DE9200734U1 - Vorrichtung zur Aufbereitung einer partikelbeladenen in einem Prozess anfallenden Flüssigkeit - Google Patents
Vorrichtung zur Aufbereitung einer partikelbeladenen in einem Prozess anfallenden FlüssigkeitInfo
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Description
Vorrichtung zur Aufbereitung einer partikelbeladenen in einem Prozess anfallenden Flüssigkeit
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Aufbereitung einer partikelbeladenen in einem Prozess anfallenden
Flüssigkeit, insbesondere aus einem Prozessapparat zur Leiterplattenherstellung.
Bei verschiedenen Prozessen wird häufig eine während des Prozesses mit Partikeln beladene Flüssigkeit aus wirtschaftlichen
und aus umwelttechnischen Gründen wieder aufbereitet. Somit kann die aufbereitete Prozessflüssigkeit
wieder in den Prozess rückgeführt werden. Bei der Herstellung von Leiterplatten für elektronische Bauelemente
muß die Leiterplatte von einem Fotoresist entschichtet werden. Hierzu wird auf die Leiterplatten eine Entschichtungsflüssigkeit
(Strippmedium) aufgesprüht, wozu beispielsweise eine 2%-ige NaOH-Lösung Verwendung finden
kann. Beim Entschichten (Strippen) entstehen feine Partikeln, die in der Entschichtungsflüssigkeit suspendiert
sind.
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Neuerdings kommen in der Leiterplattenherstellung Resistmaterialien
zum Einsatz, die zu einer sehr geringen Partikelgröße in der Entschichtungsflüssigkeit führen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, die bei hohen
Durchsatzmengen auch für Feinstpartikeln einen hohen Abscheidegrad aufweist und bei der der abgeschiedene Feststoff
mit geringer Restfeuchte vorliegt.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird bei einer derartigen Vorrichtung vorgeschlagen, daß eine mindestens zweistufige
Trenneinrichtung vorgesehen ist, der der Gesamtstrom der partikelbeladenen Flüssigkeit zugeführt wird und die
mindestens einen ersten Abscheider besitzt, der einen Hauptteil der Flüssigkeit im wesentlichen partikelfrei
abtrennt und dem ein zweiter Abscheider nachgeschaltet ist, dem ein partikelbeladener Restteil der Flüssigkeit
zur Abtrennung der Partikeln zugeführt wird. Da bei der erfindungsgemäßen Trenneinrichtung der Gesamtstrom der
Flüssigkeit der Trenneinrichtung zugeführt wird, ist die Verweilzeit der Partikeln in der Flüssigkeit gering.
Hierdurch kann ein gegebenenfalls auftretendes Anlösen der Partikeln durch die Flüssigkeit vermieden werden. Am
ersten Abscheider der Trenneinrichtung wird der Hauptteil der Flüssigkeit abgetrennt, die dann im wesentlichen
partikelfrei in den Prozess rückgeführt werden kann. In dem nachgeschalteten Abscheider erfolgt die Fest-Flüssig-Trennung
des partikelbeladenen Restteiles der Flüssigkeit. Hierbei macht der Restteil nur einen geringen Prozentsatz
der gesamten anfallenden Flüssigkeit aus. Somit kann der zweite Abscheider relativ klein dimensioniert werden. Der
zweite Abscheider wird vorteilhaft so ausgelegt, daß auch Feinstpartikeln mit hohem Abscheidegrad abgeschieden
werden. Da der Hauptteil der Flüssigkeit schon am ersten
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Abscheider abgetrennt wurde, weist der am zweiten Abscheider
anfallende Feststoff nur eine geringe Restfeuchte auf.
Als erster Abscheider kann mindestens ein Zentrifugalabscheider,
vorzugsweise ein Hydrozyklon, vorgesehen sein. Hierbei sind die Betriebsgrößen des Zentrifugalabscheiders
von den Stoffeigenschaften der aufzubereitenden Flüssigkeit
abhängig. Bei der Aufbereitung einer Entschichtungsflüssigkeit, die bei einem Prozessapparat zur Leiterplattenherstellung
anfällt, können parallel geschaltete Hydro-Zyklone zum Einsatz kommen, denen die partikelbeladene
Flüssigkeit zugeführt wird. Beispielsweise können drei parallel geschaltete Hydrozyklone vorgesehen sein, denen
jeweils bei etwa 2 bar Druck die partikelbeladene Flüssigkeit mit etwa lOOl/min zugeführt wird. Hierbei hat sich
gezeigt, daß an den Hydrozyklonen etwa 97% der zugeführten Flüssigkeitsmenge im wesentlichen partikelfrei abgetrennt
werden können. Der Restteil von etwa 3% der Flüssigkeit, in der die abgetrennten Partikeln suspendiert sind, wird
anschließend dem zweiten Abscheider zugeführt. Als zweiter Abscheider kann ein Filtermittel vorgesehen sein.
Beim Einsatz eines Filtermittels mit einem elektrogalvanisch aufgebauten Filtermedium wird auch bei Feinstpartikeln
ein hoher Abscheidegrad erreicht. Es hat sich gezeigt, daß ein derartiges elektrogalvanisch aufgebautes
Filtermedium für die üblicherweise verwendeten Entschichtungsflussigkeiten,
beispielsweise eine 2%-ige NaOH-Lösung, in hohem Grade durchlässig ist. Hierdurch fällt der
abgeschiedene Feststoff mit besonders geringer Restfeuchte an. Als Filtermedium kann beispielsweise ein elektrogalvanisch
aufgebautes Siebdruckgewebe zum Einsatz kommen. Ein besonderer Vorteil derartiger Filtermedien besteht
darin, daß der abgeschiedene Feststoff in einfacher Weise von der Oberfläche des Filtermediums entfernt werden kann.
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Insbesondere ist keine Rückspülung mit Luft oder Wasser
zur Abtrennung des Feststoffes erforderlich. Der abgeschiedene Feststoff kann beispielsweise mit einfachen
mechanischen Hilfsmitteln von der Oberfläche des Filtermediums abgelöst werden. Ein derartiges Filtermedium weist
eine hohe Standzeit auf. Entsorgungsprobleme, wie sie bei anderen Filtermedien auftreten, liegen somit hier nicht
vor.
Die Porenzahl des Filtermediums bezogen auf die Länge des Filtermediums liegt zwischen 20 bis 300 Mesh, vorzugsweise
80 Mesh. Der Porendurchmesser ist hierbei von der Porenzahl abhängig. Die Poren können eine runde oder
eckige Querschnittsfläche aufweisen. Vorteilhaft weist der Porendurchmesser etwa 100 bis 130/4m auf. Hierbei ist die
jeweils gewählte Porenzahl insbesondere von den chemischen Eigenschaften der verwendeten Entschichtungsflüssigkeit
abhängig. Es hat sich gezeigt, daß zur Filtration einer 2%-igen NaOH-Lösung ein Filtermedium mit einer
Maschenzahl von etwa 80 Mesh zu besonders guten Abscheideergebnissen führt.
Vorteilhaft ist das Filtermedium aus Nickel oder einer Nickel-Legierung hergestellt und weist vorzugsweise eine
Stärke von etwa 0,1 bis etwa 0,2 mm auf. Da ein derartiges Filtermedium besonders vorteilhafte Oberflächeneigenschaften
aufweist, können die abfiltrierten Partikeln in besonders einfacher Weise von der Oberfläche des Filtermediums
entfernt werden.
Um eine kontinuierliche Betriebsweise zu ermöglichen, kann das Filtermittel mit einem umlaufenden Filtermedium ausge-0
bildet sein. Beispielsweise kann als Filtermittel ein Band- oder Trommelfilter zum Einsatz kommen, den der
Restteil der partikelbeladenen Flüssigkeit zugeführt wird.
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An dem zweiten Abscheider kann ein Abnahmemittel, insbesondere ein mechanischer Abstreifer, für den abgetrennten
Feststoff vorgesehen sein. Kommt als zweiter Abscheider ein Filtermittel mit einem elektrogalvanisch aufgebauten
metallischen Filtermedium zum Einsatz, können wegen der guten Oberflächeneigenschaften des Filtermediums aufwendige
mechanische Hilfsmittel, wie z. B. Bürsten o. dgl., entfallen.
An dem zweiten Abscheider kann eine Auffangeinrichtung für
den abgeschiedenen Feststoff vorgesehen sein, die vorzugsweise mit einer Meßeinrichtung zur Füllstandsmessung versehen
ist. Zur weiteren Erniedrigung der Restfeuchte des abgeschiedenen Feststoffes kann dem zweiten Abscheider
mindestens ein Filterkorb zur Restentfeuchtung des abgeschiedenen Feststoffes zugeordnet sein, der vorzugsweise
auf einem Transportmittel angeordnet ist. Bei der Aufbereitung einer in der Leiterplattenfertigung anfallenden
Entschichtungsflüssigkeit hat sich ein Filterkorb bewährt, der mit einem Siebgeflecht von etwa 100/»/»·ausgebildet war.
Mit der vorteilhaft vorgesehenen Meßeinrichtung wird angezeigt, daß der volle Filterkorb gegen einen leeren
Filterkorb ausgetauscht werden muß. Der Austausch der Filterkörbe wird durch das Vorsehen eines Transportmittels
erleichtert. Alternativ kann dem zweiten Abscheider eine kontinuierliche Fördereinrichtung, vorzugsweise ein
Schneckenförderer, zugeordnet sein. Mit einer derartigen Fördereinrichtung wird der an dem zweiten Abscheider
abgeschiedene Feststoff abtransportiert.
Vorteilhaft wird die aufbereitete Flüssigkeit in den 0 Prozessapparat rückgeführt. Dies führt einerseits zu einer
Einsparung von Flüssigkeit und andererseits wird hierdurch eine Entlastung der Umwelt erreicht.
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Bei einer vorteilhaften Ausführungsform ist ein Sammelbehälter
für die aufzubereitende Flüssigkeit vorgesehen, dem mindestens eine Pumpe zur Förderung der aufzubereitenden
Flüssigkeit in dem mindestens einen ersten Abscheider zugeordnet ist, dessen Feinfraktion einem Tank für die
gereinigte Flüssigkeit zugeführt wird und dessen partikelbeladene Grobfraktion an dem zweiten Abscheider, vorzugsweise
ein Band- oder Trommelfilter, geleitet wird und dort getrennt wird, wobei das Filtrat ebenfalls dem Tank ebenfalls
für die gereinigte Flüssigkeit zugeführt wird.
Diese und weitere Merkmale der Erfindung gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen
hervor, wobei die einzelnen Merkmal jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombinationen bei
einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklich sein und vorteilhafte sowie für sich
schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Ausführungsbeispiele der Erfindung
sind in der Zeichnung dargestellt und werden im folgenden näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen schematischen Schnitt durch eine erfindungsgemäße Vorrichtung, die an einer Entschichtungseinrichtung
für Leiterplatten angeordnet ist,
Fig. 2 den Schnitt längs der Linie II - II, und
Fig. 3 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles III gem. Fig. 1.
Fig. 1 zeigt im schematischen Schnitt einen Prozeßapparat, der als Entschichtungseinrichtung 10 ausgebildet ist, an
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der mit einem Fotoresist beschichtete Leiterplatten 11 entschichtet werden. Hierbei werden die Leiterplatten 11
mittels einer nicht näher dargestellten Transportvorrichtung horizontal liegend durch die Entschichtungseinrichtung
10 transportiert. Die Entschichtungsflüssigkeit wird mittels ober- und unterhalb der Leiterplatte 11 angeordneten
Sprühdüsen 12, 13 aufgebracht. Bei der dargestellten Entschichtungseinrichtung 10 kommt als Entschichtungsflüssigkeit
(Strippmedium) eine 2%-ige NaOH-Lösung zum Einsatz. Hierbei weist die Entschichtungsflüssigkeit einen
pH-Wert von 11 bis 12 auf.
Im Bodenbereich der Entschichtungseinrichtung 10 ist ein Tank 14 zur Aufnahme der Entschichtungsflüssigkeit vorgesehen.
Wie aus Fig. 1 hervorgeht, ist der Boden 18 des Tanks 14 mit einer leichten Schräge ausgeführt. Am Boden
18 ist der Endbereich eines Saugstutzens 17 einer Pumpe zu Förderung der Entschichtungsflüssigkeit angeordnet. Die
im Tank 14 angesaugte Entschichtungsflüssigkeit wird über eine Leitung 16 zu den Sprühdüsen 12, 13 gepumpt.
Unterhalb der Sprühdüsen 12, 13 besitzt die Entschichtungseinrichtung
10 eine Auffangwanne 19, die mit einem schräg verlaufenden Boden 22 ausgebildet ist. Über ein
Verbindungsrohr 2 0 ist die Auffangwanne 19 mit einer neben der Entschichtungseinrichtung 10 angeordneten Vorrichtung
21 zur Aufbereitung der partikelbeladenen Entschichtungsflüssigkeit
verbunden. Das schräg verlaufende Verbindungsrohr 20 mündet in einen Sammelbehälter 23 der Vorrichtung
21. In den Sammelbehälter 23 ragt ein Saugstutzen 24 einer Pumpe 25. Über die Pumpe 25 wird der Gesamtstrom der
0 partikelbeladenen Flüssigkeit aus dem Sammelbehälter 23 über eine Förderleitung 26 an drei Hydrozyklone 28 geführt.
Die parallel geschalteten Hydrozyklone 28 stellen die ersten Abscheider einer zweistufigen Trenneinrichtung
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zur Aufbereitung der partikelbeladenen Flüssigkeit dar. Zur Regulierung der in die Hydrozyklone 28 eingespeisten
Flüssigkeitsmenge ist in der Förderleitung 26 ein Stellventil 27 vorgesehen. Die parallel geschalteten Hydrozyklone
28 sind jeweils prinzipiell gleichartig ausgeführt. Die gereinigte Feinfraktion wird über einen in der Zeichnung
obenliegenden Stutzen 30 und eine hiermit verbundene Leitung 29 in den Tank 14 der Entschichtungseinrichtung
rückgeführt. Die Hydrozyklone 28 sind jeweils mit einem konisch zulaufenden Zyklonbereich 31 ausgebildet, der in
eine Austrittsöffnung 4 6 mündet.
Wie aus Fig. 2 hervorgeht, ist ein Bandfilter 32 geringfügig unterhalb der Hydrozyklone 28 angeordnet. Das Bandfilter
32 besitzt ein bandförmiges Filtermedium 33, das an Rollen 34, 35 des Bandfilters 32 umgelenkt wird. Die
Seitenausrichtung des bandförmigen Filtermediums 3 3 wird mittels seitlich von diesen angeordneten Sensoren überwacht
und entsprechend geregelt. Das Filtermedium 33 ist elektrogalvanisch aufgebaut und besteht aus einer Nickel-Legierung.
Das Filtermedium 3 3 wird im Handel als Siebdruckgewebe angeboten. Für den vorliegenden Anwendungsfall weist das Filtermedium 33 eine Porenzahl von etwa 80
Mesh auf. Versuche haben gezeigt, daß eine derartige Porenzahl beim Einsatz von einer 2%-igen NaOH-Lösung, die
mit Fotoresistpartikeln beladen ist, einen hohen Abscheidungsgrad aufweist. Insbesondere können auch die heute
üblicherweise auftretenden Feinstpartikeln abgeschieden werden. Im Gegensatz zu Wasser kann die vorstehend genannte
NaOH-Lösung durch die Poren des Filtermediums 33 durchtreten. Das Filtermedium 3 3 ist somit selektiv permeabel.
Statt einem aus Nickel-Legierung hergestellten Filtermedium können auch andere Metalle zur Herstellung des
Filtermedium 33 verwendet werden.
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Auf der dem Hydrozyklon 28 gegenüberliegenden Seite des Bandfilters 3 2 ist ein mechanischer Abstreifer 3 6 angeordnet.
Mit dem Abstreifer 36 lassen sich auf der Oberfläche des Filtermediums 33 abgeschiedene Feststoffpartikeln in
einfacher Weise entfernen. Hierbei begünstigen die Oberflächeneigenschaften
des Filtermediums 33 die leichte Entfernung des abgeschiedenen Feststoffes. Insbesondere
ist kein Rückspülen mit Luft oder Wasser zum Entfernen des Feststoffes von der Oberfläche des Filtermedium 33 erforderlieh.
Der am Bandfilter 32 abgetrennte Feststoff fällt in einen Filterkorb 37, der unterhalb des Bandfilters 32
positioniert ist. Um einen leichten Transport zu gewährleisten, ist der Filterkorb 37 auf einen Transportwagen
angeordnet. Der Filterkorb 37 ist aus einem flüssigkeitsdurchlässigen
auf einem Lochblech angeordneten Siebgeflecht hergestellt, so daß die noch in dem abgeschiedenen
Feststoff enthaltene Flüssigkeit in eine unterhalb des Filterkorbes 37 angeordnete Wanne 39 ablaufen kann.
Oberhalb des Filterkorbes 37 ist ein Sensor 40 an der Vorrichtung 21 vorgesehen, mit dem eine Füllstandsmessung
des von dem Filterkorb 37 aufgenommenen Feststoffes möglich ist. Der Sensor 40 kann beispielsweise mit einer
Alarmeinrichtung verbunden sein, so daß bei vollem Filterkorb 37 dessen Auswechslung veranlaßt wird. Wie aus Fig.
hervorgeht, kann der Filterkorb 37 mittels des Transportwagens 38 in Richtung des Pfeiles 41 aus der Vorrichtung
21 ausgefahren werden.
Das an dem Bandfilter 32 anfallende Filtrat wird in einem unterhalb des Bandfilters 32 angeordneten Behälter 42
0 aufgefangen. Der Bodenbereich des Behälters 42 ist über ein Verbindungsrohr 43 mit dem Tank 14 verbunden. Somit
wird das an dem Bandfilter 32 anfallende Filtrat in den Tank 14 rückgeführt.
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An der Oberseite des Filtermediums 33 des Bandfilters 32
ist ein Sensor 44 angeordnet. Weiterhin sind in der Zeichnung nicht dargestellte Sensoren an beiden Seiten des
Bandfilters 32 angeordnet. Mit den an diesen Sensoren 14 aufgenommenen Meßgrößen wird das Bandfilter 3 2 überwacht
und gesteuert.
Nachfolgend soll die Funktionsweise bzw. Verfahrensführung beschrieben werden. Zum Entschichten (Strippen) der horizontal
angeordneten Leiterplatte 11 wird aus dem Tank 14 Entschichtungsflüssigkeit (Strippmedium) über die Pumpe
angesaugt und den Sprühdüsen 12, 13 zugeführt. Somit wird die Leiterplatte 11 an ihrer Ober- und an ihrer Unterseite
mit Entschichtungsflüssigkeit behandelt. Die im vorliegenden
Fall 2%-ige NaOH-Lösung löst das Fotoresist von der Leiterplatte 11 ab, das in Partikelform in der Entschichtungsf
lüssigkeit suspendiert. Die partikelbeladene Entschichtungsf lüssigkeit wird in der unterhalb der Sprühdüsen
12, 13 angeordneten Auffangwanne 19 aufgefangen. Über den schräg verlaufenden Boden 22 und das Verbindungsrohr
2 0 gelangt der Gesamtstrom der aufzubereitenden Flüssigkeit
in den Sammelbehälter 23 der Vorrichtung 21. Hier saugt die Pumpe 25 mit ihrem Saugstutzen 24, der in den
Sammelbehälter 23 ragt, die partikelbeladene Flüssigkeit an. Diese wird über die Förderleitung 2 6 mit einem Druck
von ca. 2 bar auf die drei Hydrozyklone 28 geführt. Hierbei wird jeder Hydrozyklon 28 mit einem Flüssigkeitsstrom
von etwa 100 l/min beaufschlagt. Dies entspricht auch der Menge, die über die Sprühdüsen 12, 13 auf die Leiterplatte
11 aufgesprüht wird. Der den Hydrozyklonen 28 zugeführte 0 Flüssigkeitsstrom wird über das Stellventil 27 derart
eingestellt, daß sich im Sammelbehälter 23 ein Niveau von etwa 2 cm unterhalb der Überlaufkante 45 einstellt.
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In den parallel geschalteten Hydrozyklonen 28 werden die in der Entschichtungs-Flüssigkeit suspendierten Resistpartikeln
abgetrennt. Etwa 97% der zugeführten Flüssigkeitsmenge wird im wesentlichen partikelfrei als Feingut an den
Hydrozyklonen 28 erhalten. Die gereinigte Flüssigkeit wird über die Stutzen 3 0 und die Leitung 29 in den Tank 14
rückgeführt. Die im Tank 14 gesammelte aufbereitete Flüssigkeit kann dann wieder zur Entschichtung von Leiterplatten
11 Verwendung finden. Die an den Hydrozyklonen 28 anfallende Grobfraktion enthält einen etwa 3%-igen Restteil
der Flüssigkeit und die abgetrennten Resistpartikeln. Von den Hydrozyklonen 28 wird diese Grobfraktion über die
Austrittsöffnungen 46 auf das Filtermedium 33 des Bandfilters
3 2 gesprüht.
An dem Bandfilter 32 wird der Restteil der Flüssigkeit von den Resistpartikeln abgetrennt. Während die Flüssigkeit
durch die Poren des elektrogalvanisch aufgebauten Filtermediums 3 3 durchlaufen kann, werden die Resistpartikeln an
der Oberfläche des Filtermediums 33 mit sehr hohem Abscheidegrad zurückgehalten. Das mit einem Antrieb versehene
Bandfilter 3 2 fördert den abgeschiedenen Feststoff zu einem Abstreifer 36. Da das aus einer Nickel-Legierung
bestehende Filtermedium gute Oberflächeneigenschaften aufweist, kann der abgeschiedene Feststoff in einfacher
Weise, insbesondere ohne Rückspülung mit Luft oder Wasser, von der Oberfläche des Filtermediums 33 entfernt werden.
Der abgetrennte Feststoff fällt dann von dem Bandfilter 32 in einen unterhalb angeordneten Filterkorb 37.
Das an dem Bandfilter 32 anfallende Filtrat wird über das Verbindungsrohr 43 ebenfalls in den Tank 14 rückgeführt.
Da wie vorstehend beschrieben die gesamte Flüssigkeit über die Vorrichtung 21 geführt wird bzw. umgewälzt wird,
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können Ablagerungen von Partikeln vermieden werden. Hierdurch kann sowohl die Entschichtungseinrichtung 10 als
auch die Vorrichtung 21 einfach gereinigt werden. Weiterhin erhöht diese Verfahrensführung die Standzeit der
Entschichtungsflussigkeit, da durch die sofortige Abtrennung der Partikeln eine geringe Verweilzeit der Partikeln
in der Entschichtungsflussigkeit erreicht wird. Somit kann gegebenenfalls ein Anlösen der Partikeln durch die Flüssigkeit
vermieden werden.
In dem Filterkorb 37 kann der an dem Bandfilter abgetrennte Feststoff noch weiter entfeuchten. Die Restflüssigkeit
wird hierbei in einer unterhalb des Filterkorbes 37 angeordneten Wanne 39 aufgefangen und kan ggf. in den Prozeß
rückgeführt werden. Der erhaltene Feststoff weist eine niedrige Restfeuchte auf und kann in einfacher Weise
entsorgt werden.
Das bei dem Bandfilter 32 zum Einsatz kommende elektrogalvanische metallische Filtermedium 33 weist neben der guten
Abreinigbarkeit den weiteren Vorteil einer hohen Standzeit auf. Somit treten auch keine Entsorgungsprobleme auf, wie
dies beispielsweise bei Filtermedien aus Papier oder Kunststoff der Fall ist.
Claims (15)
1. Vorrichtung zur Aufbereitung einer partikelbeladenen in einem Prozeß anfallenden Flüssigkeit, insbesondere aus
einem Prozeßapparat (10) zur Leiterplattenherstellung, dadurch gekennzeichnet, daß eine mindestens zweistufige
Trenneinrichtung vorgesehen ist, der der Gesamtstrom der partikelbeladenen Flüssigkeit zugeführt wird und die
mindestens einen ersten Abscheider (28) besitzt, der einen Hauptteil der Flüssigkeit im wesentlichen partikelfrei
abtrennt und dem ein zweiter Abscheider (32) nachgeschaltet ist, dem ein partikelbeladener Restteil
der Flüssigkeit zur Abtrennung der Partikeln zugeführt wird.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als erster Abscheider (28) mindestens ein Zentrifugalabscheider,
vorzugsweise ein Hydrozyklon, vorgesehen ist.
3. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
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dadurch gekennzeichnet, daß als zweiter Abscheider ein Filtermittel (32) vorgesehen ist.
4. Vorrichtung, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Filtermittel (32) mit einem elektrogalvanisch aufgebautem Filtermedium (33)
vorgesehen ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Maschenzahl des Filtermediums (3 3) bezogen auf die
Länge des Filtermediums (33) zwischen 20 bis 300 Mesh, vorzugsweise 80 Mesh, liegt.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Filtermedium (33) aus Nickel oder einer
Nickel-Legierung hergestellt ist und vorzugsweise eine Stärke von etwa 0,1 bis 0,2 mm aufweist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Filtermittel (32) mit einem
umlaufenden Filtermedium (33) ausgebildet ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Filtermittel (32) als Band- oder
Trommelfilter ausgebildet ist.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die dem ersten Abscheider
(28) zugeführte Flüssigkeitsmenge vorzugsweise über ein Ventil (27) einstellbar ist.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an dem zweiten Abscheider
(32) ein Abnahmemittel (3 6), insbesondere ein mechani-
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scher Abstreifer, für den abgetrennten Feststoff vorgesehen ist.
11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß an dem zweiten Abscheider (32) eine Auffangeinrichtung für den abgeschiedenen
Feststoff vorgesehen ist, die vorzugsweise mit einer Meßeinrichtung (40) zur Füllstandsmessung versehen ist.
12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß dem zweiten Abscheider (32)
mindestens ein Filterkorb (37) zur Restentfeuchtung des abgeschiedenen Feststoffes zugeordnet ist, der vorzugsweise
auf einem Transportmittel (38) angeordnet ist.
13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß dem zweiten Abscheider (32)
eine kontinuierliche Fördereinrichtung, vorzugsweise ein Schneckenförderer, zugeordnet ist.
14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die aufbereitete Flüssigkeit
in den Prozeßapparat (10) rückgeführt wird.
15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Sammelbehälter (23) für
die aufzubereitende Flüssigkeit vorgesehen ist, dem mindestens eine Pumpe (25) zur Förderung der aufzubereitenden
Flüssigkeit in den mindestens einen ersten Abscheider (28) zugeordnet ist, dessen Feinfraktion einem
Tank (14) für die gereinigte Flüssigkeit zugeführt wird und dessen partikelbeladene Grobfraktion an den zweiten
Abscheider (32), vorzugsweise ein Band- oder Trommelfilter, geleitet wird und dort getrennt wird, wobei das
A 26 863 .- = :- 34 -
Filtrat ebenfalls dem Tank (14) für die gereinigte Flüssigkeit zugeführt wird.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9200734U DE9200734U1 (de) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | Vorrichtung zur Aufbereitung einer partikelbeladenen in einem Prozess anfallenden Flüssigkeit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE9200734U DE9200734U1 (de) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | Vorrichtung zur Aufbereitung einer partikelbeladenen in einem Prozess anfallenden Flüssigkeit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE9200734U1 true DE9200734U1 (de) | 1992-05-07 |
Family
ID=6875282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE9200734U Expired - Lifetime DE9200734U1 (de) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | Vorrichtung zur Aufbereitung einer partikelbeladenen in einem Prozess anfallenden Flüssigkeit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE9200734U1 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4400755A1 (de) * | 1993-01-26 | 1994-07-28 | Leybold Durferrit Gmbh | Filtereinheit und Vorrichtung zum Entschlammen von Salzbädern |
| US5527018A (en) * | 1994-01-13 | 1996-06-18 | Durferrit Gmbh Thermotechnik | Filter unit and apparatus for desludging salt baths |
| DE102009032217A1 (de) * | 2009-07-06 | 2011-01-13 | Gebr. Schmid Gmbh & Co. | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Substraten |
-
1992
- 1992-01-23 DE DE9200734U patent/DE9200734U1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4400755A1 (de) * | 1993-01-26 | 1994-07-28 | Leybold Durferrit Gmbh | Filtereinheit und Vorrichtung zum Entschlammen von Salzbädern |
| US5527018A (en) * | 1994-01-13 | 1996-06-18 | Durferrit Gmbh Thermotechnik | Filter unit and apparatus for desludging salt baths |
| DE102009032217A1 (de) * | 2009-07-06 | 2011-01-13 | Gebr. Schmid Gmbh & Co. | Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Substraten |
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