EP1202376A1 - Résonateur électrique - Google Patents

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Publication number
EP1202376A1
EP1202376A1 EP01420209A EP01420209A EP1202376A1 EP 1202376 A1 EP1202376 A1 EP 1202376A1 EP 01420209 A EP01420209 A EP 01420209A EP 01420209 A EP01420209 A EP 01420209A EP 1202376 A1 EP1202376 A1 EP 1202376A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
elementary
loop
segments
forming
resonator
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP01420209A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Bertrand Guillon
Pierre Blondy
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Memscap SA
Original Assignee
Memscap SA
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Filing date
Publication date
Application filed by Memscap SA filed Critical Memscap SA
Publication of EP1202376A1 publication Critical patent/EP1202376A1/fr
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P7/00—Resonators of the waveguide type
    • H01P7/08—Strip line resonators
    • H01P7/082—Microstripline resonators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00—Auxiliary devices
    • H01P1/20—Frequency-selective devices, e.g. filters
    • H01P1/201—Filters for transverse electromagnetic waves
    • H01P1/203—Strip line filters

Definitions

  • the invention relates to the field of microelectronics, and more specifically in the manufacturing sector of microcomponents, in particular intended for use in radio or hyper frequency applications. It relates more precisely to electrical resonators which can be incorporated into analog filters, and which allow the adjustment of the various parameters of such filters.
  • electronic circuits used for applications radio frequency or microwave include filters including oscillating or resonator circuits.
  • Such resonators are generally formed by the association of an inductance and a capacity.
  • variable capacities based on materials semiconductors.
  • the variation in capacity works on the principle of transfers of charge in semiconductor materials.
  • the disadvantages of these devices are a high level of losses, as well as poor resistance to strong signals electric.
  • this kind of distributed resonator has multiple disadvantages. Indeed, its tuning frequency is directly determined by its geometry, which means that beyond certain frequencies of the order of GigaHertz, such a resonator has dimensions incompatible with the production of circuits integrated.
  • a first problem which the invention proposes to solve is that of the possibility of adjusting the various parameters of a resonator, and in particular its tuning frequency or its bandwidth over a relatively wide range, all remaining compatible with the space requirements of the components used in microelectronics.
  • Another problem which the invention proposes to solve is that of the possibility of varying the parameters of analog filters incorporating such resonators.
  • the elementary resonator according to the invention comprises a inductor tape, and a conductive bridge that spans part of inductance, so as to form a variable capacitance. Combining this ability and of the inductance forms a resonator whose tuning frequency can be adapted by the variation in the value of this capacity.
  • the conductive tape and the conductive bridge can be made of different materials, namely metallic materials or even semiconductor materials.
  • the flat loop and the driver bridge do not require the presence of a ground for any signal propagation, so that such components can be made very easily, directly on layers of quartz or silicon or other types of substrate.
  • These resonators can be integrated into microcomponents specific to filtering functions, or even be implemented over an integrated circuit providing other functionalities.
  • the conductive bridge forming the variable capacity can be deformed by the application of various forces, used in commonly known technologies under the abbreviation "MEMS" meaning in English “microelectromechanical systems".
  • MEMS microelectromechanical systems
  • the conductive bridge can be deformed under the action of an electrostatic force thanks to a continuous tension applied between the arch and the conductive tape.
  • Strength which generates the deformation of the arch can also originate from a thermal or magnetic phenomenon.
  • the driver bridge can be associated with at least one additional conductive bridge, arranged in parallel, and actuated by a signal different control, so as to vary the variable capacity over a range expanded. This therefore amounts to dividing the total area forming the capacity, and to independently vary the basic capacity of each bridge.
  • the resonator is associated with a capacitance additional, forming a decoupling capacity.
  • This filter has an electrical behavior corresponding to an equivalent scheme comprising in series a capacitor and a parallel LC dipole.
  • the input impedance of the filter is adjusted, while the setting of the first variable capacitance allows the frequency of filter resonance.
  • the structure of the elementary resonator (including or not the capacity of decoupling as described above) can be used to build filters several poles, by coupling the different elementary resonators together. It is thus possible to form filters of high order, or comprising zeros of transmission.
  • the coupling of the elementary resonators can be obtained by a conductive bridge forming variable capacity, which spans two segments forming the end of a loop of a resonator, these two segments belonging to two different resonators.
  • two resonators each including a loop and a conductive bridge are coupled by one end of their loop, thanks to a bridge forming a variable capacity.
  • the association of these two resonators is equivalent to a coupling of two elementary resonators described above by a capacity of shared decoupling.
  • each loop has a fraction of its length arranged side by side with a fraction of the other loop, so that by magnetic coupling, the two resonators are coupled.
  • This coupling can be made variable thanks to the fact that the zones facing one of the other can be spanned by an additional conductive bridge forming capacity variable, and which therefore allows adjustment of the intensity of the coupling between the two elementary resonators.
  • a particular example of a resonator according to the invention may include two elementary resonators including a loop and a bridge forming variable capacitance, and an additional conductive bridge forming an additional variable capacity, which spans one of the segments forming the end of the loop of each resonator elementary.
  • they are two resonators coupled at the level of ends of their loop by a shared decoupling capacity.
  • such a resonator can be integrated into a filter which comprises in in addition to two additional tracks each arranged opposite a loop of each elementary resonator, each additional track being thus coupled to the zone of the loop opposite, the ends of the two additional tracks forming the terminals of filter connection.
  • the coupling between the additional tracks and the loops of the resonators elementary can be achieved by two additional conductive bridges forming variable capacity, each spanning an additional track and the loop area of the elementary resonator located opposite. So by varying the coupling between the tracks forming the input and the output of the filter, and the intermediate resonators, there it is possible to vary certain characteristics of the filter such as impedances input and output, bandwidth, and center frequency.
  • the invention is not limited to filters including two resonators, but covers the variants in which the number of resonators is chosen according to the desired transfer function. It is thus possible to multiply the number of resonators, the total number can thus be greater than ten.
  • the invention relates to an electric resonator which can be incorporated in a wide variety of analog filters.
  • Such a resonator (1) essentially consists of a conductive loop (2) and a bridge (6) driver. More specifically, the loop (2) is formed of a conductive tape, that is to say metallic or semiconductor, the geometry of which can take a square shape as illustrated in Figure 1. However, the invention is not limited to this alone embodiment, but also covers loops of different geometry, rectangular, polygonal, circular or others.
  • the loop (2) illustrated in Figure 1 has two end segments (3, 4) which form the ends. Both segments (3, 4) are arranged parallel to each other so that they can be closed the loop.
  • the area of the loop (2) substantially defines the value of the inductance equivalent of the resonator loop.
  • the ribbon forming the loop (2) can be obtained using different technologies, depending on the type of microcomponent that integrates it. So in a technology using an electrolytic production process, the ribbon can be metallic, and obtained by electrolytic deposition of copper in grooves etched in an insulating substrate such as silica. However, other technologies can also be used such than those using several levels of semiconductor materials, separated by sacrificial layers.
  • the resonator (1) comprises a bridge (6) in a conductive, metallic or semiconductor material, which spans both segments (3, 4) which form the ends of the loop (2).
  • This bridge (6) is illustrated in the Figure 2. It has a segment (7) parallel to the plane of the substrate, and two pillars (8, 9) which connect the horizontal segment (7) to the substrate (11).
  • the value of this capacity is essentially regulated by the distance separating the segment (7) from the bridge (6) and the segments (3, 4) of the loop.
  • the bridge (6) is deformable under the action of a force adjustable, so that the distance between the horizontal segment (7) and the segments (3, 4) of the loop, can be adjusted.
  • the bridge (6) can be obtained using different technologies.
  • this arch (6) consists of a copper deposit which can be produced above a sacrificial layer deposited on the substrate (11), then subsequently eliminated.
  • other technologies in which the arch is not made of copper but of another metallic material or even a semiconductor material can be used.
  • the deformation of the bridge (6) can be obtained by applying a force electrostatic, which results from the application of a direct voltage between the bridge (6) and the segments (3, 4) of the loop.
  • the bridge (6) is extended by a track (12) up to a connection pad (13) through which the DC voltage is applied.
  • the force causing the deformation of the bridge can be of another origin than electrostatic and for example result from a phenomenon of dilation or the application of a magnetic field.
  • the loop (16) can have a number of turns greater than one, so as to increase the value of the inductance and therefore its quality coefficient.
  • the portion (18) of the loop connecting the center (17) of winding and the segment (3) forming the end of the loop constitutes a layer located above or below the rest of the winding (16).
  • the segments (3, 4) of the loop can be spanned by several bridges (21, 22, 23), arranged in parallel, and controlled each by a separate signal, at three different connection pads (24, 25, 26).
  • bridges spanning the segments (3, 4) allows on the one hand, increase the surface area of the overall capacitor formed by all of the bridges (21, 22, 23) and the segments (3, 4), and secondly, to allow a separate control of each of these bridges. This makes it easier to cover a wider range of capacity value, and with greater precision.
  • the elementary resonator illustrated in Figure 1 can be integrated into filters more complex, as illustrated in Figures 4, 6, 9 and 11.
  • the filter illustrated in FIG. 4 comprises an elementary resonator including a loop (32) and a bridge (36) spanning the segments (33, 34) of the loop (32).
  • the loop (32) may include multiple towers, and the bridge (36) can be broken down into a plurality of bridges elementary.
  • This filter (30) has an additional track (31), arranged parallel to the segment (34).
  • This track (31) produced in the same way as the loop (32) is spanned by a bridge (37) which also spans the segment (34) of the loop (32).
  • This bridge (37) forms a variable capacity with the segment (34) of the loop (32) and the track (31).
  • This variable capacity is ordered using the same method as the bridge (36). It can in particular consist of a plurality of elementary bridges in parallel.
  • the equivalent diagram of the filter of figure 4 is illustrated in figure 5.
  • the inductance of the loop (32) corresponds substantially to the inductance L of FIG. 5.
  • the variable capacity of the bridge (36) corresponds to the capacity C in FIG. 5.
  • the capacity formed by the bridge (37) corresponds to the variable capacity C1 of FIG. 5, so that between terminals 38 and 39, the filter of figure 4 corresponds to a parallel LC circuit in series with capacity C1.
  • the variation of the height of the bridge (36) makes it possible to make vary the capacitance C, and therefore the tuning frequency of the LC resonator.
  • the variation of capacity C1 makes it possible to adapt the impedance of the filter.
  • Figures 6, 7, 8 correspond to a second filter whose configuration is illustrated in figure 6.
  • This filter includes two filters corresponding to figure 4, and in which the loops are coupled by facing zones.
  • this filter (40) comprises two elementary resonators each comprising a loop (41, 42) each loop comprises two segments in end (43, 44, 45, 46). These end segments (43, 44; 45, 46) are spanned two by two by varying capacities (47, 48). Each of these resonators also includes an additional spanned track (49, 50), with one of the segments (44, 46), by an additional bridge (51, 52).
  • the zones (57, 58) of the loops (41, 42) are arranged parallel, opposite one from the other. These two areas (57, 58) are close enough that the field magnetic generated by the current flowing through the area (57) induces a current in the area (58) of the other loop, and vice versa. In this way, the inductances formed by the loops (41, 42) are magnetically coupled.
  • the zones (57, 58) can be spanned by a additional conductive bridge ensuring capacitive coupling between the loops (41, 42).
  • FIG. 7 The equivalent diagram of this filter, between the input (53, 54) and output terminals (55, 56) is illustrated in FIG. 7 in which the capacities C1 and C2 are observed corresponding to the main bridges (47, 48), determining the frequency of tuning of each of the elementary resonators.
  • Capacities C3 and C4 correspond to decoupling capacities formed by the bridges (51, 52).
  • Mutual inductance M corresponds to the coupling present between the zones (57, 58) of the loops (41, 42).
  • FIG. 8 four curves illustrating the transfer functions of the filter of the Figure 6, for different values of different capacities.
  • the curves (60, 61) in solid lines correspond respectively to the reflection (or S 11 ) and transmission (S 12 ) parameters of the filter.
  • This type of filter can be used in particular as a preselector filter for mobile telephony, by adapting to several standards, and more generally to multi-band, multi-standard radio receivers.
  • Figures 9, 10 and 11 relate to another filter made from resonators elementary.
  • such a filter (70) comprises two loops (71, 72) each having end segments (73, 74, 75, 76), the segments (73, 74) of the loop (71) are spanned by a bridge (77). The segments (75, 76) of the loop (72) are spanned by a bridge forming variable capacity (78).
  • segment (74) of the loop (71) and the segment (75) of the loop (72) are spanned by an additional conductive bridge (79).
  • This additional bridge (79) therefore ensures capacitive coupling between the resonators formed from the loops (71, 72).
  • loops (71, 72) each have a zone (81, 82) coming to the each look at an additional track (83, 84).
  • Tracks (83,81) and (82, 84) are close enough to be magnetically coupled.
  • the filter (70) has input terminals (85, 86, 87, 88) located at the respective ends of the tracks (83, 84).
  • FIG. 11 illustrates another filter produced in accordance with the invention and which incorporates four elementary resonators.
  • this filter (100) is derived from the association of the filters illustrated with Figures 6 and 9.
  • the loops (101, 102) are in a configuration similar to that of FIG. 6, and each comprise a bridge (103, 104) which spans their end segments (105, 106, 107, 108).
  • These loops (101,102) include also an additional track (109, 110).
  • These tracks (109, 110) are spanned by bridges (111, 112) which also span the segments (106, 108) of the loops (101, 102).
  • the loops (101, 102) have parallel zones (113, 114) which are therefore magnetically coupled, this magnetic coupling is reinforced by a coupling capacitive thanks to the bridge (115) which generates the two zones (113, 114).
  • the filter (100) also comprises two loops (121, 122) whose segments in ends (123, 124, 125, 126) are respectively spanned two by two by bridges (127, 128).
  • loops (121, 122) repeat the central structure of the filter of FIG. 9.
  • these two loops (121, 122) are coupled by a bridge (130) which spans the first segment (124) of the loop (121) and the segment (125) of the loop (122).
  • the loops (121, 122) are respectively coupled to the loops (101, 102). This coupling is achieved by the proximity of the zones (131, 132) with regard to the loops (101, 121) as well as by the zones (133, 134) for the loops (122, 102). This coupling can be reinforced by bridges (135, 136) forming variable capacity.
  • FIG. 12 shows an equivalent diagram in which two capacitors C1 and C2 are observed, which are used to adjust the input coupling of the filter.
  • inductors L 1 , L 2 which correspond to the loops (101, 121, 133, 102) of figure 11. By proximity, these 4 inductors are coupled, which is represented on the diagram by mutual inductors ( Lm 1 and Lm 2 ).
  • Lm 1 and Lm 2 Two loops, at the top of figure 12, are coupled by a mutual capacitance (Cm).
  • Cm mutual capacitance
  • FIG. 13 shows the reflection and transmission parameters of the filter of FIG. 11 measured between the terminals (141, 142, 143, 144) for two sets of capacitance values. More precisely, the curves in solid lines (145) and (146) represent the parameters S 11 and S 12 of this filter. The curves in dotted lines (147) and (148) represent the same parameters after modification of the adjustable capacity values.
  • This resonator can therefore be easily integrated into microcomponents used in radio or hyper frequency applications, and in particular in the field of mobile telephony, or more generally in all analog radio devices and digital, can receive several standards.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Filters And Equalizers (AREA)

Abstract

Résonateur électrique élémentaire (1), caractérisé en ce qu'il comprend : un ruban conducteur (2) formant une boucle plane à au moins un tour, dont les extrémités forment deux segments parallèles (3, 4) ; un pont conducteur (6) formant une arche enjambant lesdits segments (3, 4) du ruban conducteur (2), les surfaces en regard de l'arche (6) et desdits segments (3, 4) formant une capacité, et dans lequel une partie (7) du pont (6) est apte à se déplacer par rapport auxdits segments (3, 4) de la boucle sous l'action d'un signal de commande de manière à faire varier la valeur de ladite capacité, et donc la fréquence d'accord du résonateur. <IMAGE>

Description

Domaine technique
L'invention se rattache au domaine de la micro-électronique, et plus précisément au secteur de la fabrication des microcomposants, notamment destinés à être utilisés dans des applications radio ou hyper fréquence. Elle concerne plus précisément des résonateurs électriques pouvant être incorporés dans des filtres analogiques,et qui permettent le réglage des différents paramètres de tels filtres.
Techniques antérieures
Comme on le sait, les circuits électroniques utilisés pour des applications radiofréquence ou hyperfréquence, telles que notamment la téléphonie mobile, comportent des filtres incluant des circuits oscillants ou résonateurs. De tels résonateurs sont généralement constitués par l'association d'une inductance et d'une capacité.
Dans certaines conditions, il est nécessaire de pouvoir adapter les paramètres du filtre, et notamment sa fréquence d'accord ou sa bande passante.
Ainsi, on a déjà proposé de former des résonateurs en associant un condensateur avec une inductance, l'un ou l'autre de ces composants présentant des paramètres qui peuvent être adaptés. Ainsi, on a proposé de réaliser des résonateurs avec des matériaux dont les propriétés varient avec l'application d'un champ magnétique statique tel que le grenat d'yttrium et de fer, communément appelé YIG. De tels composants présentent l'inconvénient majeur d'un encombrement très important.
On a également proposé de réaliser des composants dont les propriétés sont variables lorsqu'on les soumet à un champ électrique, tels que les matériaux ferroélectriques. Un tel composant est notamment décrit dans le document "IEEE transactions on microwave theory and techniques", volume 48, numéro 4, Avril 2000, pages 525 à 530. De tels composants présentent l'inconvénient de nécessiter des tensions de polarisation relativement élevées, et de présenter des niveaux de pertes importants.
On a également proposé de réaliser des capacités variables à base de matériaux semi-conducteurs. La variation de la capacité fonctionne sur le principe des transferts de charge dans les matériaux semi-conducteurs. Les inconvénients de ces dispositifs sont un important niveau de pertes, ainsi qu'une mauvaise tenue aux forts signaux électriques.
On a également proposé de réaliser les capacités variables en utilisant une batterie de condensateurs élémentaires qui peuvent être connectés en parallèle grâce à des diodes de commutation, qui permettent d'ajouter les capacités de chaque condensateur élémentaire. Une telle possibilité présente l'inconvénient de n'assurer qu'un réglage discret de la capacité, et nécessite en outre des tensions de polarisation relativement élevées.
De façon générale, l'ensemble des techniques décrites ci-avant ne permet de réaliser que des composants qui possèdent des propriétés relativement médiocres en termes de puissance et de perte.
Dans les documents "IEEE transactions on microwave theory and techniques", volume 48, numéro 7, Juillet 2000, pages 1240 à 1246, et "IEEE transactions on microwave theory and technics" volume 48, numéro 8, Août 2000, page 1336 à 1343, on a proposé de réaliser des résonateurs particuliers, utilisant un ruban conducteur disposé en forme de boucle au-dessus d'un plan de masse. Un tel composant, lorsqu'il est alimenté par un signal radio ou hyper fréquence fonctionne grâce à la propagation de ce signal entre le ruban conducteur et le plan de masse sous-jacent. La fréquence d'accord d'un tel résonateur est donc directement déterminée par la longueur du ruban conducteur, et correspond plus précisément à un signal dont la demi longueur d'onde correspond à la longueur développée du ruban.
On conçoit que ce genre de résonateur distribué possède de multiples inconvénients. En effet, sa fréquence d'accord est directement déterminée par sa géométrie, ce qui signifie qu'au-delà de certaines fréquences de l'ordre du GigaHertz, un tel résonateur possède des dimensions incompatibles avec la réalisation de circuits intégrés.
En outre, d'un point de vue de sa conception, un tel résonateur nécessite la présence d'un plan de masse pour la propagation du signal, ce qui lui confère donc une structure tridimensionnelle qui implique certaines contraintes sur le procédé de réalisation.
Un premier problème que se propose de résoudre l'invention est celui de la possibilité de régler les différents paramètres d'un résonateur, et notamment sa fréquence d'accord ou sa bande passante, et ce, sur une plage relativement large, tout en restant compatible avec les contraintes d'encombrement des composants utilisés en micro-électronique.
Un autre problème que se propose de résoudre l'invention est celui de la possibilité de faire varier les paramètres de filtres analogiques incorporant de tels résonateurs.
Exposé de l'invention
L'invention concerne donc un résonateur électrique élémentaire. Un tel résonateur se caractérise en ce qu'il comprend :
  • un ruban conducteur formant une boucle plane à au moins un tour, et dont les extrémités forment deux segments parallèles ;
  • un pont conducteur formant une arche enjambant lesdits segments du ruban conducteur, les surfaces en regard de l'arche et desdits segments formant une capacité ;
  • et dans lequel une partie du pont est apte à se déplacer par rapport auxdits segments de la boucle sous l'action d'un signal de commande, de manière à faire varier la valeur de ladite capacité, et donc 1a fréquence d'accord du résonateur.
Autrement dit, le résonateur élémentaire conforme à l'invention comprend un ruban formant inductance, et un pont conducteur qui enjambe une partie de l'inductance, de manière à former une capacité variable. L'association de cette capacité et de l'inductance forme un résonateur dont la fréquence d'accord peut être adaptée par la variation de la valeur de cette capacité.
Dans le reste de la description, le ruban conducteur et le pont conducteur peuvent être réalisés en différents matériaux, à savoir des matériaux métalliques ou bien encore des matériaux semi-conducteurs.
La boucle plane et le pont conducteur ne nécessitent pas la présence d'un plan de masse pour une quelconque propagation du signal, de sorte que de tels composants peuvent être réalisés très aisément, directement sur des couches de quartz ou de silicium ou d'autres types de substrat. Ces résonateurs peuvent être intégrés dans des microcomposants spécifiques à des fonctions de filtrage, ou bien encore être réalisés par dessus un circuit intégré assurant d'autres fonctionnalités.
En pratique, le pont conducteur formant la capacité variable peut être déformé par l'application de forces diverses, utilisées dans les technologies couramment connues sous l'abréviation "MEMS" signifiant en anglais "microelectromechanical systems". Ainsi, le pont conducteur peut être déformé sous l'action d'une force électrostatique grâce à une tension continue appliquée entre l'arche et le ruban conducteur. La force qui engendre la déformation de l'arche peut également avoir pour origine un phénomène thermique ou magnétique.
Avantageusement en pratique, le pont conducteur peut être associé à au moins un pont conducteur complémentaire, disposé en parallèle, et actionné par un signal de commande différent, de manière à faire varier la capacité variable sur une plage élargie. Cela revient donc à fractionner la surface totale formant la capacité, et à faire varier indépendamment la capacité élémentaire de chaque pont.
Avantageusement en pratique, le résonateur électrique élémentaire peut comporter en outre :
  • une piste supplémentaire, parallèle aux segments formant les extrémités de la boucle ;
  • un pont conducteur supplémentaire, formant également une capacité variable, enjambant la piste supplémentaire, et un des deux segments formant extrémité de la boucle.
Autrement dit, dans cette configuration, le résonateur est associé à une capacité supplémentaire, formant une capacité de découplage.
Ainsi, le résonateur peut être utilisé en tant que filtre, lorsqu'il comporte deux bornes de connexion, à savoir :
  • une première borne située sur la piste supplémentaire ;
  • une seconde borne située sur le segment de la boucle qui n'est pas enjambée par le pont conducteur supplémentaire.
Ce filtre a un comportement électrique correspondant à un schéma équivalent comportant en série un condensateur et un dipôle LC parallèle.
En réglant la capacité supplémentaire, on règle l'impédance d'entrée du filtre, alors que le réglage de la première capacité variable permet d'accorder la fréquence de résonance du filtre.
La structure du résonateur élémentaire, (incluant ou non la capacité de découplage telle que décrite ci-avant) peut être utilisée pour construire des filtres à plusieurs pôles, en couplant les différents résonateurs élémentaires entre eux. Il est ainsi possible de former des filtres d'ordre élevé, ou comportant des zéros de transmission.
En pratique, le couplage des résonateurs élémentaires peut être obtenu par un pont conducteur formant capacité variable, qui enjambe deux segments formant l'extrémité d'une boucle d'un résonateur, ces deux segments appartenant à deux résonateurs différents. Autrement dit, deux résonateurs incluant chacun une boucle et un pont conducteur, sont couplés par une des extrémités de leur boucle, grâce à un pont formant une capacité variable. L'association de ces deux résonateurs est équivalente à un couplage de deux résonateurs élémentaires décrits ci-avant par une capacité de découplage partagée.
Au niveau d'un schéma équivalent, un tel montage fonctionne comme deux dipôles LC parallèles entre lesquels est connectée une capacité variable. En fonction de la valeur de cette capacité qui couple les deux résonateurs, on peut jouer sur la bande passante d'un filtre qui inclut ces deux résonateurs.
Le couplage entre deux résonateurs élémentaires peut également avoir lieu par des zones de chaque ruban conducteur situées en regard l'une de l'autre. Autrement dit, chaque boucle possède une fraction de sa longueur disposée côte à côte avec une fraction de l'autre boucle, de sorte que par couplage magnétique, les deux résonateurs sont couplés.
Ce couplage peut être rendu variable grâce au fait que les zones en regard l'une de l'autre peuvent être enjambées par un pont conducteur supplémentaire formant capacité variable, et qui permet donc le réglage d'intensité du couplage entre les deux résonateurs élémentaires.
Un exemple particulier de résonateur selon l'invention peut comporter deux résonateurs élémentaires incluant une boucle et un pont formant capacité variable, et un pont conducteur supplémentaire formant une capacité variable supplémentaire, qui enjambe un des segments formant extrémité de la boucle de chaque résonateur élémentaire. Autrement dit, il s'agit de deux résonateurs couplés au niveau des extrémités de leur boucle par une capacité de découplage partagée.
En pratique, un tel résonateur peut être intégré dans un filtre qui comporte en outre deux pistes supplémentaires disposées chacune en regard d'une boucle de chaque résonateur élémentaire, chaque piste supplémentaire étant ainsi couplée à la zone de la boucle en regard, les extrémités des deux pistes supplémentaires formant les bornes de connexion du filtre.
Le couplage entre les pistes supplémentaires et les boucles des résonateurs élémentaires peut être réalisé par deux ponts conducteurs supplémentaires formant capacité variable, enjambant chacun une piste supplémentaire et la zone de la boucle du résonateur élémentaire se situant en regard. Ainsi, en faisant varier le couplage entre les pistes formant l'entrée et la sortie du filtre, et les résonateurs intermédiaires, il est possible de faire varier certaines caractéristiques du filtre telles que les impédances d'entrée et de sortie, la bande passante, et la fréquence centrale.
Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux filtres incluant deux résonateurs, mais couvre les variantes dans lesquelles le nombre de résonateurs est choisi selon de la fonction de transfert souhaité. Il est ainsi possible de multiplier le nombre de résonateurs, le nombre total pouvant ainsi être supérieur à la dizaine.
Description sommaire des figures
La manière de réaliser l'invention ainsi que les avantages qui en découlent ressortiront bien de la description des modes de réalisation qui suivent, à l'appui des figures annexées dans lesquelles :
  • La figure 1 est un schéma de la configuration d'un résonateur élémentaire.
  • La figure 2 est une vue en coupe selon le plan II-II' de la figure 1.
  • La figure 3 est un schéma d'une variante de réalisation du résonateur de la figure 1.
  • La figure 4 est un schéma de la configuration d'un filtre incluant un résonateur conforme à l'invention.
  • La figure 5 est un schéma équivalent du fonctionnement électrique du filtre de la figure 4.
  • La figure 6 est un schéma de configuration d'un filtre à deux pôles.
  • La figure 7 est un schéma équivalent du fonctionnement du filtre de la figure 6.
  • La figure 8 est un diagramme illustrant la fonction transfert en réflexion et en transmission du filtre de la figure 6.
  • La figure 9 est un schéma de configuration d'un autre filtre à deux pôles.
  • La figure 10 est un schéma équivalent du fonctionnement du filtre de la figure 9.
  • La figure 11 est un schéma de configuration d'un autre filtre à quatre pôles.
  • La figure 12 est un schéma équivalent du fonctionnement du filtre de la figure 11.
  • La figure 13 est un diagramme des fonctions de transferts en réflexion et en transmission du filtre de la figure 11.
    • Manières de réaliser l'invention
    Comme déjà évoqué, l'invention concerne un résonateur électrique qui peut être incorporé dans des filtres analogiques d'une très grande variété.
    La structure élémentaire d'un tel résonateur est illustrée aux figures 1 et 2. Un tel résonateur (1) est essentiellement constitué d'une boucle conductrice (2) et d'un pont (6) conducteur. Plus précisément, la boucle (2) est formée d'un ruban conducteur, c'est-à-dire métallique ou semi-conducteur, dont la géométrie peut adopter une forme carrée comme illustré à la figure 1. Néanmoins, l'invention n'est pas limitée à cette seule forme de réalisation, mais couvre également les boucles de géométrie différente, rectangulaire, polygonale, circulaire ou autres. La boucle (2) illustrée à la figure 1 comporte deux segments terminaux (3, 4) qui en forment les extrémités. Les deux segments (3, 4) sont disposés parallèlement l'un à l'autre de manière à pouvoir refermer la boucle. La superficie de la boucle (2) définit sensiblement la valeur de l'inductance équivalente de la boucle du résonateur.
    Le ruban formant la boucle (2) peut être obtenu selon différentes technologies, en fonction du type de microcomposant qui l'intègre. Ainsi, dans une technologie utilisant un procédé de réalisation électrolytique, le ruban peut être métallique, et obtenu par dépôt électrolytique de cuivre dans des sillons gravés dans un substrat isolant tel que de la silice. Néanmoins, d'autres technologies peuvent également être employées telles que celles utilisant plusieurs niveaux de matériaux semi conducteurs, séparés par des couches sacrificielles.
    Selon une autre caractéristique de l'invention, le résonateur (1) comporte un pont (6) en un matériau conducteur, métallique ou semi-conducteur, qui enjambe les deux segments (3, 4) qui forment les extrémités de la boucle (2). Ce pont (6) est illustré à la figure 2. Il comporte un segment (7) parallèle au plan du substrat, et deux piliers (8, 9) qui relient le segment horizontal (7) au substrat (11). La surface en regard du segment horizontal (7) et des segments (3, 4) de la boucle (2), forme une capacité. La valeur de cette capacité est essentiellement réglée par la distance séparant le segment (7) du pont (6) et les segments (3, 4) de la boucle.
    Conformément à l'invention, le pont (6) est déformable sous l'action d'une force ajustable, de sorte que la distance entre le segment horizontal (7) et les segments (3, 4) de la boucle, peut être ajustée.
    De la sorte, la valeur de la capacité existante entre le segment horizontal (7) du pont (6) et les segments (3, 4) de la boucle peut être modifiée, et par conséquent la fréquence d'accord du résonateur.
       En pratique, le pont (6) peut être obtenu selon différentes technologies. Dans la technologie par dépôt électrolytique, cette arche (6) est constituée d'un dépôt de cuivre qui peut être réalisé au dessus d'une couche sacrificielle déposée sur du substrat (11), puis ultérieurement éliminée. Néanmoins, d'autres technologies dans lesquelles l'arche n'est pas en cuivre mais en un autre matériau métallique ou bien encore en un matériau semi-conducteur peuvent être employées.
    La déformation du pont (6) peut être obtenue, par application d'une force électrostatique, qui résulte de l'application d'une tension continue entre le pont (6) et les segments (3, 4) de la boucle. A cet effet, le pont (6) se prolonge par une piste (12) jusqu'à un plot de connexion (13) par laquelle est appliquée la tension continue. Comme déjà dit, 1a force engendrant la déformation du pont peut être d'une autre origine qu'électrostatique et par exemple résulter d'un phénomène de dilatation ou de l'application d'un champ magnétique.
    Comme illustré à la figure 3, 1a boucle (16) peut présenter un nombre de tours supérieur à un, de manière à augmenter la valeur de l'inductance et donc son coefficient de qualité. Dans ce cas, la portion (18) de la boucle reliant le centre (17) d'enroulement et le segment (3) formant l'extrémité de la boucle, constitue une couche située en dessus ou en dessous du reste de l'enroulement (16).
    Comme également illustré à la figure 3, les segments (3, 4) de la boucle peuvent être enjambés par plusieurs ponts (21, 22, 23), disposés parallèlement, et commandés chacun par un signal distinct, au niveau de trois plots de connexion différents (24, 25, 26).
    La multiplication des ponts enjambant les segments (3, 4) permet d'une part, d'augmenter la surface du condensateur global formé par l'ensemble des ponts (21, 22, 23) et les segments (3, 4), et d'autre part, de permettre une commande distincte de chacun de ces ponts. De la sorte, il est plus facile de couvrir une plus large plage de valeur de capacité, et ce avec une plus grande précision.
    Le résonateur élémentaire illustré à la figure 1 peut être intégré dans des filtres plus complexes, tels qu'illustrés aux figures 4, 6, 9 et 11.
    Exemple 1
    Ainsi, le filtre illustré à la figure 4 comporte un résonateur élémentaire incluant une boucle (32) et un pont (36) enjambant les segments (33, 34) de la boucle (32).
    Bien entendu, bien que cela ne soit pas illustré, la boucle (32) peut comporter de multiples tours, et le pont (36) peut être décomposé en une pluralité de ponts élémentaires.
    Ce filtre (30) comporte une piste supplémentaire (31), disposée parallèlement au segment (34). Cette piste (31) réalisée de la même manière que la boucle (32) est enjambée par un pont (37) qui enjambe également le segment (34) de la boucle (32). Ce pont (37) forme une capacité variable avec le segment (34) de la boucle (32) et la piste (31). Cette capacité variable est commandée selon la même méthode que le pont (36). Il peut notamment être constitué d'une pluralité de ponts élémentaires en parallèle.
    Le schéma équivalent du filtre de la figure 4 est illustré à la figure 5. Ainsi, l'inductance de la boucle (32) correspond sensiblement à l'inductance L de la figure 5. La capacité variable du pont (36) correspond à la capacité C de la figure 5. La capacité formée par le pont (37) correspond à la capacité variable C1 de la figure 5, de sorte qu'entre les bornes 38 et 39, le filtre de la figure 4 correspond à un circuit LC parallèle en série avec la capacité C1. La variation de la hauteur du pont (36) permet de faire varier la capacité C, et donc la fréquence d'accord du résonateur LC. La variation de la capacité C1 permet d'adapter l'impédance du filtre.
    Exemple 2
    Les figures 6, 7, 8 correspondent à un second filtre dont la configuration est illustrée à la figure 6. Ce filtre reprend deux filtres correspondant à la figure 4, et dans lesquels les boucles sont couplées par des zones en regard.
    Plus précisément, ce filtre (40) comprend deux résonateurs élémentaires comprenant chacun une boucle (41, 42) chaque boucle comporte deux segments en extrémité (43, 44, 45, 46). Ces segments d'extrémité (43, 44 ; 45, 46) sont enjambés deux par deux par des capacités variables (47, 48). Chacun de ces résonateurs comprend également une piste supplémentaire (49, 50) qui est enjambée, avec un des segments (44, 46), par un pont supplémentaire (51, 52).
    Les zones (57, 58) des boucles (41, 42) sont disposées parallèlement, en regard l'une de l'autre. Ces deux zones (57, 58) sont suffisamment proches pour que le champ magnétique généré par le courant parcourant la zone (57) induise un courant dans la zone (58) de l'autre boucle, et vice versa. De la sorte, les inductances formées par les boucles (41, 42) sont couplées magnétiquement.
    Dans une forme non illustrée, les zones (57, 58) peuvent être enjambées par un pont conducteur supplémentaire assurant un couplage capacitif entre les boucles (41, 42).
    Le schéma équivalent de ce filtre, entre les bornes d'entrée (53, 54) et de sortie (55, 56) est illustré à la figure 7 dans laquelle on observe les capacités C1 et C2 correspondant aux ponts principaux (47, 48), déterminant la fréquence d'accord de chacun des résonateurs élémentaires. Les capacités C3 et C4 correspondent aux capacités de découplage formées par les ponts (51, 52). La mutuelle inductance M correspond au couplage présent entre les zones (57, 58) des boucles (41, 42). On a représenté en figure 8 quatre courbes illustrant les fonctions de transfert du filtre de la figure 6, pour différentes valeurs des différentes capacités.
    Ainsi, les courbes (60, 61) en trait plein correspondent respectivement aux paramètres de réflexion (ou S11) et de transmission (S12) du filtre. Les courbes (62, 63) en trait pointillé, correspondent respectivement aux mêmes paramètres, avec une diminution des capacités de manière à augmenter la fréquence de résonance en maintenant l'adaptation du filtre.
    Ce type de filtre peut être notamment utilisé comme filtre présélecteur pour téléphonie mobile, en s'adaptant sur plusieurs standards, et plus généralement sur des récepteurs radiofréquences multi-bandes, multi-standards.
    Exemple 3
    Les figures 9, 10 et 11 se rapportent à un autre filtre réalisé à partir de résonateurs élémentaires.
    Ainsi, un tel filtre (70) comporte deux boucles (71, 72) possédant chacune des segments d'extrémités (73, 74, 75, 76), les segments (73, 74) de la boucle (71) sont enjambés par un pont (77). Les segments (75, 76) de la boucle (72) sont enjambés par un pont formant capacité variable (78).
    En outre, le segment (74) de la boucle (71) et le segment (75) de la boucle (72) sont enjambés par un pont conducteur supplémentaire (79). Ce pont supplémentaire (79) assure donc un couplage capacitif entre les résonateurs formés des boucles (71, 72).
    Par ailleurs, les boucles (71, 72) présentent chacune une zone (81, 82) venant au regard chacune d'une piste supplémentaire (83, 84). Les pistes (83,81) et (82, 84) sont suffisamment proches pour être couplées magnétiquement. Le filtre (70) comporte des bornes d'entrée (85, 86, 87, 88) situées aux extrémités respectives des pistes (83, 84).
    La figure 10 illustre 1e schéma équivalent électrique du filtre de la figure 9 dans lequel on observe, en partant de 1a gauche :
    • la mutuelle inductance M entre la piste (81, 83),
    • l'inductance L de la boucle (71),
    • la capacité C2 du pont formée par le pont (77),
    • la capacité C1 de couplage entre les boucles (71, 72) engendrées par le pont (79),
    • la capacité C3 formée par le pont (78),
    • l'inductance L formée par la boucle (72),
    • et la mutuelle inductance entre la zone (82) de la boucle (72) et la zone (84) située entre les bornes de sortie (87, 88).
    En faisant varier les différentes capacités C1, C2, C3, il est ainsi possible de jouer sur la position relative des différents pôles du filtre, ou sur sa fréquence centrale. Le couplage magnétique entre les zones (83, 81) et (82, 84) pourrait également être complété par un couplage capacitif par l'intermédiaire de ponts déformables non représentés.
    Les différents paramètres en transmission et en réflexion du filtre de la figure 9 sont similaires à ceux du filtre de l'exemple 2, avec toutefois la possibilité de régler la bande passante du filtre, le couplage d'entrée étant fixe.
    Exemple 4
    La figure 11 illustre un autre filtre réalisé conformément à l'invention et qui intègre quatre résonateurs élémentaires.
    Plus précisément, ce filtre (100) est dérivé de l'association des filtres illustrés aux figures 6 et 9. Ainsi, les boucles (101, 102) sont dans une configuration similaire à celle de la figure 6, et comportent chacune un pont (103, 104) qui enjambe leurs segments d'extrémités (105, 106, 107, 108). Ces boucles (101,102) comportent également une piste supplémentaire (109, 110). Ces pistes (109, 110) sont enjambées par des ponts (111, 112) qui enjambent également les segments (106, 108) des boucles (101, 102).
    Les boucles (101, 102) possèdent des zones parallèles (113, 114) qui sont donc couplées magnétiquement, ce couplage magnétique est renforcé par un couplage capacitif grâce au pont (115) qui engendre les deux zones (113, 114).
    Le filtre (100) comporte également deux boucles (121, 122) dont les segments en extrémités (123, 124, 125, 126) sont respectivement enjambées deux à deux par des ponts (127, 128).
    Ces boucles (121, 122) reprennent la structure centrale du filtre de la figure 9.
    En outre, ces deux boucles (121, 122) sont couplées par un pont (130) qui enjambe 1e segment (124) de la boucle (121) et le segment (125) de la boucle (122).
    Les boucles (121, 122) sont respectivement couplées aux boucles (101, 102). Ce couplage est réalisé par la proximité des zones (131, 132) en ce qui concerne les boucles (101, 121) ainsi que par les zones (133, 134) pour les boucles (122, 102). Ce couplage peut être renforcé par des ponts (135, 136) formant capacité variable.
    On a représenté en figure 12 un schéma équivalent dans lequel on observe deux capacités C1 et C2, qui servent à régler le couplage d'entrée du filtre. On observe également quatre inductances L1, L2, qui correspondent aux boucles (101, 121, 133, 102) de la figure 11. Par proximité, ces 4 inductances sont couplées, ce qui est représenté sur le schéma par des mutuelles inductances (Lm1 et Lm2). Deux boucles, en haut de la figure 12, sont couplées par une mutuelle capacitance (Cm). Disposé de la sorte, l'ensemble des résonateurs et des structures de couplage permet de réaliser une fonction de filtrage comportant des zéros de transmission ou une égalisation du temps de groupe. L'ensemble des paramètres du filtre : bande passante, fréquence centrale, position des zéros de transmission, impédance d'entrée peuvent être réglés en ajustant les capacités.
    On a représenté en figure 13 les paramètres de réflection et de transmission du filtre de la figure 11 mesurés entre les bornes (141, 142, 143, 144) pour deux ensembles de valeurs des capacités. Plus précisément, les courbes en traits pleins (145) et (146) représentent les paramètres S11 et S12 de ce filtre. Les courbes en traits pointillés (147) et (148) représentent les mêmes paramètres après modification des valeurs de capacités réglables.
    Il ressort de ce qui précède que le résonateur est conforme à l'invention, et les différents filtres dans lequel il peut être intégré présentent de multiples avantages et notamment :
    • l'absence de plan de masse, et donc une géométrie planaire qui le rend très facile pour une intégration soit dans un microcomposant spécifique, soit dans un microcomposant incluant d'autres fonctionnalités, soit directement au-dessus d'un circuit intégré pré-existant ;
    • la possibilité de l'inclure dans de multiples filtres, comportant un nombre de pôles particulièrement élevés ;
    • la possibilité de faire varier à l'intérieur de tels filtres tous les paramètres caractéristiques, c'est-à-dire notamment des fréquences d'accord, la position des zéros de transmission, la bande passante.
    Ces différents avantages permettent de réaliser de multiples filtres analogiques utilisés dans des gammes de fréquences très larges allant du GigaHertz à quelques dizaines de GigaHertz.
    Ce résonateur peut donc être aisément intégré dans des microcomposants utilisés dans des applications radio ou hyper fréquence, et notamment dans le domaine de la téléphonie mobile, ou plus généralement dans tous les dispositifs radio analogiques et numériques, pouvant recevoir plusieurs standards.

    Claims (12)

    1. Résonateur électrique élémentaire (1), caractérisé en ce qu'il comprend :
      un ruban conducteur (2) formant une boucle plane à au moins un tour, dont les extrémités forment deux segments parallèles (3, 4) ;
      un pont conducteur (6) formant une arche enjambant lesdits segments (3, 4) du ruban conducteur (2), les surfaces en regard de l'arche (6) et desdits segments (3, 4) formant une capacité,
      et dans lequel une partie (7) du pont (6) est apte à se déplacer par rapport auxdits segments (3, 4) de la boucle sous l'action d'un signal de commande de manière à faire varier la valeur de ladite capacité, et donc la fréquence d'accord du résonateur.
    2. Résonateur électrique élémentaire (30) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre :
      une piste supplémentaire (31), parallèle aux segments (33, 34) formant les extrémités de la boucle (32) ;
      un pont conducteur supplémentaire (37), formant également une capacité variable, enjambant ladite piste supplémentaire (31) et un (34) des deux segments formant extrémité de la boucle (32).
    3. Résonateur électrique élémentaire selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte deux bornes de connexion, à savoir :
      une première borne (39) située sur la piste supplémentaire (31);
      une seconde borne (38)située sur le segment (33) qui n'est pas enjambé par le pont conducteur supplémentaire (37).
    4. Résonateur électrique élémentaire selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'au moins un des ponts conducteurs (21) est associé à au moins un pont conducteur complémentaire (22, 23), disposé en parallèle, et actionné par un signal de commande différent, de manière à faire varier la capacité variable sur une plage élargie.
    5. Résonateur électrique, caractérisé en ce qu'il est composé de plusieurs résonateurs élémentaires selon la revendication 1 ou 2 couplés.
    6. Résonateur électrique (70) selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'au moins deux des résonateurs élémentaires sont couplés par un pont conducteur (79) formant capacité variable, qui enjambe deux segments (74, 75) formant l'extrémité d'une boucle (71, 72) d'un résonateur élémentaire, ces deux segments (74, 75) appartenant à deux résonateurs différents.
    7. Résonateur électrique (40) selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'au moins deux des résonateurs élémentaires sont couplés par des zones (53, 54) de chaque ruban conducteur (41, 42) situées en regard l'une de l'autre.
    8. Résonateur électrique selon la revendication 7, caractérisé en ce que les deux zones en regard l'une de l'autre sont enjambées par un pont conducteur formant capacité variable, de manière à régler l'intensité du couplage entre les deux résonateurs élémentaires.
    9. Résonateur électrique (70) selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il est composé de deux résonateurs élémentaires selon la revendication 1, et d'un pont métallique conducteur (79) formant capacité variable, enjambant un des segments (74, 75) formant extrémité de la boucle (71, 72) de chaque résonateur élémentaire.
    10. Résonateur électrique selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte en outre deux pistes supplémentaires (83, 84) disposées chacune en regard d'une zone (81, 82) d'une boucle (71, 72) de chaque résonateur élémentaire, chaque piste supplémentaire (83, 84) étant ainsi couplée à la zone (81, 82) de la boucle en regard, et dans laquelle les extrémités (85, 86, 87, 88) des deux pistes supplémentaires (83, 84) forment des bornes de connexion.
    11. Résonateur électrique selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comporte en outre deux ponts conducteurs supplémentaires formant capacité variable, enjambant chacun une piste supplémentaire et la zone de la boucle du résonateur élémentaire se situant en regard.
    12. Résonateur multiple caractérisé en ce qu'il comporte plusieurs résonateurs selon l'une des revendications 5 à 9, dont certaines boucles appartenant aux résonateurs élémentaires qu'ils composent sont couplées.
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    Families Citing this family (11)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    JP4226390B2 (ja) * 2003-05-15 2009-02-18 シャープ株式会社 マルチバンドフィルタ回路および高周波通信装置
    US8058950B1 (en) * 2003-07-22 2011-11-15 Daniel Senderowicz Highly selective passive filters using low-Q planar capacitors and inductors
    US20050073078A1 (en) * 2003-10-03 2005-04-07 Markus Lutz Frequency compensated oscillator design for process tolerances
    JP4206904B2 (ja) * 2003-11-06 2009-01-14 ソニー株式会社 Ｍｅｍｓ共振器
    US7327210B2 (en) * 2004-06-15 2008-02-05 Radio Frequency Systems, Inc. Band agile filter
    WO2006063288A2 (fr) * 2004-12-09 2006-06-15 Wispry, Inc. Elements de pole-zero et systemes et procedes associes
    JP2006197027A (ja) * 2005-01-11 2006-07-27 Maspro Denkoh Corp フィルタ回路
    DE102006044570A1 (de) * 2006-09-21 2008-04-03 Atmel Duisburg Gmbh Integrierte Schaltungsanordnung und integrierte Schaltung
    JP4847937B2 (ja) * 2007-09-10 2011-12-28 株式会社エヌ・ティ・ティ・ドコモ 信号選択装置
    JP5428771B2 (ja) 2009-11-06 2014-02-26 富士通株式会社 可変分布定数線路、可変フィルタ、および通信モジュール
    TWI499123B (zh) * 2011-12-14 2015-09-01 矽品精密工業股份有限公司 交錯耦合帶通濾波器

    Citations (2)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    JPH05110315A (ja) * 1991-10-14 1993-04-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 共振器
    WO2000055936A1 (fr) * 1999-03-16 2000-09-21 Superconductor Technologies, Inc. Filtre accordable utilisant un materiau supraconducteur a haute temperature

    Family Cites Families (3)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    US5959515A (en) * 1997-08-11 1999-09-28 Motorola, Inc. High Q integrated resonator structure
    US6127908A (en) * 1997-11-17 2000-10-03 Massachusetts Institute Of Technology Microelectro-mechanical system actuator device and reconfigurable circuits utilizing same
    KR100344790B1 (ko) * 1999-10-07 2002-07-19 엘지전자주식회사 마이크로 기계구조를 이용한 주파수 가변 초고주파 필터

    Patent Citations (2)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Publication number Priority date Publication date Assignee Title
    JPH05110315A (ja) * 1991-10-14 1993-04-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd 共振器
    WO2000055936A1 (fr) * 1999-03-16 2000-09-21 Superconductor Technologies, Inc. Filtre accordable utilisant un materiau supraconducteur a haute temperature

    Non-Patent Citations (2)

    * Cited by examiner, † Cited by third party
    Title
    C.S. AITCHISON ET AL.: "LUMPED-CIRCUIT ELEMENTS AT MICROWAVE FREQUENCIES", IEEE TRANSACTIONS ON MICROWAVE THEORY AND TECHNIQUES., vol. 19, no. 12, December 1971 (1971-12-01), IEEE INC. NEW YORK., US, pages 928 - 937, XP002168256, ISSN: 0018-9480 *
    PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 017, no. 466 (E - 1421) 25 August 1993 (1993-08-25) *

    Also Published As

    Publication number Publication date
    JP2002198780A (ja) 2002-07-12
    FR2815774B1 (fr) 2003-01-31
    FR2815774A1 (fr) 2002-04-26
    US6549097B2 (en) 2003-04-15
    CA2358282A1 (fr) 2002-04-24
    US20020047758A1 (en) 2002-04-25

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