EP0378163B1 - Pompe à vide du type à canal de Gaede - Google Patents

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EP0378163B1
EP0378163B1 EP90100362A EP90100362A EP0378163B1 EP 0378163 B1 EP0378163 B1 EP 0378163B1 EP 90100362 A EP90100362 A EP 90100362A EP 90100362 A EP90100362 A EP 90100362A EP 0378163 B1 EP0378163 B1 EP 0378163B1
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EP
European Patent Office
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rotor
stator
hemispherical
delivery
pump
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EP0378163A2 (fr
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Sébastien Frindel
Luc Mathieu
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Alcatel CIT SA
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps

Definitions

  • the present invention relates to a vacuum pump of the Ga ⁇ de channel type comprising a stator and a rotor driven in rotation inside the stator, the stator comprising a suction inlet and a discharge outlet.
  • the rotor has the shape of a disc or a cylinder of revolution or a cone and its surface is provided with at least one helical groove and the surface of the stator facing it, is smooth or so, which is more often the case, it is the opposite, the surface of the rotor being smooth and that of the stator carrying the grooves.
  • the two facing surfaces carry such grooves. These grooves generally have a depth which decreases in the direction of the suction towards the discharge.
  • German document DE-C-912 007 describes a pump of this type but with a spherical rotor. This is quite interesting because the spherical surfaces can be produced with very high precision greater than a thousandth of a millimeter, by milling with a milling cutter or cup wheel, or by molding, and therefore reducing the operating clearances.
  • the present invention aims to improve a pump of this type by increasing its compression ratio.
  • the subject of the invention is therefore a vacuum pump of the ga ⁇ de channel type comprising a stator and a rotor driven in rotation inside the stator, the stator comprising a suction inlet and a discharge outlet, characterized in that that said rotor, in its active part situated between the suction and the discharge, consists of two hemispherical parts joined by a cylindrical central part, disposed in a cavity of the rotor also comprising two hemispherical cavities connected by an intermediate portion corresponding to the cylindrical part of the rotor and through which the intake takes place, the center of each hemispherical part of the rotor being offset from the center of the corresponding hemispherical cavity of the stator so that the radial clearance at suction j a , at the level of the large circle of hemispheres, ie greater than the radial clearance at discharge j r located, for each hemisphere, in the vicinity of the top of the hemisphere, the axis of rotation of
  • the invention relates to a vacuum pump of the Ga ⁇ de channel type comprising a stator and a rotor driven in rotation inside the stator, the stator comprising a suction inlet and a discharge outlet , characterized in that the rotor, in its active part located between the suction and the discharge, has a hemispherical shape and is disposed inside a also hemispherical cavity of the stator, the axis ⁇ of said rotor being coincident with the axis of the hemispherical cavity of the stator, the suction being done on the side of the large circle of the hemispherical rotor, by the radial clearance between the rotor and the stator and the discharge on the side of the top of the hemispherical rotor, an adjusting shim positioning axially the rotor with respect to the stator so that the radial clearance at the discharge is lower than the radial clearance at the intake.
  • said shim comprises axial adjustment means so as to adjust the radial clearance between the stator and the rotor, on the side of the exhaust, by axial offset of the rotor relative to the stator.
  • the wedge is for example movable in rotation and comprises inclined ramps cooperating with balls.
  • a vacuum pump comprising a stator 1 and a rotor 2.
  • the rotor 2 comprises a shaft 3 by which it is supported in the stator 1 by means of bearings 4 and 5
  • the rotor 2 is driven in rotation by means of a motor 6 fixed inside the stator by flanges 7 and 8.
  • the active part of the rotor has a hemispherical shape 9 situated in a cavity 10 also hemispherical of the stator.
  • the axis ⁇ of the rotor coincides with the axis of the hemispherical cavity of the stator.
  • the surface of the rotor is hollowed out with a helical groove 11 whose depth is decreasing from the suction 12 located on the side of the large circle of the hemisphere towards the discharge 13 located on the side of the top of the hemisphere.
  • the pump shown in FIG. 1 is a block diagram and in reality there are a plurality of helical grooves 11. These grooves can moreover be produced not on the rotor but in the stator cavity or even possibly on the rotor and also in the stator.
  • the center 0 ′ of the rotor is axially offset from the center 0 of the hemispherical cavity of the stator so that the radial clearance at suction j a is greater than the radial clearance at repression j r .
  • the precise relative adjustment of these clearances j r and j a is carried out by means of a shim 14. This makes it possible to improve the compression ratio which is of the form K R2 r2 , formula in which R and r are respectively the radii of the rotor on suction and discharge and K a constant depending on parameters such as in particular the ratio j r j at .
  • K increases with the decrease of this ratio j r j at .
  • the value of K is also increased by decreasing the depth of the helical grooves 11 from the suction to the discharge.
  • a dynamic groove seal 15 provides dynamic sealing between the stator 10 and the shaft 3 of the rotor 2 downstream of the discharge 13 and upstream of the first bearing 4.
  • An orifice 16 is provided downstream of the dynamic seal.
  • FIG. 2 is a detail showing an embodiment in which the shim 14 is adjustable, making it possible to vary the clearance at the delivery j r .
  • the wedge 14 comprises inclined ramps 17 associated with balls 18 held in a cage 19. The rotation of the wedge, for its adjustment, is carried out by a motor 20.
  • FIG 3 shows a variant in which the rotor 2 is double and therefore consists of two hemispherical parts 21 and 22 joined by a cylindrical central part 30.
  • the central part 30 allowing to play the role of decentering of the two hemispherical parts 21 and 22 of the rotor relative to the two hemispherical cavities 31, 32 of the stator.
  • the axis ⁇ of the rotor coincides with the axis which joins the centers 0 and 01 of the two large circles of the hemispherical cavities of the stator.
  • the hemispherical cavities 31 and 32 are joined by an intermediate portion 33 which forms an intake ring.
  • the inlet 23 is located in the middle and the flow is distributed to the right and to the left, the outlets 24 and 25 of the two parts meet at 26. This arrangement makes it possible to approximately double the flow rate of the pump.
  • the compression ratio varies from around 25 to 300 depending on the value of the ratio j at j r .
  • the flow is between 0.3 l / s and 2.7 l / s for rotors whose large diameter is between 100 and 300 mm with a rotation speed of 24,000 rpm.
  • the compression ratio can be up to 9.104.
  • the pump also has the usual advantages of dry pumps.

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Description

  • La présente invention concerne une pompe à vide du type à canal de Gaëde comprenant un stator et un rotor entraîné en rotation à l'intérieur du stator, le stator comprenant une entrée d'aspiration et une sortie de refoulement.
  • Des pompes de ce type sont bien connues sous le nom de pompes Holweck ou pompes à canal de Gaëde. Dans ce type de pompes, le rotor a la forme d'un disque ou d'un cylindre de révolution ou encore d'un cône et sa surface est munie d'au moins une rainure hélicoïdale et la surface du stator qui lui fait face, est lisse ou alors, ce qui est plus souvent le cas, c'est le contraire, la surface du rotor étant lisse et celle du stator portant les rainures. Parfois encore, les deux surfaces en vis-à-vis portent de telles rainures. Ces rainures ont généralement une profondeur qui décroît en allant dans le sens de l'aspiration vers le refoulement.
  • Pour obtenir de bonnes performances, on a intérêt à diminuer le plus possible le jeu de fonctionnement entre le rotor et le stator ce qui implique la nécessité de réaliser le rotor et le stator avec une très grande précision, or il est difficile d'obtenir une très grande précision de forme avec les pompes connues.
  • Le document allemand DE-C-912 007 décrit une pompe de ce type mais avec un rotor sphérique. Ceci est tout à fait intéressant car les surfaces sphériques peuvent être réalisées avec une très grande précision supérieure au millième de millimètre, par usinage à la fraise ou meule boisseau, ou par moulage, et donc de diminuer les jeux de fonctionnement.
  • La présente invention a pour but de perfectionner une pompe de ce type en augmentant son taux de compression.
  • L'invention a ainsi pour objet une pompe à vide du type à canal de gaëde comprenant un stator et un rotor entraîné en rotation à l'intérieur du stator, le stator comprenant une entrée d'aspiration et une sortie de refoulement, caractérisée en ce que ledit rotor, dans sa partie active située entre l'aspiration et le refoulement, est constitué de deux parties hémisphériques réunies par une partie centrale cylindrique, disposé dans une cavité du rotor comportant également deux cavités hémisphériques reliées par une portion intermédiaire correspondant à la partie cylindrique du rotor et par laquelle a lieu l'admission, le centre de chaque partie hémisphérique du rotor étant décalé par rapport au centre de la cavité hémisphérique correspondante du stator de façon à ce que le jeu radial à l'aspiration ja, au niveau du grand cercle des hémisphères, soit supérieur au jeu radial au refoulement jr situé, pour chaque hémisphère, au voisinage du sommet de l'hémisphère, l'axe de rotation du rotor étant confondu avec l'axe passant par les centres des deux grands cercles des cavités hémisphériques du stator.
  • Selon une autre réalisation, l'invention a pour objet une pompe à vide du type à canal de Gaëde comprenant un stator et un rotor entraîné en rotation à l'intérieur du stator, le stator comprenant une entrée d'aspiration et une sortie de refoulement, caractérisée en ce que le rotor, dans sa partie active située entre l'aspiration et le refoulement, a une forme hémisphérique et est disposé à l'intérieur d'une cavité également hémisphérique du stator, l'axe Δ dudit rotor étant confondu avec l'axe de la cavité hémisphérique du stator, l'aspiration se faisant du côté du grand cercle du rotor hémisphérique, par le jeu radial entre le rotor et le stator et le refoulement du côté du sommet du rotor hémisphérique, une cale de réglage positionnant axialement le rotor par rapport au stator de façon à ce que le jeu radial au refoulement soit plus faible que le jeu radial à l'aspiration.
  • Avantageusement, ladite cale comporte des moyens de réglage axial de façon à régler le jeu radial entre le stator et le rotor, du côté de l'échappement, par décentrement axial du rotor par rapport au stator.
  • La cale est par exemple mobile en rotation et comporte des rampes inclinées coopérant avec des billes.
  • L'invention va maintenant être décrite en se reportant au dessin annexé dans lequel :
    • La figure 1 est une vue schématique en coupe axiale d'une pompe à vide selon l'invention.
    • La figure 2 montre un détail d'un aménagement particulier.
    • La figure 3 est une vue schématique d'un deuxième mode de réalisation de l'invention.
  • En se reportant à la figure 1, on voit une pompe à vide selon l'invention comportant un stator 1 et un rotor 2. Le rotor 2 comporte un arbre 3 par lequel il est supporté dans le stator 1 au moyen de paliers 4 et 5. Le rotor 2 est entraîné en rotation au moyen d'un moteur 6 fixé à l'intérieur du stator par des brides 7 et 8. La partie active du rotor a une forme hémisphérique 9 située dans une cavité 10 également hémisphérique du stator. L'axe Δ du rotor est confondu avec l'axe de la cavité hémisphérique du stator.
  • La surface du rotor est creusée d'une rainure hélicoïdale 11 dont la profondeur est décroissante depuis l'aspiration 12 située du côté du grand cercle de l'hémisphère vers le refoulement 13 situé du côté du sommet de l'hémisphère. La pompe représentée sur la figure 1 est un schéma de principe et en réalité, il y a une pluralité de rainures hélicoïdales 11. Ces rainures peuvent par ailleurs être réalisées non pas sur le rotor mais dans la cavité statorique ou encore éventuellement sur le rotor et aussi dans le stator. Comme on le voit sur la figure, le centre 0′ du rotor est axialement décalé par rapport au centre 0 de la cavité hémisphérique du stator de façon à ce que le jeu radial à l'aspiration ja soit plus important que le jeu radial au refoulement jr. L'ajustement relatif précis de ces jeux jr et ja est effectué au moyen d'une cale 14. Ceci permet d'améliorer le taux de compression qui est de la forme K
    Figure imgb0001
    , formule dans laquelle R et r sont respectivement les rayons du rotor à l'aspiration et au refoulement et K une constante dépendant de paramètres tels que notamment le rapport j r j a
    Figure imgb0002
    . La valeur de K augmentant avec la diminution de ce rapport j r j a
    Figure imgb0003
    .On peut par exemple donner à ja la valeur de 0,1 à 0,2 mm et à jr environ 1 100
    Figure imgb0004
    mm. On améliore ainsi beaucoup le taux de compression par rapport à une pompe sphérique à jeu constant.
  • La valeur de K est également augmentée par la diminution de la profondeur des rainures hélicoïdales 11 depuis l'aspiration vers le refoulement.
  • Un joint dynamique à rainure 15 assure l'étanchéité dynamique entre le stator 10 et l'arbre 3 du rotor 2 en aval du refoulement 13 et en amont du premier palier 4. Un orifice 16 est prévu en aval du joint dynamique.
  • La figure 2 est un détail montrant une réalisation dans laquelle la cale 14 est réglable, permettant de faire varier le jeu au refoulement jr. Dans ce cas, la cale 14 comporte des rampes inclinées 17 associées à des billes 18 maintenues dans une cage 19. La rotation de la cale, pour son ajustement est réalisée par un moteur 20.
  • La figure 3 montre une variante dans laquelle le rotor 2 est double et donc constitué de deux parties hémisphériques 21 et 22 réunies par une partie centrale cylindrique 30. Ici, on a une double pompe, la partie centrale 30 permettant de jouer le rôle de décentrage des deux parties hémisphériques 21 et 22 du rotor par rapport aux deux cavités hémisphériques 31, 32 du stator. L'axe Δ du rotor est confondu avec l'axe qui joint les centres 0 et 0₁ des deux grands cercles des cavités hémisphériques du stator. Les cavités hémisphériques 31 et 32 sont réunies par une portion intermédiaire 33 qui forme un anneau d'admission. L'admission 23 est située au milieu et le flux se répartit à droite et à gauche, les refoulements 24 et 25 des deux parties se rejoignent en 26. Cette disposition permet de doubler environ le débit de la pompe.
  • A titre indicatif, on peut donner les valeurs numériques suivantes pour une pompe correspondant à la figure 1 :
    le taux de compression varie d'environ 25 à 300 selon la valeur du rapport j a j r .
    Figure imgb0005
  • Le débit se situe entre 0,3 l/s et 2,7 l/s pour des rotors dont le grand diamètre est compris entre 100 et 300 mm avec une vitesse de rotation de 24 000 t/min.
  • Pour augmenter le taux de compression, on peut aisément assembler une pompe à deux étages de compression, ou plus de deux étages.
  • Pour une pompe à deux étages, le taux de compression peut aller jusqu'à 9.10⁴.
  • On peut également, pour augmenter le débit, doter le rotor d'une avant roue à ailettes.
  • La pompe présente en outre les avantages habituels des pompes sèches.

Claims (4)

  1. Pompe à vide du type à canal de Gaëde comprenant un stator (1) et un rotor (2) entraîné en rotation à l'intérieur du stator, le stator comprenant une entrée d'aspiration (12) et une sortis de refoulement (13), caractérisée en ce que ledit rotor, dans sa partie active située entre l'aspiration et le refoulement, est constitué de deux parties hémisphériques (21, 22) réunies par une partie centrale cylindrique (30), disposé dans une cavité du rotor comportant également deux cavités hémisphériques (31, 32) reliées par une portion intermédiaire correspondant à la partie cylindrique du rotor et par laquelle a lieu l'admission, le centre de chaque partie hémisphérique du rotor étant décalé par rapport au centre de la cavité hémisphérique correspondante du stator de façon à ce que le jeu radial à l'aspiration ja, au niveau du grand cercle des hémisphères, soit supérieur au jeu radial au refoulement jr situé, pour chaque hémisphère, au voisinage du sommet de l'hémisphère, l'axe de rotation Δ du rotor étant confondu avec l'axe passant par les centres (0, 0₁) des deux grands cercles des cavités hémisphériques du stator.
  2. Pompe à vide du type à canal de Gaëde comprenant un stator (1) et un rotor (2) entraîné en rotation à l'intérieur du stator, le stator comprenant une entrée d'aspiration (12) et une sortie de refoulement (13) caractérisée en ce que le rotor, dans sa partie active située entre l'aspiration et le refoulement, a une forme hémisphérique (9) et est disposé à l'intérieur d'une cavité (10) également hémisphérique du stator, l'axe Δ dudit rotor étant confondu avec l'axe de la cavité hémisphérique du stator, l'aspiration se faisant du côté du grand cercle du rotor hémisphérique, par le jeu radial (ja) entre le rotor et le stator et le refoulement du côté du sommet du rotor hémisphérique, une cale de réglage (14) positionnant axialement le rotor (2) par rapport au stator (1) de façon à ce que le jeu radial au refoulement jr soit plus faible que le jeu radial à l'aspiration ja.
  3. Pompe à vide selon la revendication 2, caractérisée en ce que ladite cale (14) comporte des moyens (17, 18, 19) de réglage axial de façon à régler le jeu radial (jr) entre le stator et le rotor, du côté de l'échappement, par décentrement axial du rotor par rapport au stator.
  4. Pompe à vide selon la revendication 3, caractérisée en ce que ladite cale est mobile en rotation et comporte des rampes inclinées (17) coopérant avec des billes (18).
EP90100362A 1989-01-09 1990-01-09 Pompe à vide du type à canal de Gaede Expired - Lifetime EP0378163B1 (fr)

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EP0378163A2 EP0378163A2 (fr) 1990-07-18
EP0378163A3 EP0378163A3 (en) 1990-10-10
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EP (1) EP0378163B1 (fr)
JP (1) JPH02227598A (fr)
AT (1) ATE94620T1 (fr)
DE (1) DE69003256T2 (fr)
ES (1) ES2045570T3 (fr)
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