EP0285941A2 - Verfahren zur Herstellung von elektrischen Kontaktwerkstoffen - Google Patents

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EP0285941A2
EP0285941A2 EP88104920A EP88104920A EP0285941A2 EP 0285941 A2 EP0285941 A2 EP 0285941A2 EP 88104920 A EP88104920 A EP 88104920A EP 88104920 A EP88104920 A EP 88104920A EP 0285941 A2 EP0285941 A2 EP 0285941A2
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EP
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plastic
carrier layer
filled
thermal conductivity
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Wolfgang Dr. Ehrfeld
Asim Dr. Maner
Jürgen Mohr
Dirk Dr. Schmidt
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Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
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    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
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    • H01H1/02—Contacts characterised by the material thereof
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H11/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of electric switches
    • H01H11/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of electric switches of switch contacts

Definitions

  • the invention relates to a method for producing electrical contact materials according to the preamble of patent claim 1.
  • a method of the generic type is known from DE-PS 554720. Relatively large contact surfaces are formed with highly conductive material, so that local overheating can have a negative effect on the erosion resistance and the service life.
  • Another such method for the production of flat composite materials from heterogeneous components is known from DE-PS 758108; First, depressions in the form of parallel grooves are made in one material, which are then filled with filler material, e.g. B. metal oxide, powdered graphite, difficult to melt material such as tungsten or conductive material such as silver, resulting in a heterogeneous contact surface. The desired heterogeneity is only achieved in one direction, namely across the filled grooves.
  • a sheathed wire whose core is made of a metal of high strength, e.g. B. made of nickel, and its jacket made of a metal with good electrical conductivity, for. B. of silver, consists of repeatedly bundling and stretching, whereupon the fiber bundle thus formed is divided into individual slices transversely to the fiber orientation.
  • the contact material formed in this way has good electrical and thermal conductivity due to the silver network, while the nickel cores enclosed by the silver increase the resistance to erosion or reduce the tendency to sweat (see company publication of G. Rau, Pforzheim).
  • a disadvantage of this contact material is an uneven material distribution as a result of fluctuations in the nickel core diameter. There is also the risk of fiber breaks due to multiple forming.
  • a pore-containing structure is produced by sintering a high-melting metal, into which a low-melting metal is sucked in by capillary forces (A. Keil, WA Merl, E. Vinaricky: “Electrical contacts and their materials", Springer-Verlag, Berlin , Heidelberg, New York, Toyko 1984).
  • these contact materials which are produced using the sintering impregnation process, also show large fluctuations in the pore size. This has the result that electrical and thermal conductivity on the one hand and erosion resistance on the other hand change locally, which has a disadvantageous effect on the contact resistance and the contact life.
  • material losses due to the waste when parting slices from the bundles or rods must be accepted.
  • the invention has for its object a method for producing an electrical contact material in the form of a con to create a tactile body from a heterogeneous composite of two components, in which the lateral, ie transverse to the electrical current flow of the contact body extending distribution and geometry of the two components in the ⁇ m range are freely selectable and can be maintained with high accuracy.
  • the respectively desired electrical and mechanical properties of the contact material can be realized without local deviations due to manufacturing tolerances.
  • the smallest lateral dimensions of the components can be in the ⁇ m range with a structure height of up to 1 mm.
  • Figures 1 to 5 schematically illustrate the production of an electrical contact material, consisting of a composite of two components, of which one component has a high hardness and strength and the other component has a high electrical and thermal conductivity.
  • Fig. 1 shows in section a metallic carrier layer 1, for. B. made of chromium-nickel steel, on which a resist layer 2 sensitive to X-rays is applied.
  • the resist layer 2 is exposed to the extremely parallel radiation 4 from a synchrotron via an X-ray mask 3 with absorber structures 3a.
  • the areas of the resist layer 2 that are not shadowed by the absorber structures 3a of the X-ray mask 3 are changed by radiation chemistry.
  • a cone-shaped plastic mold 5 (FIG. 2) is produced which corresponds to the absorber structure 3a of the X-ray mask 3 and which has the thickness of the resist layer 2.
  • the areas 6 of the plastic mold 5 which are exposed during development are galvanically coated with a metal of high hardness and strength 7, e.g. B. nickel, filled (Fig. 3). After the metallic structure 7 thus formed has been leveled, the remaining plastic (pin) 5 is detached. A coherent, net-shaped metal structure 7 is created with chamber-like depressions 8 (FIG. 4).
  • a metal of high hardness and strength 7 e.g. B. nickel
  • the metal structure 7 By impregnating the metal structure 7 with a metal whose melting point is lower than the melting points of metals 1 and 7 and which has a high electrical and thermal conductivity, e.g. B. silver, creates a contact material that combines the properties of its two material components.
  • the metal structure 7 can be made wettable for the metal with good electrical and thermal conductivity by a dipping process or vapor deposition of a layer. After soaking can the carrier layer 1 are removed.
  • Fig. 5 shows this contact material in plan view, consisting of pins made of a material with high electrical and thermal conductivity 9, which are chambered by the reticulated metal structure 7 made of a material of high hardness and strength.
  • the carrier layer 1 which in this case does not have to be electrically conductive, can again be removed. If the carrier layer 1 is an electrically conductive contact carrier which is to remain on the contact material, the depressions 8 of the ceramic can Structure 7 can also be galvanically filled with a metal of high electrical and thermal conductivity 9 using the carrier layer 1 as an electrode.
  • a contact material is formed from a metal / metal carbide, a metal / metal oxide or a metal / metal nitride composite with good electrical conductivity and high erosion resistance.
  • the free areas 6 of the plastic mold 5 are galvanically coated with a metal 7 with high electrical and thermal conductivity, e.g. B. copper, filled up and the remaining plastic 5 detached.
  • the resulting depressions 8 of the reticulated metal structure 7 (Fig. 4) with an organic compound, for. B. filled with a polymer, phenolic resin.
  • a polymer carbon 9 glassy carbon
  • the carrier layer 1 can again be removed.
  • An advantageous alternative is also a filling of the depressions with carbon black or graphite powder or a slurry of such materials.
  • the contact material properties such as contact resistance, erosion resistance, welding and adhesive tendency can be optimally adapted to the respective use of the contact in e.g. B. the measuring technology or power engineering. Due to the precise and even distribution of the areas with a material with high electrical and thermal conductivity and the areas with a material with high hardness and strength, laterally uniform contact material properties are achieved, which largely prevents local welding of the contact during switching.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Hertellung von elektrischen Kontaktwerkstoffen. Die Erfindung hat zur Aufgabe, ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Kontaktwerkstoffes in Gestalt eines Kontaktkörpers aus einem heterogen Verbund aus zwei Komponenten zu schaffen, bei dem die laterale, d.h. quer zum elektrischen Stromfluß des Kontaktkörpers sich erstreckende Verteilung und Geometrie der beiden Komponenten im µm-Bereich frei wählbar und mit hoher Genauigkeit einhaltbar sind. Die Lösung ist durch folgende Verfahrensschritte gekennzeichnet: a) Herstellen einer Form aus von einer Trägerschicht vorspringenden Kunststoffzapfen; b) Auffüllen der freien Bereiche der Form mit der einen Komponente und Entfernen des Kunststoffes; c) Auffüllen der Vertiefungen der so entstandenen Struktur mit der anderen Komponente.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrischen Kontaktwerkstoffen gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1.
  • Ein Verfahren der gattungsgemäßen Art ist aus der DE-PS 554720 bekannt. Dabei werden verhältnismäßig große Berüh­rungsflächen mit gut leitendem Werkstoff gebildet, so daß sich örtliche Überhitzungen negativ auf die Abbrandfestig­keit und die Lebensdauer auswirken können. Ein weiteres derartiges Verfahren zur Herstellung von flächigen Verbund­werkstoffen aus heterogenen Komponenten ist aus der DE-PS 758108 bekannt; dabei werden zunächst Vertiefungen in Form von parallelen Rillen in dem einen Material hergestellt, die anschließend durch Füllmaterial, z. B. Metalloxid, pulver­förmiger Graphit, schwer schmelzbare Werkstoff wie Wolfram oder leitender Werkstoff wie Silber gefüllt werden, wodurch sich eine heterogene Kontaktoberfläche ergibt. Die ange­strebte Heterogenität ist jedoch nur in einer Richtung, nämlich quer zu den gefüllten Rillen realisiert.
  • Zur Herstellung derartiger Verbundwerkstoffe ist es ferner bekannt, einen Manteldraht, dessen Kern aus einem Metall hoher Festigkeit, z. B. aus Nickel, und dessen Mantel aus einem Metall guter elektrischer Leitfähigkeit, z. B. aus Silber, besteht, wiederholt zu bündeln und zu strecken, worauf das so geformte Faserbündel quer zur Faserausrichtung in einzelne Scheiben zerteilt wird. Der so gebildete Kon­taktwerkstoff hat aufgrund des Silbernetzes eine gute elek­trische und thermische Leitfähigkeit, während die von dem Silber umschlossenen Nickelkerne die Abbrandfestigkeit erhö­hen bzw. die Schweißneigung vermindern (s. Firmenschrift der Firma G. Rau, Pforzheim). Nachteilig bei diesem Kontaktwerk­stoff ist eine ungleichmäßige Werkstoffverteilung infolge von Schwankungen der Nickelkerndurchmesser. Auch besteht die Gefahr von Faserbrüchen durch das mehrfache Umformen.
  • Bei einem weiteren bekannten Verfahren wird eine durch Mischfällung erzeugte Metallpulvermischung gepreßt und ge­sintert (A. Keil, W. A. Merl, E. Vinaricky: "Elektrische Kontakte und ihre Werkstoffe", Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, Tokyo 1984). Zur Erhöhung der Dichte kann der so entstandene Sinterkörper anschließend durch Strangpressen zu Stangen weiterverformt werden. Auch dieser Verbundwerkstoff weist eine ungleichförmige Verteilung sei­ner Komponenten auf wegen der statistischen Schwankungen in der Partikelgröße des Pulvergemischs. Außerdem besteht die Gefahr, daß einzelne Partikel aus der Oberfläche des Werk­stoffes ausbrechen.
  • Bei einem weiteren pulvermetallurgischen Verfahren wird durch Sintern eines hochschmelzenden Metalls eine porenhal­tige Struktur erzeugt, in welche ein niederschmelzendes Metall durch Kapillarkräfte eingesaugt wird (A. Keil, W. A. Merl, E. Vinaricky: "Elektrische Kontakte und ihre Werkstof­fe", Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, Toyko 1984). Aber auch diese nach dem Sinter-Tränkverfahren herge­stellten Kontaktwerkstoffe weisen große Schwankungen in der Porengröße auf. Dies führt dazu, daß sich elektrische und thermische Leitfähigkeit einerseits und Abbrandfestigkeit andererseits lokal stark ändern, was sich nachteilig auf den Kontaktwiderstand und die Kontaktlebensdauer auswirkt. Gene­rell müssen sowohl bei den Faserverbundwerkstoffen als auch bei den pulvermetallurgisch hergestellten Verbundwerkstoffen Materialverluste durch den Verschnitt beim Abstechen von Scheiben aus den Bündeln oder Stangen in Kauf genommen werden.
  • Die Erfindung hat zur Aufgabe, ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Kontaktwerkstoffes in Gestalt eines Kon­ taktkörpers aus einem heterogenen Verbund aus zwei Komponen­ten zu schaffen, bei dem die laterale, d. h. quer zum elek­trischen Stromfluß des Kontaktkörpers sich erstreckende Verteilung und Geometrie der beiden Komponenten im µm-Be­reich frei wählbar und mit hoher Genauigkeit einhaltbar sind.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe werden die im Kennzeichen der Patentansprüche 1 und 2 genannten Maßnahmen vorgeschlagen. Die hierauf bezogenen Unteransprüche beinhalten vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen dieser Lösung.
  • Mit der Erfindung lassen sich die jeweils gewünschten elek­trischen und mechanischen Eigenschaften des Kontaktwerk­stoffs ohne lokale Abweichungen aufgrund von Fertigungstole­ranzen realisieren. Dabei können die kleinsten lateralen Abmessungen der Komponenten im µm-Bereich liegen bei einer Strukturhöhe von bis zu 1 mm.
  • Die Herstellung von Mikrostrukturen auf röntgentiefenlitho­graphischem Wege mit der hiervon abgeleiteten Abformtechnik (LIGA-Verfahren) ist in dem Bericht KfK 3995, Nov. 1985, des Kernforschungszentrums Karlsruhe, auf den verwiesen wird, beschrieben und dargestellt.
  • Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden anhand der Zeichnungen 1 - 5 erläutert:
  • Die Figuren 1 bis 5 veranschaulichen schematisch die Her­stellung eines elektrischen Kontaktwerkstoffes, bestehend aus einem Verbund von zwei Komponenten, von denen die eine Komponente eine große Härte und Festigkeit und die andere Komponente eine hohe elektrische und thermische Leitfähig­keit aufweist.
  • Fig. 1 zeigt im Schnitt eine metallische Trägerschicht 1, z. B. aus Chrom-Nickel-Stahl, auf der eine für Röntgenstrahlen empfindliche Resistschicht 2 aufgebracht ist. Die Resist­schicht 2 wird über eine Röntgenmaske 3 mit Absorberstruktu­ren 3a mit der extrem parallelen Strahlung 4 aus einem Synchrotron belichtet. Bei der Bestrahlung werden die Berei­che der Resistschicht 2, die nicht von den Absorberstruktu­ren 3a der Röntgenmaske 3 abgeschattet werden, strahlenche­misch verändert.
  • Nach der Bestrahlung werden beim Entwickeln die der Strah­lung ausgesetzten Bereiche der Resistschicht herausgelöst. Es entsteht bei diesem Beispiel eine zapfenförmige Kunst­stofform 5 (Fig. 2) , die der Absorberstruktur 3a der Rönt­genmaske 3 entspricht und die die Dicke der Resistschicht 2 besitzt.
  • Die beim Entwickeln freigelegten Bereiche 6 der Kunststoff­form 5 werden unter Verwendung der metallischen Träger­schicht 1 als Elektrode galvanisch mit einem Metall hoher Härte und Festigkeit 7, z. B. Nickel, aufgefüllt (Fig. 3). Nach dem Einebnen der so entstandenen metallischen Struktur 7 wird der restliche Kunststoff (Zapfen) 5 herausgelöst. Es entsteht eine zusammenhängende, netzförmige Metallstruktur 7 mit kammerartigen Vertiefungen 8 (Figur 4).
  • Durch Tränken der Metallstruktur 7 mit einem Metall dessen Schmelzpunkt niedriger als die Schmelzpunkte der Metalle 1 und 7 ist und das eine hohe elektrische und thermische Leitfähigkeit besitzt, z. B. Silber, entsteht ein Kontakt­werkstoff, der die Eigenschaften seiner beiden Werkstoffkom­ponenten in sich vereint. Dabei kann die Metallstruktur 7 durch einen Tauchprozeß oder Aufdampfen einer Schicht be­netzbar für das Metall mit guter elektrischer und thermi­scher Leitfähigkeit gemacht werden. Nach dem Tränken kann die Trägerschicht 1 entfernt werden. Fig. 5 zeigt diesen Kontaktwerkstoff in der Draufsicht, bestehend aus Zapfen aus einem Werkstoff hoher elektrischer und thermischer Leitfä­higkeit 9, die von der netzförmigen Metallstruktur 7 aus einem Werkstoff hoher Härte und Festigkeit gekammert sind. In manchen Anwendungsfällen ist es auch vorteilhaft, die elektrisch leitfähige Trägerschicht an dem Kontaktkörper als Kontaktträger zu belassen, z. B. in Form einer Zunge.
  • Für spezielle Kontakte, z. B. in der Meß- oder Nachrichten­technik, ist es auch vorteilhaft, zuerst die Zapfen aus einem Werkstoff hoher Härte und Festigkeit nach dem LIGA-Verfahren aufzubauen und die dabei entstehenden, netzförmig miteinan­der verbundenen Kanäle durch Tränken mit einem Werkstoff hoher elektrischer und thermischer Leitfähigkeit aufzufül­len. In diesem Falle wird eine Röntgenmaske mit einer Absor­berstruktur verwendet, die zu der in Figur 1 gezeigten Absorberstruktur 3a komplementär ist.
  • Bei mechanisch besonders hoch belasteten Kontakten kann es vorteilhaft sein, die freien Bereiche 6 der Kunststofform 5 (Fig. 2) mit einer pasteusen, aushärtbaren Keramikmasse 7 (Fig. 3), z. B. Al₂O₃ in einem Bindemittel aus Härter und einem Material, das unter der Bezeichnung "Trolit" im Handel erhältlich ist, aufzufüllen. Nach dem Aushärten der Kera­mikmasse 7 wird der restliche Kunststoff 5 herausgelöst. Es entsteht nun eine zusammenhängende, netzförmige Keramik­struktur 7 mit kammerartigen Vertiefungen 8 (Fig. 4). Durch Tränken der Keramikstruktur 7 mit einem Metall 9 mit einer hohen elektrischen und thermischen Leitfähigkeit entsteht ein Kontaktwerkstoff aus einem Metall/Keramik-Verbund. Nach dem Tränken kann die Trägerschicht 1, die in diesem Fall nicht elektrisch leitfähig sein muß, wiederum entfernt wer­den. Handelt es sich bei der Trägerschicht 1 um einen elek­trisch leitenden Kontaktträger, der an dem Kontaktwerkstoff verbleiben soll, so können die Vertiefungen 8 der Keramik­ struktur 7 unter Verwendung der Trägerschicht 1 als Elek­trode auch galvanisch mit einem Metall hoher elektrischer und thermischer Leitfähigkeit 9 aufgefüllt werden.
  • Insbesondere für Kontakte in der Starkstromtechnik, bei denen eine gute Abbrandfestigkeit gefordert wird, kann es vorteilhaft sein, zum galvanischen Auffüllen der freien Bereiche 6 der Kunststofform 5 (Fig. 2) Metallegierungen bzw. Metalle, z. B. eine Wolframlegierung oder Chrom bzw. Aluminium, zu verwenden, die sich nach Entfernen des restli­chen Kunststoffes 5 durch eine chemische Umwandlung (Karbo­nisieren, Oxidieren oder Nitrieren) in die Komponente mit großer Härte und Festigkeit umwandeln lassen. Durch Tränken der so gebildeten Struktur 7 mit einem Metall 9 (Fig. 5) mit hoher elektrischer und thermischer Leitfähigkeit entsteht ein Kontaktwerkstoff aus einem Metall/Metallkarbid-, einem Metall/Metalloxid- bzw. einem Metall/Metallnitrid-Verbund mit guter elektrischer Leitfähigkeit und hoher Abbrandfe­stigkeit.
  • Eine hohe Sicherheit gegen Verschweißen bieten Kontaktwerk­stoffe mit Kohlenstoff. Zur erfindungsgemäßen Herstellung eines solchen Kontaktwerkstoffs werden die freien Bereiche 6 der Kunststofform 5 (Fig. 2) galvanisch mit einem Metall 7 mit hoher elektrischer und thermischer Leitfähigkeit, z. B. Kupfer, aufgefüllt und der restliche Kunststoff 5 herausge­löst. Die so entstandenen Vertiefungen 8 der netzförmigen Metallstruktur 7 (Fig. 4) werden mit einer organischen Ver­bindung, z. B. mit einem Polymer, Phenolharz, aufgefüllt. Bei der Pyrolyse des Polymers (bei gleichzeitiger Pressung zum Ausgleich des Volumenschwundes) entsteht ein Polymerkoh­lenstoff 9 (Glaskohlenstoff) mit extremer Härte. Nach der Pyrolyse kann die Trägerschicht 1 wiederum entfernt werden. Eine vorteilhafte Alternative ist außerdem eine Auffüllung der Vertiefungen mit Ruß oder Graphitpulver bzw. einer Auf­schlämmung solcher Materialien.
  • Durch die frei wählbare Geometrie und Ausdehnung der Berei­che mit einem Werkstoff hoher elektrischer und thermischer Leitfähigkeit und der Bereiche mit einem Werkstoff hoher Härte und Festigkeit können die Kontaktwerkstoffeigenschaf­ten wie Kontaktwiderstand, Abbrandfestigkeit, Schweiß- und Klebeneigung optimal an den jeweiligen Einsatz des Kontakts in z. B. der Meßtechnik oder der Starkstromtechnik angepaßt werden. Durch die präzise und gleichmäßige Verteilung der Bereiche mit einem Werkstoff hoher elektrischer und thermi­scher Leitfähigkeit und der Bereiche mit einem Werkstoff hoher Härte und Festigkeit werden lateral gleichmäßige Kon­taktwerkstoffeigenschaften erzielt, wodurch ein lokales Festschweißen des Kontaktes beim Schalten weitgehend verhin­dert werden kann.

Claims (12)

1. Verfahren zur Herstellung von elektrischen Kontaktwerk­stoffen, bestehend aus einem heterogenen Verbund von zwei Komponenten, von denen die eine Komponente eine große Härte und Festigkeit und einen hohen Schmelzpunkt und die andere Komponente eine hohe elektrische und thermische Leitfähigkeit und einen niedrigeren Schmelzpunkt auf­weist, bei dem eine Vertiefungen aufweisende Struktur aus der einen Komponente mit der anderen Komponente aufge­füllt wird, gekennzeichnet durch folgende Verfahrens­schritte:
a) Herstellen einer Form aus von einer Trägerschicht vorspringenden Kunststoffzapfen;
b) Auffüllen der freien Bereiche der Form mit der einen Komponente und Entfernen des Kunststoffes;
c) Auffüllen der Vertiefungen der so entstandenen Struk­tur mit der anderen Komponente.
2. Verfahren zur Herstellung von elektrischen Kontaktwerk­stoffen, bestehend aus einem heterogenen Verbund von zwei Komponenten, von denen die eine Komponente eine große Härte und Festigkeit und einen hohen Schmelzpunkt und die andere Komponente eine hohe elektrische und thermische Leitfähigkeit und einen niedrigeren Schmelzpunkt auf­weist, bei dem eine Vertiefungen aufweisende Struktur aus der einen Komponente mit der anderen Komponente aufge­füllt wird, gekennzeichnet durch folgende Verfahrens­schritte:
a) Herstellen einer wabenförmigen Form aus Kunststoff auf einer Trägerschicht;
b) Auffüllen der freien Bereich der Form mit der einen Komponente und Entfernen des Kunststoffes;
c) Auffüllen der Vertiefungen der so entstandenen Struktur mit der anderen Komponente.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die freien Bereiche der Form auf röntgentiefenlitho­graphischem Wege oder durch Kunststoffabformtechnik er­zeugt werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die freien Bereiche der Kunststofform mit einer pa­steusen, aushärtbaren Keramikmasse aufgefüllt werden.
5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kunststofform auf einer elektrisch leitenden Trägerschicht aufgebracht wird und die freien Bereiche der Kunststofform unter Verwendung der elektrisch leiten­den Trägerschicht als Elektrode galvanisch mit einem Metall oder einer Metallegierung aufgefüllt werden.
6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kunststofform auf einer elektrisch leitenden Träger­schicht aufgebracht wird und die Komponente mit hoher elektrischer und thermischer Leitfähigkeit galvanisch in die Vertiefungen der ausgehärteten Keramikstruktur einge­bracht wird.
7. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vertiefungen der ausgehärteten Keramikstruktur mit der Komponente mit hoher elektrischer und thermischer Leitfähigkeit durch Tränken aufgefüllt werden.
8. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Vertiefungen der Struktur aus einem Metall oder einer Metallegierung durch Tränken mit der Komponente mit hoher elektrischer und thermischer Leitfähigkeit aufgefüllt werden.
9. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zum galvanischen Auffüllen ein Metall verwendet wird, das sich durch Oxidieren, Karbonisieren oder Nitrieren in die Komponente großer Härte und Festigkeit umwandeln läßt.
10. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­net, daß zum Auffüllen der Vertiefungen der Struktur eine organische Verbindung verwendet wird, die sich durch Erhitzen in eine Kohlenstoffmodifikation (z. B. Glaskohlenstoff) umwandeln läßt.
11. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­net, daß die Trägerschicht nach Herstellung des Kontakt­werkstoffes entfernt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­net, daß als Trägerschicht ein elektrisch leitfähiges Material verwendet wird, das, z. B. ausgebildet in Form einer Zunge, an dem Kontaktwerkstoff als Kontaktträger verbleibt.
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