DEP0050317DA - Steuerung für eine Hochvakuumpumpanlage - Google Patents

Steuerung für eine Hochvakuumpumpanlage

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DEP0050317DA
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DE
Germany
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des
control
high vacuum
pumping system
vacuum pumping
Prior art date
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Expired
Application number
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English (en)
Inventor
Hans Ulbricht
Original Assignee
Ulbricht, Hans, Thansau
Publication date

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Description

Steuerung für eine Si*aage·
Bei llophmtoiiiiosnlaeen» yelclie mit '«ineia mehratuf igen P gat ausgerastet .sinä.» i^t'^e notwendig® .las tos soziiere die S'üapea der ■ WQlge&KüZsn gegenütee 4er Pumpe .üejr erstes Stufe und eier ,Atmosphäre zu -äi-ß&exnt ms die Pump so dar 5ol.gestu£en. zweckantfprea-Etönci in Betrieb neiwen ..und -vor 8oiiädea9 wie'Luft- öder. -Saßeinbrueli* soliiitsip ata Min-■V.&&* Bu, aiiBsefÄea bei dem Betrieb soloher Iioölivs.kuy.manlage-a Tsei fort·* :g®&Gisxlitswm 'Vakuum^PuispTorgaaag meist die iKfcetrierhaltung nur 4 Stufe· oder Stufen'.der Anlage-* Taei AusBerbetrie^ Stuf an nötig ist» .ist άί-e midiere -ami einfaciie Steueruag ireder !.etsteii .Stiai'sa des Hooiwafeuuiapuiaiieaaggregat-es .unexläB©« lieia». Eine iiäufig.gestellte Aufgabe ist- e© dsiier* .die .Piampsn■ der letzte» Stuf en .eines, jaeiir-stufigen Eoöiivakuuiä-P.uü^aggr.e.gat.eB äuroli geeig-.jaete. Afeep.eyr^ ynd Usist euer or garne 'und eise Steuerung .einfaeii und 'eiolier .■fos&i enen ■ ^u .lEösaen*
Die Mäher "öskannten iLosperr» und Ums taxier organe sowie die Steuerun gen für ■ eine YaMumgumps sineg meiirBtufigen llooiiiralcuiMi-iüJaipeiaaggrega» tee "beso4i3?Än3ä:en. sicli aeiet auf -Teilsieherungent auf H?smun@en als Ilin« Tsreis auf -iilWedieauäg der Jiissperr«. uBö-'üiaBteuerorgsdae· odex auf iiUBSQXlaetrietestsung -cisa? 'Anlage oder e-ines ■ 3?©ilee 4er Anlag© "bsi Betriebeetörungen fotszw* Bedienungsfeiilern.,, Die Ürsaelie der Scliwierigksi« ten UBd laciiteils 'der- bisker fce&annten Steuerungen- si-nd Tor allem dari» begründet« dass, zv/ar begannt© 32ittel der Steuer- und Hegelteoimik Anwendung finden« aber Absperr· und ITms teuer organe alter Bauart anggviendet werden* bei τ/elciien. .es niclit oder nur unter Anwendung eriie:ä3lieä.e2? technischer Mittel laöglicli ist·», sie sclmell und. sieiier Stauern au käu-.next* Somit genügen solcl2e Steuerungen nicht den tee&nißclien and wirt· eeiiaftlio!ien Asasprüöhen »
Vorliegende Erfindung stellt es aioh dalier EUr Aufgabe» ©ine Gteu<~ erung für die VaiojuisguKips einer JOlgestufe eis©s meiirstMil^eü noeh'rs*. uBsgeimggreg&tee au eoiifcffesa* welobe es eaSglioati sät einem iaasi Aufwand die Vatousapump© au betreiben und vor BediemuEisafehlter» Betriebsstörungen su sichern·
M© gruiadsätzlieib.eai XlaBoaaMen iiierfiir sind f olg®aci©i 1» SianTolle» d«a 15@e«ia tier Y-aliKWS^ua©© ©mteprsokead© - aaoranung d©jp sperr* und. 'Ustßteuex'orgaae zu 5®^®ϊ" &®2? ©inzeliieia TakuuB^iasipssi* 2« VenresidiiBg ψ&η AlfSperr-iiBii UmBtauerorgassn^ weXebe sin iros ä
MsaMiäagigee BiiokBtellglied 'foeBitzen* das Jedes äer - und UaBt©uerorgane "bei Ausfall der Stewer^nergie oder bei Betriebs stönmgsB eeKLi©sst ädey in eine St©13usag bringt^ weleia© sov/obl die An-» lage aLs "besoaüere 4©de der Pumpes und anderes &©räte Tor Störungen und Soiiädesa selbsttätig eehützt*
S* SohaffuBs einer Solialtuxig für di@ Oteuerenergie» toroSi irolola© die Bedi«öuug der Tatoia^ua®® u»d der üir ssag©oräaet©2i Orgeae sieiier uad aar ©isifa©hste te/eise# ©Ims die aliglicMseit eines BedieuangsfelilerB erfolgen
Die Zrfisidung sei au litwä eisses inwesduagBbeiepielee -für eiss Ήοο5ι·
Wig* 1 stallt eia© zweistufige HoöhTslmumpii^emaiilag© dar* Der auf zu pusrpeB&e Bessipient (S) ißt »it dsm Formkuraaaesser (7j# ein© Sontaktgabe Isei üntereciireitung de® Vonrakuume
* Bar Recipient (Sj stellt über da© Ventil i6j mit dem der HocJwakuuapuii^se (I) is steaerbarea: Verbindung* *weiteriiiia ist der H©sipieiit (S) mit desi ^reiwegelialm (4 j @owie mit des Halm (8) verladen* 3er Halm (8) mundet in der i-.t2aospimret d«r are verbindet den 3naetenseiili3es dar lioehYelsiuiapuQg© (l) und das gefäss (5) ©iiaerseitß mit daa Sau^anseliliiee der VorTsliiiiBspiasp® (2) anderseitsa
HaeJa des unter I6 Vorgesagtem sind nun der !loeiiTakuuiapuH^e (l) das Ventil (6j und der Halm (8) ale JLbsperrorgane soiialtteeimisoli
wiahrend der 3reiw6g©hahs (4) der V©r¥&M*usrg>ujirpe (Z) sugeordziet v/erden muss* ElBrsu tritt als ilegolorgas der Vorv&kuuisiaeseer (7) mit Eoatakt*- gäbe* SrfindtiBgsgemäss "besitzt aeeh unter 3* Vorgesagtem aas Ventil (Sj
©in το» äuseersr Energiezufuhr unabhängiges liüekstellglied? s*B« die Büclcßtellfe&er (le)» welches das Ventil LQ) xua EuSiesustaaad oder !sei «Ausfall der Steusreiserglö schlleßst« Bte Stellmotor» Mer d©r mektro·^ ill) »ist "bsi Zufuhr der Steuerenersie iXbev ein VprMadusgB· liier dem fentilstösBeX (9j β unter eu'säteliolier tJlJeniiadusig der Sückstellkraft des Eüetotellglisdssg hier der Hüefetellfeder (Ιό) 9 in der Lages das Ventil (δ) zu offnen» Binngomms "tob!tat der Ilainj (B) eiu tss äumjerer Z»srgiezufular unabhängiges
» die Bückstellf eder (14) »welaiies den Ilsiaa Γ8 J im Ein Stellmotor, liier der Zlelstromagaet (X5) ^ ist feei Safulix der eÄergis üTaer Verbindungsglieders z*S# das an dem Halmkii&esi äes Hahnes LQ) befestigte .Zatmsegmasit (22J^ die d&rubsr lieaendü £.etle (25) und. den befectigtsB Bols@B (13) $ -antmx auEätzlieher JbeansaLndung der Buo&st&ll· kraft des HöekstellgliedeBs z*B* der Süclcstellfeder (14) , in der Lage« den Kahn (8) au öffnen» S1Ig8, 1 zeigt die Betrietoßstellungj "bei welcher der Seaipient (S) tos der V-orvalcauxBpuBipe i2) über das Dreiwegehahn (4j SMf VorVaSruuia gepwpt wird. 3ai. für die Xntietrieteaiffii© der Iloßtoraisaiiffl«. paiape 1 nötige VorTaMium iat noch nicht erreicht»
Hgt 0 seigt das Gehalt bild der Steuerung der HochvsJaauHipuiäipe (Xj » Beispielsweise iet hier die Steusrsnergls der iron der Batterie (24) ge· lieferte elektrisch© Strom· 2ie geaeiciiawte Betriebsstellung entspricht der in Pig» 1 dargestelltes* 3sr VerTcAiUMaeBser (?j gibt bei ¥orv©kuuas beispielsweise durch ©ein© CBueokeiiber«sule| dem S (l6j Spexinungt letzteres echlieoet den Cieberheltelohalter (17) selbst tatig und legt dadurch erfiadunsegemäee an die Steuerschalter (19J «nd (22)
Spannung an* Mit dera Steuerschalter (19; kann ^^Ä Indirelrfc das Schalt«
. . . mmtnU yen Ho* *
relais (1S| siit desa Steuerschalter (22 j kami «ia«»3^: indirekt der (ll) eingeschaltet werden* 3sa Sclialtrelais (18) "öet&bigt selbst»
• 4 *>
tätig den Sohaltex (2o) s duron welchen die Hooibvs&uuqpiuqpe (X) la Be* triefe genommen wird, nand sek&ltet selbsttätig den SperrsoIi&ltGr (21j aus» WDdureh äer Elektromagnet ClS) stronsloB wird· 2>sr Slelstroma^net C15) ist anderseits siit des Steuerschalter (£3)somit bedingt maoiMUA einschalte ban» 3er Elektromagnet ClI) betätigt selbsttätig da© Ysntil (6) * der Elektromagnet ClS) selbsttätig den Hahn (8) «
d©r beie-pielsweise» Ausführung der StBweruBg für die
(i) ist Bliss fülgendBf In deia aezipiöntea (5)
3"J ZUI& äw®@Äse-#»& stuf eaweieen Auepuarpen^ des B auf iiOGiiTalcuuBi wird der Haha CS) aunäeiißt geeeftLoseeaji iadsm dar schalter (2S) ne^üßJLlr ge'dfi'nst ¥/ird* Per Llelrfcromagaet (15) s über den geschlocsene» Sperrechalter (SlJ und isresenen Steuerschalter (£5) 5panaung ©riaelt* fällt selbsttätig ab* Büßtet el !feder (14) ©enliesst selbsttätig den Halöi (θ) # Der
in di© in Pig* 1 gesgiclmte Stellung gebracht C 7 ) gibt keinen Eontakt s mitliin aat dae SeliöXtrelais "k&im® 5paam»ag8 der Sloliarlieitssclialter (17) ist geöffnet und liefert a» die Gteuersoii^lter (19)und (22) Jseine Spacnung, ßodaßß bei eteea Be«
rad (.2SJfI das Jo&altrel&is (18)und der Slolstressagnst (11) keine Span·* suag erkalten* Somit bleibt der Selialtev (2o) geöffnet usaä die Hoclwa-
(1) kann ssocL· niciit in Betrieb gQnommn werde»* s.7©ifcerä&a infolge Spaaiaasisslosigköit ä«s Slelstromagsaetea (HJ dia aüoJietell· (,lo) das Veatil (B) gesolilOBßea* Bie HacinrsSsiiuaipuisipe (1) ist so·
Sie ¥orraköU3si)Ui^j-e (2) pumpt nun de^ Hezipisatin (S) auf VonrsJcuuia*
Bies© 3stri«bsBtellu22g ist in Fige 1 und 2 dargestellt«. Ist de.s Tor» Tukmxm zut Aufwehen der Tätigkeit der Hoelxv&laJuispuiiip© CX) was ä©r TorTalsnuiaiaesser (?) aaseigt, ecy&lrd der BreiwegeäElm (4J Banä in die in Pie* S geaeislmete Stellung gedreht uad &sr
(l) ^ sövrie daß Auagleiolisgef&ss (fsj werden yob der auf Törrakausi gepua^te Ißt ©oiait im Roaipieatea
£» Bra» fite um Yitmtil&eftistil (§) da© BÖtif© ifefstess
fei3?ö& ©eis© ^ (16) «a&ält «Xfestt1»Mg «©SilieBet
des ^omtÄt, dü& Söb&lt» * sie&fc au sad eefelie&eti mmit
Sp«qdub£ iro&
(Se) ein mnü s&tsi Cl) 4« SSti^keit« WeitesfMm «obfiltet 4aö
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