DEP0041824DA - Elektrostatische Linse - Google Patents

Description

Agv, «Ing., Fa?i@driGh E η & t e r , Ro a d ο ie "bei Köln a/Rho_? Ka pe 11 ens t ras se 145

ta t is oil© Lias e

Die iiuliolien. elektrostatischen linsen_? «ie sie iaa'fae·» sondere für die ^lektronensBikroskopie '?er«eadet· iiei'donj, "bestehen aus einer Anordnung fön polierten Metall-(3lektrod©n_? in der Regel aus Y2A~Stahl₀ Die Anfofderungen an die Präiaisioii in der ^ormgefoung der elektrostaäsehcn Lia.ee sind fur iJare Toinveiidung ia der ^lektroaenlaikroskepie. ausaarördentliolie hoii©₀ Geringe %genauigk@iten und Fehler wirken sieh "bei den Lias an bereits sste iiingünstig aus₀ Die elektrisohe -^urohso^alagsfestigkeit der Liases. YJird diirch die Geoiaetri© üqt Anordnung imd die G-iltß der ^alektrodeao"berfläolie "bedingt₀ Jeder e2^£™ folgte ^urohsoülag erge'ügt Störstellen und setst die Spaiinuiigsfestigkeit h,©ral)o Die Störstellen müssen duroh Eaohpolieren beseitigt voerden_? sobei die Lins ens jstGßiß ■völlig aus einander¹ geaonisaeE, senden iaiüssea« Beim Zusammenaau erfolgt die Justierung i©r Elekt?oä@a eiaseln iißtea? dem. Mikroskop.;.

Box &.QS "bishei? üMiohon ^usfüteimg der elgktrostatisohen L.iason aus Mo tall Iiat es a ich als sehr soimsiesig θγ·" wiesest dieae hohen ^afarderaiigen an die weitgehende Präzision au erfüllen^ Um di© sshwer au TermeidendeB. Uageaauigkeitea nach Mögliai^Eeit ansausoiialtens konnte man deshalb die Gestalt der %ekt3?oaon nioht allein naoh ®l©ktrisehen Gesichtspunkt en "bestioimeii^ eoMora musste den bei der ^usführ'OBg aus ^stall gasetaten Grenzen der

eriaieltesjea ^äsieicm Rechnung tragen ima auoh ein© entsprechendθ iBeehaßisohe Halterung zahlen..

Ea \tot&© mai gefunden dass laan in ^eseatliola ein~ faoheror weise su ausseyordeatliofe. geaauen ©lektro— statisölien Linsen gelangt _t wenn maxi sio nieht, wie "bisher _s aus ?2i-»Stalil_? sondern aus eiaem^etai^ hert₁ daa siaii gut schlGifon und. polieren lässt₀ S

aisse mit Linsen aus im Soiiiaelisfiiisa getssiniineiß kera-» misoheii Mate^ial^ Tor allem GIaS₁ eiroishfcj, die sux³ ■'"J^J '»^ c--²x ki;'J oh L L'n^k U nt« aKc^

^c^r' ΊΛ At, ι-' i.» u or -v < < p2^f ■> for ^frfe Il im ι^r i¹ > Ji¹^L* "Ja ^ 2<:^"^rt( ^r' to-ir!, ins-

Dor IHotalIapiegel 'vjItü Eiseökisässig aus mögliehst ©syaatieiisfeatem Hs tall _g S./⁰,. Edelaietalleia wie GsId₈ Platin od©2? deren LegieraEgeii eriseiagtu ^n gei^isse-a fällen hat es sieh als vorteilhaft er^i®sen₃ den Metallspiegel aus siG]irer©B. S ο hi ο ht en iiersus teilen _? uotei für äis unt Sciiiölit eil?, auf des iaiägeriaateElEl raögliehst gut ha des Metall_? s_e ^fi, Al«B!iai«ja_s getafelt worden kas&₉ \^rs'äh'£@nA für di© M.i;.;";se:ffQ ^i;ioiiioiit ein ö3qrciatioasfe$it@s Me tall _p ώ±& ilatiiij -irercjcaäet vJi3-?ci_f das sioli mit dem Metall der smtQEQE! Koliicht aaoh &ögliQlikeit iiiokt ©de? kius? in ge«« ringes MasBo legieren lässt^ ^.Oh ksim swisöb.en der uiit©r®B uxiü äusserea. Soliieht ©iao neitei¹© iiffisieioas-» hemmende Soiiieht ems eijaem Mit den 'beaaelabertgnnisiit oder laia? wenig legierteren Metall. angeordüGt

olitöB können sm^ Verhinderung

Naoh einer besonderen Ausfuhrungsform kann ζ<>Β_β die untere; ^ohioht aus ^luminiura "bestehen, auf der sioh eine Ewiechenschicht aus Chrom "befindet, während die äussere Metallspiegelschioht aus ^old beetehto Sohlieeelieh können nooh gewisse geringfügige lingenauigkeiten in der ^berflache der den Metallspiegel tragenden kinsenteile dadurch ausgeglichen werden, dess der Ivletallbelag in entsprechend versohieuener £>ioke aufgebracht wird

■"ie elektrostatischen "in^en gemäss der Erfindung können, da sie eioh dank ihrer sehr guten Schleif- und Polierbarkeit Überaus genau ausfuhren lassen, ohne Schwierigkeit mit "ilfe geschliffener Passorgane zu einem eelbstjustierenden System zusammengefügt werden* Gegenüber den bisher bekannten aus Metall, z,·⁰^ V2A, bestehenden elektrostatischen Linsen werden duroh die Erfindung u a. folgende Vorteile erzielt :

1, Die Form und anordnung der Elektroden können nahezu ohne ^ivucksioht auf die Frage der mechanischen halterung weitgehend naoh elektrischen Gesiohtspunkten gewählt werden,

2_& Den Elektroden kann eine optimale leitende Oberfläche verliehen werden, woduroh die Durohsohlagsfeetigkeit wesentlioh erhöht wird

3-, Duroh Zusammenfügen unter Verwendung gesohliffener Passorgane kann man in einfaoher Weise zu bereite justierten Systemen gelangen

4* Durch eventuelle Airchsohläge geschädigte Elektrodenspiegel können durch Abätzen und lieubelegung mit einem Metallspiegel leicht wieder instandgesetzt werden

In der ^AVbildung wirü die Erfindung ν i'orm eires Beispieles näher erläutert

In dem ^aboenorgan A befindet i,ich ein justierbarer PassriJig B₁ in deseen innerer Öffnung das Linseneysteia eingesetzt ißt Εε besteht &\ .& den beiaeii -UiSfconelektroden C und E uud d ?r ^xmienelektrode D₀ ^ie ein-=· zeln^n Bauelemente sind e;^! dei· gesoiiliffenen Flächen P und G eelbet-juetier^nä aäein^iiaergefiigto üie auf- . gedampften Ei_ektrodeii6pie_fc^l aind in der Abbildung nioht angegeten

Claims (1)

1. i'ateataasprüchs

   1.,) Elektrostatisölie Linse, insbesondere für öle Elektronenmikroskop!©, dadurch gekennzeichnet_? dass die elektrisch leitenden ί'Ί&οηοη dor Linse aus Metall-Spiegeln, bestehen _s öio auT&k Massnahmeii ivic Aufdampfen im "fakmura "bes^a ^athödeazerstastung auf polierte O" flächen aufgobraolit ae

   2>,j Elektrostatisohe Linse nach Anspruch 1_} dadurch gekeBii2sei9hnet₃ dass die Tra-gerkofper für die Metallspiegel aus gesob,liffea©m_s forsugsweise Im Sohmelsfluss gewonnenem keraoiisoliGii Material., inEbesonöei'e Glas_s be·-=·

   3, ) Elektrostatische ^Jjinsö naoh Ansprüciien 1 und 2_;) dadurch gekennaeißnaet., dass die T^ägerkörper für Metall· opi^gel aus kunststoffe, s.,B_o Plexiglas, irolitul o.;_;agl.-_p "bsstehon^

   4.-..) Elektrostatisehe "^iase nach Insprueiien 1™3₃ dadurch geikeώιι.ζQtQhiiQt_} dsss öie Metallepiegel aus möglichst oxjdatiössfesteßi Metall ₃ z_cB₀ Edelmetallen viie GoId₉ iPlatis. oder deren Legierungen "bestehen,;

   5.-,) F'lokirostätiselie -^iase nach Anspriielsön 1·=4_? aiädursii gekenaseieliiiet;, dass die Metallspiegel aus Koiireren Söbiohtoii "bsstohen, s_:,..B,. a,us einer mite^aa auf Glas o^dg gut haftenaea Schieht, S:-,⁰.-, aus "luiainium, und einer aus s er en Senieht aus einem oxydatioaafestcji Metall, s.-B..-. Platin, das na eh Högliahkeit nicht mit dom Metall eier · uaterea Soliioht legierter isto

   6g) Elektrostatisclie Liaee naoh Ansprüchen. 1"> '--t* · ß

   dass swisohan d®r untoren und. ckv ,_A

   i ^_r@ diffiÄSionslieinmeade Sohioht' , ι

   rt':i? Bchiohtsn ni^ht oder am¹ ^ ι Fs tall j, dessen ODerfläehe ^ ^ ί ι. i

   c 'n,, swiscsiiejageechaltet

   7 ) Elektrostatische -Linse naoh -^nepruohen 1«=6, dadurch gekennzeichnet; dass zum uegleioh von Linsenfehlern der äletallbelag in verschiedener Dioke aufge > "bracht wird

   8.) Elektrostatische Linse naoh iVnspruohen 1-7, dadurch gekennzeichnet dasü die Einzelteile der Linse mit ⁱ¹ilfe geschliffener Pessorgane zentrisoh au einem selbst justierenden System zusammengefügt werden.»