EP0844395A2 - Bidirektionale dynamische Mikropumpe - Google Patents

Bidirektionale dynamische Mikropumpe Download PDF

Info

Publication number
EP0844395A2
EP0844395A2 EP97119955A EP97119955A EP0844395A2 EP 0844395 A2 EP0844395 A2 EP 0844395A2 EP 97119955 A EP97119955 A EP 97119955A EP 97119955 A EP97119955 A EP 97119955A EP 0844395 A2 EP0844395 A2 EP 0844395A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
flow
channels
bidirectional dynamic
micropump according
channel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP97119955A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0844395A3 (de
EP0844395B1 (de
Inventor
Peter Heun
Holger Klingner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HEUN, PETER
KLINGNER, HOLGER
Original Assignee
Vermes Mikrotechnik GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vermes Mikrotechnik GmbH filed Critical Vermes Mikrotechnik GmbH
Publication of EP0844395A2 publication Critical patent/EP0844395A2/de
Publication of EP0844395A3 publication Critical patent/EP0844395A3/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0844395B1 publication Critical patent/EP0844395B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
    • F04B53/1077—Flow resistance valves, e.g. without moving parts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B2203/00—Motor parameters
    • F04B2203/04—Motor parameters of linear electric motors
    • F04B2203/0409—Linear speed

Definitions

  • the invention relates to a bidirectional dynamic micropump for small amounts of liquid, in which the fluid flow can be varied in quantity and direction with simple means that is etched into a silicon wafer.
  • Bidirectional pumps with rotary drives are well known With the help of gear or propeller arrangements a directional acceleration of the Effect fluids. The direction is reversed by reversing the direction of rotation. These arrangements consist of a number of mechanically moved ones Elements that are subject to wear and their miniaturization are major problems is prepared or limited. In addition, there are sealing problems at the bearing points.
  • bidirectional pumps in which an undirected volume flow is generated, which is given a variable direction by suitable measures can be.
  • the volume flow is caused by volume change a chamber, usually using pump membranes; reached and the direction is determined by actively controlled mechanical Inlet and outlet valves.
  • the disadvantage here is that in addition to the pump drive Drives for the valves are required and there is a high control effort.
  • micropumps with directional passive valves which have a preferred pump direction and in which a reversal of direction is possible through the use of resonance phenomena. These consist of a number of very precisely aligned elements . The volume control in the reverse direction is very limited and the possible delivery rate differs from the preferred direction.
  • the patent specifications DE 42 23 019 and DE 44 22 743 contain dynamic micropumps without mechanical valves, which work on the basis of directed flow resistances and have a fixed flow direction.
  • the invention is therefore based on the object with a small number of Functional elements an easily reproducible miniaturized pumping device create that with a simple tax effort in both directions Limits of variable fluid flow are generated and characterized by very small dimensions distinguished.
  • the solution to this problem consists in a miniaturized arrangement of one Diaphragm pump and two connected flow channels in such a way that as a result the excitation with special impulses in the flow channels to different Develop different resistance relationships at times.
  • a structure is introduced into a (100) oriented Si wafer 1 by anisotropic etching, which together with a glass cover layer 2 applied by anodic bonding results in an arrangement of pump chamber 4 and channels 7, 8 (FIG. 1).
  • the pump chamber uses a piezo bimorph system as the drive membrane, which is formed by applying a piezo plate or layer 3 to the glass cover layer or chamber base.
  • the pump chamber 4 is rectangular with a trapezoidal cross section.
  • channels 7, 8 Immediately in front of and behind the pump chamber are channels 7, 8 with a triangular or or trapezoidal cross section with different cross-sectional areas, which represent a non-linear flow resistance with regard to the flow velocity.
  • the mode of operation of the bidirectional dynamic micropump is based on the fact that laminar flows with defined flow resistances predominate in the channels of the pump structure up to a certain flow speed and that the change from laminar to turbulent flow takes place when this flow speed is exceeded (FIG. 3). This results in an increase in flow resistance from R l to R t in the affected channel.
  • this effect is used by selecting different geometries for channels 7 and 8 (ie channel 7 has a significantly smaller cross-section in relation to channel 8 and thus a higher flow velocity, but a comparable laminar flow resistance R 1 ) and the piezo actuator 3
  • Pump chamber 4 is acted upon by a pulse shape characteristic of the pumping direction. Simplified, it is assumed that the change in volume of the pump chamber 4 is linear to the voltage applied to the piezo actuator 3.
  • this high-speed fluid flow leads to the transition to turbulent flow and consequently to an increased flow resistance R t (FIG. 3).
  • the pumping process in the direction of channel 7 is the reverse of the pumping process towards channel 8.
  • the delivery rate results from the difference between the lifting and lowering currents and can be controlled very flexibly in both pump directions by varying the control amplitude and the pulse repetition frequency.
  • the efficiency of the arrangement described (db the ratio of delivery volume to volume displacement) increases with the achieved ratio of R t to R l , ie with the amount of the value x.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Medicines Containing Antibodies Or Antigens For Use As Internal Diagnostic Agents (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)

Abstract

Bidirektionale dynamische Mikropumpe für kleine Flüssigkeitsmengen, die mit einfachen Mitteln den Fluidstrom in Menge und Richtung variiert. Die auf einem gemeinsamen (100) orientierten Si-Wafer durch anisotropes Ätzen eingebrachten Strukturen von Pumpkammer und zweier unterschiedlicher Kanäle ist gekennzeichnet durch unterschiedliche Geometrie dieser Kanäle, die nichtlineare Strömungswiderstände darstellen und zwischen einer laminaren und einer turbulenten Strömung gesteuert werden. Durch Umkehr des Impulses, der vorzugsweise die Form eines Sägezahnes besitzt, wird ein Richtungswechsel der Fluidströmung erreicht. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft eine bidirektionale dynamische Mikropumpe für kleine Flüssigkeitsmengen, bei der mit einfachen Mitteln der Fluidstrom in Menge und Richtung variierbar ist, die in einen Silizium-Wafer geätzt ist.
Allgemein bekannt sind bidirektionale Pumpen mit rotatorischen Antrieben, die mit Hilfe von Zahnrad- oder Propelleranordnungen eine gerichtete Beschleunigung des Fluides bewirken. Hierbei erfolgt die Richtungsumkehr durch Umkehrung der Rotationsrichtung. Diese Anordnungen bestehen aus einer Anzahl mechanisch bewegter Elemente, die dem Verschleiß unterliegen und deren Miniaturisierung große Probleme bereitet bzw. begrenzt ist. Außerdem ergeben sich an den Lagerstellen Dichtungsprobleme.
Weiterhin bekannt sind bidirektionale Pumpen, bei denen ein ungerichteter Volumenstrom erzeugt wird, dem durch geeignete Maßnahmen eine variable Richtung gegeben werden kann. Bei diesen Anordnungen wird der Volumenstrom durch Volumenänderung einer Kammer, in der Regel durch Verwendung von Pumpmembranen; erreicht und die Richtungsbestimmung erfolgt durch aktiv gesteuerte mechanische Ein- und Auslaßventile. Nachteilig ist hierbei, daß außer des Pumpantriebes weitere Antriebe für die Ventile erforderlich sind und sich ein hoher Steuerungsaufwand ergibt.
Bekannt sind auch Mikropumpen mit gerichteten passiven Ventilen, die eine Vorzugspumprichtung besitzen und bei denen eine Richtungsumkehr durch Ausnutzung von Resonanzerscheinungen möglich ist. Diese bestehen aus einer Anzahl sehr exakt zueinander ausgerichteter Elemente . Die Mengensteuerung in der Umkehrrichtung ist sehr stark eingegrenzt und die mögliche Fördermenge unterscheidet sich von der Vorzugsrichtung. In den Patentschriften DE 42 23 019 und DE 44 22 743 sind dynamische Mikropumpen ohne mechanische Ventile enthalten, die auf Basis gerichteter Strömungswiderstände arbeiten und eine festgelegte Strömungsrichtung aufweisen.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, mit einer geringen Anzahl von Funktionselementen eine leicht reproduzierbare miniaturisierte Pumpeinrichtung zu schaffen, die mit einfachem Steueraufwand einen in beide Richtungen in weiten Grenzen variablen Fluidstrom erzeugt und sich durch sehr geringe Abmessungen auszeichnet.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht in einer miniaturisierten Anordnung von einer Membranpumpe und zwei angeschlossenen Strömungskanälen derart, daß sich infolge der Anregung mit speziellen Impulsen in den Strömungskanälen zu unterschiedlichen Zeitpunkten unterschiedliche Widerstandsverhältnisse ausbilden.
Die Erfindung wird nachstehend an einem konkreten Ausführungsbeispiel näher erläutert.
Es zeigen:
Figur 1 -
Schnittdarstellung der Pumpanordnung
Figur 2 -
Darstellung der Kanalgeometrie
Figur 3 -
Widerstandsverlauf eines Strömungswiderstandes in Abhängigkeit von der Flußgeschwindigkeit
Figur 4 -
Volumenströme und Kammervolumen beim Pumpvorgang
Figur 5 -
Volumenströme und Kammervolumen beim Pumpvorgang in Gegenrichtung
Im beschriebenen Ausführungsbeispiel wird in einen (100) orientierten Si-Wafer 1 durch anisotropes Ätzen eine Struktur eingebracht, die zusammen mit einer durch anodisches Bonden aufgebrachten Glasdeckschicht 2 eine Anordnung von Pumpkammer 4 und Kanälen 7,8 ergibt (Fig. 1).
Die Pumpkammer verwendet als Antriebsmembran ein Piezo-Bimorph-System, das durch Aufbringen einer Piezoplatte oder Piezoschicht 3 auf Glasdeckschicht oder Kammerboden gebildet wird. Zwischen Piezoaktor 3 und Glasdeckschicht 2 befindet sich eine Metallisierung 6 und auf dem Piezoaktor 3 eine weitere Metallisierung 5 zur elektrischen Kontaktierung des Aktors 3 (Fig. 2).
Die Pumpkammer 4 ist rechteckig mit trapezförmigem Querschnitt. Unmittelbar vor und hinter der Pumpkammer befinden sich Kanäle 7,8 mit dreieckigem oder oder trapezförmigem Querschnitt unterschiedlicher Querschnittsfläche, die bezüglich der Strömungsgeschwindigkeit einen nichtlinearen Strömungswiderstand darstellen.
Die Funktionsweise der bidirektionalen dynamischen Mikropumpe beruht darauf, daß in den Kanälen der Pumpstruktur bis zu einer bestimmten Strömungsgeschwindigkeit laminare Strömungen mit definierten Strömungswiderständen vorherrschen und daß beim Überschreiten dieser Strömungsgeschwindigkeit der Umschlag von laminarer zu turbulenter Strömung erfolgt (Fig. 3). Daraus resultiert eine Erhöhung des Strömungswiderstandes von Rl auf Rt im betroffenen Kanal.
Erfindungsgemäß wird dieser Effekt genutzt, indem für die Kanäle 7 und 8 unterschiedliche Geometrien gewählt werden (d.h. Kanal 7 besitzt im Verhältnis zum Kanal 8 einen deutlich geringeren Querschnitt und damit eine höhere Strömungsgeschwindigkeit, jedoch einen vergleichbaren laminaren Strömungswiderstand Rl) und der Piezoaktor 3 der Pumpkammer 4 mit einer für die Pumprichtung charakteristischen Im-pulsform beaufschlagt wird. Vereinfacht wird davon ausgegangen, daß die Volumenänderung der Pumpkammer 4 linear zur am Piezoaktor 3 angelegten Spannung ist.
Pumpvorgang in Richtung Kanal 8 (Fig. 4):
Der Piezoaktor 3 wird mit einer Impulsflanke angeregt, die für das Zeitintervall Tsenk einen steilen negativen Anstieg besitzt (Fig. 4). Dadurch wird eine schnelle Volumenverringerung ΔV1 = V0-Vmin in der Pumpkammer 3 verursacht, aus der eine hohe Fluidströmungsgeschwindigkeit
Figure 00040001
resultiert. Im Kanal 7 mit dem geringeren Querschnitt führt dieser Fluidstrom hoher Geschwindigkeit zum Übergang zu turbulenter Strömung und demzufolge zu einem erhöhten Strömungswiderstand Rt (Fig. 3). Die Erhöhung dieses Widerstandes betrage x mit x>1, dh. Rt=x*Rl .
Im Kanal 8 tritt wegen des größeren Querschnittes eine geringere Strömungsgeschwindigkeit auf und der Übergang zu turbulenter Strömung und damit zu einem erhöhten Strömungswiderstand wird nicht erreicht. Das aus der Pumpkammer verdrängte Volumen teilt sich im umgekehrten Verhältnis der Strömungswiderstände auf die Kanäle 7 und 8 auf, d.h. der Anteil im Kanal 7 beträgt (Rl)/(Rl+Rt)* ΔV1 =1/(1+x)* ΔV1 und der Anteil im Kanal b beträgt (Rt)/(Rl+Rt)* ΔV1 =x/(1+x)* ΔV1 .
Die Rückstellung des Piezoaktors 3 von Vmin auf V0 erfolgt mit einer Impulsflanke, die für das Zeitintervall Thub einen flachen positiven Anstieg besitzt. Dadurch wird eine langsame Volumenerhöhung ΔV2= -ΔV1 in der Pumpkammer 3 verursacht, aus der eine niedrige Fluidströmungsgeschwindigkeit resultiert. Sowohl in Kanal 7 als auch in Kanal 8 tritt demzufolge eine geringere Strömungsgeschwindigkeit auf und der Übergang zu turbulenter Strömung und damit zu einem erhöhten Strömungswiderstand wird in beiden Kanälen nicht erreicht. Das in die Pumpkammer 3 einströmende Volumen teilt sich gleichmäßig auf die Kanäle 7 und 8 auf, d.h. der Anteil im Kanal 7 beträgt (Rl)/(Rl+Rl)*ΔV2 =-1/2*ΔV1 und der Anteil im Kanal 8 beträgt dementsprechend (Rl)/(Rl+Rl)*ΔV2=-1/2*ΔV1 .
Somit ist der Betrag der Fluidströme während der Senk- und Hubbewegung unterschiedlich, d.h. über den gesamten Betrachtungszeitrum hinweg resultiert ein Fluidstrom in Richtung Kanal 8.
Pumpvorgang in Richtung Kanal 7 (Fig. 5):
Der Pumpvorgang in Richtung Kanal 7 stellt sich dar als Umkehrung des Pumpvorgangs in Richtung Kanal 8.
Der Piezoaktor 3 wird mit einer Impulsflanke angeregt, die für das Zeitintervall Tsenk einen flachen negativen Anstieg besitzt (Fig. 5). Dadurch wird eine langsame Volumenverringerung ΔV1 = V0-Vmin in der Pumpkammer 3 verursacht, aus der eine niedrige Fluidströmungsgeschwindigkeit resultiert. Sowohl in Kanal 7 als auch in Kanal 8 tritt demzufolge eine geringe Strömungsgeschwindigkeit auf und der Übergang zu turbulenter Strömung und damit zu einem erhöhten Strömungswiderstand wird in beiden Kanälen nicht erreicht. Das aus der Pumpkammer verdrängte Volumen teilt sich gleichmäßig auf die Kanäle 7 und 8 auf, d.h. der Anteil im Kanal 7 beträgt (Rl)/(Rl+Rl)*ΔV1 =1/2*ΔV1 und der Anteil im Kanal 8 beträgt dementsprechend (Rl)/(Rl+Rl)*ΔV1=1/2*ΔV1 .
Die Rückstellung des Piezoaktors 3 von Vmin auf V0 erfolgt mit einer Impulsflanke, die für das Zeitintervall Thub einen steilen positiven Anstieg besitzt (Fig. 5). Dadurch wird eine schnelle Volumenerhöhung ΔV2= -ΔV1 in der Pumpkammer 3 verursacht, aus der eine hohe Fluidströmungsgeschwindigkeit resultiert. Im Kanal 7 mit dem geringeren Querschnitt führt dieser Fluidstrom hoher Geschwindigkeit zum Übergang zu turbulenter Strömung und demzufolge zu einem erhöhten Strömungswiderstand Rt (Fig. 3). Die Erhöhung dieses Widerstandes beträgt x mit x>1, dh. Rt=x*Rl (s.o.). Im Kanal 8 tritt wegen des größeren Querschnittes eine geringere Strömungsgeschwindigkeit auf und der Übergang zu turbulenter Strömung und damit zu einem erhöhten Strömungswiderstand wird nicht erreicht Das in die Pumpkammer einströmende Volumen teilt sich im umgekehrten Verhältnis der Strömungswiderstände auf die Kanäle 7 und 8 auf, d.h. der Anteil im Kanal 7 beträgt (Rl)/(Rl+Rt)* ΔV2 = -1/(1+x)* ΔV1 und der Anteil im Kanal 8 beträgt (Rt)/(Rl+Rt)* ΔV2 = -x/(1+x)* ΔV1 .
Somit ist der Betrag der Fluidströme wärend der Senk- und Hubbewegung unterschiedlich, d.h. über den gesamten Betrachtungszeitraum hinweg resultiert ein Fluidstrom in Richtung Kanal 7.
Die Fördermenge ergibt sich aus der Differenz von Hub- und Senkstrom und kann durch Variation der Ansteueramplitude und der Impulsfolgefrequenz sehr flexibel in beide Pumprichtungen gesteuert werden.
Der Wirkungsgrad der beschriebenen Anordnung (d.b. das Verhältnis von Fördermenge zu Volumenverdrängung) steigt mit dem erreichten Verhältnis von Rt zu Rl, also mit dem Betrag des Wertes x.
Ein Optimum der Fördermenge bei bekanntem Widerstandsverhältnis x (turbulent/laminar) kann erreicht werden, wenn der laminare Strömungswiderstand der Kanäle 7 und 8 nicht wie oben beschrieben gleich ist, sondern wenn das laminare Widerstandsverhältnis des Kanals 8 (bei dem kein Strömungsumschlag und somit keineWiderstandserhöhung verursacht wird) zum Kanal 7 den Betrag der Wurzel aus der Widerstandsänderung im Kanal 7 annimmt, d.h. R8l=y*R7l mit y=x-½ und 1<x=R7t/R7l .
(Hierbei sind:
* R8l - der laminare Widerstand des Kanals 8,
* R7l - der laminare Widerstand des Kanals 7,
* R7t - der turbulente Widerstand des Kanals 7.)

Claims (7)

  1. Bidirektionale dynamische Mikropumpe für kleine und kleinste Flüssigkeitsmengen mit Pumpkammer und zwei unterschiedlichen Kanälen dadurch gekennzeichnet, daß die Kanäle (7 und 8) unterschiedliche Querschnittsform oder -fläche oder unterschiedliche Länge oder eine Kombination daraus aufweisen, nichtlineare ungerichtete Stömungswiderstände unterschiedlicher Charakteristik darstellen und deren variable Fluidströme zwischen laminarer und turbulenter Strömung mit geeigneten an den Aktor (3) angelegten Impulsen mit unsymmetrischer Flankensteilheit richtungsabhängig gesteuert werden.
  2. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß die Struktur durch anisotropes Ätzen in einen Si-Wafer (1) eingebracht, mit einer Abdeckung verschlossen und mit einem Piezoaktor (3) versehen ist.
  3. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß dieser Impuls während mindestens eines Zeitraumes einer Periode eine Flankensteilheit aufweist, die in diesem Zeitraum in einem der Kanäle eine turbulente Strömung hervorruft.
  4. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 bis 3 dadurch gekennzeichnet, daß als einfachste Form des Impulses ein Sägezahn mit einer steilen und einer flachen Flanke geeignet ist.
  5. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß durch Vertauschen der Steilheit der Anstiegs- und Abfallflanke des Impulses eine Richtungsumkehr hervorgerufen wird.
  6. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, daß der Arbeitsbereich bezüglich Frequenz und Amplitude des Ansteuersignals für beide Pumprichtungen gleich ist.
  7. Bidirektionale dynamische Mikropumpe nach Anspruch 1 bis 7 dadurch gekennzeichnet, daß die Steilheit der Anstiegsflanke des Ansteuersignals das den Wirkungsgrad festlegende Verhältnis zwischen turbulentem und laminarem Strömungswiderstand bestimmt.
EP97119955A 1996-11-25 1997-11-14 Bidirektionale dynamische Mikropumpe Expired - Lifetime EP0844395B1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19648694 1996-11-25
DE19648694A DE19648694C1 (de) 1996-11-25 1996-11-25 Bidirektionale dynamische Mikropumpe

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP0844395A2 true EP0844395A2 (de) 1998-05-27
EP0844395A3 EP0844395A3 (de) 2001-01-10
EP0844395B1 EP0844395B1 (de) 2005-10-19

Family

ID=7812664

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP97119955A Expired - Lifetime EP0844395B1 (de) 1996-11-25 1997-11-14 Bidirektionale dynamische Mikropumpe

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0844395B1 (de)
AT (1) ATE307292T1 (de)
DE (2) DE19648694C1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1369587A2 (de) * 2002-06-03 2003-12-10 Seiko Epson Corporation Pumpenventil
DE102013015453A1 (de) 2012-12-21 2014-07-10 Thomas Magnete Gmbh Hubkolbenpumpe mit zwei Förderrichtungen

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19860227C1 (de) * 1998-12-24 2000-05-25 Daimler Chrysler Ag Mikropumpe
JP3629405B2 (ja) * 2000-05-16 2005-03-16 コニカミノルタホールディングス株式会社 マイクロポンプ
DE10102152C1 (de) * 2001-01-18 2002-06-20 Roland Zengerle Vorrichtung und Verfahren zum Dosieren kleiner Flüssigkeitsmengen
DE10212278B4 (de) * 2002-03-20 2007-10-25 Dietrich Dr.-Ing. Roscher Tintenschreibgerät
DE102008016121B4 (de) 2007-11-29 2010-03-11 Ihp Gmbh - Innovations For High Performance Microelectronics / Leibniz-Institut Für Innovative Mikroelektronik Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Viskosität
DE102011115622A1 (de) * 2010-12-20 2012-06-21 Technische Universität Ilmenau Mikropumpe sowie Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung einer Fluidströmung

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4223019C1 (de) 1992-07-13 1993-11-18 Fraunhofer Ges Forschung Ventillose Mikropumpe
DE4422743A1 (de) 1994-06-29 1996-01-04 Torsten Gerlach Mikropumpe

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5094594A (en) * 1990-04-23 1992-03-10 Genomyx, Incorporated Piezoelectric pumping device
SE508435C2 (sv) * 1993-02-23 1998-10-05 Erik Stemme Förträngningspump av membranpumptyp
DE4433894A1 (de) * 1994-09-22 1996-03-28 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zur Ansteuerung einer Mikropumpe
DE19546570C1 (de) * 1995-12-13 1997-03-27 Inst Mikro Und Informationstec Fluidpumpe

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4223019C1 (de) 1992-07-13 1993-11-18 Fraunhofer Ges Forschung Ventillose Mikropumpe
DE4422743A1 (de) 1994-06-29 1996-01-04 Torsten Gerlach Mikropumpe

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1369587A2 (de) * 2002-06-03 2003-12-10 Seiko Epson Corporation Pumpenventil
EP1369587A3 (de) * 2002-06-03 2005-04-27 Seiko Epson Corporation Pumpenventil
US7059836B2 (en) 2002-06-03 2006-06-13 Seiko Epson Corporation Pump
DE102013015453A1 (de) 2012-12-21 2014-07-10 Thomas Magnete Gmbh Hubkolbenpumpe mit zwei Förderrichtungen

Also Published As

Publication number Publication date
EP0844395A3 (de) 2001-01-10
DE59712449D1 (de) 2006-03-02
ATE307292T1 (de) 2005-11-15
EP0844395B1 (de) 2005-10-19
DE19648694C1 (de) 1998-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60110533T2 (de) Elektrostriktives Ventil zum Modulieren eines Flüssigkeitsstroms
EP0703364B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ansteuerung einer Mikropumpe
DE69009431T2 (de) Mikropumpe.
EP0268204A1 (de) Piezoelektrische Pumpe
DE19648694C1 (de) Bidirektionale dynamische Mikropumpe
WO1996000849A1 (de) Mikropumpe
DE60201017T2 (de) Mikrokanalvorrichtung und verfahren
DE4223019C1 (de) Ventillose Mikropumpe
DE102009012347A1 (de) Filteranordnung und ein Verfahren zur Herstellung einer Filteranordnung
EP1072832A2 (de) Ventilanordnung
DE3141943C2 (de)
DE19844518A1 (de) Hydraulischer Wegverstärker für Mikrosysteme
DE10224513A1 (de) Verfahren und Ventil zum Erzeugen eines Strompulses
DE102008016121B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Viskosität
EP1431640B1 (de) Ventileinrichtung mit einem elektromotorisch ansteuerbaren Servoventil
DE19520926C2 (de) Optisches Bauelement
DE3144758C2 (de) Piezoelektrisch betriebene Pumpe
DE4037134C2 (de)
DE10254312B4 (de) Variabler Flußwiderstand
DE19711270C2 (de) Mikropumpe für fluide Medien
DE10117771A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Manipulation kleiner Flüssigkeitsmengen und/oder darin enthaltener Teilchen
DE2717578B1 (de) Pumpe oder Verdichter
EP0795920B1 (de) Variables Hohlleiter-Dämpfungsglied
DE2127335C3 (de) Fluidischer Rechtecksignalgenerator mit Pulsdauermodulation
DE2120045B2 (de) Vorrichtung zur Erzeugung von Schwingungen mit einem hydraulischen Arbeitszylinder

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A2

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

17P Request for examination filed

Effective date: 19981123

PUAL Search report despatched

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009013

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A3

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

RAP1 Party data changed (applicant data changed or rights of an application transferred)

Owner name: HEUN, PETER

Owner name: KLINGNER, HOLGER

AKX Designation fees paid

Free format text: AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT;WARNING: LAPSES OF ITALIAN PATENTS WITH EFFECTIVE DATE BEFORE 2007 MAY HAVE OCCURRED AT ANY TIME BEFORE 2007. THE CORRECT EFFECTIVE DATE MAY BE DIFFERENT FROM THE ONE RECORDED.

Effective date: 20051019

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20051019

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20051114

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20051130

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20051130

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20051219

GBT Gb: translation of ep patent filed (gb section 77(6)(a)/1977)

Effective date: 20051207

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060119

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060119

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060119

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060130

REF Corresponds to:

Ref document number: 59712449

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20060302

Kind code of ref document: P

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20060320

NLV1 Nl: lapsed or annulled due to failure to fulfill the requirements of art. 29p and 29m of the patents act
REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FD4D

ET Fr: translation filed
PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060601

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20060720

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Payment date: 20061117

Year of fee payment: 10

BERE Be: lapsed

Owner name: HEUN, PETER

Effective date: 20051130

Owner name: KLINGNER, HOLGER

Effective date: 20051130

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CH

Payment date: 20071126

Year of fee payment: 11

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20071123

Year of fee payment: 11

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20080930

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20071130

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: PL

GBPC Gb: european patent ceased through non-payment of renewal fee

Effective date: 20081114

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: LI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20081130

Ref country code: CH

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20081130

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20081114