DE966028C - Fotoleitende Elektrode - Google Patents

Fotoleitende Elektrode

Info

Publication number
DE966028C
DE966028C DEI7322A DEI0007322A DE966028C DE 966028 C DE966028 C DE 966028C DE I7322 A DEI7322 A DE I7322A DE I0007322 A DEI0007322 A DE I0007322A DE 966028 C DE966028 C DE 966028C
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
photoconductive
coating
germanium
electrode
tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DEI7322A
Other languages
English (en)
Inventor
Robert J Cashman
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Standard Electric Corp
Original Assignee
International Standard Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Standard Electric Corp filed Critical International Standard Electric Corp
Application granted granted Critical
Publication of DE966028C publication Critical patent/DE966028C/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02HEMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
    • H02H7/00Emergency protective circuit arrangements specially adapted for specific types of electric machines or apparatus or for sectionalised protection of cable or line systems, and effecting automatic switching in the event of an undesired change from normal working conditions
    • H02H7/10Emergency protective circuit arrangements specially adapted for specific types of electric machines or apparatus or for sectionalised protection of cable or line systems, and effecting automatic switching in the event of an undesired change from normal working conditions for converters; for rectifiers
    • H02H7/12Emergency protective circuit arrangements specially adapted for specific types of electric machines or apparatus or for sectionalised protection of cable or line systems, and effecting automatic switching in the event of an undesired change from normal working conditions for converters; for rectifiers for static converters or rectifiers
    • H02H7/1209Emergency protective circuit arrangements specially adapted for specific types of electric machines or apparatus or for sectionalised protection of cable or line systems, and effecting automatic switching in the event of an undesired change from normal working conditions for converters; for rectifiers for static converters or rectifiers for converters using only discharge tubes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01GCOMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
    • C01G17/00Compounds of germanium
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/06Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors mainly consisting of other non-metallic substances
    • H01B1/10Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors mainly consisting of other non-metallic substances sulfides
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H01J9/233Manufacture of photoelectric screens or charge-storage screens
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264Up to 3 mils
    • Y10T428/2651 mil or less

Description

AUSGEGEBEN AM 4. JULI 1957
I 7322 Villa/'sia1
Fotoleitende Elektrode
Die Erfindung befaßt sich mrt fotoelektrisch leitfähigen (fotoleitenden) Elektroden und insbesondere solchen für Fernsehkameraröhren.
Es wurde in den letzten Jahren auf dem Gebiet der fotoleitenden Kameraröhren viel Arbeit geleistet, deren Resultate jedoch nicht befriedigend ausfielen. Die hauptsächlichsten Schwierigkeiten bei diesen Röhren lagen bei den hierbei verwendeten fotoleitenden Materialien. Obgleich verschiedene fotoleitende Materialien bekannt sind und weitgehend angewendet wurden, sind die an eine fotoleitende Kameraröhre gestellten speziellen Anforderungen von keinen der bekannten Materialien zufriedenstellend erfüllt worden. Einige haben zu niedrigen Widerstand, einige — beispielsweise Selen — sprechen zu träge an, andere werden gesperrt, nachdem sie höhen Lichtintensitäten ausgesetzt waren (d. h., sie sprechen überhaupt nicht an), und ein wesentlicher Teil der Zeit vergeht, ehe sie wieder auf die Veränderungen des Lichtes ansprechen. Andere fotoleitende Materialien sprechen nur auf begrenzte InAensitätsintervalle an undändern ihre Leitfähigkeit nur über einen relativ engen Bereich der Lichtintensitäten. Es sind auch Materialien bekannt, deren Leitfähigkeit sich rasch zwischen Schwarz und Weiß ändert und bei denen es daher
709 571/28
schwierig ist, die dazwischenliegenden grauen Töne elektrisch anzuzeigen. Bei anderen Materialien hängt die Empfindlichkeit von der Wellenlänge des Lichtes ab.
Weitere Schwierigkeiten sind aufgetreten beim Betrieb von fotoleitenden Kameraröhren und während deren Herstellung. Beispielsweise haben sich einige fotoleitende Materialien bei höheren Temperaturen als so unstabil erwiesen, daß es erforderlich wurde, während des Betriebes der Röhren Kühlflüssigkeiten zu benutzen. Andere fotoleitende Materialien waren während der Herstellung schwierig zu behandeln, beispielsweise dadurch, daß das Material nicht der Luft ausgesetzt werden konnte, ohne daß unerwünschte Oxydation auftrat. Der Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine fotoleitende Elektrode, die im wesentlichen aus Germanium-Monosulfid besteht. Ein Vorteil der Erfindung ist eine fotoleitende Elektrode, vorzugsweise zum Gebrauch in Kameraröhren, die die verschiedenen erwünschten Eigenschaften in solchen Röhren in sich vereinigt.
Ein weiteres Merkmal der Erfindung besteht darin, daß die fotoleitende Elektrode aus einer Schicht aus leitendem Material mit mindestens einem einseitigen Überzug oder einer Schicht aus fotoleitendem Material, im wesentlichen von Germanium-Monosulfid, besteht.
Die Erfindung sieht weiterhin vor, daß die leitende Schicht lichtdurchlässig ist, so daß das Licht durch die leitende Schicht auf das fotoleitende Material projiziert werden kann.
Ein auf die fotoleitende Schicht projiziertes Lichtbild ändert die Leitfähigkeit des Germanium-Monosulfids entsprechend den Lichtintensitätsänderungen an den entsprechenden Punkten. Die Punkte werden abgetastet, um die Änderungen der Leitfähigkeit festzustellen.
An Hand der Ausführungsbeispiele der Zeichnungen sei im folgenden die Erfindung näher erläutert.
Fig. ι gibt eine schematische Ansicht eines
Teiles einer Fernsehkameraröhre oder ähnlicher Anordnungen wieder und gibt Aufschluß über das Herstellungsverfahren der fotoleitenden Schicht auf der Elektrode;
Fig. 2 zeigt eine schematische Ansicht einer Fersehkameraröhre mit fotoleitender Elektrode gemäß der Erfindung.
So Für fotoleitende Elektroden gemäß der Erfindung wird im wesentlichen Germanium-Monosulfid als fotoleitendes Material verwendet. Germanium-Monosulfid bekannter Zusammensetzung kann aus den Elementen Germanium und Schwefel durch Erhitzen der beiden im Vakuum auf eine Temperatur von 10000 im wesentlichen über den Schmelzpunkt des Germaniums erhalten werden. Die Gewichte von Schwefel und Germanium sind ihren Atomgewichten proportional, obgleich 60. ein leichter Überschuß von Schwefel, beispielsweise von ι °/o, ohne Schädigung verwendet werden könnte. Das resultierende Germanium-Monosulfid ist nach dem Abkühlen eine geschmolzene kristalline Masse, welche zu einem feinen Pulver zerkleinert werden kann, ohne die fotoleitenden Eigenschaften der später hergestellten Elektrode zu beeinflussen. Das Germanium-Monosulfid kann auch auf andere Art hergestellt werden. Das Pulver kann gewisse Verunreinigungen enthalten, beispielsweise einen geringen Überschuß von Schwefel oder Germanium, Spuren von Germaniumoxyden und geringe Spuren von Germanium-Disulfid. Die Anwesenheit dieser winzigen Mengen dieser Verunreinigungen beeinflußt die Resultate einer fotoleitenden Elektrode, die mit einem solchen Material hergestellt wurde; nicht. Wesentlich hingegen ist, daß das verwendete Material Germanium-Monosulfid ist und die Verunreinigungen vorzugsweise weniger als 1 °/o betragen. Die Erfindung sieht vor, das fotoleitende Material, beispielsweise Germanium-Monosulfid, in der Form eines Überzuges oder einer Schicht auf einer Unterlage anzubringen, die elektrisch leitfähig ist und gute Lichtdurchlässigkeit besitzt, so daß das Licht durch die Unterlage auf das fotoleitende Material gelangen kann.
Für das Anbringen des Überzuges auf der Unterlage sind verschiedene Methoden bekannt. Eine einfache Methode soll im Zusammenhang mit der Fig. ι beschrieben werden. In Fig. 1 ist mit 1 eine Kamerafernsehröhre bezeichnet. An dem einen Ende der Hülle 2 der Röhre ist eine lichtdurchlässige Unterlage 3 angeordnet, auf welcher, dem Strahlerzeugersystem zugewandt, eine durchsichtige elektrisch leitfähige Schicht 4 aufgebracht ist. Auf dieser leitfähigen Schicht 4 befindet sich das fotoleitende Material 12. Die Unterlage 3 kann mit der Hülle 2 durch ein Paar Ringe 5 aus mit dem Glas der Hülle gut verschmelzbarem Material verschmolzen werden. Einer dieser Ringe wird mit dem einen Ende der Hülle 2 verschmolzen und der andere Ring mit dem Rand der Unterlage 3. Die beiden Ringe werden dann ihrerseits zusammengeschweißt. Verfahren zur Herstellung solcher lichtdurchlässigen und elektrisch leitenden Schichten sind bekannt. Die Unterlage besteht beispielsweise aus Glas mit einem elektrisch leitfähigen Überzug. Die fotoleitende Schicht wird so auf der Unterlage angebracht, daß sie mit dem elektrisch leitfähigen Überzug in Berührung ist.
Das fotoleitende Pulver 6 ist in einer kleinen no Röhre 7 untergebracht, welche bei der öffnung 8 mit der Hülle 2, in welcher die Unterlage 3 untergebracht ist, verschmolzen ist. Die Hülle 2 wird durch eine in der Fig. 1 nicht gezeigte öffnung evakuiert. Die Röhre 7 wird dann mittels einer Heizspule 9 erhitzt, um das fotoleitende Pulver 6 zu verdampfen, welches dann durch die öffnung 8 in die Hülle 2 gelangt. Damit der Dampf sich nur auf der Unterlage 3 und nicht auf andere Teile der Hülle 2 niederschlägt, kann die Hülle 2 mittels einer anderen Heizspule 10 geheizt werden, während die Unterlage 3 durch einen Luftstrom, der gegen ihre äußere Oberfläche durch einen Tunnel 11 gerichtet wird, gekühlt wird. Auf diese Weise wird auf der Unterlage 3 ein Überzug 12, vorzugsweise von der Dicke von 0,1 bis 1 Mikron, gebildet. Die
Dicke der Schicht kann dadurch kontrolliert werden, daß man Licht hindurchschickt und dieses auf der anderen Seite beobachtet. Bei der Sublimation des Pulvers wird normalerweise eine Temperatur in der Größenordnung von 400 bis 500° C verwendet. Nachdem der Überzug auf der Unterlage aufgebracht ist, wird die Röhre mit dem überflüssigen Material bei der öffnung 8 abgeschmolzen. Es wird angenommen, daß der Überzug im wesentliehen amorph ist, obgleich auch einige Kristalle beliebig in die Schicht eingestreut sein können.
Weitere Einzelheiten bekannter Röhren mit fotoleitenden Schichten, in welchen fotoleitende Elektroden gemäß der Erfindung verwendet werden können, seien im Zusammenhang mit Fig. 2 aufgezeichnet, in welcher die gleichen Bezugsziffern für die entsprechenden oder ähnlichen Teile Verwendung finden. Die Röhre 1 hat eine fotoleitende Elektrode von der Art, wie sie im Zusammenhang mit Fig. ι beschrieben wurde. Die fotoleitende Schicht 12 ist an einem Ende der Röhre angeordnet. Am anderen Ende der Röhre ist ein Strahlerzeugungssystem 13, dessen Strahl 14'gegen die fotoleitende Schicht 12 gerichtet ist, vorgesehen. Der Strahl ist mittels der Fokussierungsspule 15 magnetisch fokussiert und magnetisch mittels der Ablenkspule 16 abgelenkt, so daß er den fotoleitenden Überzug 12 abtastet. Die Abtastung kann in rechtwinkeligen Koordinaten erfolgen, das ist die übliche vertikale und horizontale Abtastung. Beim Betrieb der Röhre wird ein abzubildendes Objekt, beispielsweise 16a, durch die Unterlage 3 der elektrisch leitfähigen Elektrode 4 auf die fotoleitende Schicht mittels geeigneter optischer Mittel (nicht gezeigt) geworfen. Das Lichtbild ändert die fotoelektrische Leitfähigkeit der Schicht 12 an den verschiedenen Stellen entsprechend der Intensität des Lichtbildes an den entsprechenden Stellen. Der Elektronenstrahl, der dann die fotoleitende Schicht abtastet, erzeugt dann einen Strom, welcher durch die verschiedenen Punkte der fotoleitenden Schicht zu der elektrisch leitfähigen Oberfläche der Unterlage 3 fließt und in Übereinstimmung mit der Leitfähigkeit der fotoleitenden Schicht an diesen Punkten variiert. Weitere in der Fig. 2 dargestellte Einzelheiten sind das Pumpröhrchen 17 zur Evakuierung der Röhre 1 und die leitenden Durchführungen 18 zum Strahlerzeugungssystem. Die elektrische Verbindung mit der elektrisch leitfähigen Elektrode 4 kann durch die Ringe 5 erreicht werden. Ein leitender Wandbelag 19 wird für gewöhnlich ebenfalls verwendet. Es wurden im wesentlichen nur Versuche mit Germanium-Monosulfid als fotoleitendes Material unternommen. Es wurde gefunden, daß das fotoleitende Material einen hohen spezifischen Widerstand von ungefähr io12 Ohm X cm hat. Es kann der Luft ohne Schaden ausgesetzt werden, und auf Grund dieser Widerstandsfähigkeit gegenüber Luft läßt es sich leicht behandeln und anwenden. Es ist außerdem temperaturbeständig, d. h., seine fotoleitenden Eigenschaften werden durch die bei den gewöhnlichen Fernsehkameragrößen auftretenden Temperaturen nicht beeinflußt, so daß also keine Kühlung erforderlich ist. Versuche mit Fernsehkameraröhren, die mit einer fotoleitenden Schicht aus Germanium-Monosulfid gemäß der Erfindung ausgerüstet waren, haben folgende Vorteile ergeben: Es hat sich gezeigt, daß solche Röhren zur Aufnahme bewegter Bilder verwendet werden können auf Grund der kurzen Ansprechzeit, welche in der Größenordnung von V30 Sekunde liegt. Diese Röhren erzeugen in Übereinstimmung mit den Änderungen der Lichtintensität einen großen Ausgangsbereich, so daß es leicht möglich ist, eine große Anzahl von Schattierungen zwischen Schwarz und Weiß zu erreichen. Dies ist ein für solche Röhren sehr wünschenswertes Merkmal. Die Röhren sperren nicht bei intensivem Licht, d. h., sie sprechen auf die nachfolgenden Lichtänderungen an, und die Frage der Erhölungszeit fällt dadurch weg. Weiterhin sprechen die Röhren gut auf Lichtintensitätsänderungen des ganzen sichtbaren Spektrums und sogar etwas darüber hinaus an.
Es ist klar, daß sowohl die Herstellung des fotoleitenden Materials als auch die Herstellung der fotoleitenden Schicht auf verschiedene andere Art erfolgen kann. Es ist weiterhin selbstverständlich, daß die durchsichtige, elektrisch leitende Unterlage, auf welcher das fotoleitende Material aufgebracht wird, auf andere Art hergestellt sein kann oder andere durchsichtige, elektrisch leitende Unterlagen verwendet werden können oder an Stelle dieser durchsichtigen, elektrisch leitenden Unterlage eine elektrisch leitende Unterlage mit geringer Lichtdurchläßigkeit verwendet werden kann und daß '95 das Bild direkt auf die fotoleitende Schicht fällt, ohne durch die Unterlage zu gehen, beispielsweise durch geeignete Linsensysteme. Weiterhin ist es selbstverständlich, daß eine fotoleitende Elektrode gemäß der Erfindung auch in anderen Röhrentypen, beispielsweise mit verschiedener Abtasttechnik, Verwendung finden kann.

Claims (4)

PATENTANSPRÜCHE:
1. Fotoleitende Elektrode für eine Röhre, in. welcher ein Lichtbild in ein entsprechendes elektrisches Signal umgewandelt wird und die aus einer leitenden Unterlage und einem darauf in elektrischem Kontakt angeordneten Überzug besteht, dadurch gekennzeichnet, daß der Überzug im wesentlichen aus Germanium-Monosulfid besteht.
2. Elektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet', daß die leitende Schicht lichtdurchlässig ist.
3. Elektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Überzug eine Dicke in der Größenordnung von 0,1 bis 1 Mikron hat.
4. Elektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Überzug einen spezifisehen Widerstand in der Größenordnung von Ohm X cm hat.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
© 609 547/183 6.56 (7W 571/28 6.57)
DEI7322A 1952-06-06 1953-06-07 Fotoleitende Elektrode Expired DE966028C (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US292034A US2730638A (en) 1952-06-06 1952-06-06 Photoconductive electrode

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE966028C true DE966028C (de) 1957-07-04

Family

ID=23122897

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DEI7322A Expired DE966028C (de) 1952-06-06 1953-06-07 Fotoleitende Elektrode

Country Status (7)

Country Link
US (1) US2730638A (de)
BE (1) BE520422A (de)
CH (1) CH309325A (de)
DE (1) DE966028C (de)
FR (1) FR1084273A (de)
GB (1) GB749601A (de)
NL (2) NL178737B (de)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2884345A (en) * 1953-02-17 1959-04-28 Hupp Corp Infra-red devices and methods
BE529546A (de) * 1953-06-13
US3321656A (en) * 1954-03-11 1967-05-23 Edward E Sheldon Television camera tube with lead oxide screen
US2809323A (en) * 1954-03-24 1957-10-08 Gen Electric Penetrating ray transducer
NL209139A (de) * 1955-07-23
US4097775A (en) * 1955-08-04 1978-06-27 Rca Corporation Infrared sensitive photoconductive pickup tube
US3408522A (en) * 1963-03-04 1968-10-29 Sylvania Electric Prod Cup-shaped photoconductor tube
US3887827A (en) * 1970-09-19 1975-06-03 Matsushita Electronics Corp Target assembly of image pick-up tube
JPS4924382A (de) * 1972-06-26 1974-03-04

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB683603A (en) * 1948-02-18 1952-12-03 Emi Ltd Improvements in or relating to electron discharge pick-up tubes suitable for use in television
US2540490A (en) * 1948-03-29 1951-02-06 Philips Lab Inc Electron device with semiconductive target
BE489417A (de) * 1949-04-06

Also Published As

Publication number Publication date
NL178737B (nl)
FR1084273A (fr) 1955-01-18
CH309325A (fr) 1955-08-31
BE520422A (de)
US2730638A (en) 1956-01-10
GB749601A (en) 1956-05-30
NL106440C (de)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE821092C (de) Lichtempfindliches Element
DE2659358C2 (de)
DE2739857C2 (de)
DE966028C (de) Fotoleitende Elektrode
DE3116611A1 (de) Vorrichtung zur messung von halbleitereigenschaften
DE2000101A1 (de) Immersionsbolometer
DE2335504A1 (de) Pyroelektrische einrichtung
DE2547760A1 (de) Pyroelektrisches material
DE1514472A1 (de) Photoleitende Schicht und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE2216720B2 (de) Festkörperbildspeicher und Verfahren zu seiner Herstellung
DE3632210C2 (de)
DE2747856C2 (de)
DE1547963A1 (de) Verfahren zur Erzielung fotografischer Abbildungen
DE2250184C3 (de) Optisches Relais, das ein photoleitendes Element enthält
DE1052001B (de) Lichtelektrische Vorrichtung mit Bleioxydschicht als Photoleiter und Verfahren zu deren Herstellung
DE69633160T2 (de) Nichtlineares mim, seine herstellung und flüssigkristallanzeige
DE968582C (de) Verfahren zur Bereitung einer Schmelze eines bei gewoehnlicher Temperatur halbleitenden Materials
DEI0007322MA (de)
DE1299311B (de) Speicherelektrode fuer Vidicon-Bildaufnahmeroehren
DE2628474C3 (de) Aufnahmeeinrichtrung mit Bildwandlertarget für eine Aufnahmeröhre
DE1295613B (de) Halbleiter-Speicherelektrodenanordnung mit einer Halbleiterschicht und Fernseh-Aufnahmeroehre mit einer solchen Speicherelektrode
DE2828390A1 (de) Photoleitfaehiges transparentes material und verfahren zu seiner herstellung
DE2058640A1 (de) Signalfenster fuer Elektronenroehren
DE1539899B1 (de) Festkoerperbildwandler bzw bildverstaerker
DE1919506A1 (de) Farbfernseh-Bildaufnahmeeinrichtung und Verfahren zu ihrer Herstellung