DEV0006527MA - - Google Patents

Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND

Tag der Anmeldung: 21. November 1953 Bekanntgemacht am 6. Dezember 1956

DEUTSCHES PATENTAMT

Zur Herstellung von stereoskopischen Aufnahm em mit dem Elektronenmikroskop ist es üblich, zwei Teilbilder aufzunehmen, bei denen das abzubildende Objekt jeweils um einen kleinen Winkel in entgegengesetzter Richtung gegen die optische Achse geneigt ist. Die beiden dafür erforderlichen Stellungen des Objektes werden gewöhnlich durch entsprechende Einstellungen der Objektpatrone herbeigeführt, die jeweils vor Aufnahme eines der beiden Teilbilder vorgenommen werden müssen.

Es sind Anordnungen bekannt, bei denen die Objektpatrone nach Herstellung einer der beiden Tedlaufnahmen ausgeschleust werden muß, um sie in die für das andere Teilbild erforderliche Lage zu bringen. Das Arbeiten mit diesen Anordnungen, ist verhältnismäßig umständlich, außerdem ändern dabei die Objekt einzelheiten ihre Zuordnungen. Es wurden auch bereits andere Anordnungen vorgeschlagen, bei denen eine besondere ausgebildete Stereopatrone im Vakuum gekippt werden kann. Hierfür ist ein besonderer Kippmechanismus erforderlich. Ferner muß die Patrone entsprechend weit ausgebohrt sein, um den Elektronenstrahl in beiden Grenzlagen eintreten zu lassen.

Bei einer anderen bekannten Anordnung, die jedoch nur für magnetische Elektronenmikroskope geeignet ist, besteht die Objektpatrone aus zwei ineinander verschiebbaren Hülsenteilen, die durch

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eine Feder gegen Anschläge auseinandergedrückt werden. Dabei ist der schwenkbare Objekthalter in dem inneren der bed den Hülsenteile derart befestigt, daß er duirch'eine oder durch mehrere Federn in

,5 die eine Endlage gedrückt wird. Die Schwenkung in die aridere Endlage wird entgegen dem Druck dieser Federn durch einen am äußeren Hülsenteil befindlichen Ansahlag bewirkt. Da die verhältnismäßig kompliziert ausgebildete Objektpatrone bei

ίο dieser bekannten Anordnung gegen den oberen Polschuh des Objektivs gedrückt wird, ist eine Höhenverstellung zum Scharfeinstellen des Bildes, wie sie. bei elektrostatischen Elektronenmikroskopen in der Regel gebraucht wird, nicht möglich. Ferner wird durch das Andrücken der Patrone gegen, den, Polschuh eine feine¹ Objektverschiebung quer zur optischen Achse zum Absuchen des Objekteis 'nur schwer möglich sein, da die Reibung der Patrone auf den Polschuh überwunden werden muß. Weiterhin ergibt sich,durch die ineinandergeschachtelten Zylinder mehrfach eine unvermeidliche Losei, die sich beim Verschieben des Objekttisches auswirkt. Schließlich muß bei der bekannten Anordnung eine Justierung des Objektträgers in die Kippachs© vorgenommen werden. Dadurch;') daß -,diese Kippachse ' erheblich höher liegt als das. ©bjekf^ergeben sich Restfehler beim Kippen, die sich''nur/ schwer vermeiden lassen,

Bei der'vorliegenden Einrichtung zur Aufnahme Stereoskop is eher Teilbilder bei Elektronenmikroskopen mittels eines durch von außen bedienbare Einstellorgane dm Hochvakuum kippbaren Objekthakers werden die Nachteile der bisher bekannten Anordnungen vermieden. Gemäß der Erfindung wird dieis dadurch erreicht, daß ein Objektträgerplättchen im Innern einer in einem Objekttisch ■ unbeweglich hängenden Objektträgerpatrone um eine Schneide kippbar angeordnet ist. Durch die Lagerung des Objektträgerp lättchens auf einer Schneide fällt die Kippachse praktisch mit der Objektebeine zusammen. Hierdurch werden Einstellungsfehler beim Kippen restlos ausgeschaltet. Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Einrichtung besteht darin, daß sie infolge der frei hängenden Anordnung der Objektträgerpatrone, die selbst innerhalb des Objekttisches unbeweglich ist, sowohl für elektrostatische als auch für elektromagnetische Elektronenmikroskope anwendbar ist. Dabei bleibt die Funktion des Kreuztisches in Höhen- und Seitenrichtung voll erhalten, da die Objektpatrone selbst feststeht. Zur Durchführung der Kippung des Objeik'tträgerplättchenis innerhalb der Patrone kann die Innenseite des Bodens der Objektpatrone aus zwei von der Mitte nach außen mit gleichem Neigungswinkel abgeschrägten Flächen bestehen, um deren Schnittkante das Objektträgerplättchen durch im Innern der Patrone befindliche bewegliche Teile gekippt werden kann. Dabei kann z.B. zur Kippung des Objektträgerplättchens in der einen Richtung ein mit einem äußeren Einstellorgan in Verbindung stehendes, innerhalb der Patrone in vertikaler Richtung bewegliches Teil dienen, das bei seiner Abwärtsbewegung auf den Rand des Objektträgerplättchens drückt, und es dadurch um die. Schnitt-" kante der abgeschrägten Fläche kippt. Die Kippung in der anderen Richtung wird bei der Aufwärtsbewegung des beweglichen. Teiles ,durch das Gewicht eines zweiten auf dem Rand der anderen Seite des Objektträgerplättchens aufliegenden Teiles verursacht. Als äußeres Einstellorgan für die Auslösung der Kippbewegung kann die für die Ein- und Aus Schleusung des Objekteis vorhandene Vorrichtung benutzt werden, so daß sich der Einbau einer zusätzlichen vakuumdichten Durchführung erübrigt. '- '

In den Abbildungen ist ein Ausführungsbeispiel der erfmdungsgemäßen Einrichtung sowie ihre Betätigung in Verbindung mit dem Schleusenmechanismus dargestellt. . ■ .

Abb. ι zeigt ein Beispiel für die konstruktive Ausbildung der erfmdungsgemäßen Stereopatrone;

Abb. 2 veranschaulicht, wie die gleiche Einrichtung mit den Eiiiistellorganen für die Ein- und Ausschleusung des Objektes gekoppelt werden kann.

In Abb. ι sitzt' in einem Objekttisch 1 eine Objektitlrägerpatronei 2, die durch ein' nicht dargestelltes äußeres Einstellorgan bei Bewegung in P feil richtung aus dem Objekttisch 1 herausgehoben werden kann. Am unteren Ende der' Patrone befindet sich eine aufsteckbare Kappe 3, deren den Boden der Patrone darstellende Innenseite aus zwei von der Mitte nach außen¹ mit gleichem Neigungswinkel abgeschrägten. Flächen 4 und 5 besteht:. Auf der Fläche 4 liegt in der gezeichneten Stellung ein Objektträgerplättchen 6 auf. Es wird in dieser Lage durch ein im Innern der Patrone in vertikaler Richtung verschiebbares Teil 7 gehalten, das mit dem äußeren Einstellorgan in Verbindung steht und mit seinem unteren Ende.auf den Rand der einen Seite des Objektträgerplättchens 6 drückt. Wird das Teil 7 durch das Einstellorgan nach oben bewegt, so gibt es den Rand des Objektträgerplättchens 6 frei. Dadurch wird dieses durch das Gewicht eines auf dem Rand seiner anderen Seite , aufliegenden Teils 8 um die Schnittkante der abgeschrägten Flächen 4 und S gekippt, so· daß es nunmehr auf der Fläche 5 aufliegt. Bei weiterer Aufwärtsbewegung des Teiles 7 nimmt dieses durch einen in einen Schlitz 9 hineinragenden Stift 10 die Patrone 2, so daß sie aus dem Objekttisch 1 aus τ no gehoben wird.

Bei der in Abb. 2 dargestellten Einrichtung kann durch ein nicht gezeichnetes äußeres Einsteillorgan ein Vorkammerdeckel 11 der Schleusemeinrichtunig in Pfeilrichtung bewegt werden. Diese Bewegung wird durch eine Schubstange 12 und einen um eine Achse 13 schwenkbaren Winkelhebel 14 auf das Teil 7 der Objektpatrone übertragen. Die Schubstange 12 ist mit ihrem kolbenartigen Ende 15 innerhalb einer in einem Rohr 16 verschiebbar angeordneten Zwischenbuchse 17 gelagert. Bei einer Bewegung des Vorkammer deckeis 11 in Richtung des Pfeiles verschiebt sich zunächst das kolbenartige Endeis der Schubstange 12 zusammen mit der Zwischenbuchise 17, die durch eine im Innern des Rohres 16 angebrachte Feder 18 nachgedrückt

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wird, bis sie an einen, im Rohr 16 sitzenden Anschlag 19 anstößt. Bei weiterer Bewegung des \^orkammerdeckels 11 in der gleichen Richtung verschiebt sich das kolbenartige Ende 15 innerhalb der Zwischenbuchse 17, bis es gleichfalls den Anschlag 19 erreicht hat. Ein in einer Buchse 20 verschiebbar gelagerter Bolzen 21, der unter dem Druck einer Feder 22 gegen eine Nase 23 des Winkelhebels 14 drückt, dreht, sobald das kolbenartige Ende 15 sich in der Zwischenbuchse 17 in Richtung auf den Anschlag 19 verschiebt, den Winkelhebel 14 um seine Drehachse 13 um einen kleinen Winkel, der durch die Verschiebung des Bolzens 21 innerhalb der Buchse 20 bestimmt ist. Dadurch wird das Teil 7 innerhalb der Objektpatrone 2 angehoben, so daß das Objektträgeirplättchen 6 unter der Einwirkung des Teiles 8 um die Schnittkante der abgeschrägten Flächen 4 und 5 gekippt wird. Bei Bewegung des Vorkammerdeckels 11 in entgegengesetzter Richtung wird das Objektträgeirplättchen durch das Teil 7 wieder in Steine ursprüngliche Lage gebracht. Wird der Vorkammerdeckel dagegen weiter in Pfeilrichtung bewegt, so dreht die Schubstange 12, da ihr kolbenartiges Ende 15 am Anschlag 19 anliegt, den Winkelhebel 14 um seinen Drehpunkt und hebt dabei die Objektpatrone 2 aus dem Objekttisch 1.

Claims (4)

1. PATENTANSPRÜCHE:

   i. Einrichtung zur Aufnahme zweier stereoskopischer Teilbilder bei Elektronenmikroskopen mittels eines durch von. außen bedienbare Einstellorgane im Hochvakuum kippbaren Objekthalters, dadurch gekennzeichnet, daß ein Objektträgerplätteben im Innern einer in einem Objekttisch unbeweglich hängenden Objeiktträgerpatrone um eine Schneide kippbar angeordnet ist.
2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenseite des Bodens der Objektträgerpatrone aus zwei von der Mitte nach außen mit gleichem Neigungswinkel abgeschrägten Flächen besteht, um deren Schnittkante das Objektträgerplättchen durch im Innern der Patrone befindliche bewegliche Teile zu kippen ist.
3. 3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Kippung des Objektträgerplättebens in der einen Richtung ein mit dem äußeren Einstellorgan in Verbindung stehendes Teil dient, das bei seiner Abwärtsbewegung auf den Rand der einen Seite des Objektträgerplättchens drückt und es dadurch um die Schnittkante der abgeschrägten Flächen kippt, während die Kippung in der anderen Richtung bei der Aufwärtsbewegung dieses Teils durch das Gewicht eines zweiten auf dem Rand der anderen Seite des Objektträgerplättchens aufliegenden. Teils erfolgt.
4. 4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als äußeres Einstellorgan, für die Auslösung der Kippbewegung die für die Ein- und Ausschleusung des Objektes vorhandene Vorrichtung dient.

   In Betracht gezogene Druckschriften:
   Deutsche Patentanmeldung S 10373 VIII c/21 g.

   Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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