RU2014105298A - Способ лазерной обработки неметаллических материалов - Google Patents

Способ лазерной обработки неметаллических материалов Download PDF

Info

Publication number
RU2014105298A
RU2014105298A RU2014105298/02A RU2014105298A RU2014105298A RU 2014105298 A RU2014105298 A RU 2014105298A RU 2014105298/02 A RU2014105298/02 A RU 2014105298/02A RU 2014105298 A RU2014105298 A RU 2014105298A RU 2014105298 A RU2014105298 A RU 2014105298A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
laser
pulse
formula
energy density
determined
Prior art date
Application number
RU2014105298/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2566138C2 (ru
Inventor
Александр Александрович Мишин
Александр Федорович Коваленко
Игорь Валентинович Евсеев
Original Assignee
Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военная академия Ракетных войск стратегического назначения имени Петра Великого" Министерства обороны Российской Федерации
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военная академия Ракетных войск стратегического назначения имени Петра Великого" Министерства обороны Российской Федерации filed Critical Федеральное государственное казенное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военная академия Ракетных войск стратегического назначения имени Петра Великого" Министерства обороны Российской Федерации
Priority to RU2014105298/02A priority Critical patent/RU2566138C2/ru
Publication of RU2014105298A publication Critical patent/RU2014105298A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2566138C2 publication Critical patent/RU2566138C2/ru

Links

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

1. Способ лазерной обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности импульсами лазерного излучения с плотностью энергии в импульсе, определяемой по формуле:,отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1<χh<1,46, то плотность энергии одного лазерного импульса определяют по формуле:,где e - основание натурального логарифма;Q - удельная энергия сублимации материала, Дж/м;χ - показатель поглощения материала пластины на длине волны лазерного излучения, м;R - коэффициент отражения материала.2. Способ лазерной обработки неметаллических материалов по п.1, отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1,46≤χh<2, то она достигается воздействием двух последовательных лазерных импульсов, плотность энергии в первом импульсе определяется по формуле:,а плотность энергии во втором импульсе:.

Claims (2)

1. Способ лазерной обработки неметаллических материалов, заключающийся в облучении их поверхности импульсами лазерного излучения с плотностью энергии в импульсе, определяемой по формуле:
Figure 00000001
,
отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1<χh<1,46, то плотность энергии одного лазерного импульса определяют по формуле:
Figure 00000002
,
где e - основание натурального логарифма;
Q - удельная энергия сублимации материала, Дж/м3;
χ - показатель поглощения материала пластины на длине волны лазерного излучения, м-1;
R - коэффициент отражения материала.
2. Способ лазерной обработки неметаллических материалов по п.1, отличающийся тем, что если требуемая глубина канавки при скрайбировании находится в интервале 1,46≤χh<2, то она достигается воздействием двух последовательных лазерных импульсов, плотность энергии в первом импульсе определяется по формуле:
Figure 00000003
,
а плотность энергии во втором импульсе:
Figure 00000004
.
RU2014105298/02A 2014-02-13 2014-02-13 Способ лазерной обработки неметаллических материалов RU2566138C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014105298/02A RU2566138C2 (ru) 2014-02-13 2014-02-13 Способ лазерной обработки неметаллических материалов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2014105298/02A RU2566138C2 (ru) 2014-02-13 2014-02-13 Способ лазерной обработки неметаллических материалов

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014105298A true RU2014105298A (ru) 2015-08-20
RU2566138C2 RU2566138C2 (ru) 2015-10-20

Family

ID=53880063

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014105298/02A RU2566138C2 (ru) 2014-02-13 2014-02-13 Способ лазерной обработки неметаллических материалов

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2566138C2 (ru)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2624989C1 (ru) * 2016-02-09 2017-07-11 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Способ лазерной обработки неметаллических пластин
RU2633860C1 (ru) * 2016-06-24 2017-10-18 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Способ лазерного отжига неметаллических материалов
RU2630197C1 (ru) * 2016-06-24 2017-09-05 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") Способ лазерного отжига неметаллических пластин
RU2692004C1 (ru) * 2018-06-20 2019-06-19 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Автоматики Им.Н.Л.Духова" (Фгуп "Внииа") Способ лазерного отжига неметаллических материалов
RU2708935C1 (ru) * 2018-08-21 2019-12-12 Александр Михайлович Григорьев Лазерный способ изменения структуры прозрачных материалов с запрещенной зоной
RU2763276C1 (ru) * 2020-11-05 2021-12-28 Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» (ФГУП «ВНИИА») Способ лазерной пробивки сквозного отверстия в неметаллической пластине
RU2761834C1 (ru) * 2021-03-29 2021-12-13 Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им.Н.Л.Духова» Способ лазерного скрайбирования неметаллической пластины

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4320926B2 (ja) * 2000-06-16 2009-08-26 パナソニック株式会社 レーザ穴加工方法及び装置
RU2192341C2 (ru) * 2000-07-03 2002-11-10 Басиев Тасолтан Тазретович Способ прошивки прецизионных отверстий лазерным излучением
JP2003290956A (ja) * 2002-01-31 2003-10-14 Kyocera Corp セラミック基板への穿孔方法及び印刷用マスク
EP1810774A1 (de) * 2006-01-24 2007-07-25 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur Herstellung eines Loches
FR2876933B1 (fr) * 2004-10-25 2008-05-09 Snecma Moteurs Sa Buse pour tete de percage ou d'usinage par faisceau laser
RU2486628C1 (ru) * 2011-12-14 2013-06-27 Федеральное государственное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования Военная академия Ракетных войск стратегического назначения имени Петра Великого МО РФ Способ обработки неметаллических материалов

Also Published As

Publication number Publication date
RU2566138C2 (ru) 2015-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014105298A (ru) Способ лазерной обработки неметаллических материалов
SG11202012998WA (en) Method and apparatus for processing laser radar based sparse depth map, device and medium
BR112017027953A2 (pt) método e aparelho para escurecimento, superfície tratada a laser, e, dispositivo.
MX360043B (es) Dispositivo y procedimiento de marcado laser de una lentilla oftalmica con un pulso laser de longitud de onda y energia por pulsos seleccionados.
EP2808120A3 (en) Substrate cutting device using laser beam
CL2018000404A1 (es) Dispositivo de medición de nivel de llenado, método para la operación de un dispositivo de medición de nivel de llenado y un montaje que consiste en un dispositivo de medición de nivel de llenado y por lo menos un espaciador
CL2017000584A1 (es) Excitación y uso de modos de ondas superficiales guiadas en medios con pérdidas
BR112018016630A2 (pt) disdrômetro tendo transdutor acústico e métodos do mesmo
FR3023423B1 (fr) Systeme laser uv-visible a impulsions ultra-courtes de forte puissance et/ou de forte energie
GB2527263A (en) Hand held dermaplaning device and dermaplaning process
PT3491235T (pt) Conversor da energia das ondas com paravana ajustável em altura
EP3151348A3 (en) Semiconductor laser resonator and semiconductor laser device including the same
AR109801A1 (es) Obtención de imágenes de un pozo mediante el uso de amplitudes de ondas acústicas refractadas
CL2016003228A1 (es) Generador de fuerza mecanica.
EP2752652A3 (en) Recording medium determining device and recording medium determination method
EP2824469A3 (en) Photo device inspection apparatus and photo device inspection method
BR112017006543A2 (pt) gerador elétrico
EA201792680A1 (ru) Возбуждение и применение волноводных поверхностных волн
JP2015225034A5 (ru)
MX2018006695A (es) Metodo de corte con laser de una estructura de trama.
RU2016125273A (ru) Способ лазерной пробивки сквозного отверстия в неметаллической пластине
EP3023813A3 (en) Seismic sweep using odd order harmonics
RU2014146196A (ru) Способ обработки твердосплавных пластин режущего инструмента
RU2013147834A (ru) Способ определения скорости и формы пульсовой волны дистанционным методом
UA103184U (ru) Способ обработки материалов лазерным излучением

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160214