RU2014105298A - Способ лазерной обработки неметаллических материалов - Google Patents
Способ лазерной обработки неметаллических материалов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2014105298A RU2014105298A RU2014105298/02A RU2014105298A RU2014105298A RU 2014105298 A RU2014105298 A RU 2014105298A RU 2014105298/02 A RU2014105298/02 A RU 2014105298/02A RU 2014105298 A RU2014105298 A RU 2014105298A RU 2014105298 A RU2014105298 A RU 2014105298A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- laser
- pulse
- formula
- energy density
- determined
- Prior art date
Links
- 239000007769 metal material Substances 0.000 title claims abstract 5
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 4
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 title 1
- 150000002843 nonmetals Chemical class 0.000 title 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 claims abstract 2
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 claims abstract 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 abstract 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
1. Способ лазерной обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности импульсами лазерного излучения с плотностью энергии в импульсе, определяемой по формуле:,отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1<χh<1,46, то плотность энергии одного лазерного импульса определяют по формуле:,где e - основание натурального логарифма;Q - удельная энергия сублимации материала, Дж/м;χ - показатель поглощения материала пластины на длине волны лазерного излучения, м;R - коэффициент отражения материала.2. Способ лазерной обработки неметаллических материалов по п.1, отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1,46≤χh<2, то она достигается воздействием двух последовательных лазерных импульсов, плотность энергии в первом импульсе определяется по формуле:,а плотность энергии во втором импульсе:.
Claims (2)
1. Способ лазерной обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности импульсами лазерного излучения с плотностью энергии в импульсе, определяемой по формуле:
отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1<χh<1,46, то плотность энергии одного лазерного импульса определяют по формуле:
где e - основание натурального логарифма;
Q - удельная энергия сублимации материала, Дж/м3;
χ - показатель поглощения материала пластины на длине волны лазерного излучения, м-1;
R - коэффициент отражения материала.
2. Способ лазерной обработки неметаллических материалов по п.1, отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1,46≤χh<2, то она достигается воздействием двух последовательных лазерных импульсов, плотность энергии в первом импульсе определяется по формуле:
а плотность энергии во втором импульсе:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014105298/02A RU2566138C2 (ru) | 2014-02-13 | 2014-02-13 | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2014105298/02A RU2566138C2 (ru) | 2014-02-13 | 2014-02-13 | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2014105298A true RU2014105298A (ru) | 2015-08-20 |
| RU2566138C2 RU2566138C2 (ru) | 2015-10-20 |
Family
ID=53880063
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2014105298/02A RU2566138C2 (ru) | 2014-02-13 | 2014-02-13 | Способ лазерной обработки неметаллических материалов |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2566138C2 (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2624989C1 (ru) * | 2016-02-09 | 2017-07-11 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерной обработки неметаллических пластин |
| RU2633860C1 (ru) * | 2016-06-24 | 2017-10-18 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерного отжига неметаллических материалов |
| RU2630197C1 (ru) * | 2016-06-24 | 2017-09-05 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") | Способ лазерного отжига неметаллических пластин |
| RU2692004C1 (ru) * | 2018-06-20 | 2019-06-19 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") | Способ лазерного отжига неметаллических материалов |
| RU2708935C1 (ru) * | 2018-08-21 | 2019-12-12 | Александр Михайлович Григорьев | Лазерный способ изменения структуры прозрачных материалов с запрещенной зоной |
| RU2763276C1 (ru) * | 2020-11-05 | 2021-12-28 | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» (ФГУП «ВНИИА») | Способ лазерной пробивки сквозного отверстия в неметаллической пластине |
| RU2761834C1 (ru) * | 2021-03-29 | 2021-12-13 | Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» | Способ лазерного скрайбирования неметаллической пластины |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4320926B2 (ja) * | 2000-06-16 | 2009-08-26 | パナソニック株式会社 | レーザ穴加工方法及び装置 |
| JP2003290956A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-10-14 | Kyocera Corp | セラミック基板への穿孔方法及び印刷用マスク |
| RU2486628C1 (ru) * | 2011-12-14 | 2013-06-27 | Федеральное государственное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования Военная академия Ракетных войск стратегического назначения имени Петра Великого МО РФ | Способ обработки неметаллических материалов |
-
2014
- 2014-02-13 RU RU2014105298/02A patent/RU2566138C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2566138C2 (ru) | 2015-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2014105298A (ru) | Способ лазерной обработки неметаллических материалов | |
| SG11202012998WA (en) | Method and apparatus for processing laser radar based sparse depth map, device and medium | |
| BR112017027953A2 (pt) | método e aparelho para escurecimento, superfície tratada a laser, e, dispositivo. | |
| MX379111B (es) | Método, dispositivo y dispositivo electrónico para calentar un contenedor de un equipo de cocción por inducción. | |
| FR3023423B1 (fr) | Systeme laser uv-visible a impulsions ultra-courtes de forte puissance et/ou de forte energie | |
| WO2015189268A3 (en) | Device and method for hybrid optoacoustic tomography and ultrasonography | |
| GB2527263A (en) | Hand held dermaplaning device and dermaplaning process | |
| DK3491235T3 (da) | Bølgeenergikonverter med en paravane med justerbar dybde | |
| AR109801A1 (es) | Obtención de imágenes de un pozo mediante el uso de amplitudes de ondas acústicas refractadas | |
| EP3151348A3 (en) | Semiconductor laser resonator and semiconductor laser device including the same | |
| MY174827A (en) | Evaluation method of device wafer | |
| CL2016003228A1 (es) | Generador de fuerza mecanica. | |
| JP2016070801A5 (ja) | 測定装置 | |
| EP4266382A4 (en) | SOLAR ENERGY UTILIZATION DEVICE | |
| CA3010556A1 (en) | Device and method for damaging parasites using ultrasonic reflection | |
| EP2824469A3 (en) | Photo device inspection apparatus and photo device inspection method | |
| JP2015225034A5 (ru) | ||
| RU2016142615A (ru) | Способ для маркировки поверхности механической детали предопределенным графическим представлением, имеющим голографический эффект | |
| EA201792680A1 (ru) | Возбуждение и применение волноводных поверхностных волн | |
| EP3790793A4 (en) | HIGH CAPTURE EFFICIENCY WAVE ENERGY CONVERTER WITH IMPROVED STABILITY AGAINST HEAVE, SURROUND AND PITCH | |
| Dhia et al. | Underwater topography invisible for surface waves at given frequencies | |
| MX2016015295A (es) | Tecnica para ajustar parametros de pulso laser relacionados con la energia. | |
| TR201902675T4 (tr) | Bir lazer ışını kaynağının perdelenmesi için yöntem. | |
| RU2011102066A (ru) | Способ повышения работоспособности твердосплавного режущего инструмента методом импульсной лазерной обработки (ило) | |
| RU2582849C1 (ru) | Способ лазерной пробивки сквозного отверстия в неметаллической пластине |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160214 |