EA201892466A1 - Способ лазерного отжига неметаллических материалов - Google Patents

Способ лазерного отжига неметаллических материалов

Info

Publication number
EA201892466A1
EA201892466A1 EA201892466A EA201892466A EA201892466A1 EA 201892466 A1 EA201892466 A1 EA 201892466A1 EA 201892466 A EA201892466 A EA 201892466A EA 201892466 A EA201892466 A EA 201892466A EA 201892466 A1 EA201892466 A1 EA 201892466A1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
pulse
laser annealing
laser
technical result
power density
Prior art date
Application number
EA201892466A
Other languages
English (en)
Other versions
EA036035B1 (ru
Inventor
Александр Фёдорович Коваленко
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова"
Publication of EA201892466A1 publication Critical patent/EA201892466A1/ru
Publication of EA036035B1 publication Critical patent/EA036035B1/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36—Removing material
    • B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
    • B23K26/402—Removing material taking account of the properties of the material involved involving non-metallic material, e.g. isolators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
    • B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B25/00—Annealing glass products
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/06—Surface hardening
    • C21D1/09—Surface hardening by direct application of electrical or wave energy; by particle radiation
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)

Abstract

Изобретение относится к технологическим процессам и может быть использовано для лазерного отжига полупроводниковых, керамических и стеклообразных материалов. Техническим результатом изобретения является повышение выхода годной продукции в процессе лазерного отжига неметаллических материалов за счет уменьшения термоупругих напряжений и области возможного откольного разрушения материала. Технический результат достигается тем, что в способе лазерного отжига неметаллических материалов, заключающемся в облучении их поверхности лазерным импульсом прямоугольной временной формы с требуемой плотностью энергии, диэлектрическим зеркалом исходный лазерный импульс делят на два импульса и осуществляют временную задержку второго импульса на время действия первого импульса. При этом плотность мощности в первом импульсе составляет 60% от плотности мощности в первоначальном лазерном пучке.
EA201892466A 2018-06-20 2018-11-28 Способ лазерного отжига неметаллических материалов EA036035B1 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018122446A RU2692004C1 (ru) 2018-06-20 2018-06-20 Способ лазерного отжига неметаллических материалов

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201892466A1 true EA201892466A1 (ru) 2019-12-30
EA036035B1 EA036035B1 (ru) 2020-09-16

Family

ID=66947496

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201892466A EA036035B1 (ru) 2018-06-20 2018-11-28 Способ лазерного отжига неметаллических материалов

Country Status (2)

Country Link
EA (1) EA036035B1 (ru)
RU (1) RU2692004C1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2763362C1 (ru) * 2020-11-05 2021-12-28 Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» (ФГУП «ВНИИА») Способ лазерного отжига неметаллических материалов
RU2757537C1 (ru) * 2021-03-29 2021-10-18 Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» (ФГУП «ВНИИА») Способ лазерного отжига неметаллических пластин

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002280323A (ja) * 2001-03-16 2002-09-27 Semiconductor Energy Lab Co Ltd レーザ照射装置
US6987240B2 (en) * 2002-04-18 2006-01-17 Applied Materials, Inc. Thermal flux processing by scanning
US7800081B2 (en) * 2007-11-08 2010-09-21 Applied Materials, Inc. Pulse train annealing method and apparatus
JPWO2010071202A1 (ja) * 2008-12-18 2012-05-31 日本板硝子株式会社 ガラス及びガラスの処理方法
RU2566138C2 (ru) * 2014-02-13 2015-10-20 Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военная академия Ракетных войск стратегического назначения имени Петра Великого" Министерства обороны Российской Федерации Способ лазерной обработки неметаллических материалов
RU2633860C1 (ru) * 2016-06-24 2017-10-18 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Способ лазерного отжига неметаллических материалов

Also Published As

Publication number Publication date
EA036035B1 (ru) 2020-09-16
RU2692004C1 (ru) 2019-06-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MY177493A (en) Wafer producing method
MX2018001587A (es) Metodo para cortar una capa delgada de vidrio.
CN106891096B (zh) 一种激光切割装置和切割方法
MY188444A (en) Wafer producing method
MY186677A (en) Sic wafer producing method
EA201892466A1 (ru) Способ лазерного отжига неметаллических материалов
MY180539A (en) Wafer producing method
RU2018102523A (ru) Способ и устройство для уменьшения фотоэлектронного выхода и/или выхода вторичных электронов
MY180541A (en) Wafer producing method
MY177289A (en) Method and apparatus for performing laser filamentation within transparent materials
LT2015085A (lt) Skaidrių medžiagų lazerinis apdirbimo būdas ir įrenginys
MY187221A (en) Sic wafer producing method
WO2016083610A3 (de) Festkörperteilung mittels stoffumwandlung
MY186577A (en) Sic wafer producing method
JP2018507154A5 (ru)
TW200607772A (en) Vertical crack forming method and vertical crack forming device in substrate
JP2015511571A5 (ru)
MY171644A (en) Wafer producing method
WO2016113030A3 (de) Festkörperteilung mittels stoffumwandlung
LT2014504A (lt) Skaidrių terpių lazerinis pjovimo būdas ir įrenginys
RU2014105298A (ru) Способ лазерной обработки неметаллических материалов
CN114686676A (zh) 一种电脉冲和激光冲击波实时耦合强化的方法
CN207873412U (zh) 透明脆性材料加工设备
RU2633860C1 (ru) Способ лазерного отжига неметаллических материалов
RU2617482C1 (ru) Способ резки хрупких материалов

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Lapse of a eurasian patent due to non-payment of renewal fees within the time limit in the following designated state(s)

Designated state(s): AM AZ KZ KG TJ TM RU