DEP0045191DA - Verfahren und Anordnung zum Betreiben einer Glimmentladung - Google Patents

Description

Glimmentladungen werden in der verarbeitenden Technik, u.a. zum Reinigen von leitenden oder isolierenden Flächen, beispielsweise bei der Durchführung von Aufdampfverfahren, oder auch für die Zwecke der Kathodenzerstäubung, beispielsweise zur Herstellung metallischer Überzüge auf leitenden oder isolierenden Flächen, verwendet. Bei diesen Verfahren hat man bisher der Gleichspannung den Vorzug gegeben, trotz des Mehraufwandes, der zur Erzeugung hochgespannten Gleichstromes getrieben werden muss. Denn bei den bisher bekannt gewordenen Wechselstromverfahren fällt es schwer, in beiden Stromhalbperioden Zerstäubungen unerwünschter Art, insbesondere Zerstäubungen der metallischen Vakuumgefässe und/oder der Halterungen für die zu reinigenden bzw. zu zerstäubenden Teile zu vermeiden.

Diese Nachteile werden durch die Erfindung vermieden, indem die zur Reinigung bzw. Kathodenzerstäubung dienende, mit Wechselstrom betriebene Glimmentladung zwischen zwei wechselweise als Kathode dienenden Elektroden unterhalten wird, die mitsamt den zu behandelnden (z.B. zu reinigenden oder zu zerstäubenden) Flächen und auch gegenüber den sonstigen leitenden Teilen der Entladungsanordnung (z.B. der Metallwandung des Entladungsgefässes) isoliert sind. Damit ist die Sekundärseite des die Wechselspannung liefernden Transformators in ihrem Potential in keiner Weise festgelegt. Das Potential der beiden Elektroden wird sich also je nach den Entladungsbedingungen im Vakuum- gefäss frei einstellen, und alle übrigen Metallflächen führen keinen Strom. Diese Verwendung einer Wechselstromglimmentladung gestattet eine wesentliche Verminderung des elektrischen Aufwandes, demgegenüber der Mehraufwand für eine zweite Elektrode kaum ins Gewicht fällt.

Eine besondere zweckmässige Anordnung zur Durchführung der Erfindung besteht darin, dass man die bei den bisherigen Gleichstromanordnungen verwendeten Kathoden in zwei vorzugsweise gleiche, voneinander isolierte Hälften aufteilt, die wechselweise als Kathoden dienen. In sinngemässer Abwandlung lässt sich die Erfindung auch auf die Verwendung von Drehstrom abstellen, indem die drei Phasen an drei voneinander isolierte Elektroden gelegt werden.

Eine Ausführungsform der Erfindung ist beispielsweise im folgenden an Hand der schematischen Zeichnung beschrieben.

In der Zeichnung ist a der Teller der Vakuumanordnung, auf dem unter Verwendung einer Gummidichtung die nicht dargestellte Vakuumglocke aus Glas oder Metall aufgesetzt wird. Dieser Pumpteller ist elektrisch geerdet. Das Pumprohr b führt zur Hochvakuumpumpe. Zwei isolierte Durchführungen c(sub)1 und c(sub)2 tragen die beiden halbringförmigen Elektroden d(sub)1 und d(sub)2, zwischen denen die Wechselstromglimmentladung übergeht. Im Zentrum des Vakuumtellers a ist der Aufdampfofen e angedeutet, dem die elektrische Heizspannung durch die isolierte Durchführung f zugeführt wird. Die beiden Elektroden d(sub)1 und d(sub)2 liegen an der in keiner Weise im Potential gegenüber dem Teller a festgelegten Sekundärwicklung des Transformators g, der primärseitig über die der Strombegrenzung dienende Drossel h am Wechselstromnetz liegt. Eine Drossel ist - in bekannter Weise - einem Widerstand zur Strombegrenzung vorzuziehen, da sie zu wesentlicher Herabsetzung der Wiederzündspannung führt.

Claims (3)

1) Verfahren zum Betreiben einer Glimmentladung mit Wechselstrom, insbesondere für die Zwecke der Kathodenzerstäubung oder Oberflächenreinigung, dadurch gekennzeichnet, dass die Glimmentladung zwischen zwei wechselweise als Kathode dienenden Elektroden, die mitsamt ihrem Stromkreis gegenüber den zu behandelnden (z.B. zu reinigenden oder zu zerstäubenden) Flächen und auch gegenüber den sonstigen leitenden Teilen der Entladungsanordnung (z.B. der Metallwandung des Vakuumgefässes) isoliert sind, aufrecht erhalten wird.

2) Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die bei den bisher üblichen Gleichstromanordnungen verwendeten Kathoden in zwei vorzugsweise gleiche, gegeneinander isolierte Hälften aufgeteilt sind, die wechselweise als Kathoden dienen.

3) Abänderung des Verfahren nach Anspruch 1, bzw. der Anordnung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch die Verwendung von Drehstrom, dessen drei Phasen an drei voneinander isolierte Elektroden gelegt werden.