EP0616490A1

EP0616490A1 - Dispositif électronique miniaturisé, notamment dispositif à effet gyromagnétique

Info

Publication number: EP0616490A1
Application number: EP94400422A
Authority: EP
Inventors: Gérard Ernest Emile Forterre; Patrick Desmarest
Original assignee: Tekelec Airtronic
Current assignee: Tekelec Airtronic
Priority date: 1993-03-18
Filing date: 1994-02-28
Publication date: 1994-09-21
Anticipated expiration: 2014-02-28
Also published as: US5495210A; FR2702920A1; FR2702920B1; DE69412674D1; EP0616490B1

Abstract

L'invention concerne un dispositif électronique miniaturisé. Le dispositif est du type comprenant un substrat dont une surface porte un premier motif (11) d'éléments métalliques de circuits électriques et un deuxième motif (15) d'éléments métalliques de circuits électriques, qui se croisent au moins à certains endroits, les éléments de circuits électriques se croisant étant séparés par un matériau diélectrique. Le dispositif est caractérisé en ce qu'il présente une structure multicouches, que la matière diélectrique (6) est un diélectrique sérigraphiable et déposée sous forme d'une couche épaisse dans laquelle les motifs (11, 15) de circuits électriques (12, 17) sont disposés dans des plans différents. L'invention est utilisable pour la réaction de dispositif tels que de circulation isolateur et fiable. <IMAGE>

Description

L'invention concerne, de façon générale, un dispositif électronique miniaturisé, du type comprenant un substrat dont une surface porte un premier motif d'éléments métalliques de circuit électrique et un deuxième motif d'éléments métalliques de circuit électrique, qui se croisent au moins à certains endroits, les éléments de circuit électrique se croisant étant séparés par un matériau diélectrique.
Comme dans d'autres domaines de dispositifs électroniques, on cherche aussi à réduire les dimensions des dispositifs du type qui vient d'être énoncé dans le but d'obtenir des structures ultra-miniatures pouvant travailler à des fréquences supérieures à 3 GHz. On s'efforce notamment à réaliser des dispositifs à effet gyromagnétique tels que des circulateurs ou isolateurs qui comportent trois inductances décalées angulairement de 120° sur le substrat, ces inductances constituant les motifs de circuits électriques précités. Il est avantageux que dans de tels dispositifs les inductances se trouvent entre un substrat inférieur et un substrat supérieur dont les surfaces extérieures sont métallisées.
Notamment deux problèmes majeurs s'opposent à l'ultra-miniaturisation, le problème de la connexion électrique de masse des deux couches métalliques et la configuration des inductances et celui posé par les capacités parasites résultant de celles-ci.
Concernant le problème de ces inductances deux solutions ont été proposées qui cependant ce sont révélées insuffisantes. Ainsi on a réalisé les inductances ou, de façon plus générale, les motifs de circuits électriques en un même plan en prévoyant des ponts conducteurs aux endroits de croisement des conducteurs électriques. Cette structure n'aboutissait pas à l'ultra-miniaturisation recherchée du dispositif. Une autre solution consiste à prévoir les motifs de circuits électriques dans deux plans différents, électriquement isolés par du diélectrique interposé, et de prévoir dans le diélectrique des trous permettant de relier des éléments de circuits appropriés. Cette voie se heurtait jusqu'à présent à l'impossibilité de réaliser des trous de faible diamètre et de la précision nécessaire pour réaliser la miniaturisation. Ce problème technologique est d'autant plus gênant que l'épaisseur du diélectrique augmente, ce qui serait pourtant avantageux dans certains cas d'application par exemple pour réduire les capacités parasites et augmenter la fréquence de fonctionnement.
La présente invention a pour but de proposer un dispositif électronique du type décrit plus haut, qui constitue une solution très satisfaisante aux problèmes qui viennent d'être énoncés.
Pour atteindre ce but, un dispositif électronique selon l'invention est caractérisé en ce qu'il présente une structure multicouche, que la matière diélectrique est un diélectrique sérigraphiable et déposée sous forme d'une couche épaisse dans laquelle les motifs de circuits électriques sont disposés dans des plans différents.
Selon une caractéristique avantageuse de l'invention, dans le cas d'un dispositif à effet gyromagnétique, tel que d'un circulateur, isolateur ou filtre, comprenant un substrat inférieur et un substrat supérieur entre lesquels est réalisé le motif des circuits électriques et au moins une couche diélectrique, et qui sont métallisés sur leurs surfaces extérieures, les trous relient électriquement les deux couches de métallisation et constituent des retours de masse.
Selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, le diélectrique sérigraphiable est un diélectrique sérigravable lorsque le dispositif doit fonctionner à des fréquences très élevées.
L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, caractéristiques, détails et avantages de celle-ci apparaîtront plus clairement au cours de la description explicative qui va suivre faite en référence aux dessins schématiques annexés donnés uniquement à titre d'exemple illustrant un mode de réalisation de l'invention et dans lesquels.
La figure 1 est une vue latérale, schématique et en coupe d'un circulateur ultra-miniature selon la présente invention.
La figure 2 est une vue éclatée, en perspective et à plus grande échelle de la partie du circulateur de la figure 1, qui est indiquée en II sur cette figure.
La figure 3 est une vue en coupe partielle et montre les pièces de la figure 2, à l'état assemblé.
La figure 4 est une vue schématique et à plus grande échelle des motifs d'éléments de circuits électriques qui constituent les inductances du circulateur indiqué en IV A et B sur la figure 2.
La figure 5 montre schématiquement la structure d'un circulateur à quatre portes.
Les figures 6a, b, c et 7a, b, c montrent deux modes de connexion d'un circulateur selon l'invention sur un substrat support, la figure a étant chaque fois une vue de dessus, la figure b une vue latérale avec arrachement partiel dans la direction de la flèche B de la figure a, la figure c une vue à plus grande échelle du détail C de la figure b.
La figure 8 montre le schéma électrique équivalent d'un circulateur à paramètres localisés.
La figure 9 est une vue en coupe au niveau du plan indiqué par la ligne IX-IX de la figure 10 comportant le motif de circuit supérieur, avec arrachement partiel, mais montre sous forme hachurée des parties du motif de circuit inférieur, le diélectrique n'étant pas particulièrement représenté pour ne pas compliquer la compréhension de la figure.
La figure 10 est une vue en coupe le long de la ligne X-X de la figure 8, avec arrachement, à travers la structure multicouche du circulateur.
La figure 11 est une vue en coupe le long de la ligne XI-XI, avec arrachement de la figure 9, à travers la structure multicouche du circulateur.
L'invention sera décrite ci-après, à titre d'exemple, dans son application à un dispositif à effet gyromagnétique, tel qu'un circulateur. Comme le montre la figure 1, un tel dispositif comprend essentiellement, dans un mode de réalisation préféré de l'invention, des substrats inférieur 1 et supérieur 2 en ferrite, qui sont réalisés sous forme de plaquettes de forme sensiblement rectangulaire et dont les surfaces extérieures sont métallisées par dépôt de couches métalliques 3 et 4, une couche 6 en un matériau diélectrique qui est montée en sandwich entre les deux substrats 1 et 2, un aimant permanent 7 qui est posé sur la surface supérieure métallisée du substrat supérieur 4, ainsi qu'une culasse métallique 8 qui enferme l'ensemble formé par l'empilage des deux substrats, de la couche diélectrique et de l'aimant, à la manière d'un boîtier et dont le bord inférieur est relié à la couche métallique 3 du substrat inférieur qui est réalisé de façon à constituer la semelle du dispositif.
En se reportant aux figures 2 et 3, on constate que la surface intérieure 10 du substrat inférieur 1 porte un premier motif 11 d'éléments de circuit électrique formés par des pistes métalliques indiqués en 12. La hauteur de ces pistes est exagérée sur la figure, pour faciliter la compréhension de l'invention. Sur la figure 2, la couche diélectrique 6 est représentée comme étant composée de deux couches élémentaires 6a et 6b. La couche 6a qui est posée sur la surface 10 du substrat inférieur 1 et sur le motif de circuits électriques 11 porte sur sa surface supérieure 14 un deuxième motif d'éléments de circuits électriques 15 également formé par des pistes métalliques indiqués en 17 dont la hauteur est exagérée sur la figure. La deuxième couche diélectrique élémentaire 6b est destinée à recouvrir ce motif de circuits électriques 15 tout en adhérant à la surface inférieure du substrat supérieur 2. Dans la représentation de la configuration réelle selon la figure 3, on constate que le deuxième motif de circuits électriques 15 est noyé dans la couche diélectrique 6.
Les deux motifs de circuits électriques 11 et 15 constituent chacun une moitié de l'ensemble du dispositif des trois inductances ou selfs, connues en soi, du circulateur qui sont décalées angulairement les unes par rapport aux autres, d'un angle de 120°. Les deux moitiés 11 et 15 du dispositif des inductances sont reliées électriquement par des connexions électriques indiquées en 19 sur la figure 3 qui s'étendent à travers la couche diélectrique, perpendiculairement au plan de pose des motifs de circuits. La figure 4 montre à plus grande échelle la configuration des trois inductances qui portent les références 20 à 22. Sur cette figure, les éléments des inductances qui font partie du motif de circuit inférieur 11 sont hachurés. Les éléments faisant partie du motif supérieur 15 ont été laissés blancs. On constate que, dans la partie centrale, les deux motifs 15 et 11 sont électriquement interconnectés par six connexions 19.
On reconnaît encore sur les figures, que les couches métalliques 3 et 4 sont électriquement reliées l'une à l'autre par trois connexions électriques 24 qui traversent perpendiculairement les deux substrats 1 et 2 et la couche diélectrique 6. Ces connexions 24 sont disposées selon une configuration triangulaire. Chaque inductance est électriquement reliée à une extrémité, en 25 aux connexions 24 l'autre extrémité 26 étant reliée à des lignes d'accès de connexions extérieures 27 du circulateur.
La structure qui vient d'être décrite a pu être réalisée sous une forme ultra-miniaturisée avec des cotes par exemple de l'ordre du mm, grâce à l'utilisation d'une matière diélectrique 6 particulière, à savoir d'une nouvelle encre diélectrique sérigravable, c'est-à-dire sérigraphiable, puis gravable par procédé chimique après insolation, par exemple telle que celle commercialisée par la société JOHNSON-MATTHEY sous la dénomination JM TC 110. Le diélectrique constitué par cette encre présente une permittivité relative de 3,9 à 4,2 (à base de grains de silice) et une tangente de perte de 5.10⁻⁵ à 1 GHZ et 1.10⁻³ à 10 GHz. Cette pâte diélectrique permet de réaliser des couches d'épaisseur égales ou supérieures à 7 µm. On peut ainsi réaliser la couche diélectrique 6 comme couche épaisse, ce qui permet de réduire la capacité parasite occasionnée par les motifs de circuits électriques des inductances et d'augmenter ainsi la fréquence naturelle du dispositif gyrateur formé par l'ensemble des substrats et du diélectrique.
Cette encre diélectrique sérigravable permet la réalisation de trous métallisés de faibles diamètres et d'une haute précision à travers la couche diélectrique 6. La métallisation des trous est effectuée par sérigravure. On peut réaliser des trous métallisés précis, par exemple d'un diamètre de 50 µm. On utilise avantageusement comme matériau électriquement conducteur, une encre d'or, ce qui assure un bon mouillage des parois des trous de ces faibles dimensions. Les trous 24 d'un diamètre de l'ordre de 300 à 600 µm sont faits avantageusement par laser.
Cette couche diélectrique en un matériau sérigravable, de bonne qualité, tant mécanique, c'est-à-dire assurant une bonne planéité des surfaces, que hyperfréquences du point de vue de l'angle de perte, a permis non seulement de réduire au maximum les dimensions du circulateur, mais aussi d'obtenir un scellement direct des deux plaques de ferrite, ce qui conduit à un circulateur sans lame d'air. Etant donné que le diélectrique est posé sous forme d'une couche, les capacités de réglage de la fréquence normalement réalisées sous forme de condensateurs discrets, extérieurs, peuvent être réalisées à l'intérieur du circulateur, en se servant du diélectrique de la couche 6 comme diélectrique de ces condensateurs. La suppression des condensateurs extérieurs contribue ainsi considérablement à la réduction des dimensions du circulateur.
Encore grâce au diélectrique sérigravable 6 servant de moyen de scellement direct et de plaque de ferrite, la structure miniaturisée du circulateur présente la symétrie qui ressort des figures. L'absence d'air dans la structure du circulateur présente encore l'avantage considérable que le circuit magnétique ne comprend qu'un minimum d'entrefer non magnétique résiduel, de façon que le circulateur puisse ne comprendre qu'un seul aimant de polarisation, plus aisément blindable, comme le montre la figure 1.
La figure 5 illustre la technologie d'un circulateur-isolateur à quatre portes qui se compose de deux circulateurs selon les figures 2 à 4 qui ont un trou métallisé de retour de masse commun et peuvent ainsi être disposés dans le boîtier 8 de façon suffisamment proche l'un de l'autre pour pouvoir fonctionmer avec le même champ magnétique de polarisation produit par un seul aimant 8. Dans ce circulateur à quatre voies, trois sorties sont reliées à des voies d'accès extérieures 27, deux sorties indiquées en 30 et 31 sont reliées par une connexion interne 32. On constate ainsi qu'un circulateur quatre voies tel que représenté à la figure 5, est constitué simplement par l'association judicieuse de deux circulateurs trois voies, l'ensemble étant enfermé dans un même boîtier de faibles dimensions.
L'invention permet aussi de transformer un circulateur trois voies ou quatre voies en un isolateur en terminant une des portes par l'impédance caractéristique de la ligne d'accès.
En terminant la sortie restante 33 par une charge adaptée à l'impédance caractéristique de la ligne, le circulateur devient un isolateur. La charge est disposée entre la porte d'accès 33 et la masse formée par les trous de masse 24. La charge peut être constituée par deux charges d'impédance double, mises en série avec chacun des trous métallisés 24 encadrant la porte d'accès considérée comme en 34 sur la figure 5.
En technologie couche épaisse, la charge peut être directement réalisée par une couche d'encre absorbante dimensionnée de façon appropriée.
Les figures 6 et 7 illustrent deux modes de connexion d'un circulateur à des lignes d'accès extérieures 37. Dans le cas de la figure 6, la connexion se fait par ruban thermocompressé ou colle, tandis que le mode de connexion selon la figure 7 se fait par connexion par report en surface.
Plus précisément, dans le cas de la figure 6, le circulateur indiqué en 35 est placé dans un orifice pratiqué dans un substrat 36 et les pistes d'accès 27 du circulateur sont reliées aux lignes d'accès extérieures 37 par un ruban 38 relié à la piste 27 et à la ligne d'accès 37 par thermocompression ou collage. Dans le cas de la figure 7, le circulateur est posé sur le substrat de support indiqué en 40 de façon que les trous métallisés 24 dont l'extrémité est entourée et fermée par un disque métallique, c'est-à-dire d'un disque en or 41, par collage ou brasure indiqué en 42 à une ligne d'accès représentée en 43.
En se reportant aux figures 8 à 11, on décrira ci-après plus en détail un mode de réalisation d'un circulateur qui illustre certains avantages du principe de réalisation de l'invention, qui vient d'être décrit ci-avant.
La figure 8 montre le schéma électrique équivalent d'un tel ciculateur à éléments localisés. La partie encerclée constitue le système gyromagnétique G comportant les trois inductances susmentionnées indiquées par Lc. A ce dispositif gyromagnétique est associé la capacité C1 qui constitue la capacité d'accord susmentionnée comme étant intégrable à la couche diélectrique 6 et une impédance Z0 reliée à la masse. Pour chaque voie d'accès est en outre prévu un réseau d'élargissement de bande série Z2 et un réseau d'élargissement de bande parallèle Z3. Le réseau monté en série dans la voie d'accès comprend une capacité C2 et une inductance L2 tandis que le réseau parallèle est formé par les capacités C3 et une inductance L3.
Les figures 9 à 11 montrent la réalisation concrète des condensateurs d'accord C1 et des réseaux d'élargissement Z2 et Z3 sous forme d'éléments intégrés à la structure multicouche du circulateur. Sur ces figures, les éléments de circuit de la figure 8 portent les mêmes références pour faciliter leur identification. Ainsi on constate que la ligne d'accès 27 au dispositif gyromagnétique G comprend une première portion de voie d'accès 45 réalisée dans le plan de motif supérieur 15 et se terminant par un élargissement 46 et une deuxième portion de ligne d'accès 47 qui se trouve dans le plan du motif inférieur 11, présente une largeur plus faible que la portion 45 et est connectée à la porte correspondante du motif inférieur 11. Cette portion constitue l'inductance L2 tandis que l'élargissement 46 de la portion de voie d'accès 45 et la portion d'extrémité de la portion 47 située en dessous de l'élargissement 46 et séparée de ce dernier par du diélectrique de la couche 10 constitue le condensateur C2. La vue en coupe de la figure 10 illustre bien ce qui vient d'être dit. A gauche de cette vue en coupe on constate en outre la connexion par un trou métallisé 19 d'un élément 12 du motif inférieur 11 à un élément 17 du motif de circuit supérieur 15.
Le réseau d'élargissement de bande Z3 comprend, selon les figures 8 et 9 une portion de piste conductrice 49 déposée dans le plan de motif supérieur 15. Cette portion de piste est connectée à une extrémité à la portion de voie d'accès 45 et se termine à l'extrémité libre par un élargissement 50. En dessous de l'élargissement 50, dans le plan du motif inférieur 11, est prévu un élément de motif 51 qui est relié à la couche métallique 52 recouvrant les parois d'un trou métallisé 53 qui interconnecte électriquement les couches métalliques supérieure et inférieure 3 et 4 de la structure multicouche du circulateur de la même manière que les trous métallisés 24. Les éléments 50, 51 constituent la capacité C3, tandis que la portion de ligne 49 de plus faible largeur forme l'inductance L3.
En ce qui concerne l'impédance ZO elle peut être réalisée sur une des faces extérieures du sandwich, selon une structure analogue à celle de l'impédance Z2 décrite plus haut.
Les figures 9 à 11 illustrent clairement l'avantage de la structure multicouches proposée par l'invention et utilisant un diélectrique réalisable sous forme d'une couche épaisse 6 permettant de noyer dans cette couche des motifs de circuits électriques disposés à des niveaux différents et de former à l'intérieur de cette couche diélectrique des éléments de circuit qui, dans l'état de la technique, sont formés par des composants séparés.
Dans la structure qui vient d'être décrite en se référant aux figures, le motif de circuit inférieur 11 est directement déposé sur le substrat inférieur en ferrite métallisé 1. Pour améliorer la planéïte de la couche de support de ce motif électrique, on pourrait réaliser sur le substrat tout d'abord une couche de diélectrique à titre de vernis et ensuite déposer le motif électrique sur cette couche diélectrique réalisée avantageusement aussi sous forme d'une couche épaisse sérigraphiable. Cette couche indiquée en traits interrompus en 55 sur la figure 2 améliore le rendement de fabrication et la tenue en puissance du circulateur.
Dans ce qui précède, on a décrit un circulateur particulièrement adapté pour fonctionner dans la bande de 10 GHz, grâce à l'emploi d'une pâte diélectrique sérigravable. Un tel diélectrique est nécessaire lorsque le circulateur doit fonctionner à des très hautes fréquences jusqu'à 10 GHz. Mais, dans un domaine de fréquence quelque peu inférieur, par exemple dans la bande de 4 ou 5 GHz, il suffit d'utiliser un diélectrique sérigraphiable, sans apporter des modifications constructives, à l'exception d'une adaptation des dimensions. En effet, pour la réalisation de l'invention, il est essentiel que le diélectrique soit un diélectrique susceptible d'être appliqué sous forme d'une couche épaisse. Or, un diélectrique sérigraphiable satisfait parfaitement à cette exigence. Il est également souhaitable que le diélectrique soit un matériau de faible perte, exigence qu'un diélectrique sérigraphiable disponible dans le commerce peut également remplir. Ce n'est que lorsqu'on souhaite obtenir un dispositif pouvant fonctionner à des fréquences plus élevées qu'il faut utiliser un diélectrique sérigraphiable qui est aussi gravable comme dans l'exemple qui vient d'être décrit en se référant aux figures.
Bien entendu de nombreuses modifications peuvent être apportées au dispositif qui vient d'être décrit. Ainsi ou pourrait envisager une structure de gyrateur qui pourrait comprendre un substrat inférieur en alumine métallisé et un substrat supérieur en ferrite métallisé ou encore un substrat inférieur en ferrite métallisé et un support d'aimant en alumine ou d'un autre diélectrique, les trous métallisés pourraient alors être faits dans le seul ferrite.
L'invention, telle qu'elle vient d'être décrite en se référant aux figures présente de nombreux avantages majeurs par rapport à l'état de la technique. Elle permet d'obtenir un dispositif ultra-miniaturisé et susceptible de fonctionner à des hyperfréquences très élevées. On peut ainsi réaliser des circulateurs dans la bande des 10 GHz, notamment grâce à l'emploi de la pâte diélectrique sérigravable applicable sous forme d'une couche épaisse, permettant de réaliser par sérigravure les interconnexions électriques sous forme de trous métallisés. Etant donné que la couche diélectrique sert également de moyen de scellement des deux substrats notamment en ferrite, on obtient une structure multicouche symétrique sans interstice d'air et très fiable une fois les opérations de cuisson terminées et nécessitant qu'un seul aimant de polarisation. La structure "tout céramique, monobloc" est frittée à haute température. Elle est donc directement soudable à côté de puces de circuit intégré du type AsGa ou silicium. L'utilisation d'un diélectrique applicable sous forme d'une couche épaisse permet encore d'intégrer dans la structure multicouche les capacités d'accord qui dans le cas des dispositifs réalisés selon la technologie de l'état de la technique sont des composants discrets.
En résumé, l'invention permet d'obtenir des dispositifs de transmission d'énergie électrique, à effet gyromagnétique, tel que des circulateurs, isolateurs ou filtres qui sont ultra-miniaturisés, peuvent travailler à des fréquences allant jusqu'à 10 GHz, tout en étant susceptibles d'être fabriqués à faible coût et en technologie collective.

Claims

Dispositif électronique miniaturisé, du type comprenant un substrat dont une surface porte un premier motif d'éléments métalliques de circuits électriques et un deuxième motif d'éléments métalliques de circuits électriques, qui se croisent au moins à certains endroits, les éléments de circuits électriques se croisant étant séparés par un matériau diélectrique, caractérisé en ce qu'il présente une structure multicouches, que la matière diélectrique (6) est un diélectrique sérigraphiable et déposée sous forme d'une couche épaisse dans laquelle les motifs (11, 15) de circuits électriques (12, 17) sont disposés dans des plans différents.
Dispositif électronique selon la figure 1, caractérisé en ce que le diélectrique sérigraphiable est un diélectrique sérigravable lorsque le dispositif doit fonctionner à des fréquences plus élevées.
Dispositif électronique selon l'une des figures 1 et 2, caractérisé en ce que les motifs (11, 15) de circuits électriques (12, 17) disposés dans des plans différents sont interconnectés par des trous métallisés d'interconnexion électrique (19) de très faibles dimensions, qui s'étendent perpendiculairement au plan précité, dans la couche diélectrique (6).
Dispositif électronique à effet gyromagnétique, tel qu'un circulateur, isolateur ou filtre, selon l'une des revendications 1 à 3,caractérisé en ce qu'il comprend un substrat inférieur (1) et un substrat supérieur (2) dont au moins un est en ferrite, entre lesquels sont réalisés les motifs (11, 15) des circuits électriques dans la couche diélectrique (6) et qui sont métallisés (3, 4) sur leur surfaces extérieures, et en ce que les trous d'interconnexion sont des trous d'interconnexion (19) des motifs de circuits (11, 15) dans la couche diélectrique (6) et des trous d'interconnexion (24) de deux couches de métallisation (3, 4) à travers les substrats et la couche diélectrique (6).
Dispositif électronique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche diélectrique (6) forme le moyen de scellement des substrats inférieur (1) et supérieur (2).
Dispositif électronique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les capacités d'accord (C1) de la fréquence du dispositif sont intégrés à la couche diélectrique (6).
Dispositif électronique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte des impédances (Z0, Z2, Z3) d'élargissement de bande qui sont intégrées à la structure multicouche, une inductance étant formée par une portion de piste conductrice (47, 49) d'une largeur prédéterminée, et une capacité étant formée par deux éléments conducteurs (46 ; 50) disposés l'un au dessus de l'autre, dans les deux plans différents des motifs (11, 15) de circuit électrique, avec interposition du diélectrique de la couche diélectrique (6).
Dispositif électronique selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'une impédance d'élargissement (Z2) montée en série dans une voie d'accès (27) comprend deux portions de voie, disposées dans des plans de motif (11, 15) différents et de largeur différente dont l'une constitue l'inductance et dont les extrémités adjacentes (46, 48) disposées l'une au dessus de l'autre dans la couche diélectrique forment la capacité (C2) précitée.
Dispositif électronique selon l'une des revendications 7 ou 8, caractérisé en ce qu'une impédance d'élargissement de bande (Z3) montée en parallèle dans une voie d'accès (27) comprend une portion de piste conductrice (49) d'une largeur appropriée pour former l'inductance (L3), qui est disposée dans un des deux plans de motif électrique, et reliée à une extrémité à la portion de voie d'accès et dont l'autre extrémité (50) se trouve au-dessus d'un élément conducteur (51) disposé dans l'autre plan de motif électrique et relié à un trou métallisé (53) d'interconnexion des couches de métallisation (3, 4) des deux substrats (1, 2), l'extrémité (50) et l'élément (51) constituant la capacité (C3) de l'impédance.
Dispositif électronique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que, lorsqu'il constitue un dispositif à effet gyromagnétique, il ne comporte qu'un seul aimant de polarisation (7) disposé au-dessus de la structure multicouche précitée, dans un boîtier métallique (8) formant la culasse du circuit magnétique.
Dispositif électronique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que, pour former un circulateur à quatre portes, deux circulateurs à trois portes sont juxtaposés utilisant un même trou métallisé (24) comme connexion électrique des plans de masse.
Dispositif électronique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est susceptible d'être monté sur un support et relié à des lignes d'accès extérieures (37) par l'intermédiaire de rubans thermocompressés ou par colle par report en surface.
Dispositif électronique selon l'une des revendications 2 à 9, caractérisé en ce que les deux substrats (1, 2) sont des ferrites.
Dispositif électronique selon l'une des revendications 4 à 13, caractérisé en ce qu'un circulateur à trois ou quatre portes d'accès est transformable en isolateur et que le moyen de transformation est une charge (34) adaptée à l'impédance des lignes d'accès, qui est disposée entre la porte d'accès (33) devant être fermée et au moins l'un des trous d'interconnexion de masse (24), cette charge pouvant être réalisée en sérigraphie.
Dispositif selon la revendication 14, caractérisé en ce que la charge est formée par deux charges (34) d'impédance double, mise en série avec chacun des trous de masse (24) encadrant la porte d'accès (33) précitée.