EP0737273B1 - Mikropumpe - Google Patents

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EP0737273B1
EP0737273B1 EP95902252A EP95902252A EP0737273B1 EP 0737273 B1 EP0737273 B1 EP 0737273B1 EP 95902252 A EP95902252 A EP 95902252A EP 95902252 A EP95902252 A EP 95902252A EP 0737273 B1 EP0737273 B1 EP 0737273B1
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micropump
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Westonbridge International Ltd
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Westonbridge International Ltd
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04—Pumps having electric drive
    • F04B43/043—Micropumps
    • F04B43/046—Micropumps with piezoelectric drive

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Claims (14)

  1. Mikropumpe mit zumindest einem Basisplättchen (2), zumindest einem oberen Plättchen (8) und einem zwischen die beiden anderen Plättchen (2, 8) eingefügten Zwischenplättchen (6), das aus einem Werkstoff besteht, der so bearbeitet werden kann, dass eine Pumpenkammer (50) definiert wird, zumindest einem Regelorgan (12) für den Fluideintritt, um die Pumpenkammer mit zumindest einem Eingang (10) der Mikropumpe zu verbinden, und zumindest einem Regelorgan (28) für den Fluidaustritt, um die Pumpenkammer (50) mit zumindest einem Ausgang (4) der Mikropumpe zu verbinden, wobei die Pumpenkammer (50) eine bewegliche Wand (56, 156, 256) umfasst, die aus dem Zwischenplättchen (6) herausgearbeitet worden ist und während des Ansaugens eines Fluids vom Eingang (10) in die Pumpenkammer (50) bzw. während des Ausstosses dieses Fluids aus der Pumpenkammer zum Ausgang (4) in zwei entgegengesetzten Richtungen verschoben werden kann, und Betätigungsorgane (70, 170, 270) vorgesehen sind, um die benannte bewegliche Wand (56, 156, 256) zu verschieben und so eine periodische Veränderung des Volumens der Pumpenkammer (50) hervorzurufen, während zweite Anschlagelemente (2, 60; 2, 160; 2, 260) dazu bestimmt sind, die Bewegung für den Fluidausstoss aus der Pumpenkammer (50) zu begrenzen, dadurch gekennzeichnet, dass die Mikropumpe erste Anschlagelemente (58, 62, 64; 158, 162, 164; 258, 270) umfasst, die die Bewegung für das Fluidansaugen in die Pumpenkammer (50) begrenzen, wobei die ersten und zweiten Anschlagelemente so eingerichtet sind, dass sie die Bewegungsamplitude der beweglichen Wand (56, 156, 256) in den beiden entgegengesetzten Richtungen begrenzen.
  2. Mikropumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die bewegliche Wand (56) eine starre zentrale Partie (58) hat, die von einer zusammen mit dieser starren zentralen Partie (58) aus einem Stück herausgearbeiteten, elastischen Einfassung geringerer Dicke (61) umgeben ist, wobei diese starre zentrale Partie aus der der Pumpenkammer (50) entgegengesetzten Seite der beweglichen Wand (56) hervorspringt, die dazu bestimmt ist, mit dem Plättchen (2, 8) in Berührung zu kommen, das ihr gegenüber angeordnet ist, um so die benannten ersten Anschlagelemente zu bilden, die die Fluidansaugbewegung der beweglichen Wand (56) begrenzen.
  3. Mikropumpe gemäss Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Weite der benannten starren zentralen Partie (58) zwischen 20 und 90 %, vorzugsweise zwischen 50 und 80 % der Weite der beweglichen Wand (56) schwankt.
  4. Mikropumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die dem Innenraum der Pumpenkammer (50) zugewandte Seite der beweglichen Wand (56) ein oder mehrere Erhebungen (60, 160, 260) umfasst, die zusammen mit dem ihnen gegenüber angeordneten Plättchen (2) die zweiten Anschlagelemente bilden, die die Fluidausstossbewegung begrenzen.
  5. Mikropumpe gemäss einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungsorgane (70) ein Antriebsorgan (72), das beweglich entweder auf das Basisplättchen (2) oder auf das obere Plättchen (8) montiert ist, sowie ein Zwischenstück (84), das zwischen der beweglichen Wand (56) und dem Antriebsorgan (72) angeordnet ist, umfassen.
  6. Mikropumpe gemäss Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsorgan (72) beweglich auf die Aussenseite des benannten oberen Plättchens (8) montiert ist, wobei das benannte Zwischenstück (84) durch eine Öffnung (89) des oberen Plättchens (8) hindurchtritt.
  7. Mikropumpe gemäss Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Antriebsorgan ein piezoelektrisches Element (72, 80) ist, das über einen Abstandshalter (82) auf die Aussenseite des oberen Plättchens (8) montiert ist.
  8. Mikropumpe gemäss Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Zwischenstück (84) einen mit dem piezoelektrischen Element (72, 80) fest verbundenen flachen Kopf (86) sowie einen Schaft (88) umfasst, der durch das obere Plättchen (8) hindurchtritt und mit seinem Ende auf die bewegliche Wand (56) einwirkt.
  9. Mikropumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie Elektroden (62, 64; 162, 164; 262, 264) umfasst, die einander gegenüberstehend auf der beweglichen Wand (56; 156; 256) und auf dem oberen Plättchen (8) angeordnet und mit einem Stromkreis verbunden sind, der es gestattet, die Funktion der deformierbaren Wand (56; 156; 256) zu steuern.
  10. Mikropumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die bewegliche Wand (156) aus einer Membran besteht, die eine hervorspringende zentrale Partie (158) aufweist, die zusammen mit dem oberen Plättchen (8) die benannten ersten Anschlagelemente bildet und von einem piezoelektrischen Element (172) umgeben ist, das an der Membran befestigt ist und in der Mitte eine Bohrung (173) aufweist, die den Durchtritt des Mittelstücks (158) gestattet.
  11. Mikropumpe gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Anschlagelemente von einer Stellschraube (90, 265) gebildet werden, die das obere Plättchen (8) durchquert und deren eines Ende gegenüber der beweglichen Wand (56, 256) angeordnet ist.
  12. Mikropumpe gemäss Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein piezoelektrisches Element (270) zwischen das benannte Ende der Schraube (265) und die bewegliche Wand (256) eingefügt und mit letzterer fest verbunden worden ist.
  13. Mikropumpe gemäss Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Schraube oder Schrauben (90, 265) aus einem Material gefertigt sind, das geeignet ist, die durch Temperatureffekte hervorgerufenen Gestaltsänderungen der beweglichen Wand (56, 256) auszugleichen.
  14. Mikropumpe gemäss einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass sie zweite, einander gegenüber angeordnete Elektroden (44, 46) umfasst, wobei eine (44) dieser zweiten Elektroden auf eine bewegliche Wand montiert ist, die stromab von der Pumpenkammer (50) so angeordnet ist, dass der Fluidausstoss der Mikropumpe gesteuert werden kann.
EP95902252A 1993-12-28 1994-12-21 Mikropumpe Expired - Lifetime EP0737273B1 (de)

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CH3878/93 1993-12-28
CH387893 1993-12-28
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Families Citing this family (138)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19546570C1 (de) * 1995-12-13 1997-03-27 Inst Mikro Und Informationstec Fluidpumpe
FR2748310A1 (fr) 1996-05-03 1997-11-07 Debiotech Sa Dispositif d'obturation par pincement d'un tube souple
FR2757906A1 (fr) 1996-12-31 1998-07-03 Westonbridge Int Ltd Micropompe avec piece intermediaire integree
DE19719862A1 (de) * 1997-05-12 1998-11-19 Fraunhofer Ges Forschung Mikromembranpumpe
WO1999009321A1 (fr) * 1997-08-20 1999-02-25 Westonbridge International Limited Micropompe comprenant un organe de controle d'entree permettant son auto-amorcage
US6106245A (en) * 1997-10-09 2000-08-22 Honeywell Low cost, high pumping rate electrostatically actuated mesopump
US5836750A (en) * 1997-10-09 1998-11-17 Honeywell Inc. Electrostatically actuated mesopump having a plurality of elementary cells
US6247908B1 (en) * 1998-03-05 2001-06-19 Seiko Instruments Inc. Micropump
US6908770B1 (en) 1998-07-16 2005-06-21 Board Of Regents, The University Of Texas System Fluid based analysis of multiple analytes by a sensor array
US6148635A (en) * 1998-10-19 2000-11-21 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Active compressor vapor compression cycle integrated heat transfer device
EP0995908A1 (de) * 1998-10-20 2000-04-26 vanden Brande, Pierre Molekularpumpe
JP3620316B2 (ja) * 1998-11-16 2005-02-16 株式会社日立製作所 マイクロポンプとその製造方法
EP1179139B1 (de) * 1999-05-17 2003-08-13 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mikromechanische pumpe
EP1204859B1 (de) 1999-07-16 2006-11-22 The Board Of Regents, The University Of Texas System Verfahren und vorrichtung zur zuführung von proben zu einer chemischen sensormatrix
JP3814132B2 (ja) * 1999-10-27 2006-08-23 セイコーインスツル株式会社 ポンプ及びその駆動方法
EP1103305A1 (de) * 1999-11-26 2001-05-30 F.Hoffmann-La Roche Ag Makroaktuator-Kopplungssystem als Bestandteil eines Pipettiermoduls
CA2401782A1 (en) * 2000-01-31 2001-08-02 John T. Mcdevitt Portable sensor array system
ATE307976T1 (de) * 2000-05-25 2005-11-15 Debiotech Sa Microbearbeitete fluidische vorrichtung und herstellungsverfahren
US6568286B1 (en) 2000-06-02 2003-05-27 Honeywell International Inc. 3D array of integrated cells for the sampling and detection of air bound chemical and biological species
US7420659B1 (en) * 2000-06-02 2008-09-02 Honeywell Interantional Inc. Flow control system of a cartridge
US6837476B2 (en) * 2002-06-19 2005-01-04 Honeywell International Inc. Electrostatically actuated valve
US6589229B1 (en) 2000-07-31 2003-07-08 Becton, Dickinson And Company Wearable, self-contained drug infusion device
US7000330B2 (en) * 2002-08-21 2006-02-21 Honeywell International Inc. Method and apparatus for receiving a removable media member
DE10039735C2 (de) * 2000-08-16 2003-04-24 Eppendorf Ag Dosiersystem
CA2431677A1 (en) * 2000-09-18 2002-03-21 Par Technologies, Llc Piezoelectric actuator and pump using same
US7198250B2 (en) * 2000-09-18 2007-04-03 Par Technologies, Llc Piezoelectric actuator and pump using same
US20050143789A1 (en) * 2001-01-30 2005-06-30 Whitehurst Todd K. Methods and systems for stimulating a peripheral nerve to treat chronic pain
EP1373874A4 (de) * 2001-01-31 2004-03-31 Univ Texas Verfahren und vorrichtung zum eingrenzen von materialien in einem mikrobearbeiteten chemischen sensorarray
GB0123054D0 (en) 2001-09-25 2001-11-14 Randox Lab Ltd Passive microvalve
US6729856B2 (en) 2001-10-09 2004-05-04 Honeywell International Inc. Electrostatically actuated pump with elastic restoring forces
DE10164474B4 (de) * 2001-12-20 2006-06-14 Mathias Frodl Mikropumpe
US6591625B1 (en) 2002-04-17 2003-07-15 Agilent Technologies, Inc. Cooling of substrate-supported heat-generating components
AU2003228711C1 (en) 2002-04-26 2010-01-07 Board Of Regents, The University Of Texas System Method and system for the detection of cardiac risk factors
US6827559B2 (en) * 2002-07-01 2004-12-07 Ventaira Pharmaceuticals, Inc. Piezoelectric micropump with diaphragm and valves
EP1403519A1 (de) * 2002-09-27 2004-03-31 Novo Nordisk A/S Membranpumpe mit dehnbarer Pumpenmembran
KR100483079B1 (ko) * 2002-10-23 2005-04-14 재단법인서울대학교산학협력재단 능동형 마이크로 냉각기
CN100344874C (zh) * 2003-01-28 2007-10-24 清华大学 一种流体的传输方法及实现该方法的微型蠕动泵
WO2004094821A2 (en) * 2003-04-22 2004-11-04 The Regents Of The University Of California Micromembrane shape memory alloy pump
CN101841110B (zh) * 2003-08-21 2012-07-18 优特私人有限公司 电源分配装置
CA2549190A1 (en) * 2003-12-11 2005-06-30 Board Of Regents, The University Of Texas System Method and system for the analysis of saliva using a sensor array
US8105849B2 (en) 2004-02-27 2012-01-31 Board Of Regents, The University Of Texas System Integration of fluids and reagents into self-contained cartridges containing sensor elements
US8101431B2 (en) 2004-02-27 2012-01-24 Board Of Regents, The University Of Texas System Integration of fluids and reagents into self-contained cartridges containing sensor elements and reagent delivery systems
DE102004011726A1 (de) * 2004-03-05 2005-09-22 Ing. Erich Pfeiffer Gmbh Dosiervorrichtung
US7290993B2 (en) * 2004-04-02 2007-11-06 Adaptivenergy Llc Piezoelectric devices and methods and circuits for driving same
US7287965B2 (en) * 2004-04-02 2007-10-30 Adaptiv Energy Llc Piezoelectric devices and methods and circuits for driving same
US7312554B2 (en) 2004-04-02 2007-12-25 Adaptivenergy, Llc Piezoelectric devices and methods and circuits for driving same
US20050225201A1 (en) * 2004-04-02 2005-10-13 Par Technologies, Llc Piezoelectric devices and methods and circuits for driving same
US7484940B2 (en) * 2004-04-28 2009-02-03 Kinetic Ceramics, Inc. Piezoelectric fluid pump
US7104767B2 (en) * 2004-07-19 2006-09-12 Wilson Greatbatch Technologies, Inc. Diaphragm pump for medical applications
US20060134510A1 (en) * 2004-12-21 2006-06-22 Cleopatra Cabuz Air cell air flow control system and method
US7222639B2 (en) * 2004-12-29 2007-05-29 Honeywell International Inc. Electrostatically actuated gas valve
US7267043B2 (en) * 2004-12-30 2007-09-11 Adaptivenergy, Llc Actuators with diaphragm and methods of operating same
US7322803B2 (en) * 2004-12-30 2008-01-29 Adaptivenergy, Llc. Pumps with diaphragms bonded as bellows
US7409902B2 (en) * 2004-12-30 2008-08-12 Adaptivenergy, Llc. Actuators with connected diaphragms
WO2006074037A1 (en) * 2004-12-30 2006-07-13 Par Technologies, Llc Diaphragm pumps with controlled output
US7258533B2 (en) * 2004-12-30 2007-08-21 Adaptivenergy, Llc Method and apparatus for scavenging energy during pump operation
US20060147329A1 (en) * 2004-12-30 2006-07-06 Tanner Edward T Active valve and active valving for pump
US7328882B2 (en) * 2005-01-06 2008-02-12 Honeywell International Inc. Microfluidic modulating valve
US7445017B2 (en) * 2005-01-28 2008-11-04 Honeywell International Inc. Mesovalve modulator
US20060194724A1 (en) * 2005-02-25 2006-08-31 Whitehurst Todd K Methods and systems for nerve regeneration
US20060232166A1 (en) * 2005-04-13 2006-10-19 Par Technologies Llc Stacked piezoelectric diaphragm members
EP1875525A2 (de) * 2005-04-13 2008-01-09 Par Technologies, LLC. Piezoelektrische membranbaugruppe mit leitern auf flexiblem film
US8377398B2 (en) 2005-05-31 2013-02-19 The Board Of Regents Of The University Of Texas System Methods and compositions related to determination and use of white blood cell counts
US7320338B2 (en) * 2005-06-03 2008-01-22 Honeywell International Inc. Microvalve package assembly
AU2006261953B2 (en) * 2005-06-24 2012-02-23 Board Of Regents, The University Of Texas System Systems and methods including self-contained cartridges with detection systems and fluid delivery systems
US7517201B2 (en) * 2005-07-14 2009-04-14 Honeywell International Inc. Asymmetric dual diaphragm pump
US20070051415A1 (en) * 2005-09-07 2007-03-08 Honeywell International Inc. Microvalve switching array
US20070075286A1 (en) * 2005-10-04 2007-04-05 Par Technologies, Llc Piezoelectric valves drive
US20070129681A1 (en) * 2005-11-01 2007-06-07 Par Technologies, Llc Piezoelectric actuation of piston within dispensing chamber
US7345407B2 (en) * 2005-11-18 2008-03-18 Adaptivenergy, Llc. Human powered piezoelectric power generating device
US7624755B2 (en) 2005-12-09 2009-12-01 Honeywell International Inc. Gas valve with overtravel
US20070140875A1 (en) * 2005-12-16 2007-06-21 Green James S Piezoelectric pump
US7798954B2 (en) * 2006-01-04 2010-09-21 Allergan, Inc. Hydraulic gastric band with collapsible reservoir
US8043206B2 (en) 2006-01-04 2011-10-25 Allergan, Inc. Self-regulating gastric band with pressure data processing
US7523762B2 (en) 2006-03-22 2009-04-28 Honeywell International Inc. Modulating gas valves and systems
US8007704B2 (en) * 2006-07-20 2011-08-30 Honeywell International Inc. Insert molded actuator components
US7543604B2 (en) * 2006-09-11 2009-06-09 Honeywell International Inc. Control valve
US8202267B2 (en) * 2006-10-10 2012-06-19 Medsolve Technologies, Inc. Method and apparatus for infusing liquid to a body
US7644731B2 (en) 2006-11-30 2010-01-12 Honeywell International Inc. Gas valve with resilient seat
JP4730437B2 (ja) * 2006-12-09 2011-07-20 株式会社村田製作所 圧電ポンプ
DE102006061506B4 (de) * 2006-12-15 2008-10-30 Ing. Erich Pfeiffer Gmbh Dosiervorrichtung
US20080161754A1 (en) * 2006-12-29 2008-07-03 Medsolve Technologies, Inc. Method and apparatus for infusing liquid to a body
US20080246367A1 (en) * 2006-12-29 2008-10-09 Adaptivenergy, Llc Tuned laminated piezoelectric elements and methods of tuning same
DE102007045637A1 (de) * 2007-09-25 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Mikrodosiervorrichtung zum Dosieren von Kleinstmengen eines Mediums
US7934912B2 (en) 2007-09-27 2011-05-03 Curlin Medical Inc Peristaltic pump assembly with cassette and mounting pin arrangement
US8062008B2 (en) 2007-09-27 2011-11-22 Curlin Medical Inc. Peristaltic pump and removable cassette therefor
US8083503B2 (en) 2007-09-27 2011-12-27 Curlin Medical Inc. Peristaltic pump assembly and regulator therefor
WO2009048952A1 (en) * 2007-10-08 2009-04-16 The Regents Of The University Of Michigan Liquid-gap electrostatic hydraulic micro actuators
DE102008003792A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Mikropumpe sowie Mikropumpe
US8708961B2 (en) * 2008-01-28 2014-04-29 Medsolve Technologies, Inc. Apparatus for infusing liquid to a body
EP2320836B1 (de) * 2008-06-11 2015-08-12 Apollo Endosurgery, Inc. Implantierbares pumpensystem
WO2010035862A1 (ja) * 2008-09-29 2010-04-01 株式会社村田製作所 圧電ポンプ
US20100305397A1 (en) * 2008-10-06 2010-12-02 Allergan Medical Sarl Hydraulic-mechanical gastric band
US8317677B2 (en) 2008-10-06 2012-11-27 Allergan, Inc. Mechanical gastric band with cushions
US20100185049A1 (en) 2008-10-22 2010-07-22 Allergan, Inc. Dome and screw valves for remotely adjustable gastric banding systems
EP2333340A1 (de) * 2009-12-07 2011-06-15 Debiotech S.A. Flexibles Element für Mikropumpe
US20110201874A1 (en) * 2010-02-12 2011-08-18 Allergan, Inc. Remotely adjustable gastric banding system
US8678993B2 (en) * 2010-02-12 2014-03-25 Apollo Endosurgery, Inc. Remotely adjustable gastric banding system
US8758221B2 (en) 2010-02-24 2014-06-24 Apollo Endosurgery, Inc. Source reservoir with potential energy for remotely adjustable gastric banding system
US8764624B2 (en) * 2010-02-25 2014-07-01 Apollo Endosurgery, Inc. Inductively powered remotely adjustable gastric banding system
US20110270025A1 (en) 2010-04-30 2011-11-03 Allergan, Inc. Remotely powered remotely adjustable gastric band system
US9226840B2 (en) 2010-06-03 2016-01-05 Apollo Endosurgery, Inc. Magnetically coupled implantable pump system and method
US8517915B2 (en) 2010-06-10 2013-08-27 Allergan, Inc. Remotely adjustable gastric banding system
US9211207B2 (en) 2010-08-18 2015-12-15 Apollo Endosurgery, Inc. Power regulated implant
US8698373B2 (en) 2010-08-18 2014-04-15 Apollo Endosurgery, Inc. Pare piezo power with energy recovery
US8961393B2 (en) 2010-11-15 2015-02-24 Apollo Endosurgery, Inc. Gastric band devices and drive systems
EP2469089A1 (de) 2010-12-23 2012-06-27 Debiotech S.A. Elektronisches Steuerungsverfahren und System für eine piezoelektrische Pumpe
US9074770B2 (en) 2011-12-15 2015-07-07 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic valve proving system
US9557059B2 (en) 2011-12-15 2017-01-31 Honeywell International Inc Gas valve with communication link
US9835265B2 (en) 2011-12-15 2017-12-05 Honeywell International Inc. Valve with actuator diagnostics
US9846440B2 (en) 2011-12-15 2017-12-19 Honeywell International Inc. Valve controller configured to estimate fuel comsumption
US9851103B2 (en) 2011-12-15 2017-12-26 Honeywell International Inc. Gas valve with overpressure diagnostics
US8899264B2 (en) 2011-12-15 2014-12-02 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic proof of closure system
US9995486B2 (en) 2011-12-15 2018-06-12 Honeywell International Inc. Gas valve with high/low gas pressure detection
US8947242B2 (en) 2011-12-15 2015-02-03 Honeywell International Inc. Gas valve with valve leakage test
US8905063B2 (en) 2011-12-15 2014-12-09 Honeywell International Inc. Gas valve with fuel rate monitor
US8839815B2 (en) 2011-12-15 2014-09-23 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic cycle counter
US10422531B2 (en) 2012-09-15 2019-09-24 Honeywell International Inc. System and approach for controlling a combustion chamber
US9234661B2 (en) 2012-09-15 2016-01-12 Honeywell International Inc. Burner control system
CN103334907A (zh) * 2013-07-08 2013-10-02 吉林大学 悬臂式压电隔膜泵
EP2868970B1 (de) 2013-10-29 2020-04-22 Honeywell Technologies Sarl Regelungsvorrichtung
US10024439B2 (en) 2013-12-16 2018-07-17 Honeywell International Inc. Valve over-travel mechanism
WO2016032463A1 (en) * 2014-08-27 2016-03-03 Ge Aviation Systems Llc Airflow generator
US9841122B2 (en) 2014-09-09 2017-12-12 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic valve proving system
US9645584B2 (en) 2014-09-17 2017-05-09 Honeywell International Inc. Gas valve with electronic health monitoring
JP6862001B2 (ja) 2015-08-20 2021-04-21 サイティバ・スウェーデン・アクチボラグ タンジェンシャルフローろ過システムにおいてろ過収量を向上させるための改良された方法
US10503181B2 (en) 2016-01-13 2019-12-10 Honeywell International Inc. Pressure regulator
JP6293825B2 (ja) * 2016-07-12 2018-03-14 科際精密股▲ふん▼有限公司 圧電ポンプ及びその操作方法
US10564062B2 (en) 2016-10-19 2020-02-18 Honeywell International Inc. Human-machine interface for gas valve
TWI625462B (zh) * 2017-01-05 2018-06-01 研能科技股份有限公司 微型氣壓動力裝置
US11073281B2 (en) 2017-12-29 2021-07-27 Honeywell International Inc. Closed-loop programming and control of a combustion appliance
US10697815B2 (en) 2018-06-09 2020-06-30 Honeywell International Inc. System and methods for mitigating condensation in a sensor module
TWI680232B (zh) * 2018-08-13 2019-12-21 科際精密股份有限公司 流體驅動裝置
EP3722605A1 (de) * 2019-04-11 2020-10-14 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Strömungserzeuger
JP2023544088A (ja) * 2020-09-09 2023-10-20 フラウンホーファー－ゲゼルシャフト・ツール・フェルデルング・デル・アンゲヴァンテン・フォルシュング・アインゲトラーゲネル・フェライン 静電マイクロポンプ及び静電マイクロポンプを製造するプロセス
WO2022192292A1 (en) * 2021-03-09 2022-09-15 Aita Bio Inc. Micropump with integrated piezoelectric technologies for providing valve and pump functionality
WO2023141072A1 (en) * 2022-01-19 2023-07-27 Aita Bio Inc. Mems micropump with multi-chamber cavity for a device for delivering insulin
US20230293300A1 (en) * 2022-03-16 2023-09-21 Boston Scientific Scimed, Inc. Fluid control system for an implantable inflatable device

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US417035A (en) * 1889-12-10 Apparatus for feeding reagents
US1183486A (en) * 1915-02-08 1916-05-16 John L Pardue Pressure-indicating device.
FR1177065A (fr) * 1956-05-29 1959-04-20 Kontak Mfg Co Ltd Diaphragme et pompe à diaphragme
JPS60159387A (ja) * 1984-01-30 1985-08-20 Sharp Corp ポンプ
CH679555A5 (de) * 1989-04-11 1992-03-13 Westonbridge Int Ltd
EP0435653B1 (de) * 1989-12-27 1994-06-01 Seiko Epson Corporation Mikropumpe
KR910012538A (ko) * 1989-12-27 1991-08-08 야마무라 가쯔미 마이크로 펌프 및 그 제조 방법
ES2075459T3 (es) * 1990-08-31 1995-10-01 Westonbridge Int Ltd Valvula equipada con detector de posicion y microbomba que incorpora dicha valvula.

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