EP0881865A3 - Vorrichtung zur Erzeugung einer Vielzahl von Niedertemperatur-Plasmajets - Google Patents

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EP0881865A3 EP98109597A EP98109597A EP0881865A3 EP 0881865 A3 EP0881865 A3 EP 0881865A3 EP 98109597 A EP98109597 A EP 98109597A EP 98109597 A EP98109597 A EP 98109597A EP 0881865 A3 EP0881865 A3 EP 0881865A3
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Abstract

Dargestellt und beschrieben ist eine Vorrichtung zur Erzeugung einer Vielzahl von Niedertemperatur-Plasmajets (5) mittels hochfrequenter Leistung unter Ausnutzung von Hohlkathodenentladungen in mindestens einer Hohlkathodenkammer (32), die von einer Hohlkathode (12) umgeben ist, die eine Einlaßöffnung (15) für ein Arbeitsgas umfaßt, mit wenigstens einer der Hohlkathode (12) benachbarten Anode (11), wobei die Hohlkathode (12) und die Anode (11) gegenüberliegende Öffnungen (6, 7) aufweisen, durch die die Plasmajets (5) von der Hohlkathodenkammer (32) in einen Prozeßraum (33) gelangen.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine derartige Vorrichtung zu schaffen, die eine homogene Disposition einer funktionalen Schicht (25) auf einem bahnförmigen und gegebenenfalls temperaturempfindlichen Substrat (24) ermöglicht.
Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Vorrichtung mehrere separate Hohlkathodenkammern (32) umfaßt und jedem Plasmajet (5) jeweils eine Hohlkathodenkammer (32) als Entladungsraum zugeordnet ist.
EP98109597A 1997-05-30 1998-05-27 Vorrichtung zur Erzeugung einer Vielzahl von Niedertemperatur-Plasmajets Expired - Lifetime EP0881865B1 (de)

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