3 dependent. Can a larger amount of heat flow off over the insulation layer 3 to the carrier substrate 4, so delayed the ignition point or a higher power must be implemented what a higher ignition voltage means.
  • the hafnium and / or Titanium hydride layer 2 also directly on the carrier substrate 4 be deposited if there is a delay in the ignition timing desired or the ignition voltage is selected to be correspondingly high and in addition, the carrier substrate is not electrically conductive.
  • the contacts 1 are again on the structured ignition bridge layer 2 deposited (see. Fig. 2b and 2c).
  • FIG 4 shows the basic circuit diagram of the ignition circuit.
  • the ignition takes place by applying an electrical voltage U in the low-voltage range to the metallized contacts 1.
  • U electrical voltage
  • U electrical voltage
  • metallized contacts 1 metallized contacts 1
  • a Joule heating of the ignition bridge 2 which then through their warming and chemical decomposition (Release of reactive hydrogen) and a plasma discharge Ignition process in the directly lying pvrotechnical active mass 5 (cf. Fig. 5) initiated.
  • the hot metal atoms and the pressure lead to one widespread inflammation.
  • the arrangement of the pyrotechnic active mass 5 can on the one hand directly of the ignition bridge layer 2 (see FIG. 5) in addition to the hydrogen reaction and plasma effects also use direct heat conduction. Or it becomes an ignition bridge layer by means of distance-determining intermediate layers 6 2 realizes a small distance 7 (see FIG. 6) in order primarily to use the pure plasma effect.
  • FIG. 7 now shows yet another embodiment in which the ignition bridge layer 2 in the area of the contact surfaces 21 from the lower one opposite pyrotechnic active mass is contacted.
  • the Contacts 1 are embedded in the top of the carrier substrate, for example. Between contacts 1 and under the effective area of the ignition bridge layer 2, the thermal insulation layer 3 is provided, which the Ignition bridge layer 2 thermally and electrically from the carrier substrate 4 isolated.
  • the carrier substrate points toward interconnect regions toward the contacts 1 4.1, which are made, for example, of highly doped carrier substrate material (Si).
  • the two interconnect areas 4.1 are separated by an isolation trench 4.2 Carrier substrate 4 isolated from each other.
  • Advantage of this embodiment is the omission of an Al layer and external connections to the Contacts.
  • the contact between pyrotechnic Active mass and ignition bridge layer simplified and improved.
  • Embodiments are particularly other, for example circular configurations of the ignition bridge layer are conceivable.
  • FIG 8 in turn, an embodiment of another Further development of the invention is shown, after which on the ignition bridge layer 2 in the effective area of the ignition bridge between contacts 1 an insulation layer 7 is deposited.
  • an insulation layer 7 is deposited.
  • Oxide material existing insulation layer 7 can the heating process of the ignition bridge layer to the temperature required for the decomposition a pressure increase can be accelerated.
  • the thickness of the layer and its Structure (local tapering of the insulation layer 7 as a predetermined breaking point ect.) Is chosen so that after the release of the reactive hydrogen and the beginning of expansion, the insulation layer 7 at a previously defined Pressure opens and the hot hydrogen gas as well as the hot particles of the Ignition bridge layer and, if developing, the plasma on or in the pyrotechnic active mass 5 can reach.
  • the insulation layer 7 is only so thick that it directly at Beginning of the reaction of the ignition bridge layer 2 is destroyed.
  • the Insulation layer 7 can consist of a material or a sequence of layers exist in which at least the directly on the ignition bridge layer 2 lying must be electrically insulating so that the ignition bridge layer 2 is not bridged.
  • a partial metal deposition as the top layer of the Insulation layer 7 is conceivable, however, because of the reflection on the metallized top layer the heat before the destruction of the insulation layer 7 is reflected back into the ignition bridge layer 2 and thus this heated faster.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Air Bags (AREA)

Abstract

Die zum Zünden pyrotechnischer Wirkmassen verwendeten Dünnschichtanzündelemente weisen meist recht hohe Zündspannungen bzw. Initialisierungsenergiemengen auf. Sie basieren meist auf einer rein thermischen Kopplung eines erhitzten und verdampfenden Zündbrückenmaterials. Durch Verwendung von Hafnium-hydrid und/oder Titanhydrid als Zündbrückenschicht (2) und durch ein halbleiterprozeßkompatibles Herstellungsverfahren lassen sich äußerst einfach und in großer Stückzahl Anzündelemente herstellen, bei denen eine Zündspannung im Niedervoltbereich zur Initialisierung ausreicht. Es wird bereits bei einer geringen Erhitzungstemperatur ein Zersetzungsprozeß des Hafnium- und/oder Titanhydrids aktiviert, durch welchen insbesondere auch reaktiver Wasserstoff freigesetzt und ein Plasma gebildet wird. Derartige Anzündelemente ermöglichen deutlich vereinfachte Ansteuerschaltungen für Insassenschutzeinrichtungen, insbesondere Airbags in Kraftfahrzeugen.

Description

Die Erfindung betrifft ein Dünnschichtanzündelement für pyrotechnische Wirkmassen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 und Verfahren zu dessen Herstellung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 11.
Aus der DE 42 22 223 C1 ist ein elektrisches Anzündmittel gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bekannt.
In herkömmlichen Anzündelementen wird eine dünne Drahtbrücke geringen Widerstandes (2Ω) durch einen Stromimpuls erhitzt und verdampft. Durch diesen rein thermischen Impuls wird dann die pyrotechnische Wirkmasse entzündet. In der DE 42 22. 223 C1 wird dabei eine Dünnschicht-Zündbrücke aus Titan, Titannitrid oder einer überwiegend Titan enthaltenden Legierung vorgeschlagen, da Titan oder Titannitrid aufgrund ihrer hohen Wärmeleitfähigkeit und ihres gegenüber herkömmlichen Zündbrückenmaterialien höheren elektrischen Widerstandes beim Schmelzen eine großflächige und gleichmäßige Erhitzung der pyrotechnischen Wirkmasse gewährleisten. Die dafür erforderliche Zündenergie ist jedoch sehr hoch, da Titan einen Schmelzpunkt über 1660° Celsius aufweist ; Titannitrid über 2900° Celsius und übliche Titanlegierungen liegen noch darüber.
Eine andere Variante unter Verwendung vorzugsweise des Halbleitermaterials Polysilizium, dessen Wirkungsprinzip ebenfalls thermischer Natur ist, wird in US 4,708,060 beschrieben. Hierbei wird der ab einer erhöhten Temperatur auftretende negative Temperaturkoeffizient des Widerstandsmaterials ausgenutzt. Dies führt im Zündmoment neben der Hitzeübertragung zur Bildung eines dünnen Plasmas und einem konvektiven Druckeffekt. Der Aufbau ist dabei vergleichbar mit einer Widerstandsbrücke.
Ein anderes Zündprinzip, beschrieben in US 5,080,016, basiert auf der Verwendung einer Metallhydridfolie. Auf dieser freitragenden Folie ist ein Kunststoffstreifen aufgebracht, der durch die thermische Zersetzung der Hydridschicht (Gasdruckentwicklung) infolge eines Spannungsimpulses zerteilt und Teile des Kunststoffstreifens (Flyer) beschleunigt werden und auf die in einigem Abstand angeordnete pyrotechnische Wirkmasse treffen, wobei diese durch die Druckwirkung (Schockwelle) des auftreffenden Kunststoffteils gezündet wird. Die zugeführte elektrische Energie wird somit zunächst in thermische Energie und Druck umgesetzt, was wiederum zu einer kinetischen Energie des Flyers führt, welche dieser beim Auftreffen auf die pyrotechnische Wirkmasse in Druck und Wärme umsetzt. Durch diese mehrfache Energieumwandlung treten jedoch erhebliche Wirkungsgradverluste auf, so daß die zur Zündung verwendete Spannung dabei im kV-Bereich liegen muß. Das Patent US 5,080,016 benennt die Elemente Titan, Zirkonium, Nickel und Palladium als geeignete Metalle, um entsprechend Wasserstoff einzulagern.
Generell ist auch die Wasserstoffspeicherung in Metallhydriden als bekannt anzusehen, was jedoch meist als negativer Effekt auf die Festigkeit des Metalls (Wasserstoff-Krankheit) unerwünscht ist. Dieser Effekt kann auch zur gezielten Speicherung von Wasserstoff eingesetzt werden (vgl. Bergmann/ Schäfer : Lehrbuch der Experimentalphysik, Bd. 6 1992, S. 452 f.).
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Dünnschichtanzündelement zu entwickeln, welches durch eine geringe Initialisierungsenergie gezündet werden kann und diese mit möglichst geringen Wirkungsgradverlusten an die pyrotechnischen Zündmasse weitergibt. Das Dünnschichtanzündelement soll des weiteren einfach und in großen Stückzahlen herstellbar sein.
Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen des ersten Patentanspruches sowie durch das Verfahren zur Herstellung gemäß den Merkmalen des Patentanspruchs 15 gelöst.
Kennzeichnend für die vorliegende Erfindung ist die Kopplung von physikalischem, chemischem und thermischem Energieeintrag aus dem Hafniumhydrid direkt in die pyrotechnische Wirkmasse bei wesentlich - kleineren Initialisierungsenergiemengen. Neben Zündbrückenschichten aus Hafnium bietet sich auch ein Gemisch mit Titan zur Verknüpfung ihrer jeweils positiven Eigenschaften an.
So reichen Niedervoltspannungen < 50 V und eine Initialisierungsenergie im Bereich einiger Millijoule aus, um die Zündung in Gang zu setzen. Wesentlich für die Energieeinsparung ist dabei die Eigenschaft des Hafniumhydrids, welches sich bereits bei einer Lokaltemperatur ca. 450° bis 800 Grad Celsius zersetzt, währenddessen bisher eine Schmelztemperatur von ca. 1660° Celsius aufgebracht werden mußte. Mit zunehmendem Hafniumanteil erhöht sich bei Gemischen aus Hafnium- und Titanhydrid dabei jeweils die Zersetzungstemperatur.
Beim Zersetzen des Hafniumhydrids oder Hafnium-/Titan-hydrid-Gemischs wird aber atomarer Wasserstoff frei, was zu einem erheblichen Druckanstieg zwischen Zündbrückenschicht und pyrotechnischer Wirkmasse führt. Außerdem wirkt der atomare Wasserstoff selbst als Zündmittel (chemische Reaktion mit dem Sauerstoff und Bestandteilen der pyrotechnischen Wirkmasse). Dabei kann es auch zur Ausbildung eines Plasmas kommen.
Der vorzugsweise ergänzend anteilig verwendete metallische Bestandteil Titan läßt sich prozeßtechnisch einfach beherrschen und weist die grundlegende Wirkungsweise auf, so daß neben der Wirkung des bei der Zersetzung freiwerdenden reaktiven Wasserstoffs sowie der Wirkung des entstehenden Plasmas auch der Energieeintrag durch die erhitzten Metallatome hoch ist, was den Zündvorgang beschleunigt.
Der verwendete metallische Bestandteil Hafnium zeichnet sich durch ein höheres spezifisches Atomgewicht aus, so daß neben der Wirkung des bei der Zersetzung freiwerdenden reaktiven Wasserstoff sowie der Wirkung des entstehenden Plasmas auch der Energieeintrag durch die schweren Metallatome besonders hoch ist, was den Zündvorgang beschleunigt. Vorteilhafter im Vergleich zu anderen Metallhydridschichten ist die bei Hafniumhydrid hohe thermische Stabilität hinsichtlich der Ausdiffusion des Wasserstoffs sowie die gegenüber dem bereits recht guten Titan noch höhere Zersetzungstemperatur der Metallhydridschicht, was sich für günstig auf die Stabilität gegenüber thermischen Umwelteinflüssen und auf die Gesamtlebensdauer des Zündelementes auswirkt.
Diese Kopplung von Energieeinträgen führt zu einer sehr schnellen, im Mikrosekundenbereich liegenden Zündung der pyrotechnischen Wirkmasse, was bei nahezu allen praktischen Anwendungen von Zündelementen äußerst vorteilhaft ist.
Durch die geringe Zündspannung und Initialisierungsenergie reichen bereits Autobatterien o.ä. direkt und ohne aufwendige Spannungsverstärker zur Spannungsversorgung aus. Deshalb können diese Anzündelemente besonders vorteilhaft als Zünder für Airbags und andere Insassenschutzeinrichtungen verwendet werden.
Die thermische Isolationsschicht unter der Zündbrückenschicht verringert Energieverluste durch die Wärmeableitung in das Trägersubstrat hinein und erhöht somit die in Richtung der pyrotechnischen Wirkmasse fließende und somit wirksame Energiemenge. Durch Variation der Strukturgeometrie und insbesondere Dicke der thermischen Isolationsschicht kann daher auch die Zündzeit und die minimal erforderliche Zündspannung beeinflußt werden.
Durch die Anwendung eines halbleiterprozeßkompatiblen Herstellungsprozesses sowie die Verwendung eines Halbleitersubstrates als Trägersubstrat wird die Integration von Sensoren zur Überwachung der Funktionstüchtigkeit (z.B, Feuchtigkeits- und Temperatursensoren) sowie von Ansteuer- und Überwachungselektronik in einer mikroelektronischen Schaltung auf kleinstem Raum möglich. Schaltungstechnische Maßnahmen zur Absicherung des Anzündelements gegen hochfrequente Störimpulse und EMV-Einflüsse können ebenso vorteilhaft realisiert werden.
Um einen möglichst geringen Übergangswiderstand zwischen Zündbrücke und den Kontakten zu gewährleisten, werden zunächst aus der Zündbrückenschicht gegenüber der Zündbrücke großflächige Kontaktflächen ausgeformt und diese möglichst vollständig die Metallisierungsschichten der Kontakte berühren. Neben der Abscheidung der Metallisierungsschicht auf der Zündbrückenschicht ist auch eine Face-Down-Kontaktierung aus im Trägersubstrat integrierte Leitbahnbereiche denkbar, die Zündbrückenschicht von der entgegengesetzten Seite zu kontaktieren. Die Zündbrückenschicht kann dann auf die Trägersubstratoberfläche oder gegebenenfalls auch auf die zwischengeschobene strukturierte Metalllisierungsschicht abgeschieden wird.
Eine Zündbrückenschicht zwischen 0,2 und 2 µm erlaubt bei einem spezifischen Widerstand des Titanhydrids von ca 0,50 µΩ m eine recht große Oberfläche der Zündbrücke und gute Variationsmöglichkeiten durch Länge und Breite der Zündbrücke im bevorzugten Bereich des elektrischen Gesamtwiderstands der Zündbrückenschicht von 0,5 bis ca. 200 Ω.
Das zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Anzündelements erforderliche Verfahren wird in Patentanspruch 11 beschrieben, wobei insbesondere die gegenüber herkömmlichen Temperungsprozessen recht niedrige Temperatur von etwa 350° Celsius für die Wasserstoffeinlagerung sehr vorteilhaft ist. Während die Prozeßdauer bei niedrigeren Temperaturen (unter 300° Celsius) erheblich ansteigt, setzt bei höheren Temperaturen (über 400° Celsius) bereits der Zersetzungsprozeß des Titanhydrids ein, so daß eine Einlagerung von Wasserstoff nicht oder nur unter erheblich schwierigeren Prozeßbedingungen (Druck ect.) möglich wird. Bei hohem Hafniumanteil steigt die Temperaturfestigkeit.
In Zusammenhang damit ist auch die Weiterbildung gemäß Anspruch 13 zu betrachten, wonach beim Abscheiden der Metallisierungsschicht die Zündbrückenschicht gekühlt wird, so daß die lokale Temperatur die 350° Celsius nicht übersteigt.
Alle Herstellungsschritte sind dabei kompatibel für die Fertigung in Halbleiterfabriken ausgestaltet und können somit für eine Vielzahl von Anzündelementen gleichzeitig realisiert werden, indem als Trägersubstrat ein Siliziumwafer verwendet wird, der erst nach allen Herstellungsschritten zersägt wird.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1
Anzündelement mit abgeschiedender und strukturierter Zündbrückenschicht (0,2<x<2) auf einem Trägersubstrat mit einer thermischen Isolationsschicht,
Fig.1a
als Draufsicht ohne Kontaktmetallisierung,
Fig.1b
als Draufsicht mit Kontaktmetallisierung und
Fig.1c
als Schnittdarstellung
Fig.2
Anzündelement mit abgeschiedender und strukturierter Zündbrückenschicht (0,2<x<2) auf einem Trägersubstrat mit einer thermischen Isolationsschicht,
Fig.2a
als Draufsicht ohne Kontaktmetallisierung,
Fig.2b
als Draufsicht mit Kontaktmetallisierung und
Fig.2c
als Schnittdarstellung
Fig.3
thermodynamisch wirksame Länge I und Breite b der Zündstruktur
Fig.4
Prinzipschaltbild des Zündstromkreises
Fig.5
Anzündelement mit abgeschiedender und strukturierter Zündbrückenschicht (0,2<x<2) auf einem Trägersubstrat ohne eine thermische Isolationsschicht und mit einer direkt aufgebrachten pyrotechnischen Wirkmasse
Fig.6
Anzündelement mit abgeschiedender und strukturierter Zündbrückenschicht (0,2<x<2) auf einem Trägersubstrat mit einer thermischen Isolationsschicht sowie mit einer in geringem Abstand aufgebrachten pyrotechnischen Wirkmasse
Figur 7
Anzündelement mit aus dem Trägersubstrat herausgeführten Kontaktierung der Zündbrückenschicht
Figur 8
Anzündelement mit einer Dämmschicht auf der Zündbrücke
Von grundlegender Bedeutung für alle im folgenden gezeigten Ausführungsbeispiele ist, daß alle Herstellungsschritte und Schichten durch halbleiterprozeßkompatibel sind. Es wird jeweils nur ein Dünnschichtanzündelement gezeigt ; dieses wird jedoch mit einer Vielzahl identischer Anzündelemente auf einer Halbleitersubstratwaferscheibe realisiert. Grundsätzlich ist es aber auch möglich, anstelle eines Halbleitersubstrates ein anderes Trägersubstrat, bspw. eine Glas- oder Keramikfläche zu verwenden. Die Darstellung der Schichtdicken, -breiten und -längen ist schematisch und nicht maßstäblich.
Die Figur 1 zeigt ein Anzündelement mit bereits abgeschiedender, strukturierter und hydrierter Zündbrückenschicht 2 aus Hafniumhydrid HfHx ; (0,025<x<2) oder einem Gemisch aus Hafniumhydrid mit TiHx ; (0,2<x<2) auf einem Trägersubstrat 4 mit einer thermischen Isolationsschicht 3.
Die thermischen Isolationsschicht 3 ist in diesem Ausführungsbeispiel als geschlossene epitaktisch abgeschiedene SiO2-Schicht ausgestaltet. Grundsätzlich kann diese aber auch durch Oxidation einer Siliziumsubstratoberfläche hergestellt werden. Darüber hinaus sind auch andere Stoffe zur thermischen Isolation geeignet. Wesentlich für die funktion ist jedoch, daß es weder durch die thermische Isolationsschicht 3 noch durch das Trägersubstrat 4 ,falls auf die thermische Isolationsschicht 3 verzichtet wird, die Zündbrückenschicht 2 elektrisch kurzgeschlossen wird.
Die Kontaktflächen 21 (siehe Fig.1a) der zündbrückenschicht sind verbreitert ausgeführt, um einen möglichst geringen übergangswiderstand zu den Kontakten 1 zu erreichen. Entsprechend werden die Kontakte 1 als eine Al-Schicht oder eine andere Schicht aus einem hochleitfahigen Material realisiert (siehe Fig.1b und Fig.1c), um eine Kontaktierung zu erleichtern. Die Abmessungen der Kontaktflächen 21 richten sich nach den jeweils geforderten Kontaktierungsbedingungen. In Figur 1c wird noch einmal die Abfolge der Schichten im Schnitt deutlich, wobei die variable Dicke d der thermischen Isolationsschicht 3 den Zündzeitpunkt und die mindestens erforderliche Zündspannung beeinflußt. Wird nämlich die Zündbrückenschicht 2 vom Strom durchflossen, so ist die Zeit bis zum Erreichen der kritischen Zersetzungstemperatur im wesentlichen von der Wärmeleitfähigkeit der Isolationsschicht 3 abhängig. Kann eine größere Wärmemenge über die Isolationsschicht 3 an das Trägersubstrat 4 abfließen, so verzögert sich der Zündzeitpunkt oder aber es muß eine höhere Leistung umgesetzt werden, was eine höhere Zündspannung bedeutet.
Wie Figur 2 als zweites Ausführungsbeispiel zeigt, kann die Hafniumund/oder Titanhydridschicht 2 auch direkt auf dem Trägersubstrat 4 abgeschieden werden, falls eine Verzögerung des Zündzeitpunktes gewünscht oder die Zündspannung entsprechend hoch gewählt wird und außerdem das Trägersubstrat nicht elektrisch leitfähig ist. Die Kontakte 1 sind dabei wieder auf der strukturierten Zündbrückenschicht 2 abgeschieden (vgl. Fig. 2b und 2c).
Figur 3 verdeutlicht die letztlich wirksame Oberfläche der Zündbrückenschicht 2. Auch in dieser Figur 3 wurde eine rechteckfömige Struktur der Zündbrücke 2 der wirksamen Länge I und Breite b gewählt. Diese Struktur ist besonders einfach über die bekannten Gleichungen R=ρ I/A und P=U2/R theoretisch zu berechnen und außerdem fertigungstechnisch einfach zu dimensionieren. Die kritische Zündeigenschaften, wie Zündzeiten und Zündspannungen können dadurch angepaßt werden..
Figur 4 zeigt das Prinzipschaltbild des Zündstromkreises. Die Zündung erfolgt durch Anlegen einer elektrischen Spannung U im Niedervoltbereich an die metallisierten Kontakte 1. Infolge des einsetzenden Stromflusses kommt es zu einer joulschen Erwärmung der Zündbrücke 2 , welche daraufhin durch ihre Erwärmung und die chemische Zersetzung (Freisetzung von reaktivem Wasserstoff) und eine Plasmaentladung den Zündvorgang in der direkt aufliegenden pvrotechnischen Wirkmasse 5 ( vgl. Fig. 5) initiiert. Die heißen Metallatome und der Druck führen dabei zu einer großflächigen Entzündung.
Die Anordnung der pyrotechnischen Wirkmasse 5 kann einerseits direkt auf der Zündbrückenschicht 2 erfolgen (siehe Fig. 5), um neben der Wasserstoffreaktion und Plasmawirkung auch die direkte Wärmeleitung zu nutzen. Oder es wird mittels abstandsbestimmender Zwischenschichten 6 zur Zündbrückenschicht 2 ein geringer Abstand 7 realisiert (siehe Fig. 6), um vornehmlich die reine Plasmawirkung auszunutzen.
Figur 7 zeigt nun noch ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem die Zündbrückenschicht 2 im Bereich der Kontaktflächen 21 von der unteren, der pyrotechnischen Wirkmasse entgegengesetzten Seite kontaktiert wird. Die Kontakte 1 sind bspw. in die Trägersubstratoberseite eingelassen. Zwischen den Kontakten 1 und unter dem wirksamen Bereich der Zündbrückenschicht 2 ist die thermische Isolationsschicht 3 vorgesehen, welche die Zündbrückenschicht 2 thermisch und elektrisch vom Trägersubstrat 4 isoliert. Zu den Kontakten 1 hin weist das Trägersubstrat Leitbahnbereiche 4.1 auf, die bspw. aus hochdotiertem Trägersubstratmaterial (Si) sind. Die beiden Leitbahnbereiche 4.1 sind durch einen Isolationsgraben 4.2 im Trägersubstrat 4 voneinander isoliert. Vorteil dieses Ausführungsbeispieles ist ggfs. der Verzicht auf eine Al-Schicht und externe Anschlüsse an die Kontakte. Außerdem wird die Berührung zwischen pyrotechnischer Wirkmasse und Zündbrückenschicht vereinfacht und verbessert.
Neben den vorangehend beschriebenen und in den Figuren gezeigten Ausführungsbeispielen sind insbesondere auch andere, zum Beispiel kreisförmige Ausgestaltungen der Zündbrückenschicht denkbar.
In Figur 8 wiederum im Schnitt ein Ausführungsbeispiel einer weitere Weiterbildung der Erfindung dargestellt, wonach auf der Zündbrückenschicht 2 im wirksamen Bereich der Zündbrücke zwischen den Kontakten 1 eine Dämmschicht 7 abgeschieden ist. Durch eine derartige, bspw.aus Oxidmaterial bestehende Dämmschicht 7 kann der Aufheizprozeß der Zündbrückenschicht auf die für die Zersetzung erforderliche Temperatur durch eine Druckerhöhung beschleunigt werden. Die Dicke der Schicht und ihre Struktur (lokale Verjüngung der Dämmschicht 7 als Soll-Bruchstelle ect.) ist dabei so gewählt, daß nach dem Freisetzen des reaktiven Wasserstoffs und der beginnenden Expansion die Dämmschicht 7 bei einem vorab definierten Druck öffnet und das heiße Wasserstoffgas sowie die heißen Partikel der Zündbrückenschicht und, falls sich ausbildend, auch das Plasma an bzw. in die pyrotechnische Wirkmasse 5 gelangen können.
Vorzugsweise ist auch die Dämmschicht 7 nur so dick, daß diese direkt beim Beginn der Reaktion der Zündbrückenschicht 2 zerstört wird. Die Dämmschicht 7 kann aus einem Material oder einer Folge von Schichten bestehen, bei der zumindest die direkt an der zündbrückenschicht 2 liegende elektrisch isolierend seien muß, damit die Zündbrückenschicht 2 nicht überbrückt wird. Eine teilweise Metallabscheidung als Deckschicht der Dämmschicht 7 ist jedoch denkbar, da durch die Reflexion an der metallisierten Deckschicht die Wärme vor der Zerstörung der Dämmschicht 7 in die Zündbrückenschicht 2 zurück reflektiert wird und sich diese somit schneller erhitzt.

Claims (19)

  1. Dünnschichtanzündelement zur Zündung pyrotechnischer Wirkmassen (5), bestehend aus einem Trägersubstrat (4), auf dem zwei elektrische Kontakte (1) über eine chemisch und thermisch aktive Zündbrückenschicht (2) miteinander verbunden sind, die infolge einer an ihre Kontakte (1) angelegte Spannung (U) gezündet wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Zündbrückenschicht (2) eine hydrierte Schicht aus Hafnium oder einem Titan-Hafnium-Gemisch ist.
  2. Dünnschichtanzündelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zündbrückenschicht (2) durch eine Plasmaentladung gezündet wird.
  3. Dünnschichtanzündelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich unter der Zündbrückenschicht (2) zum Trägersubstrat (4) hin eine thermische Isolationsschicht (3) befindet.
  4. Dünnschichtanzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontakte (1) als zwei Metallisierungsschichten ausgeführt sind, welche aus der Zündbrückenschicht (2) ausgeformte Kontaktflächen (21) großflächig berühren.
  5. Dünnschichtanzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Zündzeit und minimal erforderliche Zündspannung (U) direkt durch eine. Veränderung der Strukturgeometrie und durch die Variation der Schichtdicke der Zündbrückenschicht (2) eingestellt wird.
  6. Dünnschichtanzündelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Zündbrückenschicht (2) eine näherungsweise konstante Schichtdicke von 0,2 bis 2 µm hat.
  7. Dünnschichtanzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß Zündzeit und minimal erforderliche Zündspannung (U) direkt durch eine Veränderung der Strukturgeometrie und durch die Variation der Schichtdicke der unter der Zündbrückenschicht (2) liegenden thermischen Isolationsschicht (3) eingestellt wird.
  8. Dünnschichtanzündelement nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die thermischen Isolationsschicht (3) eine näherungsweise konstante Schichtdicke von 0,5 bis 3 µm hat und aus Siliziumoxid ist.
  9. Dünnschichtanzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Veränderung der Zündzeit und der minimal erforderlichen Zündspannung die Strukturgeometrie und Schichtdicke der Zündbrückenschicht (2) dergestalt eingestellt wird, daß sich ein ohmscher Widerstand der Zündbrückenschicht zwischen 0,5 und 200 Ω, vorzugsweise bei etwa 20 Ω zustande kommt und die Oberfläche der Zündbrückenschicht (2) zur pyrotechnischen Wirkmasse (5) und zur thermischen Isolationsschicht (3) hin eine Größe zwischen 25 und 100 000 µm2 aufweist.
  10. Dünnschichtanzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zündbrückenschicht (2) aus Hafnium ohne einen Titananteil ist und das atomare Zusammensetzungsverhältnis (x) Wasserstoff/Hafnium der hydrierten Hafniumschicht (Hf Hx) im Bereich von 0,025 bis 2,0 liegt.
  11. Dünnschichtanzündelement nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der prozentuale Wasserstoffgehalt der hydrierten Hafniumschicht im Bereich von 2,25 bis 66,4 Prozent liegt.
  12. Dünnschichtanzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Zündbrückenschicht (2) aus einem hydrierten Hafnium-Titan-Gemisch ist.
  13. Dünnschichtanzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Zündbrückenschicht (2) eine thermisch und elektrisch isolierende Dämmschicht (7) zur pyrotechnischen Wirkmasse (5) hin aufgebracht wird, welche in Material und Struktur so beschaffen ist, daß sie beim Erreichen eines definierten Druckes durch die Reaktion der Zündbrückenschicht (2) zerstört wird.
  14. Dünnschichtanzündelement nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägersubstrat (4) ein Halbleitersubstrat mit integrierten Bauelementen zur zündansteuerung ist und die Kontaktflächen (21) der Zündbrückenschicht (2) mit im Trägersubstrat (4) integrierten Leitbahnbereichen (4.1) verbunden sind.
  15. Verfahren zur Herstellung eines Dünnschichtanzündelements nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
    a) zunächst eine Schicht aus Hafnium oder einem Titan/Hafnium-Gemisch abgeschieden und entsprechend der gewählten Strukturgeometrie der Zündbrückenschicht (2) sowie der Kontaktflächen (21) strukturiert wird, und
    b) nachfolgend Wasserstoff durch Temperung eingelagert wird, wobei die Temperatur während der Temperung vorzugsweise bei etwa 350° Celsius gehalten wird.
  16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Abscheiden des Hafniums oder Titan/Hafnium-Gemischs zunächst in einem Halbleiterprozeß eine mikroelektronische Schaltung im Trägersubstrat (4) und die thermische Isolationsschicht (3) realisiert wird.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Hydrieren des Hafniums oder Titan/Hafnium-Gemischs eine Aluminiumschicht abgeschieden und als Kontakte (1) entsprechend der Form der Kontaktflächen (21) der Zündbrückenschicht (2) strukturiert wird, wobei vorzugsweise die Anordnung aus Trägersubstrat (4) und Zündbrückenschicht (2) lokal derart gekühlt wird, daß die Temperatur der Zündbrückenschicht (2) unter 350° Celsius bleibt.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Anzündelementen auf einem Siliziumwafer als Trägersubstrat (4) realisiert werden.
  19. Verwendung eines Dünnschichtanzündelements gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14 als Zünder für Insassenschutzeinrichtungen, insbesondere Airbags in Kraftfahrzeugen.
EP98929356A 1997-05-26 1998-05-22 Dünnschichtanzündelement für pyrotechnische wirkmassen und verfahren zu dessen herstellung Expired - Lifetime EP0914587B1 (de)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE1997121929 DE19721929C1 (de) 1997-05-26 1997-05-26 Dünnschichtanzündelement für pyrotechnische Wirkmassen
DE19721929 1997-05-26
DE1997132380 DE19732380B4 (de) 1997-07-25 1997-07-25 Anzündelement für pyrotechnische Wirkmassen mit einer Dämmschicht
DE19732380 1997-07-25
PCT/EP1998/003009 WO1998054535A1 (de) 1997-05-26 1998-05-22 Dünnschichtanzündelement für pyrotechnische wirkmassen und verfahren zu dessen herstellung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP0914587A1 EP0914587A1 (de) 1999-05-12
EP0914587B1 true EP0914587B1 (de) 2002-10-16

Family

ID=26036837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP98929356A Expired - Lifetime EP0914587B1 (de) 1997-05-26 1998-05-22 Dünnschichtanzündelement für pyrotechnische wirkmassen und verfahren zu dessen herstellung

Country Status (4)

Country Link
EP (1) EP0914587B1 (de)
JP (1) JP3772312B2 (de)
DE (1) DE59805957D1 (de)
WO (1) WO1998054535A1 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2807157B1 (fr) * 2000-04-04 2003-01-31 Vishay Sa Element resistif pour initiateur pyrotechnique
EP1315941B1 (de) * 2000-09-07 2006-04-05 Nknm Limited Elektrischer brückenzünder mit einer mehrschichtigen brücke und herstellungsverfahren dieser brücke
DE10204833B4 (de) * 2002-02-06 2005-11-10 Trw Airbag Systems Gmbh & Co. Kg Mikroelektronisch-Pyrotechnisches Bauteil
US7557433B2 (en) 2004-10-25 2009-07-07 Mccain Joseph H Microelectronic device with integrated energy source
JP2007024327A (ja) * 2005-07-12 2007-02-01 Matsuo Electric Co Ltd 電気式点火装置用イグナイター
EP1933108B1 (de) * 2005-09-07 2014-03-26 Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha Halbleiterbrücke, zündvorrichtung und gasgenerator
CN103017197B (zh) * 2011-09-23 2014-10-01 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种无引线封装薄膜桥发火器的制造方法
CN105674808B (zh) * 2016-02-26 2017-10-31 中国振华集团云科电子有限公司 一种片式合金箔点火电阻器及其制备方法
CN106765308A (zh) * 2016-11-28 2017-05-31 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种直插式薄膜桥点火器及其制备方法
CN111174652B (zh) * 2019-09-30 2022-09-27 深圳市开步电子有限公司 一种起爆电阻及爆破装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4484523A (en) * 1983-03-28 1984-11-27 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Detonator, solid state type I film bridge
US4708060A (en) 1985-02-19 1987-11-24 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Semiconductor bridge (SCB) igniter
US5348597A (en) * 1988-11-10 1994-09-20 Composite Materials Technology, Inc. Propellant formulation and process containing bi-metallic metal mixture
US5080016A (en) 1991-03-20 1992-01-14 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Hydrogen loaded metal for bridge-foils for enhanced electric gun/slapper detonator operation
DE4222223C1 (de) 1992-07-07 1994-03-17 Dynamit Nobel Ag Elektrische Anzünd-/Zündmittel
FR2738334A1 (fr) * 1995-09-05 1997-03-07 Motorola Semiconducteurs Dispositif allumeur a semiconducteur, pour declenchement pyrotechnique, et procede de formation d'un tel dispositif

Also Published As

Publication number Publication date
WO1998054535A1 (de) 1998-12-03
EP0914587A1 (de) 1999-05-12
JP2001505646A (ja) 2001-04-24
DE59805957D1 (de) 2002-11-21
JP3772312B2 (ja) 2006-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3414065C2 (de)
EP0914587B1 (de) Dünnschichtanzündelement für pyrotechnische wirkmassen und verfahren zu dessen herstellung
DE2703831C2 (de) Verfahren zur Herstellung einer Thermobatterie
CH652533A5 (de) Halbleiterbaustein.
EP1377791A1 (de) Brückenzünder
DE102013214988A1 (de) Thermoelektrisches Modul
WO2014072123A2 (de) Temperaturfühler und verfahren zur herstellung eines temperaturfühlers
DE3837128A1 (de) Gluehkerze fuer dieselmotoren
DE19732380B4 (de) Anzündelement für pyrotechnische Wirkmassen mit einer Dämmschicht
DE19521985B4 (de) Halbleitervorrichtung und diesbezügliches Herstellungsverfahren
EP1040311B1 (de) Integrierte schaltungsanordnung zum aufheizen von zündmaterial sowie verwendung einer solchen integrierten schaltungsanordnung
DE102007003541A1 (de) Elektronisches Bauteil
DE1573720A1 (de) Elektro-mechanischer Wandler
EP1335178B1 (de) Mikroelektronisch-Pyrotechnisches Bauteil
WO2006037711A2 (de) Halbleiterbauelement
DE3843863A1 (de) Hochtemperatur-heizelement, verfahren zu seiner herstellung und verwendung desselben
WO1995004443A1 (de) Keramisches heizelement sowie verfahren zur herstellung eines solchen heizelements
DE19756603C1 (de) Integrierte Schaltungsanordnung mit einem Kondensator und einem Zündelement sowie Verwendung einer solchen Schaltungsanordnung
DE19721929C1 (de) Dünnschichtanzündelement für pyrotechnische Wirkmassen
DE60104754T2 (de) Widerstandselement für einen pyrotechnischen Zünder
DE10223524A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer pyrotechnisches Material enthaltenden Vorrichtung und eine nach dem Verfahren erhältliche Vorrichtung
EP1243022A2 (de) Dünnschichtwiderstand mit hohem temperaturkoeffizienten als passives halbleiterbauelement für integrierte schaltungen und herstellungsverfahren
DE10334433A1 (de) Vorrichtung zur Unterbrechung des Stromflusses zum bzw. vom Halbleiterkörper eines Halbleiterbauelements
DE112016004676T5 (de) Wasserstoffsensor und Verfahren zu seiner Herstellung
DE19718517A1 (de) Mikroelektronisches Bauteil mit einer Diamantschicht sowie Verfahren zu dessen Herstellung

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 19980926

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE FI FR GB IT SE

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: TRW AIRBAG SYSTEMS GMBH & CO. KG

Owner name: BUCK WERKE GMBH & CO.

Owner name: TEMIC TELEFUNKEN MICROELECTRONIC GMBH

17Q First examination report despatched

Effective date: 20010612

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: TRW AIRBAG SYSTEMS GMBH & CO. KG

Owner name: BUCK WERKE GMBH & CO.

Owner name: CONTI TEMIC MICROELECTRONIC GMBH

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: TRW AIRBAG SYSTEMS GMBH & CO. KG

Owner name: NICO-PYROTECHNIK HANNS-JUERGEN DIEDERICHS GMBH &

Owner name: CONTI TEMIC MICROELECTRONIC GMBH

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAG Despatch of communication of intention to grant

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS AGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAH Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOS IGRA

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE FI FR GB IT SE

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REF Corresponds to:

Ref document number: 59805957

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20021121

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 20021219

ET Fr: translation filed
PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20030717

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FI

Payment date: 20080514

Year of fee payment: 11

Ref country code: IT

Payment date: 20080524

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Payment date: 20080513

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20080522

Year of fee payment: 11

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20090522

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090522

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090522

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R084

Ref document number: 59805957

Country of ref document: DE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090522

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20090523

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R081

Ref document number: 59805957

Country of ref document: DE

Owner name: WEISS, UWE, DR.-ING., DE

Free format text: FORMER OWNERS: CONTI TEMIC MICROELECTRONIC GMBH, 90411 NUERNBERG, DE; RHEINMETALL WAFFE MUNITION GMBH, 29345 UNTERLUESS, DE; TRW AIRBAG SYSTEMS GMBH & CO. KG, 84544 ASCHAU, DE

Effective date: 20110407

Ref country code: DE

Ref legal event code: R081

Ref document number: 59805957

Country of ref document: DE

Owner name: WEISS, UWE, DR.-ING., DE

Free format text: FORMER OWNER: CONTI TEMIC MICROELECTRONIC GMB, RHEINMETALL WAFFE MUNITION GMBH, TRW AIRBAG SYSTEMS GMBH & CO. K, , DE

Effective date: 20110407

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20110603

Year of fee payment: 14

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20121129

Year of fee payment: 15

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20130131

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20120531

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20131203

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R119

Ref document number: 59805957

Country of ref document: DE

Effective date: 20131203